專利名稱：用于制造顯示面板的掩模的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于制造大尺寸顯示面板的掩模。
背景技術(shù)：
近年來，隨著畫面不斷向高質(zhì)量和高分辨率發(fā)展，顯示面板的尺寸也越來越大。但是這樣大尺寸顯示面板的制造中存在許多困難，其中一個制造工藝?yán)щy是由大顯示面板的制造中使用的掩模導(dǎo)致的，即制造大尺寸顯示面板需要大尺寸掩模。
但是，這種大尺寸掩模的制造不僅需要大量的時間和成本，而且制造過程中掩模的下垂也會導(dǎo)致精確度不高的缺陷。例如，對于制造有機EL顯示面板，需要如圖1A所示的條紋型掩模，或者是如圖1B所示的△型掩模，來不變的沉積R、G、B像素的發(fā)光材料層。但是那些掩模由于掩模上的圖案而易于下垂，并損壞在材料的沉積過程中形成的阻擋層等，特別是，其中形成矩形長條形圖案的條紋型掩模其下垂比△型掩模更多。
參考圖2，當(dāng)在大尺寸基板上大規(guī)模制造單元器件時，掩模的下垂變得更加明顯，因為如圖3所示，掩模的尺寸需要與基板一樣大，并且還在掩模上形成許多圖案。
為了解決這個問題，向掩模施加張力，但是這樣會導(dǎo)致掩模圖案的變形，即扭曲或拉長，使得沉積過程的精確度變差，而限制了掩模的尺寸。
另外即使使用不下垂的掩模，掩模上的金屬條紋也在微弱的沖擊下就易于產(chǎn)生變化，而損壞面板的阻擋層。即由于掩模和面板之間的間隙非常小，因此掩模振動導(dǎo)致了在面板上形成的阻擋層中最上面的阻擋層的損壞，由此引起了第二電極制造過程中像素的短路。
但是為了防止阻擋層損壞而在掩模和面板之間形成大間隙會由于引發(fā)其他問題的掩模效應(yīng)而導(dǎo)致材料在不準(zhǔn)確位置的沉積。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明涉及一種用于制造顯示面板的掩模，它基本避免了一個或多個由于現(xiàn)有技術(shù)的限制和缺點所造成的問題。
本發(fā)明的一個目的是提供一種用于制造顯示面板的掩模，它不會下垂或遮蔽(shadowing)。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種用于制造顯示面板的掩模，它適用于制造大尺寸的、或大規(guī)模生產(chǎn)的顯示面板。
本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點將在下面的說明書中提及，并且在說明書中會部分地了解，或可以從本發(fā)明的實施中學(xué)習(xí)。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點可以通過在所寫的說明書、權(quán)利要求書和附圖中特別指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)。
可以理解，不論是前面的概括描述還是后面的詳細(xì)描述，它們都是示例性和說明性的，并希望是作為如權(quán)利要求所述的本發(fā)明提供進(jìn)一步的解釋。


以下的附圖為本發(fā)明提供了更好的理解，并引入說明書中構(gòu)成說明書的一部分，它們顯示了本發(fā)明的實施例，并與說明書部分一起用來解釋本發(fā)明的原理。
圖1A和1B分別表示條紋型和△型掩模；圖2表示在單元器件大規(guī)模生產(chǎn)中使用的大尺寸面板；圖3表示用于制造圖2的大尺寸面板的現(xiàn)有技術(shù)大尺寸掩模；圖4表示根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的子掩模；圖5A-5C分別表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的用于將子掩模和子框架固定的每種方法的截面圖；圖6表示大尺寸掩模的主框架，其上放置了圖4所示的子掩模；圖7表示根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的大尺寸掩模。
具體實施例方式
現(xiàn)在詳細(xì)的參考本發(fā)明的優(yōu)選實施例，其實施例如附圖所示。本發(fā)明提出制造具有多個孔的主框架，根據(jù)要制造的面板尺寸和圖案將子掩模分別裝配在孔中，來提供適合于制造大尺寸或大規(guī)模制造的顯示面板的掩模，該掩模不會下垂或遮蔽。
圖4表示根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的子掩模。
參考圖4，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的子掩模包括具有至少一個圖案的子掩模11，圍繞子掩模11邊緣固定的子框架12，用來固定子掩模。子掩模11可以在其上形成隨設(shè)計者的需要而變化的一個圖案，或者是具有在不引起子掩模11下垂的圖案數(shù)量限制范圍內(nèi)的多個圖案。
圍繞著子掩模11固定的子框架12可以由金屬、聚合物、無機材料等形成，它們是可成形的，并且是堅固耐彎曲的，例如金屬可以是鋁、鎳、鎢、鈦、鐵、銅或它們的合金，或者聚合物可以是塑料、或者無機材料可以是玻璃或晶片。
可以采用各種方法來將子掩模固定于子框架12，其中使用了圖5A-5C所示的三種方法。
參考圖5A，在第一個方法中，子掩模11被安裝在子框架12上，給子掩模11施加均勻的張力，以防止子掩模11的下垂，并利用激光器13將子掩模11固定在子框架12上。
參考圖5B，在第二個方法中，將如網(wǎng)的一片纖維14用粘合劑連接在子掩模11的周圍，給纖維14施加用于固定子框架12的張力。用粘合劑將纖維14連接至子掩模11和子框架12。
參考圖5C，可以使用夾具15。即在子掩模11的邊緣區(qū)形成孔17，穿過子框架12的側(cè)面形成橫向孔18，利用孔17將子掩模11固定在夾具15，用螺絲16將子框架12固定在夾具15，從而將子掩模11固定到子框架12。
參考圖6，當(dāng)如此制造的子掩模被安裝在主框架21上時，可以制出用于制作大尺寸顯示面板的掩模。在這種情況下，將子掩模11裝配在主框架21的每個孔中。
主框架21中孔的數(shù)量取決于要制造的器件的數(shù)量，主框架21中孔的數(shù)量需要大于要在主框架21上安裝的子掩模11的數(shù)量，因為可能存在這樣一種情況，即子掩模11只能根據(jù)設(shè)計者希望制造的器件形式而安裝在所需的位置處的孔內(nèi)。
主框架21被制造成為其尺寸等于或大于其上要沉積材料的面板的尺寸。子掩模11被制造成為可以在主框架21中的孔中上下和左右方向移動，用于利用MEMS(微電子機械系統(tǒng))微調(diào)子掩模11而將子掩模11上的圖案對準(zhǔn)在準(zhǔn)確的位置處。
如同子框架12一樣，主框架21可以由金屬、聚合物、無機材料等形成，它們是可成形的，并是堅固耐彎曲的，例如金屬可以是鋁、鎳、鎢、鈦、鐵、銅或它們的合金，或者聚合物可以是塑料、或者無機材料可以是玻璃或晶片。
參考圖7，通過用前述的方法將子掩模11安裝在主框架21上，就完成了大尺寸掩模的制造。據(jù)此，由于本發(fā)明的大尺寸掩模是被部分支撐在子框架12上以及全部支撐在主框架21上，因此大尺寸掩模不會如同現(xiàn)有技術(shù)那樣下垂或遮蔽。另外，由于本發(fā)明的大尺寸掩模允許子掩模11個別安裝至主框架21的孔/從主框架21的孔拆卸，因此根據(jù)設(shè)計者的意圖制造器件以及制造大尺寸器件是容易的，并利于大規(guī)模制造。
作為一個實施例，以下解釋利用本發(fā)明的掩模制造有機EL顯示面板的工藝步驟。
首先，提供大尺寸透明基板，在基板上形成第一電極條紋、第一電極極板(pad)和第二電極極板，在垂直于第一電極的發(fā)光區(qū)之間形成阻擋層。然后將本發(fā)明的大尺寸掩模放置在基板上，微調(diào)子掩模的位置來將子掩模上的圖案與基板上的發(fā)光區(qū)準(zhǔn)確對準(zhǔn)。在基板的紅發(fā)光區(qū)上沉積紅發(fā)光層，并移動大尺寸掩模。在基板的綠發(fā)光區(qū)上沉積綠發(fā)光層，并再次移動大尺寸掩模。在基板的藍(lán)發(fā)光區(qū)上沉積藍(lán)發(fā)光層。接下來，在基板的整個表面上沉積第二電極材料，以在發(fā)光區(qū)內(nèi)形成第二電極條紋。最后，在第二電極上形成保護膜，進(jìn)行密封，以完成有機EL層的制造。
因此，由于本發(fā)明的用于制造顯示面板的掩模不下垂或遮蔽，所以本發(fā)明的掩?？梢愿纳浦圃炀_度和可靠性，并適用于制造大尺寸面板，或進(jìn)行大規(guī)模制造，由此降低了制造成本。另外掩模安裝/拆卸的可能性使得掩模的維護更容易。
本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，只要不脫離本發(fā)明的精神或范圍，可以對本發(fā)明的用于制造顯示面板的掩模作各種改動和改變。因此只要這些改動和改變落在所附權(quán)利要求和它們的等效物的范圍內(nèi)，那么本發(fā)明就覆蓋了這些改動和改變。
權(quán)利要求
1.一種用于制造顯示面板的掩模，包括多個子掩模，每一個具有至少一個圖案；以及其中形成有多個孔的主框架，用于支撐子掩模，其中每個子掩模放置在這些孔中的一個相應(yīng)孔中，可以在上下和左右方向移動。
2.如權(quán)利要求1的掩模，其中子掩模具有固定于子框架的四個邊。
3.如權(quán)利要求2的掩模，其中子框架和子掩模之間的固定是通過激光器、粘合劑或連接器件而形成的。
4.如權(quán)利要求2的掩模，其中子框架和主框架是由金屬、聚合物或無機材料制成的。
5.如權(quán)利要求4的掩模，其中金屬是鋁、鎳、鎢、鈦、鐵、銅或它們的合金，聚合物是塑料，無機材料是玻璃或晶片。
6.如權(quán)利要求1的掩模，其中主框架中孔的數(shù)量等于或大于子掩模的數(shù)量。
7.如權(quán)利要求1的掩模，其中主框架中形成的孔的數(shù)量取決于要制造的器件數(shù)量。
8.如權(quán)利要求1的掩模，其中主框架的尺寸等于或大于其上要沉積材料的面板的尺寸。
9.一種用于制造有機EL顯示面板的掩模，其中顯示面板在第一電極條紋和第二電極條紋的每個垂直交叉位置處具有發(fā)光區(qū)，所述掩模包括多個子掩模，每一個具有至少一個圖案；以及圍繞子掩模邊緣固定的子框架，用于固定子掩模；其中形成有多個孔的主框架，用于支撐每一個固定于子框架的子掩模，其中每個子掩模放置在這些孔中的一個相應(yīng)孔中，可以在上下和左右方向移動。
10.如權(quán)利要求9的掩模，其中子框架和子掩模之間的固定是通過激光器、粘合劑或連接器件而形成的。
11.如權(quán)利要求9的掩模，其中子框架和主框架是由金屬、聚合物或無機材料制成的。
12.如權(quán)利要求11的掩模，其中金屬是鋁、鎳、鎢、鈦、鐵、銅或它們的合金，聚合物是塑料，無機材料是玻璃或晶片。
全文摘要
一種用于制造大尺寸顯示面板的掩模,其中制造了具有多個孔的主框架,子掩模根據(jù)要制造的尺寸和圖案形式而裝配在主框架的孔內(nèi),由此避免了下垂和遮蔽,并適用于制造大尺寸或大批量的面板。
文檔編號C23C14/04GK1362642SQ0113816
公開日2002年8月7日 申請日期2001年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2000年11月28日
發(fā)明者金昌男, 申東旭, 金宗民 申請人:Lg電子株式會社