1.一種縮小基于飛秒激光直寫透明材料光波導(dǎo)出射模場(chǎng)直徑的裝置，其特征在于，包括飛秒激光器(1)、衰減片(2)、光閘(3)、空間光調(diào)制器(4)、第一反射鏡(5)、第一凸透鏡(6)、狹縫(7)、第二反射鏡(8)、第二凸透鏡(9)、分色鏡(10)、顯微物鏡(11)、供透明材料(12)放置的三維平移臺(tái)(13)、電腦(14)、冷光源(15)、第三反射鏡(16)和CCD(17)，所述三維平移臺(tái)(13)和CCD(17)分別與所述電腦(14)相連；
沿所述飛秒激光器(1)發(fā)出的激光脈沖方向依次放置所述的衰減片(2)、光閘(3)和空間光調(diào)制器(4)，經(jīng)空間光調(diào)制器(4)反射的激光脈沖依次經(jīng)所述的第一反射鏡(5)、第一凸透鏡(6)、第二反射鏡(8)和第二凸透鏡(9)射入所述分色鏡(10)，經(jīng)該分色鏡(10)反射后經(jīng)顯微物鏡(11)聚焦于固定在三維平移臺(tái)(13)上的透明材料(12)的內(nèi)部，所述狹縫(7)放置在所述第一凸透鏡(6)的焦平面處，即空間光調(diào)制器(4)反射光斑的傅里葉成像面上；
所述冷光源(15)發(fā)出的光經(jīng)第三反射鏡(16)反射后，照射到透明材料(12)底面，經(jīng)透明材料(12)透射后，入射到所述顯微物鏡(11)，經(jīng)該顯微物鏡(11)聚焦后，入射到所述的分色鏡(10)，經(jīng)該分色鏡(10)透射后，由CCD(17)接收。
2.利用權(quán)利要求1所述的裝置縮小基于飛秒激光直寫透明材料光波導(dǎo)出射模場(chǎng)直徑的方法，其特征在于，該方法包含下列步驟：
①以激光傳輸方向?yàn)閦軸，透明材料(12)的寬邊和長(zhǎng)邊分別為x軸和y軸，設(shè)計(jì)第一相位調(diào)制掩膜，并寫入空間光調(diào)制器(4)，使得飛秒激光在焦斑區(qū)域的xz平面內(nèi)為圓形分布；
②將透明材料(12)固定在三維平移臺(tái)(13)之上，并調(diào)整三維平移臺(tái)(13)，使飛秒激光脈沖聚焦于透明材料(12)內(nèi)部；
③經(jīng)過整形、濾波的飛秒激光脈沖通過顯微物鏡(11)聚焦于透明材料(12)內(nèi)，調(diào)節(jié)衰減片(2)，使在激光焦斑區(qū)域形成一個(gè)在xz平面內(nèi)直徑為D的圓形區(qū)域,該圓形區(qū)域的折射率比透明材料(12)的原折射率高，以此圓形區(qū)域?yàn)槠鹗嘉恢?，通過電腦(14)驅(qū)動(dòng)三維平移臺(tái)(13)沿y方向平動(dòng)距離L，在透明材料(12)內(nèi)部形成一個(gè)長(zhǎng)為L(zhǎng)、截面直徑為D折射率提高的波導(dǎo)區(qū)域，該波導(dǎo)區(qū)域的折射率大于透明材料(12)的原折射率，作為波導(dǎo)的導(dǎo)波區(qū)域；
④翻轉(zhuǎn)透明材料(12)使得波導(dǎo)端面垂直于飛秒激光的傳輸方向，并將其固定在三維平移臺(tái)(13)之上；
⑤設(shè)計(jì)第二相位調(diào)制掩膜，并寫入空間光調(diào)制器(4)，調(diào)節(jié)衰減片(2)，使得飛秒激光在焦斑區(qū)域的xy平面內(nèi)為環(huán)形光束，且焦斑處的脈沖強(qiáng)度能夠破壞透明材料；
⑥調(diào)整三維平移臺(tái)(13)，使飛秒激光脈沖聚焦于透明材料(12)內(nèi)部，焦點(diǎn)距離上表面距離為L(zhǎng)'，通過電腦(14)驅(qū)動(dòng)三維平移臺(tái)(13)沿z方向向上平移距離L'；
⑦將加工后的透明材料(12)泡浸置在一定濃度的氫氧化鉀溶液中進(jìn)行腐蝕，調(diào)節(jié)溶液濃度和腐蝕時(shí)間使得腐蝕后在上表面處形成底面直徑為D高為L(zhǎng)'的圓錐，該圓錐底面與波導(dǎo)出射端重合。