一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置，豎直安裝在工藝門與固定盤之間的支撐柱附近，包括一個(gè)管型殼體，其內(nèi)壁下端設(shè)有螺紋，裝有調(diào)節(jié)螺釘，調(diào)節(jié)螺釘?shù)南露伺c固定盤連接，殼體的上端裝有帶刻度的滑塊，在滑塊與調(diào)節(jié)螺釘之間的殼體內(nèi)裝有壓縮彈簧，滑塊的上端與工藝門相接觸。本發(fā)明利用水平調(diào)節(jié)裝置的殼體與調(diào)節(jié)螺釘相對轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的位移，驅(qū)使殼體內(nèi)的彈簧帶動(dòng)滑塊上升或下降，實(shí)現(xiàn)對工藝門水平度的直接觀察和實(shí)時(shí)調(diào)整，可避免調(diào)平誤差，節(jié)約調(diào)平時(shí)間，提高工藝質(zhì)量和產(chǎn)能。
【專利說明】一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)備的水平調(diào)節(jié)裝置，更具體地，涉及一種用于確定和調(diào)整半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)備的工藝門水平度的水平調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)備的工藝門用來封閉熱反應(yīng)管，防止熱反應(yīng)管內(nèi)的熱能散失，以及工藝氣體的泄漏或外部氣體的進(jìn)入。如果工藝門與熱反應(yīng)管爐口之間的密封性不好，將直接影響工藝過程中硅片膜厚的均勻性。
[0003]工藝門的水平度是衡量工藝門安裝質(zhì)量的主要指標(biāo)，其直接影響工藝過程中爐口的密封性和硅片膜厚的均勻性。
[0004]半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)備中的保溫桶、石英舟和熱反應(yīng)管都需要定期拆卸進(jìn)行清理，每次拆裝都需要對工藝門的水平重新進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0005]目前，調(diào)節(jié)工藝門水平的方法是將水平儀放置在工藝門上，對工藝門的水平度進(jìn)行調(diào)節(jié)。這種調(diào)平方法不僅會(huì)帶來水平儀和工藝門接觸面的加工誤差，而且，為了便于觀察水平儀，需要將工藝門降低到工藝設(shè)備中的微環(huán)境底部。因此，這種調(diào)平方法誤差較大，效率低，對工藝質(zhì)量和產(chǎn)能帶來不利影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種新型的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置，通過在工藝門的固定盤上設(shè)置帶有刻度的具有升降功能的調(diào)節(jié)裝置，實(shí)現(xiàn)對工藝門水平度的直接觀察和實(shí)時(shí)調(diào)整，可有效避免調(diào)平誤差，節(jié)約調(diào)平時(shí)間，從而提高了工藝質(zhì)
量和產(chǎn)能。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0008]一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置，所述工藝門的下端面通過支撐柱連接固定盤，所述水平調(diào)節(jié)裝置包括:
[0009]殼體，所述殼體為管型，其內(nèi)壁下端設(shè)有螺紋；
[0010]調(diào)節(jié)螺釘，所述螺釘?shù)纳隙伺c所述殼體螺紋連接，下端連接所述固定盤；
[0011]彈簧，設(shè)置在所述殼體內(nèi)的所述螺釘上方，并與所述螺釘相接觸；
[0012]滑塊，設(shè)置在所述殼體內(nèi)的彈簧上方，并與所述彈簧相接觸，所述滑塊的頂部與所述工藝門的下表面相接觸。調(diào)節(jié)工藝門水平前，先調(diào)松支撐柱上的緊固裝置，工藝門壓迫滑塊，使彈簧具有一定的壓縮量。當(dāng)使殼體與調(diào)節(jié)螺釘發(fā)生相對轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)彈簧擠壓或松弛，使工藝門上升或下降，從而實(shí)現(xiàn)對工藝門水平度的調(diào)節(jié)。當(dāng)調(diào)節(jié)到位時(shí)，再將支撐柱上的緊固裝置調(diào)緊，工藝門的水平狀態(tài)即得到固定。
[0013]進(jìn)一步地，所述螺釘?shù)南露斯潭ㄟB接所述固定盤。在調(diào)平時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)殼體調(diào)節(jié)，使滑塊升降。
[0014]進(jìn)一步地，所述螺釘?shù)南露嘶顒?dòng)連接所述固定盤。在調(diào)平時(shí)，可同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)殼體及螺釘進(jìn)行調(diào)節(jié)，使滑塊升降。
[0015]進(jìn)一步地，所述彈簧為壓縮彈簧，接觸設(shè)于所述螺釘和所述滑塊之間的所述殼體內(nèi)。采用壓縮彈簧，使其具有一定的彈性伸縮余量，以便調(diào)節(jié)滑塊的升降。
[0016]進(jìn)一步地，所述滑塊與所述殼體的內(nèi)壁滑動(dòng)配合，使滑塊可沿軸向升降，不會(huì)造成偏移。
[0017]進(jìn)一步地，所述滑塊側(cè)面標(biāo)有軸向距離刻度。在調(diào)節(jié)工藝門的水平時(shí)，在工藝門的不同部位，將水平調(diào)節(jié)裝置的滑塊高度調(diào)節(jié)到露出殼體上端面的相同的刻度值，說明工藝門已處于水平狀態(tài)。
[0018]進(jìn)一步地，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間。將水平調(diào)節(jié)裝置安裝在支撐柱附近，可使水平調(diào)節(jié)的結(jié)果更具有準(zhǔn)確性。
[0019]進(jìn)一步地，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間，數(shù)量為3個(gè)。一般支撐柱的數(shù)量為3個(gè)，在每個(gè)支撐柱附近同時(shí)安裝水平調(diào)節(jié)裝置，可使水平調(diào)節(jié)更方便、精確，并節(jié)約調(diào)節(jié)時(shí)間。
[0020]進(jìn)一步地，所述3個(gè)水平調(diào)節(jié)裝置的位置不在同一條直線上，以保證水平調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確性。
[0021]進(jìn)一步地，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間，其自然狀態(tài)高度大于所述固定盤和所述工藝門之間的間距。這樣設(shè)計(jì)是為了在水平調(diào)節(jié)前，使水平調(diào)節(jié)裝置中的彈簧具有一定的壓縮量，可以在調(diào)節(jié)螺釘?shù)淖饔孟率湛s或伸張。
[0022]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過在工藝門與固定盤之間的支撐柱附近設(shè)置帶有刻度的具有升降功能的水平調(diào)節(jié)裝置，利用殼體與調(diào)節(jié)螺釘相對轉(zhuǎn)動(dòng)帶來的位移，驅(qū)使殼體內(nèi)的彈簧帶動(dòng)滑塊上升或下降，實(shí)現(xiàn)對工藝門水平度的直接觀察和實(shí)時(shí)調(diào)整，不需要再將工藝門降至微環(huán)境底部來觀察和調(diào)整；滑塊上標(biāo)有刻度，可有效避免調(diào)平誤差，在不同部位多點(diǎn)設(shè)置調(diào)節(jié)裝置，可節(jié)約調(diào)平時(shí)間。因此，本發(fā)明的運(yùn)用可以提高工藝質(zhì)量和產(chǎn)倉泛。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1為本發(fā)明一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置在工藝門上的安裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本發(fā)明一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0026]在本實(shí)施例中，請參閱圖1，圖1為本發(fā)明一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置在工藝門上的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明的水平調(diào)節(jié)裝置用于對半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門在拆裝時(shí)進(jìn)行水平度的調(diào)節(jié)。如圖所示，工藝門6的下端面通過3個(gè)支撐柱7、8、9連接三角固定盤10。本發(fā)明的水平調(diào)節(jié)裝置共計(jì)3個(gè)，分別豎直安裝在各個(gè)支撐柱的附近(圖中省略顯示另2個(gè)水平調(diào)節(jié)裝置，下文僅以水平調(diào)節(jié)裝置5為例進(jìn)行說明)。水平調(diào)節(jié)裝置5豎直安裝在支撐柱7的附近，其上端部分與工藝門6的下端面接觸，下端凸出部分可固定安裝在固定盤10上的安裝孔內(nèi)，也可以將下端凸出部分以間隙配合形式，直接放在固定盤上的安裝孔內(nèi)，不予固定。
[0027]請參閱圖2，圖2為本發(fā)明一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，本發(fā)明的水平調(diào)節(jié)裝置包括一個(gè)管型殼體2，其內(nèi)壁下端設(shè)有螺紋。調(diào)節(jié)螺釘I的上端旋入殼體，與殼體內(nèi)壁螺紋配合，調(diào)節(jié)螺釘?shù)南露送钩霾糠职惭b在固定盤上的安裝孔內(nèi)。殼體的上端裝有滑塊4，滑塊與殼體內(nèi)壁滑動(dòng)配合，使滑塊可沿軸向升降，不會(huì)造成偏移。在滑塊與調(diào)節(jié)螺釘之間的殼體內(nèi)裝有一根壓縮彈簧3，彈簧的二端分別與螺釘和滑塊相接觸。采用壓縮彈簧，使其具有一定的彈性伸縮余量，以便調(diào)節(jié)滑塊的升降。
[0028]請參閱圖1，并結(jié)合圖2所述。在安裝狀態(tài)時(shí)，水平調(diào)節(jié)裝置5的滑塊頂部與工藝門的下表面是相接觸的。為了便于調(diào)節(jié)水平，保證水平調(diào)節(jié)的精度和節(jié)約調(diào)節(jié)時(shí)間，在3個(gè)支撐柱7、8、9附近各安裝一個(gè)本發(fā)明的水平調(diào)節(jié)裝置(圖中僅顯示水平調(diào)節(jié)裝置5)。3個(gè)水平調(diào)節(jié)裝置的位置不在同一條直線上，以保證工藝門整個(gè)平面水平調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確性。
[0029]請參閱圖1，并結(jié)合圖2所述。水平調(diào)節(jié)裝置5的螺釘下端的凸出部分可固定連接在固定盤上的安裝孔內(nèi)。在調(diào)平時(shí)，只需轉(zhuǎn)動(dòng)殼體，使殼體與螺釘產(chǎn)生相對位移，殼體內(nèi)的彈簧受到螺釘?shù)臄D壓，將滑塊頂起；或螺釘下降，彈簧松弛，使滑塊隨之下降。也可以將螺釘?shù)南露送钩霾糠忠蚤g隙配合形式，直接放在固定盤上的安裝孔內(nèi)，不予固定。這樣在調(diào)平時(shí)，可同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)殼體及螺釘進(jìn)行調(diào)節(jié)，使滑塊升降。
[0030]請參閱圖1，為在調(diào)節(jié)時(shí)確認(rèn)工藝門的水平狀態(tài)，在水平調(diào)節(jié)裝置5的滑塊側(cè)面標(biāo)有軸向距離刻度。在調(diào)節(jié)工藝門的水平時(shí)，將3個(gè)水平調(diào)節(jié)裝置的滑塊高度調(diào)節(jié)到露出殼體上端面的相同的刻度值，這樣就保證了工藝門處于水平狀態(tài)。
[0031]水平調(diào)節(jié)裝置在自然狀態(tài)時(shí)的高度要大于固定盤和工藝門之間的間距。這是為了在水平調(diào)節(jié)前，使水平調(diào)節(jié)裝置中的彈簧具有一定的壓縮量，可以在調(diào)節(jié)螺釘?shù)淖饔孟率湛s或伸張。
[0032]下面結(jié)合圖1、圖2，對本發(fā)明的水平調(diào)節(jié)裝置的使用方法作進(jìn)一步的說明。
[0033]工藝設(shè)備中的保溫桶、石英舟和熱反應(yīng)管在定期拆卸進(jìn)行清理后，進(jìn)行安裝時(shí)需要對工藝門的水平重新進(jìn)行調(diào)節(jié)。本發(fā)明的水平調(diào)節(jié)裝置在使用時(shí)，在調(diào)節(jié)工藝門6的水平前，先調(diào)松支撐柱7、8、9上的緊固螺栓，讓工藝門受重力作用壓迫水平調(diào)節(jié)裝置的滑塊4，使殼體2中的彈簧3具有一定的壓縮量。然后轉(zhuǎn)動(dòng)殼體或調(diào)節(jié)螺釘1，使調(diào)節(jié)螺釘發(fā)生相對上升或下降，帶動(dòng)彈簧受擠壓或松弛，使滑塊隨之上升或下降，從而將工藝門頂起或放下，這樣即可對工藝門進(jìn)行水平度的調(diào)節(jié)。當(dāng)調(diào)節(jié)3個(gè)水平調(diào)節(jié)裝置的滑塊高度至需要的一致高度，即滑塊上露出殼體上端面的刻度值相同時(shí)，再將支撐柱上的緊固螺栓調(diào)緊，工藝門的水平狀態(tài)即得到固定。
[0034]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置，所述工藝門的下端面通過支撐柱連接固定盤，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)裝置包括: 殼體，所述殼體為管型，其內(nèi)壁下端設(shè)有螺紋； 調(diào)節(jié)螺釘，所述螺釘?shù)纳隙伺c所述殼體螺紋連接，下端連接所述固定盤； 彈簧，設(shè)置在所述殼體內(nèi)的所述螺釘上方，并與所述螺釘相接觸； 滑塊，設(shè)置在所述殼體內(nèi)的彈簧上方，并與所述彈簧相接觸，所述滑塊的頂部與所述工藝門的下表面相接觸。
2.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述螺釘?shù)南露斯潭ㄟB接所述固定盤。
3.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述螺釘?shù)南露嘶顒?dòng)連接所述固定盤。
4.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述彈簧為壓縮彈簧，接觸設(shè)于所述螺釘和所述滑塊之間的所述殼體內(nèi)。
5.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述滑塊與所述殼體的內(nèi)壁滑動(dòng)配合。
6.如權(quán)利要求1、4或5所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述滑塊側(cè)面標(biāo)有軸向距離刻度。
7.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間。
8.如權(quán)利要求1或7所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間，數(shù)量為3個(gè)。
9.如權(quán)利要求8所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述3個(gè)水平調(diào)節(jié)裝置的位置不在同一條直線上。
10.如權(quán)利要求1、7或9所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間，其自然狀態(tài)高度大于所述固定盤和所述工藝門之間的間距。
【文檔編號】B23P19/10GK103769857SQ201410058361
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年2月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月20日
【發(fā)明者】張駿, 柳文濤 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司