技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種激光處理設(shè)備。所述激光處理設(shè)備包括：激光產(chǎn)生單元，其經(jīng)配置以產(chǎn)生照射到用于處理的目標(biāo)的激光束的振蕩信號(hào)，且使多個(gè)激光束振蕩；激光處理單元，其安置于由所述激光產(chǎn)生單元振蕩的所述激光束的傳播路徑上，且經(jīng)配置以處理所述激光束；以及激光觀測(cè)單元，其在所述傳播路徑上連接到所述激光產(chǎn)生單元和所述激光處理單元中的至少一個(gè)以檢測(cè)所述激光束的振蕩且通過(guò)處理以及分析檢測(cè)到的數(shù)據(jù)而確定所述激光產(chǎn)生單元的操作狀態(tài)。本發(fā)明另提供一種使用所述激光處理設(shè)備的激光處理方法。本發(fā)明可以立即檢測(cè)且校正激光振蕩中的問(wèn)題，且可以視需要改變用于多個(gè)激光的振蕩方法，且因此可以增大激光處理工序的生產(chǎn)率。

技術(shù)研發(fā)人員：樸憲旭;蘇二彬;趙珉煐;池昊眞
受保護(hù)的技術(shù)使用者：AP系統(tǒng)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.26
技術(shù)公布日：2017.11.03