雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及激光刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]用于刻蝕顯示觸摸屏ITO薄膜、玻璃基底或PET基底的銀漿激光刻蝕設(shè)備的運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)多采用二維振鏡頭和F- Θ透鏡組組合，這種激光刻蝕設(shè)備刻蝕速度快，效率高，但是，由于刻蝕產(chǎn)品對(duì)線寬有一定的要求，使得二維振鏡頭和F- Θ透鏡組組合的刻蝕幅面受到限制。一般情況下，F(xiàn)-Θ透鏡組所刻蝕的幅面大，其刻蝕的線寬就寬，同時(shí)，F(xiàn)-Θ透鏡組的焦距就大。如果加大刻蝕幅面，其刻蝕的線寬也會(huì)變寬，往往不能滿足客戶對(duì)線寬的要求。所以現(xiàn)有采用二維振鏡頭和F- Θ透鏡組組合的激光刻蝕設(shè)備的刻蝕幅面都比較小。加工一塊大的材料要實(shí)行多次拼接刻蝕，生產(chǎn)效率低；同時(shí)，多次刻蝕的拼接往往會(huì)使產(chǎn)品的良品率降低。
[0003]專利號(hào)為CN201220003814的多振鏡頭激光刻蝕機(jī)，包括機(jī)架、控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、激光發(fā)生器、吸附平臺(tái)、二維振鏡頭、兩個(gè)交叉的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和F-Θ透鏡組，控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和激光發(fā)生器都安裝在機(jī)架上，激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F- Θ透鏡組安裝在吸附平臺(tái)上方，激光發(fā)生器的激光頭的激光出光孔與二維振鏡頭的激光進(jìn)光孔同心，F(xiàn)- Θ透鏡組安裝在二維振鏡頭下部，兩個(gè)交叉的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向相互垂直，激光發(fā)生器、二維振鏡頭和F-Θ透鏡組各有多件，多件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合后并排安裝。此多振鏡頭激光刻蝕機(jī)，加工速度快，生產(chǎn)效率高。
[0004]雖然專利號(hào)為CN201220003814的多振鏡頭激光刻蝕機(jī)加工速度快，生產(chǎn)效率高，但是，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品刻蝕線寬往往有多種要求，在要求線寬比較窄的產(chǎn)品中，使用較小幅面的二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合；要求線寬比較寬的產(chǎn)品中，使用較大幅面的二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合，以最高效率滿足不同線寬的要求。專利號(hào)為CN201220003814的多振鏡頭激光刻蝕機(jī)的多件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F- Θ透鏡組組合后并排安裝，而且安裝后其間的距離不能調(diào)節(jié)，無(wú)法更換不同幅面的二維振鏡頭和F- Θ透鏡組組合，不能實(shí)現(xiàn)一臺(tái)設(shè)備對(duì)不同線寬及幅面的產(chǎn)品的生產(chǎn)要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的是提供一種雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)，此雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)，能實(shí)現(xiàn)一臺(tái)設(shè)備對(duì)不同線寬及幅面的產(chǎn)品的生產(chǎn)要求，設(shè)備適應(yīng)性好，利用率高,生產(chǎn)成本低。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)，包括機(jī)架、控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、激光發(fā)生器、吸附平臺(tái)、二維振鏡頭、兩個(gè)交叉的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、升降臺(tái)和F- Θ透鏡組，控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和激光發(fā)生器都安裝在機(jī)架上，升降臺(tái)、激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F- Θ透鏡組安裝在吸附平臺(tái)上方，激光發(fā)生器的激光頭的激光出光孔與二維振鏡頭的激光進(jìn)光孔同心，F(xiàn)-θ透鏡組安裝在二維振鏡頭下部，激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在升降臺(tái)上，兩個(gè)交叉的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向相互垂直，激光發(fā)生器、二維振鏡頭和F- Θ透鏡組各有兩件，兩件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F- Θ透鏡組組合后并排安裝，其特征在于:在一件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組下方安裝直線導(dǎo)軌。
[0007]因?yàn)楸緦?shí)用新型雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)，在一件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F- Θ透鏡組下方安裝直線導(dǎo)軌，此件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F- Θ透鏡組就可以沿直線導(dǎo)軌移動(dòng)，使兩件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F- Θ透鏡組之間的距離改變而適應(yīng)不同幅面F-θ透鏡組，再通過(guò)升降臺(tái)調(diào)節(jié)F-θ透鏡組與吸附平臺(tái)之間的距離，使聚焦后的激光能對(duì)吸附平臺(tái)上的工件進(jìn)行刻蝕加工。這樣就能實(shí)現(xiàn)一臺(tái)設(shè)備對(duì)不同線寬及幅面產(chǎn)品的生產(chǎn)要求，設(shè)備適應(yīng)性好，利用率高，生產(chǎn)成本低。
[0008]所述的雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)，其特征在于:沿直線導(dǎo)軌方向安裝限位裝置。限位裝置的作用是用來(lái)每次更換F-θ透鏡組時(shí)，調(diào)節(jié)兩件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組之間的距離時(shí)定位方便。
[0009]生產(chǎn)過(guò)程中，如果要刻蝕不同線寬或幅面的產(chǎn)品，只需要更換F-θ透鏡組，再調(diào)節(jié)升降臺(tái)的高度，使聚焦后的激光能對(duì)吸附平臺(tái)上的工件進(jìn)行刻蝕加工；同時(shí)調(diào)節(jié)安裝在直線導(dǎo)軌的激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組之間的距離，使兩組F-θ透鏡組所刻蝕的邊界能對(duì)接。
[0010]所述的機(jī)架為金屬結(jié)構(gòu)件或大理石構(gòu)件，是整個(gè)雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)的支撐與連接部件，控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和激光發(fā)生器都安裝在機(jī)架上。
[0011]所述的控制系統(tǒng)包括電氣系統(tǒng)及其操作控制軟件。
[0012]所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)主機(jī)、顯示器、鍵盤(pán)和鼠標(biāo)，其中計(jì)算機(jī)主機(jī)的主板上安裝有運(yùn)動(dòng)控制卡。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)同控制系統(tǒng)一起控制雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)工作，顯示器的作用是用于顯示操作控制軟件的界面。
[0013]所述的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)為伺服電機(jī)或直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)部件。
[0014]所述的激光發(fā)生器發(fā)出的激光波長(zhǎng)為266nm、1064nm、532nm或355nm。
[0015]所述的二維振鏡頭內(nèi)有兩個(gè)高速伺服振動(dòng)電機(jī)，每個(gè)高速伺服振動(dòng)電機(jī)的軸上安裝有激光反射鏡片，兩個(gè)高速伺服振動(dòng)電機(jī)交叉安裝。
[0016]所述的F- Θ透鏡組為一組鏡片組，其作用是將經(jīng)過(guò)二維振鏡頭的不同角度激光光束聚焦到一個(gè)平面上，所以能對(duì)置于吸附平臺(tái)上的工件進(jìn)行刻蝕加工。
[0017]所述的吸附平臺(tái)的內(nèi)部為空腔，上面表設(shè)置多個(gè)與空腔連通的小孔，吸附平臺(tái)的側(cè)面或下部開(kāi)有與空腔相連通的通孔，其中，至少有一個(gè)通孔與真空裝置或抽風(fēng)裝置連接；真空裝置或抽風(fēng)裝置工作使工件吸附于吸附平臺(tái)，使工件平展于吸附平臺(tái)，保證刻蝕質(zhì)量。
[0018]所述的升降臺(tái)為豎立安裝的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，一件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在升降臺(tái)上，另一件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組與升降臺(tái)之間安裝有直線導(dǎo)軌。
[0019]本實(shí)用新型的雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機(jī)，能實(shí)現(xiàn)一臺(tái)設(shè)備對(duì)不同線寬及幅面的產(chǎn)品的生產(chǎn)要求，設(shè)備適應(yīng)性好，設(shè)備利用率高，生產(chǎn)成本低。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。