太陽能電池激光開孔波形的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種太陽能電池激光開孔波形，屬于太陽能光伏電池制造領(lǐng)域，主要特點(diǎn)是將若干個(gè)單脈沖波形疊加在一個(gè)脈沖波形中，從而形成一個(gè)大的有多個(gè)能量峰值的多脈沖波形，本發(fā)明通過形成的多脈沖波形能很好的改善和解決以往一種單脈沖波形的缺點(diǎn)，采用溫度逐漸遞增的波形，能改善由于硅片急劇升溫導(dǎo)致的熱損傷；與單脈沖波形相比采用相同脈寬，但是多個(gè)脈沖疊加波形能勻化每個(gè)脈沖的不穩(wěn)定因素，使熱分布和光斑尺寸更加均勻，從而使形成的孔更加光滑更小的損傷和更加穩(wěn)定的開孔尺寸。本發(fā)明在光伏電池領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，激光刻邊、激光摻雜、鈍化介質(zhì)膜燒蝕、MWT\IBC\LFC\薄膜電池等都可采用，由于各個(gè)工藝的差別，根據(jù)各自的工藝的需求可做相應(yīng)調(diào)整。
【專利說明】太陽能電池激光開孔波形
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種太陽能電池激光開孔波形，屬于太陽能光伏電池制造領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]降低生產(chǎn)成本、提高轉(zhuǎn)換效率幾乎是所有太陽能電池廠商迫切需要解決的問題，為此各類技術(shù)層出不窮，激光技術(shù)就是其中一種。目前很多太陽能電池工藝中如激光刻邊、激光摻雜、鈍化介質(zhì)膜燒蝕、MWT\IBC\LFC\薄膜電池等都有用到激光技術(shù)。激光技術(shù)為優(yōu)化太陽電池制造、提高轉(zhuǎn)換效率發(fā)揮著越來越重要的作用。
[0003]目前光伏電池中使用的激光一般都采用YAG激光器以單脈沖輸出波形，其中波形形狀各異，有矩形方波也有高斯波形等。雖然有很多優(yōu)點(diǎn)，但是也存在很多缺點(diǎn)，特別是在激光開孔工藝中，如激光燒蝕SiN/AlOx膜、MWT\IBC等工藝，由于這種單脈沖波形的能量范圍一般為幾個(gè)焦耳，高能量帶來的熔融物在孔中的體積很大，產(chǎn)生較大的孔徑誤差容易出現(xiàn)錐形、孔尺寸重復(fù)性差等缺陷；另外由于升降溫速度快容易造成熱應(yīng)力、損傷、微裂紋等缺陷；同時(shí)飛濺物對激光的吸收、光束的散焦等原因，使激光功率密度降低，使氣化速度降低，由此熔融物增加造成濺污，甚至堵塞孔造成開孔失效。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種太陽能電池激光開孔波形，解決現(xiàn)有單脈沖激光開孔采用矩形方波或高斯波形存在的上述不足，通過本發(fā)明使形成的孔更加光滑、更小的損傷和更加穩(wěn)定的開孔尺寸。
[0005]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的，一種太陽能電池激光開孔波形，其特征是，將若干個(gè)單脈沖波形疊加在一個(gè)脈沖波形中，從而形成一個(gè)大的有多個(gè)能量峰值的多脈沖波形。
[0006]所述若干個(gè)單脈沖波形疊加為二至十個(gè)單脈沖波形。
[0007]所述多脈沖波形的脈寬為幾個(gè)單脈沖波形脈寬的疊加。
[0008]所述每個(gè)單脈沖能量峰值逐漸遞增或遞減或交叉出現(xiàn)。
[0009]本發(fā)明通過形成的多脈沖波形能很好的改善和解決以往一種單脈沖波形的缺點(diǎn)，采用溫度逐漸遞增的波形，能改善由于硅片急劇升溫導(dǎo)致的熱損傷；與單脈沖波形相比采用相同脈寬，但是多個(gè)脈沖疊加波形能勻化每個(gè)脈沖的不穩(wěn)定因素，使熱分布和光斑尺寸更加均勻，從而使形成的孔更加光滑更小的損傷和更加穩(wěn)定的開孔尺寸。本發(fā)明在光伏電池領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，激光刻邊、激光摻雜、鈍化介質(zhì)膜燒蝕、MWT\IBC\LFC\薄膜電池等都可采用，由于各個(gè)工藝的差別，根據(jù)各自的工藝的需求可做相應(yīng)調(diào)整。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明多脈沖波形的圖形之一；
圖2為本發(fā)明多脈沖波形的圖形之二 ； 圖3為本發(fā)明多脈沖波形的圖形之三；
圖4為本發(fā)明多脈沖波形的圖形之四。
【具體實(shí)施方式】
[0011]結(jié)合附圖和實(shí)施例進(jìn)步說明本發(fā)明，本發(fā)明是在單脈沖激光的基礎(chǔ)上提出了一種新的激光波形，主要是將多個(gè)單脈沖波形疊加在一個(gè)脈沖波形中，如圖1-4所示，是將二個(gè)單脈沖波形疊加在一個(gè)脈沖波形中，也可以將二至十個(gè)單脈沖波形疊加在一個(gè)脈沖波形中，從而形成一個(gè)大的有兩個(gè)能量峰值的多脈沖波形，該多脈沖波形脈寬可根據(jù)工藝要求設(shè)置為兩個(gè)單脈沖波形的疊加，每個(gè)單脈沖的能量峰值可根據(jù)工藝要求做調(diào)整，每個(gè)單脈沖能量峰值可以是逐漸遞增或遞減或交叉出現(xiàn)可根據(jù)工藝要求做調(diào)整。這種波形能很好的改善和解決以往一種單脈沖波形的缺點(diǎn)，采用溫度逐漸遞增的波形，能改善由于硅片急劇升溫導(dǎo)致的熱損傷；與單脈沖波形相比采用相同脈寬但是多個(gè)脈沖疊加波形能勻化每個(gè)脈沖的不穩(wěn)定因素，使熱分布和光斑尺寸更加均勻，從而使形成的孔更加光滑更小的損傷和更加穩(wěn)定的開孔尺寸。該激光的波形的設(shè)計(jì)方法在光伏電池領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，上面提到的激光刻邊、激光摻雜、鈍化介質(zhì)膜燒蝕、MWT\IBC\LFC\薄膜電池等都有用到該激光波形設(shè)計(jì)方法，由于各個(gè)工藝的差別，根據(jù)各自的工藝的需求可做相應(yīng)調(diào)整。
【權(quán)利要求】
1.一種太陽能電池激光開孔波形，其特征是，將若干個(gè)單脈沖波形疊加在一個(gè)脈沖波形中，從而形成一個(gè)大的有多個(gè)能量峰值的多脈沖波形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池激光開孔波形，其特征是，所述若干個(gè)單脈沖波形疊加為2-10個(gè)單脈沖波形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池激光開孔波形，其特征是，所述多脈沖波形的脈寬為幾個(gè)單脈沖波形脈寬的疊加。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池激光開孔波形，其特征是，所述每個(gè)單脈沖能量峰值逐漸遞增或遞減或交叉出現(xiàn)。
【文檔編號(hào)】B23K26/06GK103612010SQ201310604676
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年11月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月26日
【發(fā)明者】葉權(quán)華, 鄭飛 申請人:中電電氣（揚(yáng)州）光伏有限公司