1.一種對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，包括測(cè)試步驟和補(bǔ)償步驟；
所述測(cè)試步驟，包括如下步驟：
平臺(tái)在第一方向移動(dòng)時(shí)，多次測(cè)量行程為m1、行程為n1和行程為m1與n1之間的數(shù)值時(shí)的實(shí)測(cè)誤差；
計(jì)算在行程為m1、行程為n1和行程為m1與n1之間的數(shù)值時(shí)的實(shí)測(cè)誤差的平均值△X；計(jì)算在行程為m1時(shí)的實(shí)測(cè)誤差的平均值△Xn；計(jì)算在行程為n1時(shí)的實(shí)測(cè)誤差的平均值△Xm；
平臺(tái)在第二方向移動(dòng)時(shí)，多次測(cè)量行程為m2、行程為n2和行程為m2與n2之間的數(shù)值時(shí)的實(shí)測(cè)誤差；以及
計(jì)算在行程為m2、行程為n2和行程為m2與n2之間的數(shù)值時(shí)的實(shí)測(cè)誤差的平均值△Y；計(jì)算在行程為m2時(shí)的實(shí)測(cè)誤差的平均值△Yn；計(jì)算在行程為n2時(shí)的實(shí)測(cè)誤差的平均值△Ym；
所述補(bǔ)償步驟，包括如下步驟：
將平臺(tái)的移動(dòng)分解為沿所述第一方向的移動(dòng)和沿所述第二方向的移動(dòng)；
若平臺(tái)沿所述第一方向的正向移動(dòng)預(yù)設(shè)行程X1，則補(bǔ)償行程x1’，其中x1’＝(△Xm-△Xn)/(n1-m1)*X1；
若平臺(tái)沿所述第一方向的反向移動(dòng)預(yù)設(shè)行程X2，則補(bǔ)償行程x2’，其中x2’＝(△Xm-△Xn)/(n1-m1)*X2+△X；
若平臺(tái)沿所述第二方向的正向移動(dòng)預(yù)設(shè)行程Y1，則補(bǔ)償行程y1’，其中y1’＝(△Ym-△Yn)/(n1-m1)*Y1；
若平臺(tái)沿所述第二方向的反向移動(dòng)預(yù)設(shè)行程Y2，則補(bǔ)償行程y2’，其中y2’＝(△Ym-△Yn)/(n1-m1)*Y2+△Y。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，所述行程為m1與n1之間的數(shù)值的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)；所述行程為m2與n2之間的數(shù)值的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，所述行程為m1與n1之間的數(shù)值為(n1+m1)/2；所述行程為m2與n2之間的數(shù)值為(n2+m2)/2。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，在所述平臺(tái)在第一方向移動(dòng)時(shí)，多次測(cè)量行程為m1、行程為n1和行程為m1與n1之間的數(shù)值時(shí)的實(shí)測(cè)誤差的步驟中，通過圖像控制器測(cè)量實(shí)測(cè)誤差。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，在所述平臺(tái)在第二方向移動(dòng)時(shí)，多次測(cè)量行程為m2、行程為n2和行程為m2與n2之間的數(shù)值時(shí)的實(shí)測(cè)誤差的步驟中，通過圖像控制器測(cè)量實(shí)測(cè)誤差。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，帶動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)的部件為沿所述第一方向設(shè)置的螺桿和沿所述第二方向設(shè)置的螺桿。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，若平臺(tái)第一方向的螺桿導(dǎo)程為2a，則m1為0.5a，n1為1.5a，m1與n1之間的數(shù)值為a；a為正數(shù)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，若平臺(tái)第二方向的螺桿導(dǎo)程為2b，則m2為0.5b，n2為1.5b，m2與n2之間的數(shù)值為b；b為正數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，在所述測(cè)試步驟中，每個(gè)行程的實(shí)測(cè)誤差的測(cè)量次數(shù)為10至30次。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的對(duì)位平臺(tái)的誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，若平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，則將平臺(tái)的移動(dòng)分解為兩個(gè)沿所述第一方向的移動(dòng)和一個(gè)沿所述第二方向的移動(dòng)，分別補(bǔ)償行程。