專利名稱：涂覆腹板狀材料的真空涂覆設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于在加工室中涂覆腹板狀(web-like)材料的真空涂覆設(shè)備。
背景技術(shù)：
本發(fā)明是關(guān)于在加工室中涂覆腹板狀材料的真空涂覆設(shè)備。在此情況下，要被涂覆的腹板狀材料的經(jīng)插入松卸卷筒的松卸裝置被放置于第一可排空卷筒室的第一軋制機(jī)，且要被涂覆的材料的可抽出卷纏卷筒的卷纏裝置被放置于第二可排空卷筒室的第二軋制機(jī)。在該卷筒室之間，要被涂覆的腹板狀材料橫過(guò)至少一可排空加工室，在每一加工室內(nèi)放置的是加工軋制機(jī)，其具該腹板狀材料的導(dǎo)引裝置，及冷卻輥，至少一磁控濺鍍?cè)幢环胖糜诶鋮s輥表面。
德國(guó)專利197 35 603 C1揭示腹板狀材料的真空涂覆設(shè)備，其由兩個(gè)加工室組成，每一加工室具軋制機(jī)，偏轉(zhuǎn)輥、腹板張力測(cè)量輥及冷卻輥被裝設(shè)于軋制機(jī)內(nèi)。每一軋制機(jī)被設(shè)計(jì)為可水平及垂直調(diào)整的以使得相對(duì)于彼此的調(diào)整可被進(jìn)行，及由此避免在該腹板狀材料的折痕生成。
松卸卷筒及卷纏卷筒被放置于卷筒室，要被涂覆的材料在該第一卷筒室自松卸卷筒被松卸、被送至該涂覆方法及接著在該第二卷筒室卷纏。使用磁控濺鍍?cè)赐扛苍摳拱鍫畈牧?，磁控濺鍍?cè)幢慌帕惺沟盟鼈兛上鄬?duì)于個(gè)別冷卻輥被水平調(diào)整以能夠以軸向平行方式調(diào)整它們。
該加工室及該卷筒室由腹板閥以真空方式彼此分開以能夠以不同氣體及以不同壓力操作。要被涂覆的腹板狀材料經(jīng)由該腹板閥輸送。
在膜厚度減少的情況下，該軋制機(jī)的可調(diào)整性的精確度，其為在約0.1-0.2毫米的范圍內(nèi)，不再為足夠的，特別是，已證實(shí)盡管該軋制機(jī)的正確調(diào)整性(其在大氣條件下被規(guī)律地執(zhí)行)該基板材料的錯(cuò)誤導(dǎo)引的實(shí)例依然在該方法發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的為增加所有參與該設(shè)備的輥的平行精確性。
根據(jù)本發(fā)明，此目的在于開始所提及型式的真空涂覆設(shè)備的情況下被達(dá)到，此是憑借用于松卸卷筒的軋制機(jī)被系牢于該第一卷筒室的第一系牢點(diǎn)，該加工軋制機(jī)被系牢于該加工室的第二及第三系牢點(diǎn)及用于卷纏卷筒的軋制機(jī)被系牢于該第二卷筒室的第四系牢點(diǎn)。在該設(shè)備的操作狀態(tài)，在卷筒室及加工室間的壓力差為至多50帕斯卡。
此處，系牢點(diǎn)并不必要了解為點(diǎn)狀菌落系牢位置。而是，在該系牢點(diǎn)的系牢亦被設(shè)計(jì)為承載面或其類似表面。
本發(fā)明避免于該卷筒室及該加工室的必要排空期間至少在系牢位置區(qū)域的變形，由此可避免在大氣壓力下所進(jìn)行的該軋制機(jī)的調(diào)整的偏差。
在本發(fā)明特別有利的具體實(shí)施例中，該第一及該第二系牢點(diǎn)位于共同系牢壁的兩側(cè)。
在本發(fā)明進(jìn)一步有利的具體實(shí)施例中，該第三及該第四系牢點(diǎn)位于共同系牢壁的兩側(cè)。
共同系牢壁提供交互相鄰參考點(diǎn)被直接機(jī)械耦合于另一使得在調(diào)整前及調(diào)整后幾乎任何幾何偏差可被避免的優(yōu)點(diǎn)。
在本發(fā)明進(jìn)一步細(xì)節(jié)中，該第一系牢點(diǎn)位于第一別系牢壁的第一卷筒室，及該第二系牢點(diǎn)位于第二個(gè)別系牢壁的加工室。
在本發(fā)明進(jìn)一步有利的具體實(shí)施例中，該第三系牢點(diǎn)位于第三個(gè)別系牢壁的加工室，及該第四系牢點(diǎn)位于第四個(gè)別系牢壁的第二卷筒室。
當(dāng)個(gè)別組件如卷筒室或加工室要被制造及被用做個(gè)別組件時(shí)，個(gè)別系牢壁可被使用，在該設(shè)備的操作狀態(tài)中，在室間的根據(jù)本發(fā)明的為50帕斯卡的小的壓力差同樣地最小化該壁的變形，這些壁是在幾乎相同的壓力。
在該軋制機(jī)對(duì)準(zhǔn)的精密度可憑借該第一及該第二系牢壁和/或該第三及該第四系牢壁以穩(wěn)定的方式彼此機(jī)械連接的事實(shí)而被增加。
根據(jù)本發(fā)明，該目的憑借數(shù)個(gè)冷卻輥被系牢于共同軋制機(jī)的事實(shí)而進(jìn)一步達(dá)到。
首先，此免除個(gè)別軋制機(jī)對(duì)冷卻輥的對(duì)準(zhǔn)，接著，對(duì)個(gè)別冷卻輥在該導(dǎo)引間沒(méi)有任何幾何差異發(fā)生。
在本發(fā)明進(jìn)一步有利的具體實(shí)施例中，該加工室由覆蓋壁而被關(guān)閉，此包括在冷卻輥開口的區(qū)域，這些開口皆可由門以真空緊密方式關(guān)閉。
在本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)計(jì)中，具冷卻輥磁控周圍的相關(guān)磁控濺鍍?cè)丛陂T被系牢，且該門具底盤及可自該冷卻輥移開。結(jié)果，當(dāng)該加工軋制機(jī)是于停滯狀態(tài)時(shí)，可改變標(biāo)的或進(jìn)行維修工作而不需拆卸該加工室或該加工軋制機(jī)。本發(fā)明在示例具體實(shí)施例的協(xié)助更詳細(xì)解釋于下。


在相關(guān)圖式中第1圖顯示真空涂覆設(shè)備在縱向區(qū)段的圖，及第2圖顯示透視分解圖標(biāo)。
具體實(shí)施例方式
真空涂覆設(shè)備包括加工室1、卷筒室2(要被涂覆的腹板狀材料6的松卸卷筒4被放置于其內(nèi))、及卷筒室3(卷纏卷筒5被放置于其內(nèi))，在該加工室1及該卷筒室2及3間放置的是腹板閥7及8，經(jīng)由此該腹板狀材料6被導(dǎo)引。
在示例具體實(shí)施例中，第一卷筒室2與該加工室1的分離是由一種第一共同系牢壁9對(duì)兩個(gè)室執(zhí)行。分別位于該卷筒室2及3的是軋制機(jī)11及12，其具該材料的松卸卷筒4或卷纏卷筒5及導(dǎo)引裝置13。位于該加工室1的是加工軋制機(jī)14，于此兩個(gè)冷卻輥15及16以相關(guān)導(dǎo)引裝置13系牢。為涂覆該腹板狀材料6，磁控濺鍍?cè)?7位于該冷卻輥15及16的表面上方。松卸軋制機(jī)11被裝設(shè)于在該卷筒室2的第一系牢點(diǎn)18(在第一共同系牢壁9)，第二系牢點(diǎn)19位于該加工室側(cè)的該相同系牢壁9。
該第三系牢點(diǎn)20同樣地在第二共同系牢壁10排列于該加工室1，該加工軋制機(jī)14被裝設(shè)于第二及第三系牢點(diǎn)19及20。第二共同系牢壁10分開該加工室1與該第二卷筒室3。該第四系牢點(diǎn)21位于此系牢壁10的該卷筒室3，該卷纏軋制機(jī)12在此點(diǎn)被系牢。該共同系牢壁9及10或該系牢點(diǎn)18、19、20及21的變形由在該加工室1及卷筒室2或3之間至多50帕斯卡的壓力差而被減少。
該加工室1由覆蓋壁22關(guān)閉，其中開孔23為該門24而被放置，該門24可以真空緊密方式被關(guān)閉。該冷卻輥15或16的磁控周圍(包括磁控管)25被系牢于該門24，裝設(shè)于該門24下方的是底盤26，借助底盤26，在被開啟后，該門24可由該冷卻輥15或16移出。
附圖標(biāo)記列表1 加工室2 卷筒室(用于松卸卷筒)3 卷筒室(用于卷纏卷筒)4 松卸卷筒5 卷纏卷筒6 腹板狀材料7 腹板閥8 腹板閥9 系牢壁10 系牢壁11 軋制機(jī)12 軋制機(jī)13 導(dǎo)引裝置14 加工軋制機(jī)15 冷卻輥16 冷卻輥17 磁控濺鍍?cè)?8 第一系牢點(diǎn)19 第二系牢點(diǎn)20 第三系牢點(diǎn)21 第四系牢點(diǎn)22 覆蓋壁23 開孔24 門25 具磁控濺鍍?cè)吹拇趴刂車?6 底盤
權(quán)利要求
1.一種在加工室中涂覆腹板狀材料的真空涂覆設(shè)備，在此情況下，要被涂覆的該腹板狀材料的經(jīng)插入松卸卷筒的松卸裝置被放置于第一可排空卷筒室的第一軋制機(jī)，且要被涂覆的材料的可抽出卷纏卷筒的卷纏裝置被放置于第二可排空卷筒室的第二軋制機(jī)，要被涂覆的腹板狀材料橫過(guò)在所述裝置之間的至少一可排空加工室，在每一加工室內(nèi)放置的是加工軋制機(jī)，其具該腹板狀材料的導(dǎo)引裝置，及冷卻輥，至少一磁控濺鍍?cè)幢环胖糜谄浔砻?，其特征在于，用于該松卸卷?4)的該軋制機(jī)(11)被系牢于在該第一卷筒室(2)的第一系牢點(diǎn)(18)，該加工軋制機(jī)(14)被系牢于在該加工室(1)的第二及第三系牢點(diǎn)(19；20)及用于該卷纏卷筒(5)的軋制機(jī)(12)被系牢于該在第二卷筒室(3)的第四系牢點(diǎn)(21)，其中，在該設(shè)備的操作狀態(tài)，在卷筒室(2；3)及該加工室(1)間的壓力差為至多50帕斯卡。
2.如權(quán)利要求1所述的真空涂覆設(shè)備，其特征在于，該第一及該第二系牢點(diǎn)(18；19)位于共同系牢壁(9)的兩測(cè)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的真空涂覆設(shè)備，其特征在于，第三及第四系牢點(diǎn)(20；21)位于共同系牢壁(10)的兩側(cè)。
4.如權(quán)利要求1所述的真空涂覆設(shè)備，其特征在于，該第一系牢點(diǎn)(18)位于第一系牢壁的第一卷筒室(2)，及該第二系牢點(diǎn)(19)位于第二系牢壁的加工室(1)。
5.如權(quán)利要求1或4所述的真空涂覆設(shè)備，其特征在于，該第三系牢點(diǎn)(20)位于第三系牢壁的該加工室(1)，及該第四系牢點(diǎn)(21)位于第四系牢壁的第二卷筒室(3)。
6.如權(quán)利要求4或5所述的真空涂覆設(shè)備，其特征在于，該第一及該第二系牢壁和/或該第三及該第四系牢壁是以穩(wěn)定的方式彼此機(jī)械連接。
7.一種在加工室中涂覆腹板狀材料的真空涂覆設(shè)備，在此情況下，要被涂覆的該腹板狀材料的經(jīng)插入松卸卷筒的松卸裝置被放置于第一可排空卷筒室的第一軋制機(jī)，且要被涂覆的材料的可抽出卷纏卷筒的卷纏裝置被放置于第二可排空卷筒室的第二軋制機(jī)，要被涂覆的腹板狀材料橫過(guò)在所述裝置之間的至少一可排空加工室，及在每一加工室內(nèi)放置的是加工軋制機(jī)，其具該腹板狀材料的導(dǎo)引裝置，及冷卻輥，至少一磁控濺鍍?cè)幢环胖糜谄浔砻妫涮卣髟谟?，?shù)個(gè)冷卻輥(15；16)被系牢于共同加工軋制機(jī)(14)。
8.如權(quán)利要求7所述的真空涂覆設(shè)備，其特征在于，該加工室(1)由覆蓋壁(22)而被關(guān)閉，此包括在該冷卻輥(15；16)開口(23)的區(qū)域，這些開口皆可由門(24)以真空緊密方式關(guān)閉。
9.如權(quán)利要求7或8所述的真空涂覆設(shè)備，其特征在于，具冷卻輥(15；16)的磁控周圍(25)的相關(guān)磁控濺鍍?cè)丛谒鲩T(24)被系牢，且所述門(24)具底盤(26)及可自該冷卻輥(15；16)被移開。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于在加工室中涂覆腹板狀材料(6)的真空涂覆設(shè)備，其中，具第一輥框架(11)的松卸裝置被放置于第一可排空卷筒室(2)，且具第二輥框架(12)的卷纏裝置(5)被放置于第二可排空卷筒室(3)，其中該腹板狀材料橫過(guò)在所述裝置之間的至少一可排空加工室(1)，其中冷卻輥(15、16)被放置于具該腹板狀材料的導(dǎo)引裝置加工輥框架(14)，其中至少一磁控濺鍍?cè)?17)被放置于其表面。本發(fā)明具加強(qiáng)所有參與該方法的輥的平行精確性的目的，此可被達(dá)到因?yàn)樵撍尚遁伩蚣堋⒃摷庸ぽ伩蚣芗霸摼砝p輥框架被固定于已知點(diǎn)(18、19、20、21)及因?yàn)楫?dāng)設(shè)備在操作時(shí)及/或共同輥框架被構(gòu)型用于數(shù)個(gè)冷卻輥，在卷筒室及該加工室間的最大壓力差50帕斯卡。
文檔編號(hào)C23C14/34GK1589336SQ02823255
公開日2005年3月2日 申請(qǐng)日期2002年11月22日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月22日
發(fā)明者沃爾夫?qū)ぐ栘惪ò? 漢斯－克里斯蒂安·黑克特, 漢斯－約亨·史圖登特, 彼德·翁格內(nèi)茨 申請(qǐng)人:德商阿爾登設(shè)備技術(shù)有限公司