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材料加工中的激光聚焦控制方法與流程

文檔序號(hào):12607378閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
一種材料加工中的激光聚焦控制方法,包括:將一衍射光學(xué)元件或一徑向色散光學(xué)元件與聚焦光學(xué)元件組合在一起,所述組合能夠增加材料加工的有效焦深,而不犧牲所要求的焦點(diǎn)光斑尺寸及光束束腰;使激光光束從所述衍射光學(xué)元件入射,經(jīng)所述聚焦光學(xué)元件聚焦后,照射在加工件上,或者使激光光束從所述聚焦光學(xué)元件入射,經(jīng)所述徑向色散光學(xué)元件增加徑向焦距后照射在加工件上;使所述激光光束在所述加工件上形成具有有效焦深的光斑或聚焦面。根據(jù)本發(fā)明的方法可以大大提高諸如脆性材料的加工速度,同時(shí)該方法提出了引進(jìn)空間焦距陣列的方法,更進(jìn)一步提高諸如脆性材料的加工速度。

技術(shù)研發(fā)人員:彭翔;彭娟
受保護(hù)的技術(shù)使用者:彭翔;彭娟
文檔號(hào)碼:201510893588
技術(shù)研發(fā)日:2015.12.08
技術(shù)公布日:2017.06.16

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