技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種激光薄膜刻蝕裝置，裝置包括：用于發(fā)射超快激光的激光器；對激光進(jìn)行擴(kuò)束的擴(kuò)束裝置；用于控制光束透過的光闌；驅(qū)動激光掃描的振鏡，場鏡以及工控機(jī)；其中，在所述工控機(jī)的控制下，所述激光器發(fā)射激光，激光依次經(jīng)過所述擴(kuò)束裝置，振鏡以及場鏡作用位于加工平臺上的表面設(shè)有薄膜的工件上，進(jìn)行薄膜刻蝕。本實(shí)用新型的激光薄膜刻蝕裝置，采用真空裝置將工件在真空下加工，防止沉渣對后續(xù)性能的影響，同時(shí)將激光輸出為脈沖串模式，防止普通激光高斯分布導(dǎo)致邊緣質(zhì)量差的問題，并且選擇合適波長的激光，在實(shí)現(xiàn)快速刻蝕的要求下，保護(hù)基底不受損傷。

技術(shù)研發(fā)人員：楊煥;張杰;馬明鴻;秦國雙
受保護(hù)的技術(shù)使用者：英諾激光科技股份有限公司
文檔號碼：201621100072
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.30
技術(shù)公布日：2017.08.22