專利名稱：蔭罩的制造方法以及蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在帶狀金屬薄板上形成耐腐蝕層的蔭罩制造方法以及蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置。
背景技術(shù)：
近年，在用于彩色顯示管中的蔭罩中，強(qiáng)烈要求高精細(xì)化和高品質(zhì)化，而由于數(shù)字廣播的開始，在用于彩色顯像管中的蔭罩中，也同樣強(qiáng)烈要求高精細(xì)化和高品質(zhì)化，正在謀求蔭罩開孔尺寸的微細(xì)化和開孔尺寸偏差的降低化。
此外，蔭罩在顯示文字或圖形等的彩色顯示管中開孔形狀是圓形，而在一般家庭里使用的彩色顯象管中開孔形狀是矩形形狀。
而且，蔭罩的開孔由光刻法形成，要求高精細(xì)以及高品質(zhì)的蔭罩主要通過兩段腐蝕法形成。
在這種兩段腐蝕中，在成為帶狀金屬薄板第1主表面的一個主表面上，通過腐蝕形成與電子槍側(cè)的小孔對應(yīng)的凹部。在形成了與該小孔對應(yīng)的凹部的面上形成耐腐蝕層。之后，按與大孔對應(yīng)的圖形腐蝕成為第2主表面的一個主表面的相反側(cè)的另一個主表面，從大孔側(cè)使對應(yīng)于小孔的凹部貫通，形成開孔。另外，這些開孔的孔徑由小孔側(cè)控制。
再有，在從兩面同時腐蝕小孔和大孔的兩面腐蝕法中，由于難以控制通過腐蝕所獲得的凹部開孔尺寸與抗蝕劑的開孔尺寸相比變大的側(cè)腐蝕現(xiàn)象，在小孔和大孔連結(jié)以后也進(jìn)行小孔的腐蝕，所以難以控制開孔的孔徑。與此相比，在兩段腐蝕法中，在第2腐蝕工序中將耐腐蝕層填充到小孔側(cè)的凹部中，使得不會對小孔進(jìn)行再度腐蝕，可維持最初的腐蝕工序中的精確的小孔圖形，有可能形成比金屬薄板厚度還小的開孔。此外，在耐腐蝕層涂敷液的涂敷中，使用噴射涂敷器、棒形(バ—)涂敷器、模制(ダイ)涂敷器、滾筒(ロ一ル)涂敷器、照相凹版(ラビア)涂敷器或管形刮刀噴嘴(PDN)涂敷器等。
并且，在彩色顯示管用的蔭罩的兩段腐蝕中，使紫外線固化型樹脂和使用照相凹版滾筒(グラビアロ一ル)的照相凹版涂敷器組合的耐腐蝕層形成方法，其耐腐蝕層涂敷液的填充性能高，既可能節(jié)省能量，工藝成本又低，因而受到注目。在使用照相凹版滾筒的照相凹版涂敷器中，照相凹版滾筒采用直徑約20mm-60mm的小直徑滾筒，增加對蔭罩凹部施加的形成耐腐蝕層的壓入力，容易與蔭罩凹部內(nèi)的空氣置換，在凹部中可靠地填充耐腐蝕層涂敷液。
然而，與彩色顯示管用的蔭罩相比彩色顯象管用蔭罩的板厚較厚，最初腐蝕的與小孔對應(yīng)的凹部的深度深，開孔形狀不是各向同性的圓形，而變成具有各向異性的矩形，在耐腐蝕層形成工序中涂敷變得非常困難。
這里，例如象在特開平11-92962號公報(日本)中記載的那樣，已知如下的結(jié)構(gòu)包括涂敷部，沿著帶狀金屬薄板的運(yùn)送方向利用照相凹版滾筒在帶狀金屬薄板上涂敷過剩的耐腐蝕層涂敷液；以及膜厚控制部，位于該涂敷部的運(yùn)送方向的下流側(cè)，借助照相凹版滾筒來控制在涂敷部涂敷的過剩的耐腐蝕層涂敷液的膜厚度，從而利用規(guī)定的膜壓使之變得恒定。
但是，即使象特開平11-92962號公報(日本)中記載的那樣，利用涂敷部的照相凹版滾筒在帶狀金屬薄板上涂敷過剩的耐腐蝕層涂敷液，借助膜厚控制部的照相凹版滾筒來控制在涂敷部中涂敷的過剩的耐腐蝕層涂敷液的膜厚度，從而利用規(guī)定的膜壓使之變得恒定，由于在彩色顯象管中使用的蔭罩中在有效面上使凹部為矩形且小跨度化，而且由于在有效面外上成為面積大且更深的凹部，因而也存在以下問題，即，存在不能在凹部中充分填充耐腐蝕層涂敷液的危險。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題，目的在于提供提高耐腐蝕層涂敷液的填充性、形成沒有填充殘余部的耐腐蝕層而使品質(zhì)提高的蔭罩的制造方法和蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置。
根據(jù)本發(fā)明第1方案，提供一種蔭罩的制造方法，包括在帶狀金屬薄板的第1主表面上利用第1照相凹版滾筒涂敷耐腐蝕層涂敷液的工序，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面；以及在從第2主表面?zhèn)扔弥С植牧现С炙鰩罱饘俦“宓臓顟B(tài)下，利用壓入滾筒，將耐腐蝕層涂敷液填充到所述第1主表面的凹部中的工序。
此外，根據(jù)本發(fā)明第2方案，提供一種蔭罩的制造方法，包括在帶狀金屬薄板的第1主表面上利用第1照相凹版滾筒涂敷耐腐蝕層涂敷液的工序，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面；在從第2主表面?zhèn)扔弥С植牧现С炙鰩罱饘俦“宓臓顟B(tài)下，利用壓入滾筒，將耐腐蝕層涂敷液填充到所述第1主表面的凹部中的工序；以及利用第2照相凹版滾筒控制所述帶狀金屬薄板的第1主表面的耐腐蝕層涂敷液的膜厚的工序。
再有，根據(jù)本發(fā)明第3方案，提供一種蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，該裝置將耐腐蝕層涂敷液涂敷到帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部中，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面，該裝置包括涂敷部，具有將耐腐蝕層涂敷液涂敷到所述帶狀金屬薄板的第1主表面中的照相凹版滾筒；以及壓入部，具有在用支持材料支持所述帶狀金屬薄板的第2主表面的狀態(tài)下，將耐腐蝕層涂敷液填充到所述帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部中的壓入滾筒。
還有，根據(jù)本發(fā)明第4方案，提供一種蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，該裝置將耐腐蝕層涂敷液涂敷到帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部中，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面，該裝置包括涂敷部，具有將耐腐蝕層涂敷液涂敷到所述帶狀金屬薄板的第1主表面中的照相凹版滾筒；壓入部，具有在用支持材料支持所述帶狀金屬薄板的第2主表面的狀態(tài)下，將耐腐蝕層涂敷液填充到所述帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部中的壓入滾筒；以及膜厚控制部，具有控制所述帶狀金屬薄板的第1主表面的耐腐蝕層涂敷液的膜厚的照相凹版滾筒。


圖1是展示本發(fā)明一個實(shí)施例的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置的概略圖。
圖2是展示圖1所示裝置的照相凹版滾筒外觀的透視圖。
圖3是展示圖1所示裝置的照相凹版滾筒的剖面圖。
圖4是展示彩色顯象管的概略圖。
圖5是展示在帶狀金屬薄板中形成的蔭罩的概略6是展示蔭罩的一個制造工序的剖面圖。
圖7是展示圖6所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖8是展示圖7所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖9是展示圖8所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖10是展示圖9所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖11是展示圖10所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖12是展示圖11所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖13是展示圖12所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖14是展示圖13所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照圖面對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。
首先參照圖4對彩色顯象管1進(jìn)行說明。
如圖4所示，彩色顯象管1具有內(nèi)部保持為真空的作為真空外殼的玻殼2，形成、調(diào)制3束電子束并使之聚束的電子槍3配設(shè)在該玻殼2內(nèi)的底端側(cè)，構(gòu)成玻殼2的一部分的屏盤4配置在玻殼2的前端側(cè)。此外，在該屏盤4的內(nèi)面配設(shè)熒光體屏5，該熒光屏5具有借助來自電子槍3的3束電子束各自的轟擊分別發(fā)紅、綠和藍(lán)3種顏色光的熒光體層。此外，在該電子槍3以及熒光屏5之間的玻殼2的外側(cè)，配設(shè)控制電子束位置、在整個畫面上掃描電子束的未圖示的偏轉(zhuǎn)線圈。
再有，配設(shè)作為選色電極的蔭罩6，該蔭罩自熒光屏5離開規(guī)定的間隔并與之對置，在整個面上按規(guī)定的大小、間距排列了許多矩形形狀的開孔。此外，蔭罩6具有下述作用利用這些開孔選擇自電子槍3發(fā)出的3束電子束，使之正確轟擊各自規(guī)定的熒光體層，以便與各自對應(yīng)的熒光體層按1對1的方式幾何對應(yīng)。
由于蔭罩6在彩色顯象管1的制造工序中也作為形成熒光屏5時的光掩模使用，因而蔭罩6開孔孔徑的偏差或斑紋的品質(zhì)按原樣對熒光屏5的條紋跨度或斑紋品質(zhì)產(chǎn)生影響。因此，為了提高彩色顯象管1的顯示品質(zhì)，有必要提高蔭罩6的品質(zhì)。
由本實(shí)施例的制造方法和制造裝置獲得的蔭罩6在開孔形狀和直徑中沒有偏差，斑紋品質(zhì)良好，因此可制造顯示品質(zhì)良好的彩色顯象管。
此外，如圖5所示，該蔭罩6由帶狀金屬薄板7沿其長度方向多個連續(xù)地形成。因此在蔭罩6的周緣形成了邊線部8，該邊線部8成為與不需要的部分切離的邊界，蔭罩6在該邊線部8被從帶狀金屬薄板7切離。此外，在邊線部8的內(nèi)側(cè)的中央部有作為大致矩形狀的、形成了多個開孔的區(qū)域的有效部9，而且，有用于確保沖壓成形性的半腐蝕部或缺口部，或者記載制造信息的輔助部等其他部分10。
下面參照圖1對制造蔭罩6的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置進(jìn)行說明。
如圖1所示，該蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置具有成為2段涂敷部的上流側(cè)涂敷裝置11以及成為膜厚控制部的下流側(cè)的涂敷裝置12，在這些上流側(cè)的涂敷裝置11和下流側(cè)的涂敷裝置12上，跨過作為蔭罩基材的例如由含36重量％鎳的鐵鎳合金的殷鋼材料構(gòu)成的帶狀金屬薄板7。即，各涂敷裝置11、12具有借助未圖示的驅(qū)動裝置可上下方向移動的2個展開滾筒13、14，帶狀金屬薄板7配設(shè)在這些展開滾筒13、14的下面，在通過這些展開滾筒13、14附以向下方趨勢的狀態(tài)下被運(yùn)送，在這些涂敷裝置11、12的部分上帶狀金屬薄板7大致水平地移動。
此外，在展開滾筒13、14之間的帶狀金屬薄板7的下方設(shè)置直徑約20mm-約60mm的照相凹版滾筒16。如圖2和圖3所示，該照相凹版滾筒16在中心具有例如由不銹鋼形成的金屬滾筒17，通過在該金屬滾筒17的周圍根據(jù)需要進(jìn)行基底處理，在該被進(jìn)行基底處理的金屬滾筒17的周圍熱噴鍍維氏硬度1000以上、空孔率5％以下最好3.5％以下的由氧化鉻構(gòu)成的陶瓷材料18，對表面進(jìn)行研磨而形成。再有，在陶瓷材料18的外周通過激光加工形成填充耐腐蝕層涂敷液的雕刻部19。
而且，在上流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16的雕刻部19中，例如按間距約0.35mm-0.50mm，深度約0.15mm-0.3mm以螺旋狀設(shè)置相對于照相凹版滾筒16的中心軸傾斜約45°-70°的溝槽。另一方面，在下流側(cè)的涂敷裝置12的照相凹版滾筒16的雕刻部19中，按比上流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16孔眼細(xì)的例如間距約0.15mm-0.20mm，深度約0.04mm-0.08mm以螺旋狀設(shè)置相對于照相凹版滾筒16的中心軸傾斜約45°-70°的溝槽。
而且，照相凹版滾筒16直接或間接地借助未圖示的驅(qū)動電機(jī)沿帶狀金屬薄板7移動方向的反方向高速旋轉(zhuǎn)。
此外，在照相凹版滾筒16的下方固定容器21，該容器21接收在未圖示的基臺上承載的耐腐蝕層涂敷液的溢出部分。
而且，在容器21上，配設(shè)涂敷液供給噴嘴23，向照相凹版滾筒16供給例如含無溶劑型的紫外線固化型樹脂的耐腐蝕層涂敷液22。此外，在該涂敷液供給噴嘴23中，就在照相凹版滾筒16的雕刻部19上的通過涂敷液供給噴嘴23供給的耐腐蝕層涂敷液22在帶狀金屬薄板7上移動之前的位置上，以利用刮刀壓板25進(jìn)行按壓的方式設(shè)置將剩余的耐腐蝕層涂敷液22撇除的刮刀24。另一方面，在涂敷液供給噴嘴23的下部，安裝尼龍刮刀26，該尼龍刮刀26限制耐腐蝕層涂敷液22的供給量，同時防止液體流掛。
在涂敷耐腐蝕層涂敷液22時，展開滾筒13、14的下表面位于與照相凹版滾筒16接觸的帶狀金屬薄板7的上側(cè)表面的下方，限制照相凹版滾筒16和帶狀金屬薄板7的形成角度和接觸面積，由于在與帶狀金屬薄板7的上方的照相凹版滾筒相對的部分沒有配設(shè)支承軋輥等支持部件，因而移動的帶狀金屬薄板7的第2主表面處于自由狀態(tài)。另一方面，在不涂敷耐腐蝕層涂敷液22時，展開滾筒13、14向上側(cè)移動，使帶狀金屬薄板7的下表面從照相凹版滾筒16離開。
此外，在上流側(cè)的涂敷裝置11與下流側(cè)的涂敷裝置12之間存在壓入部27。
在該壓入部27中，配設(shè)與帶狀金屬薄板7的第1主表面相對的壓入滾筒28，與該壓入滾筒28的正上面對置，通過夾持帶狀金屬薄板7，在作為帶狀金屬薄板7的上表面的第2主表面上，配設(shè)作為壓入滾筒28的支持部件的支承滾筒29。此外，壓入滾筒28與照相凹版滾筒16一樣，是在金屬滾筒的周圍熱噴鍍氧化鉻等整體陶瓷材料的滾筒。
另一方面，支承滾筒29由彈性體形成。而且，壓入滾筒28與支承滾筒29之間的間隙可調(diào)整，通過調(diào)整這些壓入滾筒28與支承滾筒29之間的間隙，設(shè)定由壓入滾筒28產(chǎn)生的耐腐蝕層涂敷液22的按壓力。此外，壓入滾筒28與支承滾筒29自由旋轉(zhuǎn)，以與帶狀金屬薄板7的運(yùn)送速度大致相同的圓周速度，沿與帶狀金屬薄板7的運(yùn)送方向相同的方向旋轉(zhuǎn)。
而且，在上流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16中被過剩填充、涂敷的耐腐蝕層涂敷液22，由支承滾筒29支持作為帶狀金屬薄板7的上表面的第2主表面?zhèn)?，由壓入滾筒28一邊按壓耐腐蝕層涂敷液22，一邊進(jìn)行補(bǔ)充填充，在上流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16中強(qiáng)制性地將填充殘余部置換成耐腐蝕層涂敷液22，從而填充耐腐蝕層涂敷液22。
下面參照圖6-圖14對上述實(shí)施例的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置的動作進(jìn)行說明。
首先，將附著在帶狀金屬薄板7表面上的輥壓油或防銹油脫脂、洗凈、干燥。之后，如圖6所示，通過在帶狀金屬薄板7的下表面的第1主表面和作為第1主表面相反一側(cè)的上表面的第2主表面兩面上涂敷規(guī)定厚度的干酪素和重鉻酸鹽作為主要成分的水溶性感光劑，進(jìn)行干燥,形成厚度為數(shù)μm的感光膜31、32。
接著，使用一對具有原版34和原版36的光掩膜，該原版34形成有與作為蔭罩6開孔的電子槍3側(cè)的凹部的小孔33對應(yīng)的圖形，該原版36形成有與熒光屏5側(cè)的大孔35對應(yīng)的圖形，如圖7所示，在將原版34、36各自貼合在兩面的感光膜31、32上的狀態(tài)下進(jìn)行曝光，燒上這些原版34、36的圖形。
之后，將燒上了各圖形的感光膜31、32用水顯影，除去未感光的部分，使帶狀金屬薄板7的表面的一部分露出，如圖8所示，形成與一對原版34、36的圖形對應(yīng)的作為抗蝕劑層的抗蝕劑圖形37、38。
再有，如圖9所示，在形成了抗蝕劑圖形38的第2主表面?zhèn)日辰颖Ｗo(hù)膜41，該保護(hù)膜41具有在CPP等耐腐蝕性樹脂膜上涂敷粘接材料的結(jié)構(gòu)。另一方面，在形成了抗蝕劑圖形37的第1主表面?zhèn)葒娡坑陕然F溶液構(gòu)成的腐蝕液，從而進(jìn)行第1腐蝕，通過該第1腐蝕，在形成了抗蝕劑圖形37的第1主表面?zhèn)鹊慕饘俾冻霾糠稚闲纬墒a罩6的電子槍3側(cè)的小孔33。
之后，如圖10所示，在第1腐蝕結(jié)束后將水散布到帶狀金屬薄板7上，將帶狀金屬薄板7的第1主表面特別是小孔33內(nèi)殘存的腐蝕液均勻且高速地置換洗凈，除去小孔33內(nèi)殘存的腐蝕液。
接著，用氫氧化鈉水溶液將結(jié)束了第1腐蝕的第1主表面?zhèn)鹊目刮g劑圖形37剝離除去，進(jìn)行水洗并使之干燥后，去除在抗蝕劑圖形38側(cè)形成的保護(hù)膜41。之后，如圖11所示，使用涂敷裝置11、12以及壓入部27，在含有小孔33的第1主表面?zhèn)韧糠竽透g層涂敷液22后，利用未圖示的UV燈對所涂敷的耐腐蝕層涂敷液22進(jìn)行紫外線照射，使耐腐蝕層涂敷液UV固化，形成耐腐蝕層42。
在形成該耐腐蝕層42時，在上流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16的孔眼粗的雕刻部19中保持大量耐腐蝕層涂敷液22，一邊將耐腐蝕層涂敷液22壓入第1主表面的小孔33內(nèi)，一邊使耐腐蝕層涂敷液22和小孔33內(nèi)的空氣進(jìn)行充分的置換。接著，利用該上流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16，將所涂敷的過剩耐腐蝕層涂敷液22，在由支承滾筒29支持作為帶狀金屬薄板7的上表面的第2主表面?zhèn)鹊臓顟B(tài)下，由壓入滾筒28一邊按壓耐腐蝕層涂敷液22，一邊在上流側(cè)的涂敷裝置11中，將耐腐蝕層涂敷液22補(bǔ)充填充到變成了填充殘余的部分小孔33中，以及在有效面外的面積大且更深的凹部中。
然后，利用下游側(cè)的涂敷裝置12的照相凹版滾筒16的孔眼細(xì)的雕刻部19刮去多余的耐腐蝕層涂敷液22，控制耐腐蝕層涂敷液22的膜厚度。
使用這樣的2個涂敷裝置11、12以及壓入部27，在小孔33的深凹部、更大面積的深缺口部、裙部的大跨距的半圓點(diǎn)部，其他的輔助部，也都可充分填充耐腐蝕層涂敷液22。此外，由于上流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16的雕刻部19一方比下流側(cè)的涂敷裝置12的照相凹版滾筒16的雕刻部19的孔眼粗，從而可大量保持更多的耐腐蝕層涂敷液22，因而即使小孔33較深，也可用上流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16供給充足的耐腐蝕層涂敷液22。另一方面，由于下流側(cè)的涂敷裝置12的照相凹版滾筒16的雕刻部19的孔眼較細(xì)，所以可以除去多余的耐腐蝕層涂敷液22。由此，可以使耐腐蝕層涂敷液22平坦化，均勻地控制膜厚。
之后，在耐腐蝕層42上粘貼保護(hù)膜43。
下面，如圖12所示，通過對形成了抗蝕劑圖形38的第2主表面?zhèn)葒娡柯然F溶液的腐蝕液進(jìn)行第2腐蝕，在形成了抗蝕劑圖形38的第2主表面?zhèn)刃纬墒a罩6的熒光屏5側(cè)的大孔35，使之與小孔33貫通，形成開孔44。
之后，如圖13所示，在該第2腐蝕結(jié)束后將水散布到帶狀金屬薄板7上，將帶狀金屬薄板7的表面特別是大孔35內(nèi)殘存的腐蝕層涂敷液22用水均勻且高速地置換，除去腐蝕層涂敷液22。
之后，去除在帶狀金屬薄板7的第1主表面?zhèn)日迟N的保護(hù)膜43，然后用未圖示的剝離裝置借助高溫氫氧化鈉水溶液將形成了大孔35的第2主表面?zhèn)鹊目刮g劑圖形38以及形成了小孔33的第1主表面?zhèn)鹊哪透g層42剝離除去。此外，通過水洗、干燥帶狀金屬薄板7，如圖14所示，在帶狀金屬薄板7中形成連通小孔33和大孔35的多個矩形狀的開孔44。
按照上述實(shí)施例，使照相凹版滾筒16直徑為約20mm-約60mm的小直徑，從而使之與帶狀金屬薄板7的接觸面積小，同時通過使照相凹版滾筒16沿帶狀金屬薄板7的運(yùn)送方向的反方向高速旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生大的剪斷力，使向小孔33壓入耐腐蝕層涂敷液22的力增大，與小孔33內(nèi)空氣的置換容易，即使使用有凹凸的帶狀金屬薄板7也可容易地在小孔33中填充耐腐蝕層涂敷液22，而且在即使這樣也填充不充分的情況下，由于可以借助壓入滾筒28進(jìn)行補(bǔ)充填充，因而容易形成耐腐蝕層。
此外，由于照相凹版滾筒16由表面維氏硬度1000以上，空孔率5％以下的陶瓷材料18形成，因而可減少磨損，同時防止碎片的發(fā)生。此外，由于陶瓷材料18的保持耐腐蝕層涂敷液22的雕刻部19通過激光加工而被雕刻，所以對帶狀金屬薄板7的損壞較小，照相凹版滾筒16自身也變得長壽命。
而且，不必在全部涂敷裝置11、12的全部的照相凹版滾筒16的表面上形成陶瓷材料18，僅在磨損大的照相凹版滾筒16的表面上形成陶瓷材料18即可。
此外，如果在金屬滾筒17上可容易地?zé)釃婂兲沾刹牧?8，則在照相凹版滾筒16的表面上熱噴鍍陶瓷材料18之前，不在金屬滾筒17的外周面上進(jìn)行基底處理也可以。
此外，通過在金屬滾筒上滾軋或激光雕刻來加工保持耐腐蝕層涂敷液的雕刻部，或者在金屬滾筒16上進(jìn)行鍍硬質(zhì)鉻等的耐磨損處理所獲得的任意一種照相凹版滾筒16都可以。
再有，通過將氧化鉻用于照相凹版滾筒16的陶瓷材料18，具有經(jīng)濟(jì)性、耐磨損性，同時激光加工也變得容易，但如果可激光加工，也可使用氧化鉻以外的物質(zhì)。
此外，將金屬滾筒使用于壓入滾筒28和支承滾筒29的任意一個或兩個都可以，壓入滾筒28的陶瓷材料不限于氧化鉻，氧化鋯也可以，如果壓入性良好，沒有空轉(zhuǎn)就可以。
此外，由于在利用刮刀24將照相凹版滾筒16的雕刻部19上的耐腐蝕層涂敷液22的厚度調(diào)整到通常規(guī)定的均勻厚度之后提供給帶狀金屬薄板7，因而獲得了穩(wěn)定的膜厚度、涂敷工作狀態(tài)。
在上述實(shí)施例中，使用無溶劑型的UV固化型樹脂作為耐腐蝕層涂敷液22，但也可以使用水溶性的熱固化型樹脂、水溶性的干酪素樹脂，干酪素和丙烯基樹脂的混合物，溶劑型的熱固化型樹脂或熱熔化樹脂等任意一種。
此外，在上述實(shí)施例中，在上流側(cè)的涂敷裝置11和下流側(cè)的涂敷裝置12的任意一個中都使用了刮刀24，但為供給足夠的耐腐蝕層涂敷液22，也可以在上流側(cè)的涂敷裝置11中不設(shè)置刮刀，在帶狀金屬薄板7上供給過剩的耐腐蝕層涂敷液22。
這里，基于上述實(shí)施例參照表1說明實(shí)驗結(jié)果。
表1

首先，對設(shè)置了壓入部27的實(shí)施例1、2、3，與沒有設(shè)置的比較例1、2、3進(jìn)行實(shí)驗。
在比較例1中，在將耐腐蝕層涂敷液22涂敷在利用板厚0.12mm的帶狀金屬薄板的具有50μm深度的小孔33和其他凹部的彩色顯示管(CDT)的蔭罩上的情況下，形成了開孔44的有效部9以及邊線部8、缺口部及輔助部等其他部分10的任意一個都100％填充了耐腐蝕層涂敷液22。
其次，在實(shí)施例1和比較例2中，將耐腐蝕層涂敷液涂敷在彩色顯象管(CPT)的蔭罩上，該蔭罩利用板厚0.20mm的帶狀金屬薄板，具有130μm深度的小孔33和其他凹部。
結(jié)果，利用比較例2的沒有壓入部的裝置，在形成了開孔44的有效部9中只有95％填充了耐腐蝕層涂敷液22，在邊線部8、缺口部及輔助部等其他部分10中只有50％填充了耐腐蝕層涂敷液22。
與此相反，利用實(shí)施例1的具有壓入部27的裝置，在形成了開孔44的有效部9以及邊線部8、缺口部及輔助部等其他部分10的任意一個中都100％填充了耐腐蝕層涂敷液22，通過設(shè)置壓入部27，能夠可靠地填充耐腐蝕層涂敷液22。
再有，在實(shí)施例2和比較例3中，將耐腐蝕層涂敷液涂敷在彩色顯象管(CPT)的蔭罩上，該蔭罩利用板厚0.25mm的帶狀金屬薄板，具有160μm深度的小孔33和其他凹部。
結(jié)果，利用比較例3的沒有壓入部的裝置，在形成了開孔44的有效部9中只有90％填充了耐腐蝕層涂敷液22，在邊線部8、缺口部及輔助部等其他部分10中只有35％填充了耐腐蝕層涂敷液22。
與此相反，利用實(shí)施例2的具有壓入部27的裝置，在形成了開孔44的有效部9以及邊線部8、缺口部及輔助部等其他部分10的任意一個中都100％填充了耐腐蝕層涂敷液22，通過設(shè)置壓入部27，能夠可靠地填充耐腐蝕層涂敷液22。
再有，在實(shí)施例3中，在將耐腐蝕層涂敷液涂敷在彩色顯象管(CPT)的蔭罩上，該蔭罩利用板厚0.25mm的帶狀金屬薄板，具有200μm深度的小孔33和其他凹部的情況下，在形成了開孔44的有效部9以及邊線部8、缺口部及輔助部等其他部分10的任意一個中都100％填充了耐腐蝕層涂敷液22，通過設(shè)置壓入部27，能夠可靠地填充耐腐蝕層涂敷液22。。
因此，蔭罩6的開孔44的孔徑在2段腐蝕的情況下，由于由小孔33控制，因而通過在有效部9的小孔33中可靠地填充耐腐蝕層涂敷液22，可使小孔33的直徑一定，可形成開孔44的孔徑偏差較小、斑紋品質(zhì)良好的蔭罩6。
此外，通過在邊線部8、缺口部及輔助部等其他部分10的任意一個中都可靠地填充耐腐蝕層涂敷液22，也可防止邊線部8、缺口部及輔助部等其他部分10被腐蝕，在制造工序中被切離，從而可提高制造合格率。
而且，在本實(shí)施例中，用氫氧化鈉水溶液將結(jié)束了第1腐蝕的第1主表面?zhèn)鹊目刮g劑圖形37剝離除去，進(jìn)行水洗和干燥后，將抗蝕劑圖形37側(cè)形成的保護(hù)膜41除去，形成耐腐蝕層42，但在第1腐蝕前不粘貼保護(hù)膜41來進(jìn)行第1腐蝕也沒有關(guān)系。
此外，不將結(jié)束了第1腐蝕的第1主表面?zhèn)鹊目刮g劑圖形37剝離除去，而形成耐腐蝕層也沒有關(guān)系。
如上所述，如果按照本發(fā)明的方案，在用照相凹版滾筒填充、涂敷過剩的耐腐蝕層涂敷液后，通過用壓入滾筒將耐腐蝕層涂敷液補(bǔ)充填充到第1主表面的凹部，可以不殘存凹部氣泡地將耐腐蝕層涂敷液強(qiáng)制填充到凹部，沒有填充不均，而且，通過用照相凹版滾筒控制填充了耐腐蝕層涂敷液的帶狀金屬薄板的第1主表面的耐腐蝕層涂敷液的的厚度，可更平坦化地涂敷耐腐蝕層涂敷液，由此減少蔭罩的偏差，提高品質(zhì)。
權(quán)利要求
1.一種蔭罩的制造方法，包括在帶狀金屬薄板的第1主表面上利用第1照相凹版滾筒涂敷耐腐蝕層涂敷液的工序，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面；以及在從第2主表面?zhèn)扔弥С植牧现С炙鰩罱饘俦“宓臓顟B(tài)下，利用壓入滾筒，將耐腐蝕層涂敷液填充到所述第1主表面的凹部中的工序。
2.一種蔭罩的制造方法，包括在帶狀金屬薄板的第1主表面上利用第1照相凹版滾筒涂敷耐腐蝕層涂敷液的工序，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面；在從第2主表面?zhèn)扔弥С植牧现С炙鰩罱饘俦“宓臓顟B(tài)下，利用壓入滾筒，將耐腐蝕層涂敷液填充到所述第1主表面的凹部中的工序；以及利用第2照相凹版滾筒控制所述帶狀金屬薄板的第1主表面的耐腐蝕層涂敷液的膜厚的工序。
3.如權(quán)利要求1或2的蔭罩的制造方法，其特征在于，所述第1和第2照相凹版滾筒的至少一個，以帶狀金屬薄板運(yùn)送速度的4倍-25倍的圓周速度，沿與帶狀金屬薄板的運(yùn)送方向相反的方向轉(zhuǎn)動。
4.如權(quán)利要求1到3任意一項的蔭罩的制造方法，其特征在于，所述第1和第2照相凹版滾筒的至少一個具有雕刻部，該雕刻部形成于設(shè)置在外周面上的陶瓷材料表面上，保持耐腐蝕層涂敷液。
5.如權(quán)利要求2到4任意一項的蔭罩的制造方法，其特征在于，所述第1和第2照相凹版滾筒各自在表面具有保持耐腐蝕層涂敷液的雕刻部，所述第1照相凹版滾筒表面的雕刻部比所述第2照相凹版滾筒表面的雕刻部孔眼粗。
6.如權(quán)利要求1或2的蔭罩的制造方法，其特征在于，所述支持材料由支承滾筒構(gòu)成，該支承滾筒和所述壓入滾筒以與帶狀金屬薄板的運(yùn)送速度大致相同的圓周速度，沿與帶狀金屬薄板的運(yùn)送方向相同的方向轉(zhuǎn)動。
7.如權(quán)利要求6的蔭罩的制造方法，其特征在于，所述支承滾筒是彈性體。
8.如權(quán)利要求1、2和6任意一項的蔭罩的制造方法，其特征在于，所述壓入滾筒包括金屬滾筒及在該金屬滾筒的外周面上被覆的陶瓷材料。
9.一種蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，該裝置將耐腐蝕層涂敷液涂敷到帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部中，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面，該裝置包括涂敷部，具有將耐腐蝕層涂敷液涂敷到所述帶狀金屬薄板的第1主表面中的照相凹版滾筒；以及壓入部，具有在用支持材料支持所述帶狀金屬薄板的第2主表面的狀態(tài)下，將耐腐蝕層涂敷液填充到所述帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部中的壓入滾筒。
10.一種蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，該裝置將耐腐蝕層涂敷液涂敷到帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部中，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面，該裝置包括涂敷部，具有將耐腐蝕層涂敷液涂敷到所述帶狀金屬薄板的第1主表面中的照相凹版滾筒；壓入部，具有在用支持材料支持所述帶狀金屬薄板的第2主表面的狀態(tài)下，將耐腐蝕層涂敷液填充到所述帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部中的壓入滾筒；以及膜厚控制部，具有控制所述帶狀金屬薄板的第1主表面的耐腐蝕層涂敷液的膜厚的照相凹版滾筒。
11.如權(quán)利要求9或10的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述第1和第2照相凹版滾筒的至少一個，以帶狀金屬薄板運(yùn)送速度的4倍-25倍的圓周速度，沿與帶狀金屬薄板的運(yùn)送方向相反的方向轉(zhuǎn)動。
12.如權(quán)利要求9到11任意一項的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述第1和第2照相凹版滾筒的至少一個具有雕刻部，該雕刻部形成于設(shè)置在外周面上的陶瓷材料表面上，保持耐腐蝕層涂敷液。
13.如權(quán)利要求10到12任意一項的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述第1和第2照相凹版滾筒各自在表面具有保持耐腐蝕層涂敷液的雕刻部，所述第1照相凹版滾筒表面的雕刻部比所述第2照相凹版滾筒表面的雕刻部孔眼粗。
14.如權(quán)利要求9或10的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述支持材料由支承滾筒構(gòu)成，該支承滾筒和所述壓入滾筒以與帶狀金屬薄板的運(yùn)送速度大致相同的圓周速度，沿與帶狀金屬薄板的運(yùn)送方向相同的方向轉(zhuǎn)動。
15.如權(quán)利要求14的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述支承滾筒是彈性體。
16.如權(quán)利要求9、10和14任意一項的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述壓入滾筒包括金屬滾筒及在該金屬滾筒的外周面上被覆的陶瓷材料。
全文摘要
一種蔭罩的制造方法，包括在帶狀金屬薄板7的第1主表面上利用第1照相凹版滾筒16涂敷耐腐蝕層涂敷液22的工序，該帶狀金屬薄板7包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面；在從第2主表面?zhèn)扔弥С袧L筒29支持所述帶狀金屬薄板7的狀態(tài)下，利用壓入滾筒28，將耐腐蝕層涂敷液22填充到所述第1主表面的凹部中的工序；以及利用第2照相凹版滾筒16控制所述帶狀金屬薄板7的第1主表面的耐腐蝕層涂敷液22的膜厚的工序。
文檔編號C23F1/00GK1438668SQ0312005
公開日2003年8月27日 申請日期2003年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月7日
發(fā)明者二階堂勝, 大川猛, 隈本健二 申請人:株式會社東芝