一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法
【專利摘要】一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法，屬于微細(xì)特種加工領(lǐng)域。解決了現(xiàn)有的側(cè)壁絕緣電極離線制備方法需要“二次裝夾”，導(dǎo)致微細(xì)加工的精度差的問題。本發(fā)明基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備裝置實(shí)現(xiàn)，首先將工具電極的毛坯固定在床Z軸的下端，反拷塊連接高頻脈沖電源的電源信號(hào)輸出端，機(jī)床Z軸高速旋轉(zhuǎn)，對(duì)工具電極毛坯的塊電極電火花在線磨削加工；然后工具電極側(cè)壁的微弧氧化在線絕緣制備；在工具電極毛坯的外表面氧化一層絕緣陶瓷膜；實(shí)現(xiàn)微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備。本發(fā)明適用于在線制備工具電極。
【專利說明】一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于微細(xì)特種加工領(lǐng)域，涉及到微細(xì)工具電極在線制備的電火花磨削加工及側(cè)壁絕緣的微弧氧化方法。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著工業(yè)和科技的發(fā)展，精密微小金屬零件已被廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)和生活中的各個(gè)領(lǐng)域。而微細(xì)電加工技術(shù)包括微細(xì)電火花加工技術(shù)和微細(xì)電化學(xué)加工技術(shù)因其非接觸加工、材料適應(yīng)性廣、沒有宏觀作用力等優(yōu)點(diǎn)，在精密微小金屬零件的加工方面有著其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。但微細(xì)電加工中，除期望的工具電極端面放電加工外，工具電極側(cè)壁對(duì)已加工表面有嚴(yán)重的二次加工作用，影響加工的定域性，加工精度有待提高。為消除電極側(cè)壁微細(xì)電火花加工過程中二次放電和微細(xì)電化學(xué)加工過程雜散腐蝕對(duì)加工精度和穩(wěn)定性的不利影響，國(guó)內(nèi)外學(xué)者常采用側(cè)壁絕緣工具電極進(jìn)行微細(xì)零件的加工制備。
[0003]經(jīng)對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn)，國(guó)內(nèi)外己見諸報(bào)導(dǎo)的電極絕緣方法主要涉及氣相沉積法、浸潰提拉法、滴涂法和旋涂法。1985年,PCMTPhilips (Centre for ManufacturingTechnology)利用化學(xué)氣相沉積技術(shù)CVD在微細(xì)電極表面制得厚度15 μ m的p-SiC/n_SiC、SiC/Si3N4/SiC組合絕緣層。2006年，山東科技大學(xué)通過浸潰提拉在直徑為200 μ m的不銹鋼電極表面涂敷了一層厚度均勻的絕緣樹脂層，膜層厚度小于ΙΟμπι。2006年，韓國(guó)首爾國(guó)立大學(xué)通過滴涂稀釋過的瓷釉，在直徑為60 μ m的單電極表面上涂敷了一層3 μ m厚的瓷釉層。2009年，清華大學(xué)通過在陣列電極表面涂敷液態(tài)絕緣材料，然后電極沿軸向方向高速旋轉(zhuǎn)，獲得單軸直徑100 μ m、絕緣層厚度2-10 μ m可調(diào)的陣列電極。采用上述幾種方法，都可以得到質(zhì)量較好的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極。然而，這些方法中側(cè)壁絕緣電極均采用離線制備，運(yùn)用這些工具電極進(jìn)行微細(xì)電火花加工或微細(xì)電化學(xué)加工時(shí)，存在電極的“二次裝夾”問題，很難滿足微細(xì)加工的精度要求。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的側(cè)壁絕緣電極離線制備方法需要“二次裝夾”，導(dǎo)致微細(xì)加工的精度差的問題，本發(fā)明提出了一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法。
[0005]本發(fā)明所述一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法，該方法基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備裝置實(shí)現(xiàn)，所述微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備裝置包括電火花工作液槽、電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)、反拷塊、三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)、微弧氧化槽、微弧氧化陰極、電解液循環(huán)系統(tǒng)、高頻脈沖電源、短路檢測(cè)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)和機(jī)床伺服系統(tǒng)；
[0006]電火花工作液槽設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)上表面的右側(cè)，反拷塊固定在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)上表面的右側(cè)，微弧氧化槽設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)上表面的左側(cè)，機(jī)床Z軸設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)中心的正上方，微弧氧化陰極通過夾具固定在微弧氧化槽內(nèi)；
[0007]短路檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)信號(hào)輸入端同時(shí)連接反拷塊和機(jī)床Z軸，短路檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)信號(hào)輸出端連接算機(jī)的檢測(cè)信號(hào)輸入端，計(jì)算機(jī)的伺服控制信號(hào)輸出端連接機(jī)床伺服系統(tǒng)的控制信號(hào)輸入端，機(jī)床伺服系統(tǒng)用于控制三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)的三個(gè)主軸運(yùn)動(dòng)；
[0008]電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)用于使電火花工作液槽內(nèi)的工作液循環(huán)流動(dòng)，電解液循環(huán)系統(tǒng)用于使微弧氧化槽內(nèi)的液體循環(huán)流動(dòng)，
[0009]該方法的具體步驟為:
[0010]步驟一、將工具電極的毛坯固定在機(jī)床Z軸的下端，反拷塊連接高頻脈沖電源的電源信號(hào)輸出端，機(jī)床Z軸高速旋轉(zhuǎn)，對(duì)工具電極毛坯的塊電極電火花在線磨削加工；
[0011]具體方法為:將反拷塊和工具電極毛坯進(jìn)行感知接觸，設(shè)置工具電極毛坯的進(jìn)給量和加工參數(shù)，進(jìn)行工具電極毛坯的磨削，同時(shí)利用電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)提供循環(huán)工作液流過工具電極毛坯的表面，采用短路檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)工具電極與反拷塊之間的接觸電壓，當(dāng)工具電極毛坯與反拷塊無加工間隙而發(fā)生短路，則計(jì)算機(jī)控制機(jī)床Z軸使工具電極毛坯回退10 μ m-30 μ m重新加工，直至符合工具電極的標(biāo)準(zhǔn)；
[0012]步驟二、工具電極側(cè)壁的微弧氧化在線絕緣制備；
[0013]具體方法:微弧氧化陰極連接高頻脈沖電源的電源信號(hào)輸出端，將微弧氧化陰極和工具電極進(jìn)行感知接觸，設(shè)置微弧氧化陰極與工具電極的加工間隙和加工參數(shù)，機(jī)床Z軸高速旋轉(zhuǎn)電解液循環(huán)系統(tǒng)提供的循環(huán)電解液流過工具電極毛坯的表面，工具電極毛坯在Z軸方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且工具電極毛坯的端面始終在工具陰極底面以下，實(shí)現(xiàn)對(duì)工具電極毛坯進(jìn)行側(cè)壁絕緣的微弧氧化在線加工，工具電極毛坯的外表面氧化一層絕緣陶瓷膜；實(shí)現(xiàn)微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備。
[0014]本發(fā)明在線制備微細(xì)側(cè)壁絕緣工具電極，提高了微細(xì)工具電極端面加工的定域性，同時(shí)不需要二次裝夾，保證了電極與工作臺(tái)面的垂直度和電極與回轉(zhuǎn)主軸的同軸度及工具電極和工件的相對(duì)位置要求，保證了絕緣電極后續(xù)微結(jié)構(gòu)加工的精度。具體過程為，先利用塊電極電火花磨削法將工具電極磨削到微細(xì)電加工所需的尺寸，再用微弧氧化對(duì)該工具電極側(cè)壁進(jìn)行加工，生成陶瓷絕緣薄膜，在線實(shí)現(xiàn)工具電極的側(cè)壁絕緣，消除二次裝夾引起的位置誤差，提高工具電極后續(xù)微結(jié)構(gòu)電加工的端面定域性，提高加工精度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明在線制備過程中所需裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2是【具體實(shí)施方式】一步驟一所述反拷塊和工具電極毛坯感知接觸示意圖；
[0017]圖3是【具體實(shí)施方式】一步驟二所述微弧氧化陰極和工具電極感知接觸示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018]【具體實(shí)施方式】一、結(jié)合圖1、圖2和圖3說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法，該方法基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備裝置實(shí)現(xiàn)，所述微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備裝置包括電火花工作液槽1、電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)2、反拷塊3、三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)4、微弧氧化槽5、微弧氧化陰極6、電解液循環(huán)系統(tǒng)7、高頻脈沖電源8、短路檢測(cè)系統(tǒng)9、計(jì)算機(jī)10和機(jī)床伺服系統(tǒng)11 ;
[0019]電火花工作液槽I設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)4上表面的右側(cè)，反拷塊3固定在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)4上表面的右側(cè)，微弧氧化槽5設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)4上表面的左側(cè)，機(jī)床Z軸12設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)4中心的正上方，微弧氧化陰極6通過夾具固定在微弧氧化槽5內(nèi)；
[0020]短路檢測(cè)系統(tǒng)9檢測(cè)信號(hào)輸入端同時(shí)連接反拷塊3和機(jī)床Z軸12，短路檢測(cè)系統(tǒng)9檢測(cè)信號(hào)輸出端連接算機(jī)10的檢測(cè)信號(hào)輸入端，計(jì)算機(jī)10的伺服控制信號(hào)輸出端連接機(jī)床伺服系統(tǒng)11的控制信號(hào)輸入端，機(jī)床伺服系統(tǒng)11用于控制三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)4的三個(gè)主軸運(yùn)動(dòng)；
[0021]電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)2用于使電火花工作液槽I內(nèi)的工作液循環(huán)流動(dòng)，電解液循環(huán)系統(tǒng)7用于使微弧氧化槽5內(nèi)的液體循環(huán)流動(dòng)，
[0022]該方法的具體步驟為:
[0023]步驟一、將工具電極的毛坯13固定在機(jī)床Z軸12的下端，反拷塊3連接高頻脈沖電源8的電源信號(hào)輸出端，機(jī)床Z軸12高速旋轉(zhuǎn)，對(duì)工具電極毛坯13的塊電極電火花在線磨削加工；
[0024]具體方法為:將反拷塊3和工具電極毛坯13進(jìn)行感知接觸，設(shè)置工具電極毛坯13的進(jìn)給量和加工參數(shù)，進(jìn)行工具電極毛坯13的磨削，同時(shí)利用電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)2提供循環(huán)工作液流過工具電極毛坯13的表面，采用短路檢測(cè)系統(tǒng)9檢測(cè)工具電極13與反拷塊3之間的接觸電壓，當(dāng)工具電極毛坯13與反拷塊3無加工間隙而發(fā)生短路，則計(jì)算機(jī)10控制機(jī)床Z軸12使工具電極毛坯13回退10 μ m-30 μ m重新加工，直至符合工具電極的標(biāo)準(zhǔn)；
[0025]步驟二、工具電極側(cè)壁的微弧氧化在線絕緣制備；
[0026]具體方法:微弧氧化陰極6連接高頻脈沖電源8的電源信號(hào)輸出端，將微弧氧化陰極6和工具電極13進(jìn)行感知接觸，設(shè)置微弧氧化陰極6與工具電極13的加工間隙和加工參數(shù)，機(jī)床Z軸12高速旋轉(zhuǎn)電解液循環(huán)系統(tǒng)7提供的循環(huán)電解液流過工具電極毛坯13的表面，工具電極毛坯13在Z軸方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且工具電極毛坯13的端面始終在工具陰極6底面以下，實(shí)現(xiàn)對(duì)工具電極毛坯13進(jìn)行側(cè)壁絕緣的微弧氧化在線加工，工具電極毛坯13的外表面氧化一層絕緣陶瓷膜15 ;實(shí)現(xiàn)微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備。
[0027]本實(shí)施方式所述反拷塊和電極之間的加工電壓一般在100?200V之間，電容在200?4000PF，電流為0.05?0.2A，由電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)提供的循環(huán)工作液流過，開始加工；三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)包括X、Y和Z三個(gè)主軸，機(jī)床Z軸垂直于機(jī)床X軸和機(jī)床Y軸，且機(jī)床Z軸上固定有可轉(zhuǎn)動(dòng)主軸。
[0028]加工過程中通過短路檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)工具電極與反拷塊之間的接觸電壓，短路檢測(cè)系統(tǒng)由計(jì)算機(jī)控制，當(dāng)工具電極與反拷塊無加工間隙而發(fā)生短路，則工具電極回退一定距離重新加工；進(jìn)給完成之后，可用C⑶觀測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)工具電極是否達(dá)到滿意的尺寸和形狀，如果沒有則繼續(xù)進(jìn)行電火花磨削加工；
[0029]微弧氧化陰極和工具電極感知接觸，設(shè)置微弧氧化陰極與工具電極的加工間隙，加工電源采用脈沖電源，工具電極連接480V高壓、微弧氧化陰極連接-80V低壓，脈寬和脈間均可在100-1000μ s范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，在間隙處有由電解液循環(huán)系統(tǒng)提供的循環(huán)電解液流過，工作電流流過微弧氧化陰極與工具電極之間的加工間隙，需側(cè)壁絕緣的工具電極沿其軸向方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)且保證工具電極的端面始終在微弧氧化陰極底面以下，則可對(duì)微細(xì)工具電極側(cè)壁進(jìn)行微弧氧化加工。
[0030]在微弧氧化加工中，針對(duì)不同的工具電極材料主要為鋁、鎂、鈦及其合金和需求要選擇不同的電解液。以加工鋁為例，所用的電解液一般為0.8% Na2Si03+0.2% Κ0Η+0.2%Na2WO4.2H20+0.5%穩(wěn)定劑的水溶液。
[0031]【具體實(shí)施方式】二、本實(shí)施方式是對(duì)【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法的進(jìn)一步說明，它還包括CCD觀測(cè)系統(tǒng)14，所述CCD觀測(cè)系統(tǒng)14用于對(duì)采集工具電極毛坯13磨削過程的圖像；C⑶觀測(cè)系統(tǒng)14的圖像信號(hào)輸出端連接計(jì)算機(jī)10的圖像信號(hào)輸入端。
[0032]本實(shí)施方式采用CCD觀測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)工具電極是否達(dá)到滿意的尺寸和形狀。
[0033]【具體實(shí)施方式】三、本實(shí)施方式是對(duì)【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法的進(jìn)一步說明，步驟一中所述將反拷塊3和工具電極毛坯13進(jìn)行感知接觸時(shí)反拷塊和工具電極毛坯13之間的加工電壓在100V?200V之間，電容為200PF?4000PF，電流為0.05A?0.2A。
[0034]【具體實(shí)施方式】四、本實(shí)施方式是對(duì)【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法的進(jìn)一步說明，步驟二中所述微弧氧化陰極6與工具電極13的加工間隙為O μ m-100 μ m。
[0035]【具體實(shí)施方式】五、本實(shí)施方式是對(duì)【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法的進(jìn)一步說明，微弧氧化陰極6為片狀結(jié)構(gòu)。
[0036]本實(shí)施方式所述微弧氧化陰極為片狀結(jié)構(gòu)以提高微細(xì)工具電極側(cè)壁絕緣加工的定域腐蝕能力，避免電極端面的微弧氧化加工。
[0037]本發(fā)明使用微弧氧化在線制備側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極，保證了工具電極與工作臺(tái)面的垂直度和電極與回轉(zhuǎn)主軸的同軸度，提高微細(xì)加工的精度。該方法具體為:用塊電極電火花磨削法將工具電極磨削到微細(xì)加工所需的尺寸；用微弧氧化對(duì)該微細(xì)工具電極側(cè)壁進(jìn)行加工，生成陶瓷絕緣薄膜。本發(fā)明克服了現(xiàn)有側(cè)壁絕緣微細(xì)電極制備方法存在的“二次裝夾”問題，并充分利用了塊電極電火花磨削加工速度快的優(yōu)勢(shì)，具有加工精度和效率高的優(yōu)點(diǎn)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法，該方法基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備裝置實(shí)現(xiàn)，所述微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備裝置包括電火花工作液槽(I)、電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)(2)、反拷塊(3)、三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)(4)、微弧氧化槽(5)、微弧氧化陰極(6)、電解液循環(huán)系統(tǒng)(7)、高頻脈沖電源(8)、短路檢測(cè)系統(tǒng)(9)、計(jì)算機(jī)(10)和機(jī)床伺服系統(tǒng)(11)； 電火花工作液槽(I)設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)(4)上表面的右側(cè)，反拷塊(3)固定在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)(4)上表面的右側(cè)，微弧氧化槽(5)設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)(4)上表面的左側(cè)，機(jī)床Z軸(12)設(shè)置在三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)(4)中心的正上方，微弧氧化陰極(6)通過夾具固定在微弧氧化槽(5)內(nèi)； 短路檢測(cè)系統(tǒng)(9)檢測(cè)信號(hào)輸入端同時(shí)連接反拷塊(3)和機(jī)床Z軸(12)，短路檢測(cè)系統(tǒng)(9)檢測(cè)信號(hào)輸出端連接算機(jī)(10)的檢測(cè)信號(hào)輸入端，計(jì)算機(jī)(10)的伺服控制信號(hào)輸出端連接機(jī)床伺服系統(tǒng)(11)的控制信號(hào)輸入端，機(jī)床伺服系統(tǒng)(11)用于控制三軸高精度微細(xì)加工機(jī)床工作平臺(tái)(4)的三個(gè)主軸運(yùn)動(dòng)； 電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)(2)用于使電火花工作液槽(I)內(nèi)的工作液循環(huán)流動(dòng)，電解液循環(huán)系統(tǒng)(7)用于使微弧氧化槽(5)內(nèi)的液體循環(huán)流動(dòng)， 其特征在于，該方法的具體步驟為: 步驟一、將工具電極的毛坯(13)固定在床Z軸(12)的下端，反拷塊(3)連接高頻脈沖電源⑶的電源信號(hào)輸出端，機(jī)床Z軸(12)高速旋轉(zhuǎn)，對(duì)工具電極毛坯(13)的塊電極電火花在線磨削加工； 具體方法為:將反拷塊(3)和工具電極毛坯(13)進(jìn)行感知接觸，設(shè)置工具電極毛坯(13)的進(jìn)給量和加工參數(shù)，進(jìn)行工具電極毛坯(13)的磨削，同時(shí)利用電火花工作液循環(huán)系統(tǒng)(2)提供循環(huán)工作液流過工具電極毛坯(13)的表面，采用短路檢測(cè)系統(tǒng)(9)檢測(cè)工具電極(13)與反拷塊(3)之間的接觸電壓，當(dāng)工具電極毛坯(13)與反拷塊(3)無加工間隙而發(fā)生短路，則計(jì)算機(jī)(10)控制機(jī)床Z軸(12)使工具電極毛坯((13)回退10μπι-30μπι重新加工，直至符合工具電極的標(biāo)準(zhǔn)； 步驟二、工具電極側(cè)壁的微弧氧化在線絕緣制備； 具體方法:微弧氧化陰極(6)連接高頻脈沖電源(8)的電源信號(hào)輸出端，將微弧氧化陰極(6)和工具電極(13)進(jìn)行感知接觸，設(shè)置微弧氧化陰極￠)與工具電極(13)的加工間隙和加工參數(shù)，機(jī)床Z軸(12)高速旋轉(zhuǎn)電解液循環(huán)系統(tǒng)(7)提供的循環(huán)電解液流過工具電極毛坯(13)的表面，工具電極毛坯(13)在Z軸方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且工具電極毛坯(13)的端面始終在工具陰極(6)底面以下，實(shí)現(xiàn)對(duì)工具電極毛坯(13)進(jìn)行側(cè)壁絕緣的微弧氧化在線加工，工具電極毛坯(13)的外表面氧化一層絕緣陶瓷膜(15);實(shí)現(xiàn)微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法，其特征在于，它還包括CCD觀測(cè)系統(tǒng)(14)，所述CCD觀測(cè)系統(tǒng)(14)用于對(duì)采集工具電極毛坯(13)磨削過程的圖像；C⑶觀測(cè)系統(tǒng)(14)的圖像信號(hào)輸出端連接計(jì)算機(jī)(10)的圖像信號(hào)輸入端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法，其特征在于，步驟一中所述將反拷塊(3)和工具電極毛坯(13)進(jìn)行感知接觸時(shí)反拷塊和工具電極毛坯(13)之間的加工電壓在10V — 200V之間，電容為200PF — 4000PF，電流為0.05A ?0.2A0
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法，其特征在于，步驟二中所述微弧氧化陰極￠)與工具電極(13)的加工間隙為O μ m-100 μ m。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微弧氧化的側(cè)壁絕緣微細(xì)工具電極的在線制備方法，其特征在于，微弧氧化陰極(6)為片狀結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】B23H3/04GK104227156SQ201410445570
【公開日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年9月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月3日
【發(fā)明者】王玉魁, 陳祥, 何小龍, 王振龍, 耿雪松 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)