技術總結
本發(fā)明公開了一種基于道威棱鏡的激光打小孔裝置，包括設置在被加工件工作面上方的激光器以及光斑能量分布調整裝置，光斑能量分布調整裝置位于激光器與被加工件之間，光斑能量分布調整裝置包括空心軸電機、道威棱鏡以及棱鏡座，道威棱鏡通過棱鏡座固定在空心軸電機內，空心軸電機軸心與射入激光同軸，使入射光斑位于道威棱鏡軸心，道威棱鏡可在空心軸電機的驅動下高速旋轉，使入射光斑沿軸心旋轉后出射到被加工件工作面。本發(fā)明其打孔精度高、不過分依賴光斑質量，可加工孔徑為0.1～2微米的微小孔。本發(fā)明同時公開了一種使用基于道威棱鏡的激光打小孔裝置的激光打孔方法。

技術研發(fā)人員：曹國華;丁紅昌;田春林;陳小杰
受保護的技術使用者：長春理工大學
文檔號碼：201610860615
技術研發(fā)日：2016.09.29
技術公布日：2017.01.11