鎢靶材的制作方法
【專利摘要】一種鎢靶材的制作方法，包括：提供鎢靶材坯料，所述鎢靶材坯料包括濺射面和背面；采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進(jìn)行粗磨；采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進(jìn)行半精磨；采用金剛石砂輪對所述濺射面進(jìn)行精磨。本發(fā)明鎢靶材的制作方法能夠減少或避免鎢靶材坯料在加工過程中出現(xiàn)掉角，得到尺寸精度高、表面粗糙度低、符合濺射性能的鎢靶材；同時，還降低了鎢靶材坯料加工過程中的刀具損耗，進(jìn)而降低鎢靶材的制作成本。
【專利說明】鎢靶材的制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種鎢靶材的制作方法

【背景技術(shù)】
[0002]真空濺鍍是由電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，其中，電子飛向基片，氬離子在電場的作用下加速轟擊靶，所述靶是由靶材和支撐靶材的背板組成，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子(或分子)沉積在基片上成膜，而最終達(dá)到對基片表面鍍膜的目的。
[0003]大規(guī)模集成電路經(jīng)常使用鎢靶材進(jìn)行真空濺鍍，鎢具有如下機(jī)械物理性能:鎢是一種難熔金屬，它具有熔點(diǎn)高(達(dá)3400°C )、密度大(19.32g/cm3)、耐化學(xué)腐蝕性好及高溫強(qiáng)度高等特點(diǎn)。
[0004]對鎢靶材進(jìn)行切削加工具備以下特點(diǎn):
[0005]鶴的鑄淀切削加工時，由于鶴的晶粒粗大，易廣生掉塊而使加工面粗糖；
[0006]鎢在室溫下呈脆性，在切削其燒結(jié)制品時，易切削成粉末狀，且硬度很高，加劇了刀具的磨損。
[0007]目前，在對鎢靶材坯料進(jìn)行加工，以形成鎢靶材的過程中，通常采用普通的刀具(如鎢鋼刀片或者陶瓷刀片)進(jìn)行加工。然而，在加工過程中，由于應(yīng)力的緣故，鎢靶材坯料在加工過程中容易出現(xiàn)掉角，所形成鎢靶材的表面粗糙，影響后續(xù)濺射工藝的濺射效果，甚至?xí)霈F(xiàn)放電，對進(jìn)行鍍膜的基片造成損傷。而且，由于鎢的硬度很高，刀具損耗嚴(yán)重，刀具斷裂比較頻繁，導(dǎo)致鎢靶材的制作成本過高。
[0008]有鑒于此，實(shí)有必要提出一種新的鎢靶材的制作方法，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明解決的問題是提供一種鎢靶材的制作方法，減少或避免鎢靶材坯料在加工過程中出現(xiàn)掉角，提高所形成鎢靶材的濺射性能，減少鎢靶材制作過程中的刀具損耗，降低鎢靶材的制作成本。
[0010]為解決上述問題，本發(fā)明提供一種鎢靶材的制作方法，包括:
[0011 ] 提供鎢靶材坯料，所述鎢靶材坯料包括濺射面和背面；
[0012]采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進(jìn)行粗磨；
[0013]在進(jìn)行所述粗磨之后，采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進(jìn)行半精磨；
[0014]在進(jìn)行所述半精磨之后，采用金剛石砂輪對所述濺射面進(jìn)行精磨。
[0015]可選的，所述金剛石砂輪的目數(shù)為120目?150目，所述金剛石砂輪轉(zhuǎn)速為100r/min至4000r/min,所述金剛石砂輪進(jìn)給量為每次0.05mm以下,所述金剛石砂輪進(jìn)給速度為300mm/min 至 800mm/miη。
[0016]可選的，進(jìn)行所述粗磨時，所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為1000r/min至2000r/min,進(jìn)給量為每次0.02mm至0.05mm,進(jìn)給速度為500mm/miη至800mm/miη。
[0017]可選的,進(jìn)行所述半精磨時,所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為1000r/min至2000r/min,進(jìn)給量為每次0.01mm至0.02mm,進(jìn)給速度為450mm/miη至500mm/min。
[0018]可選的,進(jìn)行所述精磨時,所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為3500r/min至4000r/min,進(jìn)給量為每次0.01mm以下，進(jìn)給速度為300mm/miη至450mm/min。
[0019]可選的，在進(jìn)行所述粗磨、所述半精磨和所述精磨時，采用乳化液冷卻所述金剛石砂輪和所述鎢靶材坯料。
[0020]可選的，在進(jìn)行所述粗磨之后且在進(jìn)行所述半精磨之前，所述制作方法還包括:對所述鎢靶材坯料進(jìn)行線切割。
[0021]可選的，在進(jìn)行所述半精磨之后且在進(jìn)行所述精磨之前，所述制作方法還包括:對所述背面進(jìn)行鍍鎳處理。
[0022]可選的，在進(jìn)行所述精磨之后，所述制作方法還包括:將背板與所述背面焊接在一起。
[0023]可選的，在將背板與所述背面焊接在一起之后，所述制作方法還包括:采用金剛石刀片對所述濺射面的邊緣進(jìn)行精加工，以在所述濺射面的邊緣形成凹槽、斜面和圓弧中的一種或幾種。
[0024]可選的，所述金剛石刀片的轉(zhuǎn)速為250r/min至350r/min,進(jìn)給量為每次0.05mm至
0.08mm,進(jìn)給速度為 0.08mm/mi η 至 0.12mm/min。
[0025]可選的，在將背板與所述背面焊接在一起之后，所述制作方法還包括:采用金剛石刀片對所述背板進(jìn)行半精加工，以在所述背板中形成凹槽和連接孔中的一種或者兩種。
[0026]可選的，所述金剛石刀片的轉(zhuǎn)速為180r/min至220r/min,進(jìn)給量為每次0.03mm至
0.05mm,進(jìn)給速度為 0.04mm/mi η 至 0.06mm/min。
[0027]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0028]先采用金剛石砂輪對鎢靶材坯料的濺射面和背面進(jìn)行粗磨，降低鎢靶材坯料的濺射面和背面的粗糙度，以及使粗磨之后鎢靶材坯料背面和濺射面之間的平行度符合要求，在后續(xù)進(jìn)行線切割時，便于對鎢靶材坯料夾持，利于線切割的進(jìn)行；粗磨還能夠快速修正鎢靶材坯料的厚度，使鎢靶材坯料的厚度尺寸等于設(shè)計(jì)尺寸加上后續(xù)進(jìn)行精磨和半精磨的加工余量，提高鎢靶材的制作效率。
[0029]接著，采用金剛石砂輪對鎢靶材坯料的濺射面和背面進(jìn)行半精磨，使進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度均小于進(jìn)行粗磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度，進(jìn)而使進(jìn)行半精磨之后鎢靶材坯料的背面和濺射面的粗糙度分別小于粗磨之后鎢靶材坯料的背面和濺射面的粗糙度，以及使鎢靶材坯料的厚度等于設(shè)計(jì)尺寸加上后續(xù)進(jìn)行精磨的加工余量。
[0030]最后，采用金剛石砂輪對鎢靶材坯料的濺射面進(jìn)行精磨，使進(jìn)行精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度均小于進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度，使精磨之后鎢靶材坯料的濺射面的質(zhì)量符合鎢靶材濺射性能的要求。
[0031]在通過金剛石砂輪對鎢靶材依次進(jìn)行粗磨、半精磨和精磨時，調(diào)節(jié)金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度，使進(jìn)行粗磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度分別大于進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度，以及使進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度分別大于進(jìn)行精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量和進(jìn)給速度，使鎢靶材坯料的背面和濺射面的粗糙度逐漸降低，直至形成符合濺射性能的鎢靶材。由于對鎢靶材依次進(jìn)行粗磨、半精磨和精磨的順序安排合理，能夠減少或避免鎢靶材坯料在加工過程中出現(xiàn)掉角，得到尺寸精度高、表面粗糙度低、符合濺射性能的鎢靶材。
[0032]由于金剛石的硬度高、耐磨性好，在采用金剛石砂輪對鎢靶材坯料進(jìn)行加工時，鎢靶材坯料不易出現(xiàn)掉角，所形成鎢靶材的濺射性能好；而且，金剛石砂輪在對鎢靶材坯料進(jìn)行加工過程中的損耗小，不易發(fā)生斷裂，降低了鎢靶材的制作成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0033]圖1是本發(fā)明鎢靶材的制作方法一個實(shí)施例的流程示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0034]現(xiàn)有技術(shù)中，采用普通的刀具對鎢靶材坯料進(jìn)行加工，鎢靶材坯料易在加工過程中出現(xiàn)掉角，所形成鎢靶材的表面粗糙，影響后續(xù)濺射工藝的濺射效果，甚至?xí)霈F(xiàn)放電，對進(jìn)行鍍膜的基片造成損傷；而且，加工過程中刀具損耗嚴(yán)重，斷裂比較頻繁，導(dǎo)致鎢靶材的制作成本過高
[0035]本發(fā)明采用金剛石砂輪作為對鎢靶材坯料進(jìn)行粗磨、半精磨和精磨的刀具，由于金剛石的硬度高、耐磨性好，鎢靶材坯料在加工過程中不易出現(xiàn)掉角，所形成鎢靶材的濺射性能好，同時，金剛石砂輪在對鎢靶材坯料進(jìn)行加工過程中的損耗小，金剛石砂輪不易發(fā)生斷裂，降低了鎢靶材的制作成本。
[0036]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說明。
[0037]圖1為本發(fā)明鎢靶材的制作方法一個實(shí)施例的流程示意圖，下面結(jié)合圖1對本發(fā)明鎢靶材的制作方法進(jìn)行說明。
[0038]首先，執(zhí)行步驟S101，提供鎢靶材坯料，所述鎢靶材坯料包括濺射面和背面。
[0039]所述濺射面和所述背面位于所述鎢靶材坯料的相對兩側(cè)，所述背面后續(xù)與背板固定。
[0040]接著，執(zhí)行步驟S102，采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進(jìn)行粗磨。
[0041]進(jìn)行粗磨的目的在于:使鎢靶材坯料的背面和濺射面之間的平行度符合要求，粗磨之后鶴祀材還料的厚度尺寸等于設(shè)計(jì)尺寸上加1.3mm?1.5mm的加工余量。
[0042]本實(shí)施例中，所述金剛石砂輪的目數(shù)為120目?150目，如所述金剛石砂輪的目數(shù)為120目、130目、140目或150目。此時，能夠在保證加工效率的同時，使進(jìn)行粗磨、半精磨和精磨之后鎢靶材坯料的背面和濺射面的粗糙度符合要求。
[0043]若金剛石砂輪的目數(shù)小于120目，盡管能夠提高對鎢靶材坯料的加工效率，但很難保證粗磨、半精磨和精磨之后鎢靶材坯料的背面和濺射面的粗糙度符合要求；若金剛石砂輪的目數(shù)大于150目，金剛石砂輪對鎢靶材坯料的加工效率低，鎢靶材的制作時間較長，鎢靶材的制作成本高。
[0044]金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速與其使用壽命關(guān)系密切。當(dāng)提高金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速時，金剛石砂輪的溫度因摩擦而迅速上升，導(dǎo)致其使用壽命縮短。當(dāng)金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速過慢時，會使加工裝置振動，縮短其使用壽命，同時還會降低加工效率。本實(shí)施例在對鎢靶材坯料進(jìn)行粗磨時，所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為1000r/min至2000r/min,如所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為100r/min、1200r/min> 1440r/min、1600r/min> 1800r/min 或 2000r/min。此時，在金剛石砂輪的使用壽命和加工效率之間達(dá)到一個較好的平衡。
[0045]金剛石砂輪的進(jìn)給量決定了鎢靶材坯料的背面和濺射面的質(zhì)量。當(dāng)進(jìn)給量過大時，易導(dǎo)致鎢靶材坯料出現(xiàn)掉角，進(jìn)而導(dǎo)致所形成鎢靶材的表面粗糙，影響后續(xù)濺射工藝的濺射效果；當(dāng)進(jìn)給量過小時，則對金剛石砂輪的磨削面的磨損較大，導(dǎo)致金剛石砂輪的使用壽命大大縮短。由于在粗磨之后還要對鎢靶材坯料進(jìn)行精磨、半精磨等，對進(jìn)行粗磨之后靶材坯料的背面和濺射面的粗糙度要求較低。因此，本實(shí)施例中，所述金剛石砂輪的進(jìn)給量為每次0.02mm至0.05mm,如所述金剛石砂輪的進(jìn)給量為每次0.02mm、0.03mm、0.035mm、
0.04mm 或 0.05mm。
[0046]當(dāng)鎢靶材坯料的表面質(zhì)量能夠得到保證時，為提高加工效率，可選擇較高的進(jìn)給速度。本實(shí)施例中，進(jìn)行粗磨時所述金剛石砂輪的進(jìn)給速度為500mm/min至800mm/min,如所述金剛石砂輪的進(jìn)給速度為 500mm/mi η - 600mm/mi η - 650mm/mi η.700mm/mi η - 750mm/mi η或 800mm/miη η
[0047]由于金剛石的硬度高、耐磨性好，采用金剛石砂輪進(jìn)行粗磨時，鎢靶材坯料不易出現(xiàn)掉角；同時，金剛石砂輪在粗磨過程中的損耗小，金剛石砂輪不易發(fā)生斷裂，降低了鎢靶材的制作成本。
[0048]再接著，執(zhí)行步驟S103，對所述鎢靶材坯料進(jìn)行線切割。
[0049]本實(shí)施例中，對所述鎢靶材坯料進(jìn)行線切割的方法可為電火花線切割(Wire cutElectrical Discharge Machining,簡稱 WEDM)。
[0050]通過對鎢靶材坯料的邊緣進(jìn)行線切割，修正鎢靶材坯料的形狀，使濺射面的形狀與設(shè)計(jì)形狀對應(yīng)，以及使派射面的尺寸等于設(shè)計(jì)尺寸上加3_?6_的加工余量。
[0051]與現(xiàn)有通過車床對鎢靶材坯料邊緣進(jìn)行加工相比，線切割能夠避免在車床加工時裝夾過程將鎢靶材夾碎，進(jìn)而避免加工后的鎢靶材坯料邊緣出現(xiàn)掉角。
[0052]本實(shí)施例中，所述濺射面的設(shè)計(jì)形狀為圓形，濺射面的尺寸指濺射面的直徑。在對所述鎢靶材坯料進(jìn)行線切割之后，濺射面的直徑等于設(shè)計(jì)尺寸上加3mm?6mm的加工余量。
[0053]由于粗磨之后鎢靶材坯料的背面和濺射面的平行度較好，有利于線切割過程中鎢靶材坯料的夾持，進(jìn)而有利于線切割的進(jìn)行。
[0054]再接著，執(zhí)行步驟S104，采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進(jìn)行半精磨。
[0055]本實(shí)施例中，進(jìn)行所述半精磨的金剛石砂輪的目數(shù)為120目?150目，所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為1000r/min至2000r/min,進(jìn)給量為每次0.0lmm至0.02mm,進(jìn)給速度為450mm/min 至 500mm/mino
[0056]進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量小于進(jìn)行粗磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量，進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給速度小于進(jìn)行粗磨時金剛石砂輪的進(jìn)給速度，以使進(jìn)行半精磨之后鎢靶材坯料的背面和濺射面的粗糙度分別小于粗磨之后鎢靶材坯料的背面和濺射面的粗糙度。通過進(jìn)行半精磨，使背面和濺射面的粗糙度達(dá)到0.08 μ m?0.16 μ m，使鎢靶材坯料的厚度尺寸等于設(shè)計(jì)尺寸上加0.15mm?0.25mm的加工余量。
[0057]再接著，執(zhí)行步驟S105，對所述背面進(jìn)行鍍鎳處理。
[0058]本實(shí)施例中，對鎢靶材坯料中背面進(jìn)行鍍鎳處理的方法可參考現(xiàn)有工藝，本發(fā)明對此不做限制。對背面進(jìn)行鍍鎳處理的目的在于為后續(xù)鎢靶材坯料的背面與背板的焊接做準(zhǔn)備。
[0059]再接著，執(zhí)行步驟S106，采用金剛石砂輪對所述濺射面進(jìn)行精磨。
[0060]本實(shí)施例中，進(jìn)行所述精磨的金剛石砂輪的目數(shù)為120目?150目，所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為3500r/min至4000r/min,進(jìn)給量為每次0.0lmm以下,進(jìn)給速度為300mm/min至450mm/mino
[0061]進(jìn)行精磨時金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速大于進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速，進(jìn)行精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量小于進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給量，進(jìn)行精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給速度小于進(jìn)行半精磨時金剛石砂輪的進(jìn)給速度，以進(jìn)一步減小鎢靶材坯料的濺射面的粗糙度。通過進(jìn)行精磨，使鎢靶材坯料的厚度尺寸等于設(shè)計(jì)尺寸，并使鎢靶材坯料濺射面的粗糙度達(dá)到0.04 μ m?0.08 μ m,進(jìn)而使濺射面的質(zhì)量符合鎢靶材濺射性能的要求。
[0062]采用金剛石砂輪對鎢靶材坯料進(jìn)行半精磨和精磨時，鎢靶材坯料不易出現(xiàn)掉角，金剛石砂輪的損耗小且不易發(fā)生斷裂。其具體原因與采用金剛石砂輪進(jìn)行粗磨類似，在此不做詳述。
[0063]需要說明的是，本實(shí)施例在采用金剛石進(jìn)行對鎢靶材坯料進(jìn)行粗磨、半精磨和精磨時，還采用乳化液冷卻所述金剛石砂輪和所述鎢靶材坯料，以減小它們的變形從而提高加工精度，并延長了金剛石砂輪的使用壽命。
[0064]在其他實(shí)施例中，還可省略所述采用乳化液冷卻所述金剛石砂輪和所述鎢靶材坯料的步驟。
[0065]還需要說明的是，由于鍍鎳處理容易對濺射面造成損傷，為了使所形成鎢靶材的濺射面的濺射性能符合要求，步驟S105中對所述背面進(jìn)行鍍鎳處理與步驟S105中采用金剛石砂輪對所述濺射面進(jìn)行精磨不能互換。
[0066]再接著，執(zhí)行步驟S107，將背板與所述背面焊接在一起。
[0067]本實(shí)施例中，所述背板的材料可為銅，但本發(fā)明不限于此。
[0068]本實(shí)施例中，將背板與所述背面焊接在一起的方法可為釬焊或者銦焊，本發(fā)明對此不做限制。
[0069]再接著，執(zhí)行步驟S108，采用金剛石刀片對所述背板進(jìn)行半精加工，以在所述背板中形成凹槽和連接孔中的一種或者兩種。
[0070]本實(shí)施例中，在進(jìn)行半精加工時，所述金剛石刀片的轉(zhuǎn)速為250r/min至350r/min,進(jìn)給量為每次0.05mm至0.08mm,進(jìn)給速度為0.08mm/mi η至0.12mm/min。
[0071]具體的，所述金剛石刀片的轉(zhuǎn)速可為250r/min、270r/min、295r/min、320r/min或者350r/min等；所述進(jìn)給量可為每次0.05mm、0.055mm、0.06mm、0.07mm或者0.08mm等；所述進(jìn)給速度可為 0.08mm/min、0.085mm/min、0.09mm/min、0.10mm/mi n 或者 0.12mm/min。
[0072]本實(shí)施例中，背板中凹槽、連接孔用于在進(jìn)行濺射工藝時對鎢靶材進(jìn)行固定。
[0073]最后，執(zhí)行步驟S109，采用金剛石刀片對所述濺射面的邊緣進(jìn)行精加工，以在所述濺射面的邊緣形成凹槽、斜面和圓弧中的一種或幾種。
[0074]本實(shí)施例中，在進(jìn)行精加工時，若金剛石刀片的轉(zhuǎn)速、進(jìn)給量和進(jìn)給速度過大，會增大濺射面出現(xiàn)掉角的幾率；而若金剛石刀片的轉(zhuǎn)速、進(jìn)給量和進(jìn)給速度過小，又會增加金剛石刀片的磨損，增加鎢靶材的制作成本。因此，本實(shí)施例在進(jìn)行精加工時，所述金剛石刀片的轉(zhuǎn)速為180r/min至220r/min,進(jìn)給量為每次0.03mm至0.05mm,進(jìn)給速度為0.04mm/min 至 0.06mm/mino
[0075]具體的，所述金剛石刀片的轉(zhuǎn)速可為180r/min、200r/min、205r/min、210r/min或者220r/min等；所述進(jìn)給量可為每次0.03mm、0.035mm、0.04mm、0.045mm或者0.05mm等；所述進(jìn)給速度可為 0.04mm/min、0.045mm/min、0.05mm/min、0.055mm/min 或者 0.06mm/min。
[0076]由于金剛石的硬度高、耐磨性好，采用金剛石刀具進(jìn)行精加工能夠有效避免濺射面的邊緣出現(xiàn)掉角，提高了所形成鎢靶材的濺射性能，同時降低了加工鎢靶材坯料過程中的刀具損耗，降低了鎢靶材的制作成本。
[0077]本實(shí)施例中，通過金剛石砂輪依次對鎢靶材坯料進(jìn)行粗磨、半精磨和精磨，以及采用金剛石刀片對濺射面的邊緣進(jìn)行精加工，能夠較少或者避免鎢靶材坯料在加工過程中出現(xiàn)掉角，提高了所形成鎢靶材的濺射性能，以及降低了鎢靶材坯料在加工過程中的刀具損耗，降低了制作鎢靶材的成本。
[0078]另外，由于制作鎢靶材過程中，粗磨、半精磨、精磨、半精加工、精加工的次序安排合理，進(jìn)行每一步上述工藝的參數(shù)(余量、轉(zhuǎn)速、進(jìn)給量和進(jìn)給速度)合理選擇，保證了所形成的鎢靶材符合濺射要求，提高了鎢靶材的制作效率，降低了鎢靶材的制作成本。
[0079]雖然本發(fā)明披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種鎢靶材的制作方法，其特征在于，包括: 提供鎢靶材坯料，所述鎢靶材坯料包括濺射面和背面； 采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進(jìn)行粗磨； 在進(jìn)行所述粗磨之后，采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進(jìn)行半精磨； 在進(jìn)行所述半精磨之后，采用金剛石砂輪對所述濺射面進(jìn)行精磨。
2.如權(quán)利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述金剛石砂輪的目數(shù)為120目?150目，所述金剛石砂輪轉(zhuǎn)速為1000r/min至4000r/min,所述金剛石砂輪進(jìn)給量為每次0.05mm以下,所述金剛石砂輪進(jìn)給速度為300mm/min至800mm/min。
3.如權(quán)利要求2所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，進(jìn)行所述粗磨時，所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為1000r/min至2000r/min,進(jìn)給量為每次0.02mm至0.05mm,進(jìn)給速度為500mm/min 至 800mm/miη。
4.如權(quán)利要求2所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，進(jìn)行所述半精磨時，所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為1000r/min至2000r/min,進(jìn)給量為每次0.0lmm至0.02mm,進(jìn)給速度為450mm/min 至 500mm/mino
5.如權(quán)利要求2所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，進(jìn)行所述精磨時，所述金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為3500r/min至4000r/min,進(jìn)給量為每次0.0lmm以下,進(jìn)給速度為300mm/min至 450mm/mino
6.如權(quán)利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在進(jìn)行所述粗磨、所述半精磨和所述精磨時，采用乳化液冷卻所述金剛石砂輪和所述鎢靶材坯料。
7.如權(quán)利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在進(jìn)行所述粗磨之后且在進(jìn)行所述半精磨之前，所述制作方法還包括:對所述鎢靶材坯料進(jìn)行線切割。
8.如權(quán)利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在進(jìn)行所述半精磨之后且在進(jìn)行所述精磨之前，所述制作方法還包括:對所述背面進(jìn)行鍍鎳處理。
9.如權(quán)利要求8所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在進(jìn)行所述精磨之后，所述制作方法還包括:將背板與所述背面焊接在一起。
10.如權(quán)利要求9所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在將背板與所述背面焊接在一起之后，所述制作方法還包括:采用金剛石刀片對所述濺射面的邊緣進(jìn)行精加工，以在所述濺射面的邊緣形成凹槽、斜面和圓弧中的一種或幾種。
11.如權(quán)利要求10所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述金剛石刀片的轉(zhuǎn)速為250r/min 至 350r/min,進(jìn)給量為每次0.05mm至 0.08mm,進(jìn)給速度為 0.08mm/miη 至 0.12mm/mir1
12.如權(quán)利要求9所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在將背板與所述背面焊接在一起之后，所述制作方法還包括:采用金剛石刀片對所述背板進(jìn)行半精加工，以在所述背板中形成凹槽和連接孔中的一種或者兩種。
13.如權(quán)利要求12所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述金剛石刀片的轉(zhuǎn)速為180r/min 至 220r/min,進(jìn)給量為每次 0.03mm 至 0.05mm,進(jìn)給速度為 0.04mm/mi η 至 0.06mm/mir1
【文檔編號】B23P15/00GK104416325SQ201310366627
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月21日
【發(fā)明者】姚力軍, 相原俊夫, 大巖一彥, 潘杰, 王學(xué)澤, 龔祖光 申請人:寧波江豐電子材料股份有限公司