技術編號：3112826
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種用于半導體工藝設備的工藝門水平調節(jié)裝置，豎直安裝在工藝門與固定盤之間的支撐柱附近，包括一個管型殼體，其內壁下端設有螺紋，裝有調節(jié)螺釘，調節(jié)螺釘?shù)南露伺c固定盤連接，殼體的上端裝有帶刻度的滑塊，在滑塊與調節(jié)螺釘之間的殼體內裝有壓縮彈簧，滑塊的上端與工藝門相接觸。本發(fā)明利用水平調節(jié)裝置的殼體與調節(jié)螺釘相對轉動產生的位移，驅使殼體內的彈簧帶動滑塊上升或下降，實現(xiàn)對工藝門水平度的直接觀察和實時調整，可避免調平誤差，節(jié)約調平時間，提高工藝質量和產能。專...
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