本發(fā)明涉及一種激光處理設(shè)備(laserprocessingapparatus)以及使用所述激光處理設(shè)備的激光處理方法(laserprocessingmethod)，尤其涉及一種使得能夠容易地控制多個激光源的激光處理設(shè)備以及使用所述激光處理設(shè)備的激光處理方法。

背景技術(shù)：

正積極地進(jìn)行研究以開發(fā)作為下一代顯示器的柔性顯示器(flexibledisplay)，其薄而輕，并且可彎曲或可折疊但耐沖擊。實(shí)際上已開發(fā)出一些柔性顯示器，但其需要進(jìn)一步改善。

硅晶體管將玻璃襯底或藍(lán)寶石襯底用作基底材料襯底。歸因于硅晶體管的低柔性以及基底材料襯底的限制而難以將硅晶體管應(yīng)用于柔性顯示器。因此，正進(jìn)行研究以開發(fā)通過使用薄玻璃板作為襯底、使用金屬板作為襯底或使用塑料襯底來制造柔性半導(dǎo)體裝置的方法。

作為實(shí)施柔性顯示器的實(shí)例，tft電路以及為發(fā)光裝置的oled形成于薄膜上的特定結(jié)構(gòu)中。此處，因?yàn)楸∧げ蝗菀滋幹?，因此tft成型工藝是在薄膜附接到載體玻璃的情況下執(zhí)行的。

因此，在薄膜上形成tft之后需要從載體玻璃分離薄膜的過程，且此過程是使用激光剝離(laser-lift-off，llo)方法執(zhí)行。也就是說，可以通過將激光照射到載體玻璃與薄膜之間的粘合劑來將能量施加到所述粘合劑以降低粘合強(qiáng)度，且接著可以從載體玻璃分離并且移除薄膜。

在激光剝離過程中，在工作臺速度與激光的振蕩頻率同步時，在將工作臺移動多達(dá)激光束寬度的同時照射激光束，其中工作臺速度是由激光束寬度以及激光頻率確定。

根據(jù)當(dāng)前的商品化激光剝離過程，在使用多個激光源時，誘發(fā)多個激光源以恒定頻率同時振蕩以便進(jìn)行所述過程。

然而，因?yàn)槎鄠€激光振蕩器同時驅(qū)動，因此激光振蕩器的維護(hù)周期以及消耗性組件的替換周期短。此外，因?yàn)椴豢赡茉谛枰S護(hù)單個激光振蕩器時個別地驅(qū)動以及維護(hù)激光振蕩器，因此降低激光剝離過程的效率以及生產(chǎn)率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種能夠容易地檢測多個激光源的振蕩狀態(tài)的激光處理設(shè)備以及使用所述激光處理設(shè)備的激光處理方法。

本發(fā)明提供一種能夠個別地使用多個激光源的激光處理設(shè)備以及使用所述激光處理設(shè)備的激光處理方法。

本發(fā)明提供一種能夠通過降低設(shè)備的維護(hù)次數(shù)而改善激光處理過程的效率和生產(chǎn)率的激光處理設(shè)備以及使用所述激光處理設(shè)備的激光處理方法。

根據(jù)示范性實(shí)施例，一種激光處理設(shè)備包含：激光產(chǎn)生單元，其經(jīng)配置以產(chǎn)生照射到用于處理的目標(biāo)的激光束的振蕩信號，且使多個激光束振蕩；激光處理單元，其安置于由所述激光產(chǎn)生單元振蕩的所述激光束的傳播路徑上，且經(jīng)配置以處理所述激光束；以及激光觀測單元，其在所述傳播路徑上連接到所述激光產(chǎn)生單元和所述激光處理單元中的至少一個以檢測所述激光束的振蕩且通過處理以及分析檢測到的數(shù)據(jù)而確定所述激光產(chǎn)生單元的操作狀態(tài)。

所述激光觀測單元可以包含：檢測部件，其連接到所述激光產(chǎn)生單元和所述激光處理單元中的至少一個，且經(jīng)配置以測量所述激光束的振蕩頻率以及脈沖數(shù)據(jù)；轉(zhuǎn)換部件，其經(jīng)配置以將從所述檢測部件接收的所述激光束的模擬數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)；以及確定部件，其經(jīng)配置以通過分析由所述轉(zhuǎn)換部件轉(zhuǎn)換的數(shù)字信號而確定所述振蕩信號是否異常。

所述激光觀測單元可以包含控制部件，所述控制部件經(jīng)配置以根據(jù)確定所述振蕩信號是否異常的結(jié)果而控制所述振蕩信號，所述結(jié)果已從所述確定部件接收。

所述檢測部件可以設(shè)置于以下位置中的至少一個：在所述激光束的傳播方向上位于所述激光產(chǎn)生單元前部的位置、用于將所述激光束朝向所述用于處理的目標(biāo)反射的位置，和用于控制所述激光束的長度的位置。

所述激光產(chǎn)生單元可以包含：激光控制部件，其經(jīng)配置以產(chǎn)生所述多個激光束中的每一個的所述振蕩信號；以及激光產(chǎn)生部件，其連接到所述激光控制部件以根據(jù)所產(chǎn)生的振蕩信號而使每一激光束振蕩。

所述激光處理設(shè)備可以進(jìn)一步包含調(diào)整單元，所述調(diào)整單元經(jīng)配置以根據(jù)上面放置所述用于處理的目標(biāo)的工作臺的位置而針對所述用于處理的目標(biāo)的每一處理區(qū)域調(diào)整所述激光束的振蕩模式以及所述工作臺的操作狀態(tài)。

所述調(diào)整單元可以包含：位置檢測部件，其經(jīng)配置以測量所述工作臺的所述位置；調(diào)整部件，其連接到所述位置檢測部件以及所述激光產(chǎn)生單元以根據(jù)所述工作臺的測量位置而調(diào)整所述激光束的所述振蕩模式以及所述工作臺的移動速度；以及運(yùn)動控制部件，其連接到所述調(diào)整部件以根據(jù)所述激光束的經(jīng)調(diào)整振蕩模式而控制所述工作臺的所述移動速度。

根據(jù)另一示例性實(shí)施例，一種激光處理方法包含：根據(jù)用于處理的目標(biāo)的處理?xiàng)l件而設(shè)定用于控制多個激光束的振蕩的多個振蕩條件；通過將所述所設(shè)定振蕩條件傳遞到用于使所述多個激光束振蕩的激光產(chǎn)生部件而使所述多個激光束振蕩；檢測振蕩的所述多個激光束；以及通過使用檢測到的激光束數(shù)據(jù)而確定所述激光產(chǎn)生部件的激光束振蕩狀態(tài)。

所述設(shè)定所述多個振蕩條件可以包含設(shè)定振蕩模式，以使得所述多個激光束被同時驅(qū)動或交替地驅(qū)動。

所述確定所述激光束振蕩狀態(tài)可以包含：比較所述檢測到的激光束數(shù)據(jù)與所述所設(shè)定振蕩條件的數(shù)據(jù)；以及在所述檢測到的激光束數(shù)據(jù)的值不同于所述所設(shè)定振蕩條件的所述數(shù)據(jù)時，確定所述激光產(chǎn)生部件需要校正。

在所述檢測所述多個激光束期間，可以獲得所述多個激光束的振蕩頻率以及脈沖數(shù)據(jù)。

所述激光處理方法可以包含：停止在所述多個激光束之間需要校正的激光束的振蕩；以及在校正所述振蕩停止激光束期間減小所述用于處理的目標(biāo)的處理速度，在確定所述激光產(chǎn)生部件需要校正之后，此時所述振蕩模式為交替驅(qū)動。

所述激光處理方法可以包含：停止在所述多個激光束之間需要校正的激光束的振蕩；以及在校正所述振蕩停止激光束期間增大除所述振蕩停止激光束以外的所述激光束的能量，在確定所述激光產(chǎn)生部件需要校正之后，此時所述振蕩模式為同時驅(qū)動。

所述激光處理方法可以包含：檢測上面放置所述用于處理的目標(biāo)的工作臺的位置；以及在所述工作臺的所述檢測到的位置為所述用于處理的目標(biāo)的第一區(qū)域開始的位置時，減小所述工作臺的移動速度，同時使所述多個激光束同時地驅(qū)動，此時，在所述設(shè)定所述多個振蕩條件期間，所述用于處理的目標(biāo)劃分成包含在所述多個激光束的振蕩方向上的邊緣的所述第一區(qū)域以及不包含所述邊緣的第二區(qū)域，且所述第一區(qū)域需要以高于所述第二區(qū)域的激光束能量的激光束能量進(jìn)行處理。

所述激光處理方法可以包含：檢測上面放置所述用于處理的目標(biāo)的工作臺的位置；以及在所述工作臺的所述檢測到的位置為所述用于處理的目標(biāo)的第二區(qū)域開始的位置時，增大所述工作臺的移動速度，同時交替地驅(qū)動所述多個激光束，此時，在所述設(shè)定所述多個振蕩條件期間，所述用于處理的目標(biāo)劃分成包含在所述多個激光束的振蕩方向上的邊緣的第一區(qū)域以及不包含所述邊緣的所述第二區(qū)域，且所述第一區(qū)域需要以高于所述第二區(qū)域的激光束能量的激光束能量進(jìn)行處理。

根據(jù)又一示范性實(shí)施例，一種激光處理方法包含：檢測上面放置用于處理的目標(biāo)的工作臺的位置；以及根據(jù)所述工作臺的所述檢測到的位置而控制多個激光束的振蕩條件以及所述用于處理的目標(biāo)的處理速度。

所述控制所述多個激光束的所述振蕩條件以及所述用于處理的目標(biāo)的所述處理速度可以包含在所述工作臺的所述檢測到的位置對應(yīng)于所述用于處理的目標(biāo)的邊緣時，同時驅(qū)動所述多個激光束且減小所述用于處理的目標(biāo)的所述處理速度。

所述控制所述多個激光束的所述振蕩條件以及所述用于處理的目標(biāo)的所述處理速度可以包含在所述工作臺的所述檢測到的位置偏離所述用于處理的目標(biāo)的邊緣時，交替地驅(qū)動所述多個激光束且增大所述用于處理的目標(biāo)的所述處理速度。

附圖說明

可以從結(jié)合附圖所作的以下描述中更詳細(xì)地理解示例性實(shí)施例，其中：

圖1為說明根據(jù)一實(shí)施例的激光處理設(shè)備的圖；

圖2為說明圖1的激光產(chǎn)生單元以及激光觀測單元的詳細(xì)配置的圖；

圖3a及圖3b為說明根據(jù)一實(shí)施例的激光的振蕩模式的圖；

圖4為說明根據(jù)一實(shí)施例的包含調(diào)整單元的激光處理設(shè)備的圖；

圖5為說明根據(jù)一實(shí)施例的激光處理方法的流程圖；

圖6為說明根據(jù)一實(shí)施例的基于是否校正激光產(chǎn)生部件的激光處理方法的流程圖；

圖7為說明根據(jù)一實(shí)施例的基于用于處理的目標(biāo)的處理?xiàng)l件的激光處理方法的流程圖；

圖8為說明圖7的實(shí)例的圖。

附圖標(biāo)號說明

1：激光處理設(shè)備；

50：工作臺；

100：激光產(chǎn)生單元；

110：激光控制部件；

130、130a、130b：激光產(chǎn)生部件；

150、150a、150b：光閥部件；

300：激光處理單元；

310：反射鏡；

350：射束切割器；

400：激光觀測單元；

410：檢測部件；

412：第一檢測器；

414：第二檢測器；

416：第三檢測器；

430：轉(zhuǎn)換部件；

450：確定部件；

470：控制部件；

500：調(diào)整單元；

510：位置檢測部件；

530：調(diào)整部件；

550：運(yùn)動控制部件；

a、b、c：區(qū)段；

l、l1、l2：激光束；

s：用于處理的目標(biāo)；

s100～s300、s410～s470：步驟。

具體實(shí)施方式

下文中將參考附圖詳細(xì)描述示范性實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以用不同形式體現(xiàn)，且不應(yīng)被解釋為限于本文中所陳述的實(shí)施例。而是，提供這些實(shí)施例是為了使得本發(fā)明將是透徹并且完整的，且這些實(shí)施例將把本發(fā)明的范圍完整地傳達(dá)給所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員。在附圖中，可能會為了說明的清楚起見而夸示元件的尺寸，且相同參考數(shù)字始終指相同元件。

根據(jù)一實(shí)施例的激光處理設(shè)備旨在容易地檢測且控制照射到被處理的對象的激光的振蕩狀態(tài)，其可以確定用于使多個激光振蕩的振蕩條件是否與實(shí)際振蕩的激光相同。此外，可以根據(jù)激光的振蕩狀態(tài)以及被處理的對象的處理區(qū)域而容易地可互換地使用多個激光的振蕩模式。此處，在一實(shí)施例中，激光處理設(shè)備可以表示用于通過使用激光剝離(llo)方法從襯底分離沉積于襯底上的薄膜的設(shè)備。此外，被處理的對象可以是柔性有機(jī)發(fā)光二極管(flexibleorganiclight-emittingdiode，oled)薄膜沉積于玻璃襯底上的結(jié)構(gòu)。

然而，所述激光處理設(shè)備不限于所述實(shí)施例，且因此可以應(yīng)用于需要用于將激光照射到被處理的對象的各種設(shè)備(例如激光熱處理設(shè)備、激光處理設(shè)備等等)的各種領(lǐng)域中，以確定經(jīng)設(shè)定以使激光振蕩的振蕩條件數(shù)據(jù)是否與實(shí)際振蕩激光的檢測到的數(shù)據(jù)相同并控制激光振蕩。

在下文中，振蕩激光稱為激光束，且術(shù)語“振蕩激光”與術(shù)語“激光束”可以互換地使用，具有相同意義。

將參考圖1到圖4描述根據(jù)一實(shí)施例的激光處理設(shè)備。圖1為說明根據(jù)一實(shí)施例的激光處理設(shè)備的圖。圖2為說明圖1的激光產(chǎn)生單元以及激光觀測單元的詳細(xì)配置的圖。圖3a及圖3b為說明根據(jù)一實(shí)施例的激光的振蕩模式的圖。圖4為說明根據(jù)一實(shí)施例的包含調(diào)整單元的激光處理設(shè)備的圖。

根據(jù)一實(shí)施例的激光處理設(shè)備1用以將激光束l照射到用于處理的目標(biāo)s且檢測并控制激光束l的振蕩狀態(tài)。激光處理設(shè)備1包含：激光產(chǎn)生單元100，其產(chǎn)生照射到用于處理的目標(biāo)s的激光束l的振蕩信號，且根據(jù)所述振蕩信號使多個激光束振蕩；激光處理單元300，其安置于激光束l的傳播路徑上，且處理激光束l；以及激光觀測單元400，其在激光束l的傳播路徑上連接到激光產(chǎn)生單元100和激光處理單元300中的至少一個以確定激光束l是否振蕩，且通過處理以及分析檢測到的數(shù)據(jù)而確定激光產(chǎn)生單元100的操作狀態(tài)。

激光產(chǎn)生單元100為用于產(chǎn)生激光束l的元件，其包含：激光控制部件110，其產(chǎn)生多個激光束l的相應(yīng)振蕩信號；以及激光產(chǎn)生部件130，其連接到激光控制部件110以根據(jù)所產(chǎn)生的振蕩信號而使每一激光束l振蕩。此外，激光產(chǎn)生單元100可以包含安置在激光產(chǎn)生部件130的前部的光閥部件150，光閥部件150的數(shù)目對應(yīng)于激光產(chǎn)生部件130的數(shù)目。

此處，根據(jù)要振蕩的激光的數(shù)目，激光產(chǎn)生單元100可以包含多個激光產(chǎn)生部件130以及分別布置在激光產(chǎn)生部件130的前部的多個光閥部件150。也就是說，因?yàn)樵谝粚?shí)施例中使用兩個激光，因此激光產(chǎn)生部件130可以包含第一激光產(chǎn)生部件130以及第二激光產(chǎn)生部件130。此外，光閥部件150可以包含分別布置在第一激光產(chǎn)生部件130以及第二激光產(chǎn)生部件130的前部的第一光閥部件150以及第二光閥部件150。盡管激光產(chǎn)生部件130與光閥部件150在下文描述為單個部件，但以下描述也適用于多個激光產(chǎn)生部件130以及多個光閥部件150。

激光產(chǎn)生部件130為用于使激光振蕩的裝置，其可以稱為振蕩器。各種已知激光產(chǎn)生器(例如krf準(zhǔn)分子激光產(chǎn)生器、arf準(zhǔn)分子激光產(chǎn)生器，等)可以根據(jù)要使用的激光束的波長而采用為激光產(chǎn)生部件130。此處，可以根據(jù)襯底與包含于用于處理的目標(biāo)s中的薄膜之間的結(jié)合能量而確定激光束l的光源的類型。

光閥部件150安置在激光產(chǎn)生部件130的前部以阻斷激光束l的路徑。也就是說，光閥部件150可以與激光產(chǎn)生部件130的激光束l的傳播方向平行地安置以打開激光束l的路徑，或可以安置在與激光束l的傳播方向相交的方向上以阻斷激光束l的路徑。

激光處理單元300在激光產(chǎn)生單元100的前部安置于激光束l的傳播路徑上，以將激光束l處理成直線形狀(直線束)且處理此直線的能量分布。激光處理單元300包含用于處理激光束l的形狀的透鏡系統(tǒng)(未示出)、用于通過反射激光束l而改變激光束l的傳播路徑的反射鏡310，以及用于控制激光束l的長度的射束切割器(beamcutter)350。為了確定并控制激光束l的振蕩狀態(tài)，激光觀測單元400包含：檢測部件410，其連接到激光產(chǎn)生單元100和激光處理單元300中的至少一個以測量激光束l的振蕩頻率以及脈沖數(shù)據(jù)；轉(zhuǎn)換部件430，其連接到檢測部件410以將從檢測部件410接收的激光束l的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換從數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)；以及確定部件450，且通過分析經(jīng)轉(zhuǎn)換數(shù)字信號而確定激光束l的振蕩信號是否異常。此外，激光觀測單元400包含控制部件470，其根據(jù)確定所述振蕩信號是否異常的結(jié)果而控制激光束l的振蕩信號，所述結(jié)果已從確定部件450接收。

也就是說，激光觀測單元400包含用于測量因激光產(chǎn)生單元100而振蕩的激光束l的傳播路徑上的激光束l的振蕩頻率以及脈沖數(shù)據(jù)、比較所測量振蕩頻率以及脈沖數(shù)據(jù)與從激光控制部件110傳遞到激光產(chǎn)生部件130的振蕩信號數(shù)據(jù)以確定激光束l的振蕩信號是否異常，以及根據(jù)所述確定的結(jié)果而控制激光控制部件110的操作的配置。

檢測部件410安置于激光束l的傳播路徑上以感測激光束l，其可以連接到激光產(chǎn)生單元100和激光觀測單元400中的至少一個。也就是說，檢測部件410可以設(shè)置于以下位置中的至少一個：在激光產(chǎn)生單元100的前部的位置、用于將激光束l反射到用于處理的目標(biāo)s的位置，以及用于控制激光束l在激光束l的傳播路徑上的長度的位置。

此處，檢測部件410可以包含：第一檢測器412，其安置于激光產(chǎn)生單元100的前部；第二檢測器414，其安置于已透射穿過反射鏡310以改變朝向用于處理的目標(biāo)s的激光束l的傳播路徑的激光束l到達(dá)的位置處；以及第三檢測器416，其安置于通過射束切割器350分隔開以控制激光束l的長度的殘余激光束l到達(dá)的位置處。

將第一檢測器412、第二檢測器414以及第三檢測器416安置在上述位置的原因描述如下。在安置第一檢測器412的位置處，激光束l最初被振蕩以照射到用于處理的目標(biāo)s，且因此第一檢測器412可以容易地檢測激光束l。此外，在安置第二檢測器414的位置處，第二檢測器414可以容易地檢測激光束l，即使第二檢測器414不安置于激光束l的傳播路徑上也是如此，歸因于反射鏡310的材料特性因此反射鏡310部分地透射激光束l而非將全部激光束l朝向用于處理的目標(biāo)s反射。最后，在安置第三檢測器416的位置處，第三檢測器416可以容易地檢測激光束l，即使第三檢測器416不安置于激光束l的傳播路徑上也是如此，因?yàn)樯涫懈钇?50用以調(diào)整激光束l的長度，且可以容易地在所述位置處檢測到長度調(diào)整之后分離的殘余激光束l。也就是說，實(shí)施例的檢測部件410安置在可以檢測激光束l而不阻斷激光束l朝向用于處理的目標(biāo)s傳播的位置處。

能夠感測光(例如激光束l)的元件(例如，光電二極管)可以用作檢測部件410。也就是說，用于通過將光自身或包含于光中的信息轉(zhuǎn)換成電信號而檢測光的裝置被用于檢測單元410中，且因此檢測單元410可以實(shí)時地(inrealtime)獲得激光束l的振蕩頻率以及脈沖數(shù)據(jù)。

轉(zhuǎn)換部件430將由檢測部件410檢測到的激光束l的模擬數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式。也就是說，數(shù)字轉(zhuǎn)換器(digitizer)用以將由用于檢測激光的光學(xué)信號檢測器測量的信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，以使得經(jīng)轉(zhuǎn)換信號可以輸入到下文描述的控制部件。

確定單元450顯示從轉(zhuǎn)換部件430傳遞的激光束l的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)，且分析從轉(zhuǎn)換部件430傳遞的激光束l的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)以確定激光束l的振蕩信號是否異常。也就是說，確定單元450比較由檢測部件410檢測到的激光束l的數(shù)據(jù)(下文稱為檢測到的數(shù)據(jù))與從激光控制部件110傳遞到激光產(chǎn)生部件130的振蕩信號的數(shù)據(jù)以使激光產(chǎn)生單元100中的激光束l振蕩(下文稱為設(shè)定數(shù)據(jù))。在檢測到的數(shù)據(jù)與設(shè)定數(shù)據(jù)具有相同值時，確定部件450確定激光束l的振蕩的異常尚未發(fā)生。然而，在檢測到的數(shù)據(jù)與設(shè)定數(shù)據(jù)具有不同值時，確定部件450確定已發(fā)生激光束l的振蕩的異常。如上文所描述，檢測到的數(shù)據(jù)與設(shè)定數(shù)據(jù)可以是激光束l的頻率數(shù)據(jù)與脈沖數(shù)據(jù)。

用以根據(jù)確定部件450的確定結(jié)果控制激光產(chǎn)生單元100的控制部件470根據(jù)確定激光束l的振蕩的異常是否已發(fā)生的結(jié)果而控制激光產(chǎn)生部件130的振蕩操作，所述結(jié)果已從確定部件450接收。也就是說，在從確定部件450接收到的確定結(jié)果指示設(shè)定數(shù)據(jù)不同于測量數(shù)據(jù)時，控制部件470將校正信號傳遞到激光控制部件110，以使得設(shè)定數(shù)據(jù)與測量數(shù)據(jù)可以彼此相等。

激光處理設(shè)備1可以進(jìn)一步包含調(diào)整單元500，所述調(diào)整單元根據(jù)上面放置用于處理的目標(biāo)s的工作臺50的位置而針對用于處理的目標(biāo)s的每一處理區(qū)域調(diào)整激光束l的振蕩模式以及工作臺50的移動速度。

調(diào)整單元500為用于根據(jù)激光束l照射到的用于處理的目標(biāo)s的位置而容易地改變激光束l的處理?xiàng)l件的元件，且包含：位置檢測部件510，其測量工作臺50的位置；調(diào)整部件530，其連接到位置檢測部件510以及激光產(chǎn)生單元100以根據(jù)工作臺50的所測量位置而調(diào)整激光束l的振蕩模式以及工作臺50的操作狀態(tài)；以及運(yùn)動控制部件550，其連接到調(diào)整部件530以根據(jù)激光束l的經(jīng)調(diào)整振蕩模式而控制工作臺50的速度。

位置檢測部件510為用于測量工作臺50的位置(因?yàn)楣ぷ髋_50移動)的元件，其例如可以使用位置編碼器。也就是說，位置檢測部件510實(shí)時地檢測工作臺50的位置，且將工作臺50的位置數(shù)據(jù)傳遞到調(diào)整部件530。更詳細(xì)地，盡管位置檢測部件510收集工作臺50的位置數(shù)據(jù)，但位置檢測部件510可以用來檢測放置在工作臺50上的用于處理的目標(biāo)s的位置。舉例來說，假定工作臺50橫向劃分成第一部分到第十部分，且用于處理的目標(biāo)s放置在工作臺50上并覆蓋第三部分到第七部分。因此，位置檢測部件510可以認(rèn)識到用于處理的目標(biāo)s不存在于第一部分和第二部分上，但存在于第三部分以及后續(xù)部分上。也就是說，為了根據(jù)工作臺50的位置而檢測用于處理的目標(biāo)s的位置，預(yù)先設(shè)定工作臺50與用于處理的目標(biāo)s之間的位置關(guān)系，以使得可以根據(jù)所述位置關(guān)系而檢測用于處理的目標(biāo)s的位置。

調(diào)整部件530用以根據(jù)從位置檢測部件510接收的工作臺50的位置而改變激光束l的振蕩模式或控制工作臺50的移動，其將用于改變激光束l的振蕩模式的控制信號與用于改變工作臺50的移動速度的控制信號分別傳遞到激光控制部件110與運(yùn)動控制部件550。

運(yùn)動控制部件550從調(diào)整部件530接收用于改變工作臺50的移動速度的控制信號，且根據(jù)接收到的信號而提供用于移動工作臺50的功率。

如上文所描述而配置的激光處理設(shè)備1實(shí)時地比較具有用于使激光束l振蕩的振蕩信號的設(shè)定數(shù)據(jù)與在根據(jù)所設(shè)定的振蕩信號使激光束l振蕩(在通過使用多個激光束l處理用于處理的目標(biāo)s期間)之后測量的激光束l的測量數(shù)據(jù)。因此，可以容易地確定激光束l的振蕩狀態(tài)的異常是否已發(fā)生。

此外，可以基于工作臺50的位置而容易地檢測用于處理的目標(biāo)s的位置，且可以針對用于處理的目標(biāo)s的每一檢測到的位置而調(diào)整激光束l的振蕩模式以及工作臺50的移動速度。因此，不同工藝條件可以容易地應(yīng)用在用于處理的目標(biāo)s的每一位置，且因此可以增大處理效率以及生產(chǎn)率。

將參考圖5到8描述根據(jù)一實(shí)施例的激光處理方法。圖5為說明根據(jù)一實(shí)施例的激光處理方法的流程圖。圖6為說明根據(jù)一實(shí)施例的基于是否校正激光產(chǎn)生部件的激光處理方法的流程圖。圖7為說明根據(jù)一實(shí)施例的基于用于處理的目標(biāo)的處理?xiàng)l件的激光處理方法的流程圖。圖8為說明圖7的實(shí)例的圖。

根據(jù)一實(shí)施例的激光處理方法包含：根據(jù)用于處理的目標(biāo)s的處理?xiàng)l件而設(shè)定用于控制多個激光束的振蕩的多個振蕩條件；通過將所述所設(shè)定振蕩條件傳遞到用于使所述多個激光束l振蕩的激光產(chǎn)生部件130而使所述多個激光束振蕩；檢測振蕩的所述多個激光束l；以及通過使用檢測到的激光束數(shù)據(jù)而確定所述激光產(chǎn)生部件130的激光束振蕩狀態(tài)。

首先，檢查將以激光束l處理的用于處理的目標(biāo)s的處理?xiàng)l件，且根據(jù)用于處理的目標(biāo)s的處理?xiàng)l件而設(shè)定激光束l的振蕩條件(s110)。用于處理的目標(biāo)s的處理?xiàng)l件可以包含材料以及與要分離的薄膜的結(jié)合能量。此外，用于處理的目標(biāo)s的處理?xiàng)l件可以包含在通過使用激光束l處理時可能受激光束l的能量影響的任何條件。另外，多個激光束l的振蕩條件可以設(shè)定為同時驅(qū)動或交替驅(qū)動，以使得多個激光束l同時振蕩或交替地振蕩。此處，在需要高能激光束照射到用于處理的目標(biāo)s時，可以設(shè)定多個激光束l的同時驅(qū)動，且在需要比同時驅(qū)動低的能量的激光束照射到用于處理的目標(biāo)s時，可以設(shè)定交替驅(qū)動。

在根據(jù)用于處理的目標(biāo)s的處理?xiàng)l件而設(shè)定激光束振蕩條件時，激光束l根據(jù)所設(shè)定的激光束振蕩條件(下文稱為所設(shè)定振蕩條件)而振蕩(s120)。也就是說，在所設(shè)定振蕩條件指示多個激光束(激光束l1與激光束l2)的同時驅(qū)動振蕩模式(如圖3a中所示)時，激光控制部件110將振蕩信號傳遞到每一激光產(chǎn)生部件130，以使得激光產(chǎn)生部件130使激光束l1與激光束l2同時振蕩。或者，在所設(shè)定振蕩條件指示多個激光束(激光束l1與激光束l2)的交替驅(qū)動振蕩模式(如圖3b中所示)時，激光控制部件110將振蕩信號傳遞到每一激光產(chǎn)生部件130，以使得激光產(chǎn)生部件130使激光束l1與激光束l2在不同時間振蕩。

此處，在用于處理的目標(biāo)s劃分成包含在激光束l的振蕩方向上的邊緣的第一區(qū)域以及不包含所述邊緣的第二區(qū)域且需要以比第二區(qū)域的激光束能量高的激光束能量處理第一區(qū)域的情況下，設(shè)定多個激光束(激光束l1以及激光束l2)的振蕩條件可以包含檢測上面放置用于處理的目標(biāo)s的工作臺50的位置以及在工作臺50的檢測到的位置為第一區(qū)域的開始位置時減小工作臺50的移動速度，同時使多個激光束(激光束l1與激光束l2)同時地驅(qū)動。

此外，在工作臺50的檢測到的位置為第二區(qū)域的開始位置時，可以增大工作臺50的移動速度，同時交替地驅(qū)動多個激光束(激光束l1與激光束l2)，以進(jìn)行激光束l的照射。

在激光束l響應(yīng)于激光控制部件110的振蕩信號而振蕩時，檢測振蕩的激光束l(s130)。此處，可以通過使用提供到檢測部件410的檢測器來測量激光束l的振蕩頻率以及脈沖數(shù)據(jù)而檢測激光束l。

如上文所描述，可以通過檢測激光束l而確定激光束l的振蕩狀態(tài)。通過檢測激光束l而確定激光束l的振蕩狀態(tài)包含比較檢測到的激光束數(shù)據(jù)與所設(shè)定振蕩條件的數(shù)據(jù)(s140)，以及在檢測到的激光束數(shù)據(jù)的值不同于所設(shè)定振蕩條件的數(shù)據(jù)時，確定需要校正激光產(chǎn)生部件130。

也就是說，確定檢測到的激光束數(shù)據(jù)是否匹配所設(shè)定振蕩條件的數(shù)據(jù)(s150)，且在檢測到的激光束數(shù)據(jù)等于所設(shè)定振蕩條件的數(shù)據(jù)時，確定激光束l的振蕩狀態(tài)令人滿意(s160)。然而，在檢測到的激光束數(shù)據(jù)不等于所設(shè)定振蕩條件的數(shù)據(jù)時，確定需要校正激光束l的振蕩狀態(tài)(s200)。

如上文所描述，根據(jù)用于處理的目標(biāo)s的處理?xiàng)l件設(shè)定激光振蕩條件(s110)、根據(jù)所設(shè)定振蕩條件使激光束l振蕩(s120)、檢測振蕩的激光束l(s130)以及比較檢測到的激光束數(shù)據(jù)與所設(shè)定振蕩條件的數(shù)據(jù)(s140，s150)包含于觀測激光振蕩狀態(tài)(s100)中。

在觀測到激光振蕩狀態(tài)(s100)之后，在確定需要校正用于產(chǎn)生激光束l的激光產(chǎn)生部件130(s200)時，控制部件470檢查激光束l的振蕩模式(s210)，且應(yīng)用根據(jù)振蕩模式調(diào)整用于處理的目標(biāo)s的處理速度或激光束l的能量的方法。

在確定需要校正激光產(chǎn)生部件130(s200)且激光束l的振蕩模式為同時驅(qū)動的情況下，在所述確定之后執(zhí)行停止在多個激光束(激光束l1與激光束l2)之間需要校正的激光束l的振蕩(s220b)，且在校正振蕩停止激光束l期間增大除振蕩停止激光束l以外的激光束的能量(s230b)。

也就是說，停止在多個激光束(激光束l1與激光束l2)之間需要校正的激光束l的振蕩(s220b)，且控制部件470將控制信號傳遞到激光控制部件110，以使得不需要校正的激光束l以較高能量振蕩，以便補(bǔ)償應(yīng)由需要校正的激光束l遞送到用于處理的目標(biāo)s的激光束能量。

相反，在確定激光產(chǎn)生部件130需要校正(s200)且激光束l的振蕩模式為交替驅(qū)動的情況下，在所述確定之后執(zhí)行停止在多個激光束(激光束l1與激光束l2)之間需要校正的激光束l的振蕩(s220a)，且在校正振蕩停止激光束l期間減小用于處理的目標(biāo)s的處理速度(s230a)。此處，用于處理的目標(biāo)s的處理速度可以設(shè)定為通過以下方程式1計算的值。

[方程式1]

v＝v0(n-x)/n

(其中v表示用于處理的目標(biāo)的所計算的處理速度，v0表示用于處理的目標(biāo)的當(dāng)前處理速度，n表示所使用的激光產(chǎn)生部件的數(shù)目，x表示需要校正的激光產(chǎn)生部件的數(shù)目)

在完成激光產(chǎn)生部件130的校正，且因此需要校正的激光產(chǎn)生部件被歸一化(s240)時，啟動經(jīng)校正激光產(chǎn)生部件130的操作，以啟動需要校正的激光束l的振蕩(s250)。此外，在校正期間調(diào)整的激光束能量或用于處理的目標(biāo)s的處理速度可以在校正之前恢復(fù)為先前值(s260a，s260b)，以完成激光束l的照射(s300)。

同時，根據(jù)另一實(shí)施例的激光處理方法為用于根據(jù)襯底的位置應(yīng)用不同處理?xiàng)l件的方法，其包含：檢測上面放置用于處理的目標(biāo)s的工作臺50的位置；以及根據(jù)工作臺50的檢測到的位置而控制多個激光束(激光束l1和激光束l2)的振蕩條件以及用于處理的目標(biāo)s的處理速度。

在控制多個激光束(激光束l1和激光束l2)的振蕩條件以及用于處理的目標(biāo)s的處理速度期間，在工作臺50的檢測到的位置對應(yīng)于用于處理的目標(biāo)s的邊緣時，多個激光束(激光束l1與激光束l2)可以同時驅(qū)動，且可以減小用于處理的目標(biāo)s的處理速度。

然而，在控制多個激光束(激光束l1和激光束l2)的振蕩條件以及用于處理的目標(biāo)s的處理速度期間，在工作臺50的檢測到的位置偏離用于處理的目標(biāo)s的邊緣時，多個激光束(激光束l1與激光束l2)可以交替地驅(qū)動，且可以增大用于處理的目標(biāo)s的處理速度。

也就是說，在啟動激光束l的照射(s410)時，工作臺50開始以第一速度移動(s420)。此處，參考圖8，工作臺50的位置可以劃分成三個區(qū)段，也就是說，區(qū)段a、區(qū)段b以及區(qū)段c，其中在區(qū)段a中，用于處理的目標(biāo)s不存在于工作臺50上。區(qū)段b表示用于處理的目標(biāo)s存在于工作臺50上的區(qū)段，且包含用于處理的目標(biāo)s在工作臺50的移動方向上的邊緣。區(qū)段c表示用于處理的目標(biāo)s的不包含邊緣的區(qū)域存在于工作臺50上的區(qū)段。此處，區(qū)段b包含玻璃與用于處理的目標(biāo)s的薄膜之間的結(jié)合強(qiáng)度高于其它區(qū)域的結(jié)合強(qiáng)度的接合區(qū)域。

在位置檢測部件510通過檢測工作臺50的位置而認(rèn)識到工作臺50進(jìn)入用于處理的目標(biāo)s的接合區(qū)域(s430)時，調(diào)整部件530將用于將多個激光束(激光束l1與激光束l2)的振蕩模式改變?yōu)橥瑫r驅(qū)動振蕩模式的信號傳遞到激光控制部件110，以將能量比當(dāng)前激光束l的能量高的激光束l照射到接合區(qū)域，并且還將用于緩慢移動工作臺50的信號傳遞到運(yùn)動控制部件550，以使得激光束l充分地照射到接合區(qū)域。因此，激光控制部件110可以通過控制多個激光束(激光束l1與激光束l2)以使得多個激光束(激光束l1與激光束l2)以相同振蕩頻率和相同脈沖同時振蕩而增大照射到用于處理的目標(biāo)s的激光束l的能量。此外，運(yùn)動控制部件550可以通過減緩工作臺50的移動而允許激光束l充分地照射到用于處理的目標(biāo)s(s440)。

同時，在位置檢測部件510通過檢測工作臺50的位置而認(rèn)識到工作臺50退出用于處理的目標(biāo)s的接合區(qū)域(s450)時，調(diào)整部件530將用于將多個激光束(激光束l1與激光束l2)的振蕩模式改變?yōu)榻惶骝?qū)動振蕩模式的信號傳遞到激光控制部件110，以將能量比當(dāng)前激光束l的能量低的激光束l照射到接合區(qū)域，且增大工作臺50的移動速度(s460)，以完成激光束l的照射(s470)。

也就是說，可互換地使用激光束l的振蕩模式以通過增大對于用于處理的目標(biāo)s的邊緣部分的激光束l的照射密度而容易地移除接合且快速進(jìn)行對于除邊緣部分以外的部分的處理。

根據(jù)實(shí)施例，可以在用于處理的目標(biāo)的激光處理過程期間容易地檢測且控制多個激光源的振蕩狀態(tài)。也就是說，可以通過比較振蕩激光的檢測到的數(shù)據(jù)與根據(jù)用于處理的目標(biāo)的處理?xiàng)l件而設(shè)定的激光振蕩條件數(shù)據(jù)來確定激光振蕩狀態(tài)是否異常。此外，可以容易地控制多個激光中的每一個的振蕩，且因此可以根據(jù)用于處理的目標(biāo)的處理區(qū)域以及激光產(chǎn)生部件是否異常而容易地可互換地使用使多個激光同時振蕩的方法與使多個激光交替地振蕩的方法。

因此，可以立即檢測到且校正激光振蕩中的問題，且可以視需要改變用于多個激光的振蕩方法，且因此可以增大激光處理過程的生產(chǎn)率。

另外，激光產(chǎn)生部件的使用時間可能會減小，因?yàn)橐曅枰x擇性地使用多個激光，且因此可以防止增大激光產(chǎn)生部件的維護(hù)次數(shù)。

雖然已參考特定實(shí)施例描述激光處理設(shè)備以及使用所述激光處理設(shè)備的激光處理方法，但它們并不限于此。因此，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易地理解，可對其進(jìn)行各種修改和改變而不脫離由所附權(quán)利要求書限定的本發(fā)明的精神和范圍。