技術(shù)編號：12552270
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于激光束加工領(lǐng)域，具體涉及一種基于道威棱鏡的激光打小孔裝置及方法，可應(yīng)用于激光大精密小孔及激光切割。背景技術(shù)隨著工業(yè)技術(shù)的高速發(fā)展，激光打孔的應(yīng)用已越來越廣泛，現(xiàn)在對高準(zhǔn)確度微小孔，尤其是孔徑小、深度大、精度高的微小孔的打孔需求越來越高。現(xiàn)有的激光打小孔方式主要包括激光脈沖沖擊打孔、激光脈沖旋轉(zhuǎn)套鉆、逐層環(huán)切掃描打孔等，然而現(xiàn)有方式主要存在對光斑質(zhì)量過于依賴、打孔形狀不均勻、打孔精度低且孔徑一般不能小于2微米等問題。因此，迫切需要一種滿足孔徑小于2微米的微小孔加工需求、不依賴光斑質(zhì)量、能...
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