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光加工裝置和光加工物的生產(chǎn)方法與流程

文檔序號:12149726閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及光加工裝置和光加工物的生產(chǎn)方法,其目的在于方便利用以光掃描裝置來使得加工對象物的光掃描位置發(fā)生移動的光加工裝置對較大的加工對象物實施加工處理。本發(fā)明的光加工裝置具有光源(11)、用于掃描光源光的光掃描裝置(21)、以及用于將受到所述光掃描部掃描的光會聚到加工對象物(35)上的聚光部(22),其特征在于,該聚光部(11)搭載于相對于加工對象物(35)移動的移動部(25),而所述光源未搭載于該移動部(25)。

技術(shù)研發(fā)人員:中村涼真;中島智宏
受保護的技術(shù)使用者:株式會社理光
文檔號碼:201610735236
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.25
技術(shù)公布日:2017.03.08

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