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光加工裝置和光加工物的生產(chǎn)方法與流程

文檔序號:12149726閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光加工裝置,其中具備:

光源;

光掃描部,用于掃描所述光源發(fā)射的光;以及,

聚光部,用于將受到所述光掃描部掃描的光會聚到加工對象物上,

其特征在于,所述聚光部搭載于相對于所述加工對象物移動的移動部,而所述光源未搭載于所述移動部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的光加工裝置,其特征在于,所述光掃描部搭載于所述移動部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的光加工裝置,其特征在于,進一步具有輸送部,該輸送部用來輸送所述加工對象物,使得該加工對象物相對于所述移動部相對移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的光加工裝置,其特征在于,

所述移動部在第一方向上移動,

所述輸送部使得所述加工對象物在與第一方向交叉的第二方向上相對移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光加工裝置,其特征在于,

所述移動部僅在平行于第一軸的方向上移動,

所述輸送部使得所述加工對象物僅在平行于第二軸的方向上相對移動,該第二軸垂直于所述第一軸。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的光加工裝置,其特征在于,

進一步具有光束平行化部,該光束平行化部用于對所述光源發(fā)射的光實施平行化處理,

入射所述移動部的光在入射該移動部之前經(jīng)過光束平行化處理,并沿著所述移動部的移動方向,入射所述移動部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項所述的光加工裝置,其特征在于,

所述移動部至少在兩個以上停止位置上停止,

在所述移動部處于停止狀態(tài)下,所述光掃描部掃描所述光源發(fā)射的光。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光加工裝置,其特征在于,所述移動部來回移動,只有當在來回移動之中的一個方向上移動時,才停止在所述停止位置上。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的光加工裝置,其特征在于,所述移動部在使得相鄰的各個停止位置上所述加工對象物上的光的掃描范圍互相重疊的停止位置上停止。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任意一項所述的光加工裝置,其特征在于,所述光掃描部對所述光源發(fā)射的光進行二維掃描。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任意一項所述的光加工裝置,其特征在于,進一步具有調(diào)整部,該調(diào)整部用來調(diào)整所述聚光部的聚光距離。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任意一項所述的光加工裝置,其特征在于,根據(jù)光掃描部掃描的部位,來至少改變所述光源的光的功率、所述光源的光的反復頻率、所述光源的光的照射次數(shù)的其中之一。

13.一種光加工物的生產(chǎn)方法,其利用光加工裝置來加工加工對象物,該光加工裝置具有:光源;光掃描部,用于掃描所述光源發(fā)射的光;以及,聚光部,用于將受到所述光掃描部掃描的光會聚到加工對象物上,

所述生產(chǎn)方法的特征在于,在移動部上未搭載所述光源的狀態(tài)下,將所述聚光部搭載于移動部上相對于所述加工對象物移動,用以對所述加工對象物實施加工。

14.一種光加工裝置,其中具備:

光源;

聚光部,用于將所述光源發(fā)射的光會聚到加工對象物上;

移動部,用于搭載所述聚光部,相對于所述加工對象物在第一方向以及與該第一方向交叉的第二方向上移動;以及,

輸送部,用于輸送所述加工對象物,使得該加工對象物相對于所述移動部,在所述第二方向上相對移動,

其特征在于,所述移動部的移動范圍是沿著所述第二方向?qū)λ黾庸ο笪镏械谋患庸げ窟M行分割后的區(qū)域。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光加工裝置,其特征在于,所述光源未搭載于所述移動部。

16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的光加工裝置,其特征在于,所述輸送部依次輸送所述加工對象物時,使得沿著所述第二方向分割的區(qū)域與所述移動部的移動范圍重疊。

17.根據(jù)權(quán)利要求14至17中任意一項所述的光加工裝置,其特征在于,

進一步具有光束平行化部,用于對所述光源發(fā)射的光實施平行化處理,入射所述移動部的光在入射該移動部之前經(jīng)過光束平行化處理,并沿著所述移動部的移動方向,入射所述移動部。

18.根據(jù)權(quán)利要求14至17中任意一項所述的光加工裝置,其特征在于,進一步具有調(diào)整部,該聚光部用來調(diào)整所述聚光部的聚光距離。

19.根據(jù)權(quán)利要求14至18中任意一項所述的光加工裝置,其特征在于,根據(jù)光掃描部掃描的部位,至少改變所述光源的光的功率、所述光源的光的反復頻率、所述光源的光的照射次數(shù)的其中之一。

20.一種用光加工裝置加工光加工對象物生產(chǎn)光加工物的生產(chǎn)方法,該光加工裝置具備:光源;聚光部,用于將所述光源發(fā)射的光會聚到加工對象物上;移動部,用于搭載所述聚光部,相對于所述加工對象物在第一方向以及與該第一方向交叉的第二方向上移動;以及輸送部,用于輸送所述加工對象物,使得該加工對象物相對于所述移動部,在所述第二方向上相對移動,

所述生產(chǎn)方法的特征在于,所述移動部的移動范圍是沿著所述第二方向?qū)λ黾庸ο笪镏械谋患庸げ窟M行分割后的區(qū)域。

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