本發(fā)明屬于激光加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種提高激光加工能力的輔助裝置及提高方法。

背景技術(shù)：

激光加工是一種被廣泛應(yīng)用的非接觸式的加工方法。通常是將低強(qiáng)度平行激光能量通過(guò)聚焦透鏡聚焦成很小直徑的高強(qiáng)度能量場(chǎng)，作用于工件，將工件加熱，熔化，或者直接升華，從而達(dá)到變形、硬化、焊接、切割、打孔或者打標(biāo)等加工目的。一個(gè)完整的激光加工系統(tǒng)包括激光器、光路傳輸單元、激光加工頭、運(yùn)動(dòng)與控制系統(tǒng)以及其他輔助系統(tǒng)。隨著激光技術(shù)的發(fā)展，激光加工的速度和質(zhì)量不斷地提高，但同時(shí)激光在實(shí)際加工過(guò)程中也遇到了一些問(wèn)題。例如，在激光打孔和微細(xì)加工時(shí)，由于激光能量作用在被加工件表面，使得被加工件的被剝離基體，形成非常細(xì)小的顆粒。細(xì)小的顆粒在激光加工瞬間產(chǎn)生的沖量作用下以一定的速度向上脫離基體，然后在重力作用下又會(huì)落下。當(dāng)孔或槽的深度達(dá)到一定閾值時(shí)，激光沖量產(chǎn)生的初速度不足以使細(xì)小顆?？朔亓ψ饔脪伋隹谆虿?，這些顆粒將堆積在孔或槽中，被接下來(lái)的脈沖激光反復(fù)加工。所以實(shí)際作用在工件基體上的激光能量將大大降低，在這種情況下，激光加工的效率會(huì)大幅下降，進(jìn)而限制了孔和槽的加工深度。

另外，激光加工產(chǎn)生的飛濺物對(duì)聚焦系統(tǒng)的鏡片有很大的破壞作用。目前傳統(tǒng)手段所采用的辦法是在激光光學(xué)單元后增加一個(gè)正壓的保護(hù)氣體(同軸添加保護(hù)氣)，或者是在激光頭側(cè)邊加一 個(gè)側(cè)向正壓的保護(hù)氣體。這兩種方法都有他們自身的問(wèn)題，同軸添加保護(hù)氣的方法是在鏡片下方加了一個(gè)向下吹的氣流，這個(gè)氣流產(chǎn)生的向下的推力跟重力為同一方向，這樣使得激光脈沖能量作用于基體產(chǎn)生的瞬間沖量給顆粒的作用力將小于或等于重力于氣流推力之和，這樣雖然解決了鏡片不被損壞，卻不利于顆粒從孔或槽排出，反而一定程度上降低了加工效率和加工深度。側(cè)向加保護(hù)氣的方法雖然可以起到及時(shí)將顆粒物沿一個(gè)方向排出孔或槽，但是對(duì)微孔、深孔和微槽、深槽等情況時(shí)就顯得力不從心。

因此為了保護(hù)激光光學(xué)單元免受煙塵和飛濺物的損傷，及時(shí)將堆積在孔或槽中的粉塵和納米顆粒最大限度地排出，使得激光能量能一直作用在被加工件的表面，減小因?yàn)榉蹓m堆積在孔或槽內(nèi)不能及時(shí)排出而影響激光打孔的深度和質(zhì)量，有必要提出一種切實(shí)可行、效果明顯的方法和裝置，從而大幅提高激光的打孔或槽的深度、加工效率，突破激光打孔深度的局限。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種設(shè)計(jì)更合理,能提高打孔深度和加工效率且使用壽命長(zhǎng)的提高激光加工能力的輔助裝置。

本發(fā)明的另外一個(gè)目的是針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種方法簡(jiǎn)單且能提高打孔深度和加工效率的提高激光加工能力的輔助裝置。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用了下列技術(shù)方案：本提高激光加工能力的輔助裝置包括具有激光經(jīng)過(guò)通道的輔助加工頭，激光經(jīng)過(guò)通道的一端為激光束入射口，另一端為激光束射出口，在輔助加工頭上設(shè)有位于激光經(jīng)過(guò)通道的激光束入射口端且能夠接收激光束入射的激光光學(xué)單元，當(dāng)激光束經(jīng)過(guò)激光光學(xué)單元后能在工件上加工出至少一個(gè)孔或槽，在輔助加工頭上設(shè)有能實(shí)時(shí)將加 工過(guò)程中滯留在孔或槽內(nèi)的加工廢棄物排出并迫使加工廢棄物遠(yuǎn)離激光光學(xué)單元從而將所述加工廢棄物吸離至激光經(jīng)過(guò)通道外的復(fù)合型排離機(jī)構(gòu)。

在上述的提高激光加工能力的輔助裝置中，所述的復(fù)合型排離機(jī)構(gòu)包括能夠?qū)⑺龅募す饨?jīng)過(guò)通道分隔成正壓腔和負(fù)壓腔的分隔結(jié)構(gòu)，所述的正壓腔位于激光光學(xué)單元和負(fù)壓腔之間且該正壓腔與負(fù)壓腔連通形成復(fù)合型腔，在輔助加工頭上設(shè)有與正壓腔連通的至少一個(gè)正壓保護(hù)氣入口，在輔助加工頭上還設(shè)有與負(fù)壓腔連通的至少一個(gè)負(fù)壓吸離口。

在上述的提高激光加工能力的輔助裝置中，所述的分隔結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在激光經(jīng)過(guò)通道內(nèi)的分隔體，在分隔體的軸向中心設(shè)有能使正壓腔與負(fù)壓腔連通的第一噴口。

在上述的提高激光加工能力的輔助裝置中，所述的分隔體為錐形分隔體，且該分隔體的外徑從正壓腔側(cè)向負(fù)壓腔側(cè)逐漸縮小。錐形分隔體具有分隔和導(dǎo)流的兩作用。

在上述的提高激光加工能力的輔助裝置中，所述的輔助加工頭遠(yuǎn)離激光光學(xué)單元的一端具有外端小內(nèi)端大的第二噴口，第一噴口和第二噴口均呈外端小內(nèi)端大錐形噴口結(jié)構(gòu)，所述第二噴口軸心線與第一噴口軸心線重合且第一噴口小頭端的口徑小于或等于第二噴口小頭端的口徑。

在上述的提高激光加工能力的輔助裝置中，所述的正壓保護(hù)氣入口設(shè)置在輔助加工頭的周向且通過(guò)第一管路與正壓保護(hù)氣供給部件相連；所述的負(fù)壓吸離口數(shù)量至少兩個(gè)且沿輔助加工頭的周向均勻分布，所述的負(fù)壓吸離口通過(guò)第二管路與負(fù)壓發(fā)生部件相連，在第二管路上設(shè)有位于負(fù)壓吸離口和負(fù)壓發(fā)生部件之間的負(fù)壓吸塵部件。負(fù)壓吸塵部件用于過(guò)濾和沉淀從負(fù)壓吸離口中吸取的加工廢棄物，防止加工廢棄物進(jìn)入到負(fù)壓發(fā)生部件中。

在上述的提高激光加工能力的輔助裝置中，所述的輔助加工頭包括具有正壓腔的加工頭上腔體和具有負(fù)壓腔的加工頭下腔體，所述的加工頭上腔體和加工頭下腔體之間通過(guò)第一可拆卸連接結(jié)構(gòu)或焊接方式相連；或者所述的輔助加工頭包括具有復(fù)合型腔且為一體式結(jié)構(gòu)的一體式加工頭基體。

在上述的提高激光加工能力的輔助裝置中，所述的激光光學(xué)單元包括設(shè)置在激光經(jīng)過(guò)通道的激光束入射口端的至少一個(gè)聚焦鏡片，所述的輔助加工頭和聚焦鏡片之間通過(guò)可拆卸連接機(jī)構(gòu)相連?？刹鹦哆B接機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在激光經(jīng)過(guò)通道的激光束入射口端的環(huán)形安裝軸肩，在環(huán)形安裝軸肩上設(shè)有環(huán)形安裝座，所述的聚焦鏡片設(shè)置在環(huán)形安裝座內(nèi)且下端面貼靠在環(huán)形安裝軸肩上。環(huán)形安裝軸肩與環(huán)形安裝座螺紋相連，環(huán)形安裝座與聚焦鏡片螺紋相連?；蛘咚龅沫h(huán)形安裝座上設(shè)有第一法蘭，在環(huán)形安裝座上設(shè)有第二法蘭，所述的第一法蘭和第二法蘭通過(guò)若干螺栓固定在一起。

本提高激光加工能力的輔助裝置包括如下步驟：

A、排出孔或槽內(nèi)的加工廢棄物：正壓腔和負(fù)壓腔通過(guò)第一噴口連通，正壓保護(hù)氣依次經(jīng)過(guò)正壓保護(hù)氣入口、正壓腔、第一噴口、負(fù)壓腔和第二噴口并吹向工件，通過(guò)正壓保護(hù)氣實(shí)時(shí)將加工過(guò)程中滯留在孔或槽內(nèi)的加工廢棄物排出至孔或槽外，且正壓腔內(nèi)的氣壓大于負(fù)壓腔中的氣壓從而防止加工廢棄物進(jìn)入至正壓腔中；正壓腔能夠防止加工過(guò)程中飛濺的加工廢棄物和被排出至孔或槽外的加工廢棄物進(jìn)入至正壓腔中。

B、吸離加工廢棄物：通過(guò)負(fù)壓吸離氣的作用使負(fù)壓腔中的加工廢棄物從負(fù)壓吸離口排出至負(fù)壓腔外。加工廢棄物包括加工過(guò)程中的飛濺加工廢棄物和被排出至孔或槽外的加工廢棄物。

在上述的提高激光加工能力的提高方法中，在上述的A步驟 中，所述的第一噴口為外端小內(nèi)端大的結(jié)構(gòu)，所述的第二噴口為外端小內(nèi)端大的結(jié)構(gòu)，所述的第一噴口軸心線與第二噴口軸心線重合且第一噴口小頭端的口徑小于或等于第二噴口小頭端的口徑。

與現(xiàn)有的技術(shù)相比，本提高激光加工能力的輔助裝置及提高方法的優(yōu)點(diǎn)在于：1、設(shè)計(jì)更合理，能夠有效將孔或者槽中的加工廢棄物排出，提高了打孔或者槽的深度，進(jìn)一步提高了掃描振鏡系統(tǒng)加工孔或者槽的加工能力，同時(shí)，提高了產(chǎn)品加工質(zhì)量和加工效率，無(wú)形中降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。2、能夠有效防止加工廢棄物損傷激光光學(xué)單元，延長(zhǎng)了激光光學(xué)單元的使用壽命，其次，還降低了后續(xù)的維修成本，使用成本降低。3、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且易于制造，實(shí)用性強(qiáng)，易于被推廣應(yīng)用。4、符合當(dāng)前社會(huì)技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明提供的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明提供的噴口第一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明提供的噴口第二種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明提供的實(shí)施例二結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本發(fā)明提供的實(shí)施例三結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，激光光學(xué)單元1、聚焦鏡片11、環(huán)形安裝座12、輔助加工頭2、激光經(jīng)過(guò)通道21、正壓腔22、加工頭上腔體22a、加工頭下腔體22b、負(fù)壓腔23、正壓保護(hù)氣入口24、負(fù)壓吸離口25、第二噴口26、環(huán)形安裝軸肩27、復(fù)合型排離機(jī)構(gòu)3、分隔體31、第一噴口32、第一管路41、正壓保護(hù)氣供給部件42、第二管路43、負(fù)壓發(fā)生部件44、負(fù)壓吸塵部件45、固定支架5、工件a。

具體實(shí)施方式

以下是發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述，但本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例。

實(shí)施例一

如圖1所示，本提高激光加工能力的輔助裝置包括具有激光經(jīng)過(guò)通道21的輔助加工頭2，激光經(jīng)過(guò)通道21的一端為激光束入射口，另一端為激光束射出口，在輔助加工頭2上設(shè)有位于激光經(jīng)過(guò)通道21的激光束入射口端且能夠接收激光束入射的激光光學(xué)單元1，當(dāng)激光束經(jīng)過(guò)激光光學(xué)單元1后能在工件a上加工出至少一個(gè)孔或槽，具體地，本實(shí)施例的激光光學(xué)單元1包括設(shè)置在激光經(jīng)過(guò)通道21的激光束入射口端的至少一個(gè)聚焦鏡片11，所述的輔助加工頭2和聚焦鏡片11之間通過(guò)可拆卸連接機(jī)構(gòu)相連。這里的可拆卸連接機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在激光經(jīng)過(guò)通道的激光束入射口端的環(huán)形安裝軸肩27，在環(huán)形安裝軸肩上設(shè)有環(huán)形安裝座12，所述的聚焦鏡片設(shè)置在環(huán)形安裝座內(nèi)且下端面貼靠在環(huán)形安裝軸肩上。環(huán)形安裝軸肩與環(huán)形安裝座螺紋相連，環(huán)形安裝座與聚焦鏡片螺紋相連?；蛘咚龅沫h(huán)形安裝座上設(shè)有第一法蘭，在環(huán)形安裝座上設(shè)有第二法蘭，所述的第一法蘭和第二法蘭通過(guò)若干螺栓固定在一起。

在輔助加工頭2上設(shè)有能實(shí)時(shí)將加工過(guò)程中滯留在孔或槽內(nèi)的加工廢棄物排出并迫使加工廢棄物遠(yuǎn)離激光光學(xué)單元1從而將所述加工廢棄物吸離至激光經(jīng)過(guò)通道21外的復(fù)合型排離機(jī)構(gòu)3。加工廢棄物包括粉塵、煙塵和納米顆粒等等在內(nèi)的加工廢棄物。由于設(shè)置了復(fù)合型排離機(jī)構(gòu)3，復(fù)合型排離機(jī)構(gòu)3具有：①能夠?qū)粼诳谆虿蹆?nèi)的加工廢棄物排出至孔或槽外；②能防止加工過(guò)程中飛濺的加工廢棄物、以及排出孔或槽外的加工廢棄物向上飛濺從而損傷激光光學(xué)單元12；③能夠?qū)⒓庸U棄物排離至輔助 加工頭2外的三個(gè)作用。

具體地，本實(shí)施例的復(fù)合型排離機(jī)構(gòu)3包括能夠?qū)⑺龅募す饨?jīng)過(guò)通道21分隔成正壓腔22和負(fù)壓腔23的分隔結(jié)構(gòu)，正壓腔22位于激光光學(xué)單元12和負(fù)壓腔23之間且該正壓腔22與負(fù)壓腔23連通形成復(fù)合型腔，這里的正壓腔22呈漏斗狀結(jié)構(gòu)，負(fù)壓腔23呈V形狀結(jié)構(gòu)。優(yōu)化方案，該分隔結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在激光經(jīng)過(guò)通道21內(nèi)的分隔體31，在分隔體31的軸向中心設(shè)有能使正壓腔22與負(fù)壓腔23連通的第一噴口32。其次，分隔體31為錐形分隔體，且該分隔體31的外徑從正壓腔22側(cè)向負(fù)壓腔23側(cè)逐漸縮小。錐形分隔體的外表面為一環(huán)形傾斜導(dǎo)流面，該環(huán)形傾斜導(dǎo)流面能夠提高加工廢棄物排離的順暢性，同時(shí)也大幅提高了排離效率。分隔體31與輔助加工頭2連為一體式結(jié)構(gòu)。

為了能夠提高吸附能力和排離速度，在輔助加工頭2遠(yuǎn)離激光光學(xué)單元12的一端具有外端小內(nèi)端大的第二噴口26，第一噴口32和第二噴口26均呈外端小內(nèi)端大錐形噴口結(jié)構(gòu)，所述第二噴口26軸心線與第一噴口32軸心線重合且第一噴口32小頭端的口徑小于第二噴口26小頭端的口徑。該結(jié)構(gòu)不僅可以防止加工廢棄物進(jìn)入至正壓腔中，同時(shí)，還能夠提高負(fù)壓腔的吸離能力，另外，軸心線重合能夠便于制造和組裝，同時(shí)還能提高吸離效率。還有，第一噴口32和第二噴口26的截面形狀相同，能夠進(jìn)一步提高排離的高效性。第一噴口32和第二噴口26的截面形狀及尺寸大小根據(jù)常用的工件激光加工所需的掃描振鏡掃描范圍的大小形成一個(gè)系列，在實(shí)際的激光加工過(guò)程中就可以選擇合適的截面形狀及尺寸大小，即所述的輔助加工頭2是可以更換的。如圖2-3所示，另外，第一噴口32和第二噴口26的截面形狀包括長(zhǎng)方形、正方形和圓形中的任意一種，同樣還可以是各種不規(guī)則的形狀，而激光束運(yùn)動(dòng)范圍和方向根據(jù)實(shí)際的產(chǎn)品加工要求進(jìn)行設(shè)定。

如圖1所示，在輔助加工頭2上設(shè)有與正壓腔22連通的至少一個(gè)正壓保護(hù)氣入口24，正壓保護(hù)氣入口24設(shè)置在輔助加工頭2的周向且通過(guò)第一管路41與正壓保護(hù)氣供給部件42相連。第一噴口32能夠提高正壓保護(hù)氣入口24從正壓腔22進(jìn)入至負(fù)壓腔23中的氣壓壓強(qiáng)。正壓保護(hù)氣包括氮?dú)夂蜌鍤庵械娜我庖环N。正壓保護(hù)氣進(jìn)入至正壓腔22后在正壓腔22內(nèi)形成一個(gè)正壓P₁。在正壓P₁的作用下使得加工廢棄物向上無(wú)法穿過(guò)第一噴口32。

在輔助加工頭2上還設(shè)有與負(fù)壓腔23連通的至少一個(gè)負(fù)壓吸離口25。本實(shí)施例的負(fù)壓吸離口25數(shù)量至少兩個(gè)且沿輔助加工頭2的周向均勻分布，所述的負(fù)壓吸離口25通過(guò)第二管路43與負(fù)壓發(fā)生部件44相連，在第二管路43上設(shè)有位于負(fù)壓吸離口25和負(fù)壓發(fā)生部件44之間的負(fù)壓吸塵部件45。負(fù)壓發(fā)生部件44啟動(dòng)時(shí)，在負(fù)壓腔23中形成一個(gè)負(fù)壓P₂,工件a在激光加工中產(chǎn)生和被排出至孔或槽外的加工廢棄物在負(fù)壓P₂吸附作用下，加工廢棄物通過(guò)負(fù)壓吸離口25被吸離輔助加工頭2外。另外，通過(guò)調(diào)整負(fù)壓P₂的大小，使得加工廢棄物可以通過(guò)負(fù)壓吸離口25被有效吸離。而負(fù)壓吸塵部件45用于過(guò)濾和沉淀從負(fù)壓吸離口25中吸取的加工廢棄物，防止加工廢棄物進(jìn)入到負(fù)壓發(fā)生部件44中。第一噴口32為錐形結(jié)構(gòu)，在負(fù)壓吸離口25的作用下第一噴口32能夠提高吸附能力。周向均勻分布的負(fù)壓吸離口25能夠保證吸離的高效性。

優(yōu)化方案，為了便于拆裝，本實(shí)施例的輔助加工頭2包括具有正壓腔22的加工頭上腔體22a和具有負(fù)壓腔23的加工頭下腔體22b，所述的加工頭上腔體22a和加工頭下腔體22b之間通過(guò)第一可拆卸連接結(jié)構(gòu)相連。第一可拆卸連接結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在加工頭上腔體22a上的外螺紋，在加工頭下腔體22b上設(shè)有與所述的外螺紋螺紋相連的內(nèi)螺紋。當(dāng)然，這里的外螺紋也可以設(shè)置在加 工頭下腔體22b上，而內(nèi)螺紋則可以設(shè)置在加工頭上腔體22a上?？梢愿鶕?jù)實(shí)際的要求進(jìn)行設(shè)計(jì)制造。第一可拆卸連接結(jié)構(gòu)還包括相互配合的法蘭。

本實(shí)施例的工作原理如下：來(lái)之激光器的入射激光束依次經(jīng)過(guò)激光光學(xué)單元1和輔助加工頭2的激光經(jīng)過(guò)通道21，然后打在工件a上，通過(guò)激光光學(xué)單元1的作用從而在工件a上加工出孔或者槽；

當(dāng)孔或者槽深度不斷加深時(shí)，通過(guò)正壓保護(hù)氣供給部件42啟動(dòng)，通過(guò)過(guò)第一管路41將正壓保護(hù)氣從正壓保護(hù)氣入口24輸入至正壓腔22內(nèi)，在正壓腔22內(nèi)形成一個(gè)正壓P₁，同時(shí)，正壓保護(hù)氣將滯留在孔或者槽內(nèi)的加工廢棄物排出至孔或者槽外，在正壓P₁的作用下使得加工廢棄物向上無(wú)法穿過(guò)第一噴口32；

啟動(dòng)負(fù)壓發(fā)生部件44使負(fù)壓腔23中形成一個(gè)負(fù)壓P₂,工件a在激光加工中產(chǎn)生和被排出至孔或槽外的加工廢棄物在負(fù)壓P₂吸附作用下，加工廢棄物通過(guò)第二管路43和負(fù)壓吸離口25被吸離輔助加工頭2外，為了防止加工廢棄物進(jìn)入到負(fù)壓發(fā)生部件44中和保證生產(chǎn)作業(yè)的環(huán)境，設(shè)置了負(fù)壓吸塵部件45能夠有效防止加工廢棄物進(jìn)入到負(fù)壓發(fā)生部件44中，同時(shí)，通過(guò)周期性的清理負(fù)壓吸塵部件45能夠滿足生產(chǎn)秩序性的要求。

另外，錐形分隔體具有分隔和導(dǎo)流的兩作用。

本提高掃描振鏡系統(tǒng)加工能力的提高方法包括如下步驟：

A、排出孔或槽內(nèi)的加工廢棄物：正壓腔22和負(fù)壓腔23通過(guò)第一噴口32連通，正壓保護(hù)氣依次經(jīng)過(guò)正壓保護(hù)氣入口24、正壓腔22、第一噴口32、負(fù)壓腔23和第二噴口26并吹向工件，通過(guò)正壓保護(hù)氣實(shí)時(shí)將加工過(guò)程中滯留在孔或槽內(nèi)的加工廢棄物排出至孔或槽外，且正壓腔22內(nèi)的氣壓大于負(fù)壓腔23中的氣壓從而防止加工廢棄物進(jìn)入至正壓腔22中；正壓腔能夠防止加工過(guò)程 中飛濺的加工廢棄物和被排出至孔或槽外的加工廢棄物進(jìn)入至正壓腔中。

B、吸離加工廢棄物：通過(guò)負(fù)壓吸離氣的作用使負(fù)壓腔23中的加工廢棄物從負(fù)壓吸離口25排出至負(fù)壓腔23外。

在上述的A步驟中，所述的第一噴口32為外端小內(nèi)端大的結(jié)構(gòu)，所述的第二噴口26為外端小內(nèi)端大的結(jié)構(gòu)，所述的第一噴口32軸心線與第二噴口26軸心線重合且第一噴口32小頭端的口徑小于第二噴口26小頭端的口徑。

實(shí)施例二

如圖4所示，本實(shí)施例同實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)及原理基本相同，固在此不作贅述，而不一樣的地方在于：加工頭上腔體22a和加工頭下腔體22b之間通過(guò)焊接方式相連。

實(shí)施例三

如圖5所示，本實(shí)施例同實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)及原理基本相同，固在此不作贅述，而不一樣的地方在于：輔助加工頭2包括具有復(fù)合型腔且為一體式結(jié)構(gòu)的一體式加工頭基體。

實(shí)施例四

本實(shí)施例同實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)及原理基本相同，固在此不作贅述，而不一樣的地方在于：第一噴口32小頭端的口徑等于第二噴口26小頭端的口徑。

本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本發(fā)明精神作舉例說(shuō)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，但并不會(huì)偏離本發(fā)明的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。

盡管本文較多地使用了激光光學(xué)單元1、聚焦鏡片11、環(huán)形安裝座12、輔助加工頭2、激光經(jīng)過(guò)通道21、正壓腔22、加工頭上腔體22a、加工頭下腔體22b、負(fù)壓腔23、正壓保護(hù)氣入口24、 負(fù)壓吸離口25、第二噴口26、環(huán)形安裝軸肩27、復(fù)合型排離機(jī)構(gòu)3、分隔體31、第一噴口32、第一管路41、正壓保護(hù)氣供給部件42、第二管路43、負(fù)壓發(fā)生部件44、負(fù)壓吸塵部件45、固定支架5、工件a等術(shù)語(yǔ)，但并不排除使用其它術(shù)語(yǔ)的可能性。使用這些術(shù)語(yǔ)僅僅是為了更方便地描述和解釋本發(fā)明的本質(zhì)；把它們解釋成任何一種附加的限制都是與本發(fā)明精神相違背的。