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材料加工中的激光聚焦控制方法與流程

文檔序號(hào):12607378閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種材料加工中的激光聚焦控制方法,包括:

將一衍射光學(xué)元件與聚焦光學(xué)元件組合在一起,所述組合能夠增加材料加工的有效焦深,而不犧牲所要求的焦點(diǎn)光斑尺寸及光束束腰;

使激光光束從所述衍射光學(xué)元件入射,經(jīng)所述聚焦光學(xué)元件聚焦后,照射在加工件上;

使所述激光光束在所述加工件上形成具有有效焦深的光斑或聚焦面。

2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述衍射光學(xué)元件為徑向多焦距衍射光學(xué)元件,所述方法包括:

將所述徑向多焦距衍射光學(xué)元件與所述聚焦光學(xué)元件組合在一起;

使激光光束從所述徑向多焦距衍射光學(xué)元件入射,經(jīng)所述聚焦光學(xué)元件聚焦后,照射在加工件上;

使所述激光光束在所述加工件上形成徑向多焦距聚焦光斑。

3.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步將一橫向多焦距衍射光學(xué)元件與所述徑向多焦距衍射光學(xué)元件組合在一起,使所述激光光束在所述加工件上形成橫向與徑向多焦距光斑陣列。

4.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步將一橫向聚焦延長衍射光學(xué)元件與所述徑向多焦距衍射光學(xué)元件組合在一起,使所述激光光束在所述加工件上形成橫向聚焦延長與徑向多焦距光斑陣列。

5.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步將一徑向色散光學(xué)元件與所述徑向多焦距衍射光學(xué)元件組合在一起,使所述激光光束在所述加工件上形成徑向聚焦延長光斑陣列。

6.如權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步將一徑向色散光學(xué)元件與所述徑向多焦距衍射光學(xué)元件和所述橫向聚焦延長衍射光學(xué)元件組合在一起,使所述激光光束在所述加工件上形成橫向聚焦延長與徑向多焦距色散聚焦光斑陣列。

7.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述衍射光學(xué)元件為徑向聚焦延長衍射光學(xué)元件,所述方法包括:

將所述徑向聚焦延長衍射光學(xué)元件與所述聚焦光學(xué)元件組合在一起;

使激光光束從所述徑向聚焦延長衍射光學(xué)元件入射,經(jīng)所述聚焦光學(xué)元件聚焦后,照射在加工件上;

使所述激光光束在所述加工件上形成徑向延長聚焦光斑。

8.如權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步將一橫向多焦距衍射光學(xué)元件與所述徑向聚焦延長衍射光學(xué)元件組合在一起,使所述激光光束在所述加工件上形成徑向聚焦延長與橫向多焦距光斑陣列。

9.如權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步將一橫向聚焦延長衍射光學(xué)元件與所述徑向聚焦延長衍射光學(xué)元件組合在一起,使所述激光光束在所述加工件上形成橫向聚焦延長與徑向聚焦延長聚焦面。

10.如權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步將一徑向色散光學(xué)元件與所述橫向聚焦延長衍射光學(xué)元件和所述徑向聚焦延長衍射光學(xué)元件組合在一起,使所述激光光束在所述加工件上形成橫徑向聚焦延長色散聚焦面。

11.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述衍射光學(xué)元件為橫向多焦距衍射光學(xué)元件,所述方法包括:

將所述橫向多焦距衍射光學(xué)元件與所述聚焦光學(xué)元件組合在一起;

使激光光束從所述橫向多焦距衍射光學(xué)元件入射,經(jīng)所述聚焦光學(xué)元件聚焦后,照射在加工件上;

使所述激光光束在所述加工件上形成橫向多聚焦光斑。

12.如權(quán)利要求11所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步將一徑向多焦距衍射光學(xué)元件和一徑向色散光學(xué)元件與所述橫向多焦距衍射光學(xué)元件組合在一起,使所述激光光束在所述加工件上形成橫向多焦距徑向多焦距色散聚焦陣列。

13.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述衍射光學(xué)元件為橫向聚焦延長衍射光學(xué)元件,所述方法包括:

將所述橫向聚焦延長衍射光學(xué)元件與所述聚焦光學(xué)元件組合在一起;

使激光光束從所述橫向聚焦延長衍射光學(xué)元件入射,經(jīng)所述聚焦光學(xué)元 件聚焦后,照射在加工件上;

使所述激光光束在所述加工件上形成橫向延長聚焦光斑。

14.一種材料加工中的激光聚焦控制方法,包括:

將一徑向色散光學(xué)元件與聚焦光學(xué)元件組合在一起,所述組合能夠增加材料加工的有效焦深,而不犧牲所要求的焦點(diǎn)光斑尺寸及光束束腰;

使激光光束從所述聚焦光學(xué)元件入射,經(jīng)所述徑向色散光學(xué)元件增加徑向焦距后照射在加工件上;

使所述激光光束在所述加工件上形成徑向延長聚焦的色散聚焦光斑。

15.如權(quán)利要求1,7,11和13任一所述的方法,其特征在于,所述方法采用激光成絲技術(shù),在所述加工件上形成一個(gè)激光成絲陣列。

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