專利名稱：一種使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于工業(yè)熱處理的真空釬焊爐，具體涉及一種使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐。
背景技術(shù)：
釬焊是一種由來已久的材料連接方法，主要用于制造精密儀表、電氣零部件、異種金屬構(gòu)件以及復(fù)雜的薄板結(jié)構(gòu)(如夾層構(gòu)件、蜂窩結(jié)構(gòu))，也常用于釬焊各類異線與硬質(zhì)合金刀具。在微波波導(dǎo)、電子管和電子真空器件的制造中，釬焊甚至是唯一可能的連接方法。到現(xiàn)階段，釬焊行業(yè)的發(fā)展可以說取得了很大的進(jìn)步，釬焊方式也得到了較深入的細(xì)分，其中根據(jù)熱源種類和加熱方式分類有烙鐵加熱、火焰加熱、電阻加熱、爐中加熱、感應(yīng)加熱及浸潰加熱等。與其他釬焊方法相比，爐中釬焊在各個(gè)階段(包括冷卻階段)都能精確地控制溫度并使溫度均勻化，另外，爐中釬焊能以較低的單件成本釬焊大批量的組件，因此大批量生產(chǎn)時(shí)最具經(jīng)濟(jì)效益。爐中釬焊根據(jù)釬焊過程中焊件所處氣氛的不同，可以分為空氣爐中釬焊、保護(hù)氣氛爐中釬焊和真空爐中釬焊三種。雖然空氣爐中釬焊相較于其他兩種爐中釬焊，具有設(shè)備較為簡單的優(yōu)點(diǎn)，但由于爐中釬焊的加熱速度低，在空氣環(huán)境中進(jìn)行釬焊時(shí)容易氧化，因此存在有釬焊后的接頭表面有釬劑殘?jiān)蜔峁?，不利于釬劑除去氧化物等缺陷。而保護(hù)氣氛中釬焊由于所用的一些還原性保護(hù)氣體排放到大氣時(shí)存在一定的安全隱患而受到某些限制，如氫氣，當(dāng)空氣中氫含量高于4%時(shí)會(huì)引起爆炸。與前兩種爐中釬焊相比，真空釬焊是一種在絕壓下采用輻射方式使組裝好的釬焊件和釬焊合金均勻升溫至所要求的溫度進(jìn)行釬焊的工藝，其具有以下突出優(yōu)點(diǎn):1.真空操作，釬焊金屬表面不會(huì)被氧化。2.一般不需要釬劑，因而不存在排出有害和有毒氣體所引發(fā)的環(huán)境污染問題，也不存在殘留釬劑對金屬的腐蝕問題。3.真空釬焊釬料具有良好的流動(dòng)性和濕潤性，能夠釬焊更復(fù)雜和狹小通道的器件，提高了產(chǎn)品的成品率。真空釬焊爐作為真空釬焊實(shí)施的設(shè)備，其綜合工作性能至關(guān)重要?？v觀目前已有的真空釬焊爐，主要存在以下不足:1.現(xiàn)有真空釬焊爐加熱室多采用石墨管作為輻射加熱體，并且采用多層石墨氈隔熱。2.現(xiàn)有真空釬焊爐的冷卻一般是通過長時(shí)間放置的自然冷卻方式，冷卻時(shí)間較長。3.使用之后的惰性氣體(如氬氣等)直接排出，造成浪費(fèi)。這些缺陷或者與爐中加熱方式應(yīng)該具有的加熱均勻、爐溫可控的優(yōu)點(diǎn)相悖，或者降低了生產(chǎn)效率、增加了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對真空釬焊爐現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，采用熱轉(zhuǎn)換效率高的紅外輻射式一體化金屬石英片作為加熱體，并且對惰性氣體進(jìn)行循環(huán)回收利用，從而達(dá)到加熱效率高、保溫性能好、經(jīng)濟(jì)性優(yōu)良的效果。本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:一種使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其包括有爐體、抽真空系統(tǒng)、真空加熱系統(tǒng)和冷卻及尾部集氣系統(tǒng)，其中，真空加熱系統(tǒng)設(shè)置于爐體內(nèi)，抽真空系統(tǒng)與爐體連接，冷卻及尾部集氣系統(tǒng)同時(shí)與抽真空系統(tǒng)和爐體分別連接。所述的爐體包括有不銹鋼外殼、套置于該不銹鋼外殼內(nèi)部的內(nèi)側(cè)圓桶以及蓋置于該內(nèi)側(cè)圓桶上的爐蓋，該爐體的內(nèi)腔空間被分隔為隔熱室和真空加熱室，該隔熱室由所述不銹鋼外殼與內(nèi)側(cè)圓桶圍成，該真空加熱室由所述內(nèi)側(cè)圓桶與爐蓋圍成，該爐蓋內(nèi)層襯有耐火磚，所述內(nèi)側(cè)圓桶的側(cè)壁上開設(shè)有均勻分布的通孔。所述的爐蓋與內(nèi)側(cè)圓桶之間墊有密封圈。所述的隔熱室內(nèi)布置有若干層金屬圓環(huán)遮熱板，該金屬圓環(huán)遮熱板的上端嵌在四個(gè)均勻分布的長方體卡板的凹槽內(nèi)，下端嵌在一米字型卡板上，該米字型卡板的下表面為波浪狀且與所述不銹鋼外殼的內(nèi)壁形成點(diǎn)接觸。所述的抽真空系統(tǒng)包括有抽氣管、羅茨泵、第一閥門和第二閥門，其中，抽氣管通過所述爐蓋和耐火磚進(jìn)入到所述真空加熱室中，羅茨泵與抽氣管之間通過軟管進(jìn)行連接，第一閥門設(shè)置于抽氣管上，第二閥門設(shè)置于羅茨泵上。所述的真空加熱系統(tǒng)包括有若干紅外輻射式一體化金屬石英加熱片、兩加熱片固定環(huán)以及電源接線，其中，兩加熱片固定環(huán)分別設(shè)置于所述真空加熱室內(nèi)的上下側(cè)，加熱片固定環(huán)上設(shè)有若干電極固定夾，各紅外輻射式一體化金屬石英加熱片分別夾固于加熱片固定環(huán)的各電極固定夾上，電源接線與電極固定夾連接并接通到電源上。所述的紅外輻射式一體化金屬石英加熱片由疊壓在一起的兩石英基板、熔合在兩石英基板之間的多條平行排列的電阻發(fā)熱線路以及位于石英基板上、下端并與電阻發(fā)熱線路兩端分別連接的兩金屬引線板構(gòu)成。所述的紅外輻射式一體化金屬石英加熱片的制作過程為:在一石英基板上用電阻漿料印刷成并聯(lián)的電阻發(fā)熱線路，使用氫氧噴燈對該石英基板和另一即將與之壓實(shí)的石英基板的接觸面加熱，將兩石英基板對合壓實(shí)，使電阻發(fā)熱線路熔合在疊壓的石英基板內(nèi)，使之成為一體，再經(jīng)退火、定厚、精磨和拋光，最后將電阻發(fā)熱線路兩端分別與兩金屬引線板釬焊。所述的冷卻及尾部集氣系統(tǒng)包括有氬氣瓶、風(fēng)扇、翅片換熱器、第三閥門、第四閥門、第五閥門和第六閥門，其中，翅片換熱器的上端通過第三閥門與所述羅茨泵連接，下端通過第四閥門與所述爐體的隔熱室連接，氬氣瓶依次通過第六閥門和第五閥門與翅片換熱器的下端連接，風(fēng)扇設(shè)置于翅片換熱器的旁側(cè)。與現(xiàn)有真空釬焊爐相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):輻射式加熱體采用熱轉(zhuǎn)換效率更高、輻射率更穩(wěn)定、高溫不變形的石英玻璃制成，因而加熱效率更高；加熱體的結(jié)構(gòu)布置采用緊湊性更好的八邊形結(jié)構(gòu)布置；對于真空加熱室采用了多層隔熱防護(hù)板，以減少真空釬焊爐向外的熱輻射量，保證了焊接的溫度要求；對焊接之后所用的冷卻氣體，采用了可以循環(huán)回收利用的方式，降低了惰性氣體的泄漏，達(dá)到了極高的工作經(jīng)濟(jì)性。


圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的A-A截面示意圖。圖3是圖1的B-B截面示意圖。
圖4是圖1的C-C截面不意圖。圖5是圖1的D-D截面示意圖。圖6是圖1的E-E截面示意圖。圖7是翅片換熱器的截面示意圖。圖8是真空加熱系統(tǒng)的局部示意圖。圖9為紅外輻射式一體化金屬石英加熱片的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:I不銹鋼外殼,2內(nèi)側(cè)圓桶,3金屬圓環(huán)遮熱板,4長方體卡板,5米字型卡板,6耐火磚，7爐蓋,8密封圈,9抽氣管，10羅茨泵，11第一閥門，12軟管，13紅外福射式一體化金屬石英加熱片，14加熱片固定環(huán)，15電源接線，16電極固定夾，17石英基板，18電阻發(fā)熱線路，19金屬引線板，20氬氣瓶，21風(fēng)扇，22翅片換熱器，23第二閥門，24第三閥門，25第四閥門，26第五閥門，27第六閥門。
具體實(shí)施例方式通過閱讀附圖能夠更好地理解本發(fā)明的內(nèi)容，下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明作詳細(xì)說明，該實(shí)施例以本發(fā)明的技術(shù)方案為前提給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過程，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。如圖1所示，所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐包括有爐體、抽真空系統(tǒng)、真空加熱系統(tǒng)和冷卻及尾部集氣系統(tǒng)，其中，真空加熱系統(tǒng)設(shè)置于爐體內(nèi)，抽真空系統(tǒng)與爐體連接，冷卻及尾部集氣系統(tǒng)同時(shí)與抽真空系統(tǒng)和爐體分別連接，各個(gè)系統(tǒng)之間依靠閥門、管道以及軟管連接。如圖1至圖6所示，所述的爐體包括有不銹鋼外殼1、內(nèi)側(cè)圓桶2以及爐蓋7，其中，內(nèi)側(cè)圓桶2套置于不銹鋼外殼I的內(nèi)部，爐蓋7蓋置于內(nèi)側(cè)圓桶2的上面。所述爐體的內(nèi)腔空間被分隔為兩部分:隔熱室和真空加熱室，該隔熱室由所述不銹鋼外殼I與內(nèi)側(cè)圓桶2圍成，中間布置有若干層(本實(shí)施例為6層，見圖4)發(fā)射率較低的金屬圓環(huán)遮熱板3，主要用來減少爐體內(nèi)外壁間的輻射傳熱，根據(jù)傳熱學(xué)理論推算，輻射熱量大為減小，將減小為原來的1/7。所述隔熱室內(nèi)上部設(shè)置有四個(gè)均勻分布的帶有凹槽的長方體卡板4(見圖3)，下部設(shè)置有一帶凹槽的米字型卡板5 (見圖6)，該米字型卡板5的下表面加工為波浪狀(見圖
1)，與所述不銹鋼外殼I的下內(nèi)壁點(diǎn)形成接觸以增大接觸熱阻，從而進(jìn)一步減小熱損失。所述金屬圓環(huán)遮熱板3的上端嵌在該四個(gè)長方體卡板4的凹槽內(nèi)，下端嵌在米字型卡板5上的凹槽內(nèi)。所述真空加熱室由所述內(nèi)側(cè)圓桶2與爐蓋7圍成，該爐蓋7內(nèi)層襯有耐火磚6，爐蓋7與內(nèi)側(cè)圓桶2邊緣之間墊有密封圈8。所述內(nèi)側(cè)圓桶2的側(cè)壁上開設(shè)有均勻分布的小通孔(見圖1)。如圖1所示，所述的抽真空系統(tǒng)主要包括有抽氣管9、羅茨泵10、第一閥門11和第二閥門23，其中，抽氣管9通過所述爐蓋7和耐火磚6進(jìn)入到真空加熱室中，羅茨泵10與抽氣管9之間通過軟管12進(jìn)行連接，用以對真空加熱室抽真空，第一閥門11設(shè)置于抽氣管9上，第二閥門23設(shè)置于羅茨泵10上。如圖1和圖5所示，所述的真空加熱系統(tǒng)包括有若干(本實(shí)施例中為8片)紅外輻射式一體化金屬石英加熱片13、兩加熱片固定環(huán)14以及電源接線15，其中，兩加熱片固定環(huán)14分別設(shè)置于所述真空加熱室內(nèi)的上下側(cè)，加熱片固定環(huán)14上設(shè)有若干電極固定夾16，見圖8，8片紅外輻射式一體化金屬石英加熱片13呈八邊形布置，分別夾固于加熱片固定環(huán)14的八個(gè)電極固定夾16上，電源接線15與電極固定夾16連接并接通到電源上。如圖8和圖9所示，所述的紅外輻射式一體化金屬石英加熱片13是一種自行設(shè)計(jì)的紅外輻射加熱元件，其由疊壓在一起的兩能夠發(fā)熱的石英基板17、利用電阻漿料印刷成的多條平行排列的電阻發(fā)熱線路18以及位于石英基板17上、下端的兩金屬引線板19構(gòu)成；該多條電阻發(fā)熱線路18熔合在兩石英基板17之間，該兩金屬引線板19與電阻發(fā)熱線路18的兩端分別連接。當(dāng)紅外輻射式一體化金屬石英加熱片13兩端分別插入加熱片固定環(huán)14時(shí)，金屬引線板19與電極固定夾16即進(jìn)行了電路連通。所述的紅外輻射式一體化金屬石英加熱片13的制作過程為:在一塊矩形的石英基板17上用電阻漿料印刷成預(yù)定的并聯(lián)的電阻發(fā)熱線路18 ;使用氫氧噴燈對該石英基板17和另一即將與之壓實(shí)的石英基板17的接觸面加熱，將兩石英基板17對合壓實(shí)，使電阻發(fā)熱線路18熔合在疊壓的兩石英基板17內(nèi)，使之成為一體；兩石英基板17壓緊后放入退火爐中1100 1150°C退火2 3小時(shí)消除應(yīng)力，再冷卻至室溫后，送入定厚機(jī)按需要進(jìn)行定厚，然后進(jìn)行必要的精磨和拋光至達(dá)到要求，其中精磨加工的線速度不超過0.4m/s，壓力不超過40g/cm2,拋光機(jī)機(jī)加工線速度不超過0.3m/s,壓力低于30g/cm2,拋光劑成分為氧化鋪和水，兩者比例小于1:6，最后將電阻發(fā)熱線路18的兩端分別與兩金屬引線板19釬焊。所述的石英基板17是指將含99%的SiO2的石英錠在1735°C 1785°C下熱熔后放入模具加工成石英平板，在切割機(jī)床上分割成想要的具體形狀。然后對石英板進(jìn)行清洗酸處理，酸液的成分為氫氟酸與鹽酸的重量比為1:2 5的二元混合酸或者氫氟酸、鹽酸與硝酸的重量比為1:2 5:1的三元混合酸，酸濃度在3% 8%之間，酸液重量按所處理石英料的2% 5%添加，使用攪拌漿攪拌，清洗時(shí)間6 15小時(shí)。清洗結(jié)束后將石英板用遠(yuǎn)紅外輻射加熱裝置烘干水分(<1%)，或在175 185°C的溫度下保溫2 3小時(shí)除去水分，即制成石英基板17。所述的電阻漿料是指鎢粉、鑰粉以及輔料的混合物，輔料包括生石灰、滑石粉、氧化鑭、氧化硅和粘合劑。制成的石英基板17在安裝通電后，電阻發(fā)熱線路18發(fā)射的近紅外光和可見光中的95%被石英基板17所阻擋和吸收，使板內(nèi)溫度升高并產(chǎn)生純硅氧鍵的分子振動(dòng)，進(jìn)而輻射紅外線，從而使95%的可見光、近紅外光均可轉(zhuǎn)化為遠(yuǎn)紅外光輻射。所述紅外輻射式一體化金屬石英加熱片13紅外輻射率高，可以利用遠(yuǎn)紅外光，對輻射物體進(jìn)行非接觸加熱。與其他加熱元件相比，其具有不用涂料、輻射率穩(wěn)定、熱慣性小、熱轉(zhuǎn)換效率高的特點(diǎn)，與現(xiàn)有的依靠石英輻射特性加熱裝置相比，使用壽命更長，效率更高。如圖1和圖7所示，所述的冷卻及尾部集氣系統(tǒng)用于對加熱工作后的真空加熱室進(jìn)行冷卻和循環(huán)回收利用惰性氣體，其包括有氬氣瓶20、風(fēng)扇21、翅片換熱器22、第三閥門24、第四閥門25、第五閥門26和第六閥門27，其中，翅片換熱器22的上端通過第三閥門24與所述羅茨泵10連接，下端的三通接頭通過第四閥門25與所述爐體的隔熱室連接，氬氣瓶20依次通過第六閥門27和第五閥門26與翅片換熱器22下端的三通接頭連接，風(fēng)扇21設(shè)置于翅片換熱器22的旁側(cè)。如圖1所示，本發(fā)明的具體工作流程如下:在所述裝置組裝完畢后，關(guān)閉第四閥門25，打開第一閥門11和第二閥門23，此時(shí)其他閥門的狀態(tài)為第三閥門24和第五閥門26開啟，第六閥門27關(guān)閉。接通羅茨泵10電源，這樣真空加熱室中的空氣就通過抽氣管9排出，隔熱室中的空氣通過金屬圓環(huán)遮熱板3與長方體卡板4和米字型卡板5的空隙經(jīng)由內(nèi)側(cè)圓桶2側(cè)壁上的小通孔首先抽到真空加熱室中，進(jìn)而排到大氣環(huán)境中，這樣整個(gè)爐體就處于真空狀態(tài)。關(guān)閉第一閥門11，接通紅外輻射式金屬石英一體化加熱片13的電源，電阻發(fā)熱線路18發(fā)射的近紅外光和可見光被轉(zhuǎn)化為遠(yuǎn)紅外光對輻射物體進(jìn)行非接觸加熱，釬焊件溫度均勻上升至釬焊工作溫度，金屬圓環(huán)遮熱板3的存在大大減少了真空加熱室向爐體外壁輻射的熱量，約為原來的1/7，使得加熱效率更高。待釬焊工作完成后，打開第六閥門27約10分鐘，通過第二閥門23排出翅片換熱器22和與其相連的管道中的空氣。關(guān)閉第二閥門23，打開第一閥門11和第四閥門25，使得氬氣充滿整個(gè)密閉系統(tǒng)，關(guān)閉第六閥門27。此時(shí)接通風(fēng)扇21的電源，使得翅片換熱器22換熱增強(qiáng)以盡快使釬焊爐迅速冷卻。最后，打開第六閥門27，關(guān)閉第四閥門25，接通羅茨泵10電源將氬氣收集回氬氣瓶20以備下次使用，關(guān)閉第六閥門27。與現(xiàn)有釬焊爐相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):對于輻射式加熱體采用熱轉(zhuǎn)換效率更高、輻射率更穩(wěn)定、高溫不變形的石英玻璃制成；加熱體的結(jié)構(gòu)布置采用緊湊性更好的八邊形結(jié)構(gòu)布置；對于輻射爐采用了多層隔熱防護(hù)板，以減少真空爐向外的熱輻射量，保證了焊接的溫度要求；對焊接之后所用的冷卻氣體，采用了可以循環(huán)回收的方式，降低了惰性氣體泄漏，達(dá)到了極高的工作經(jīng)濟(jì)性。
權(quán)利要求
1.一種使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述真空釬焊爐包括有爐體、抽真空系統(tǒng)、真空加熱系統(tǒng)和冷卻及尾部集氣系統(tǒng)，其中，真空加熱系統(tǒng)設(shè)置于爐體內(nèi)，抽真空系統(tǒng)與爐體連接，冷卻及尾部集氣系統(tǒng)同時(shí)與抽真空系統(tǒng)和爐體分別連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述的爐體包括有不銹鋼外殼、套置于該不銹鋼外殼內(nèi)部的內(nèi)側(cè)圓桶以及蓋置于該內(nèi)側(cè)圓桶上的爐蓋，該爐體的內(nèi)腔空間被分隔為隔熱室和真空加熱室，該隔熱室由所述不銹鋼外殼與內(nèi)側(cè)圓桶圍成，該真空加熱室由所述內(nèi)側(cè)圓桶與爐蓋圍成，該爐蓋內(nèi)層襯有耐火磚，所述內(nèi)側(cè)圓桶的側(cè)壁上開設(shè)有均勻分布的通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述的爐蓋與內(nèi)側(cè)圓桶之間墊有密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述的隔熱室內(nèi)布置有若干層金屬圓環(huán)遮熱板，該金屬圓環(huán)遮熱板的上端嵌在四個(gè)均勻分布的長方體卡板的凹槽內(nèi)，下端嵌在一米字型卡板上，該米字型卡板的下表面為波浪狀且與所述不銹鋼外殼的內(nèi)壁形成點(diǎn)接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述的抽真空系統(tǒng)包括有抽氣管、羅茨泵、第一閥門和第二閥門，其中，抽氣管通過所述爐蓋和耐火磚進(jìn)入到所述真空加熱室中，羅茨泵與抽氣管之間通過軟管進(jìn)行連接，第一閥門設(shè)置于抽氣管上，第二閥門設(shè)置于羅茨泵上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述的真空加熱系統(tǒng)包括有若干紅外輻射式一體化金屬石英加熱片、兩加熱片固定環(huán)以及電源接線，其中，兩加熱片固定環(huán)分別設(shè)置于所述真空加熱室內(nèi)的上下側(cè)，加熱片固定環(huán)上設(shè)有若干電極固定夾，各紅外輻射式一體化金屬石英加熱片分別夾固于加熱片固定環(huán)的各電極固定夾上，電源接線與電極固定夾連接并接通到電源上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述的紅外輻射式一體化金屬石英加熱片由疊壓在一起的兩石英基板、熔合在兩石英基板之間的多條平行排列的電阻發(fā)熱線路以及位于石英基板上、下端并與電阻發(fā)熱線路兩端分別連接的兩金屬引線板構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述的紅外輻射式一體化金屬石英加熱片的制作過程為:在一石英基板上用電阻漿料印刷成并聯(lián)的電阻發(fā)熱線路，使用氫氧噴燈對該石英基板和另一即將與之壓實(shí)的石英基板的接觸面加熱，將兩石英基板對合壓實(shí)，使電阻發(fā)熱線路熔合在疊壓的石英基板內(nèi)，使之成為一體，再經(jīng)退火、定厚、精磨和拋光，最后將電阻發(fā)熱線路兩端分別與兩金屬引線板釬焊。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其特征在于:所述的冷卻及尾部集氣系統(tǒng)包括有氬氣瓶、風(fēng)扇、翅片換熱器、第三閥門、第四閥門、第五閥門和第六閥門，其中，翅片換熱器的上端通過第三閥門與所述羅茨泵連接，下端通過第四閥門與所述爐體的隔熱室連接，氬氣瓶依次通過第六閥門和第五閥門與翅片換熱器的下端連接，風(fēng)扇設(shè)置于翅片換熱器的旁側(cè)。
全文摘要
一種使用金屬石英一體化輻射加熱器的真空釬焊爐，其包括有爐體、抽真空系統(tǒng)、真空加熱系統(tǒng)和冷卻及尾部集氣系統(tǒng)，其中，真空加熱系統(tǒng)設(shè)置于爐體內(nèi)，抽真空系統(tǒng)與爐體連接，冷卻及尾部集氣系統(tǒng)同時(shí)與抽真空系統(tǒng)和爐體分別連接。本發(fā)明采用熱轉(zhuǎn)換效率更高、輻射率更穩(wěn)定、高溫不變形的金屬石英一體化輻射加熱片，結(jié)構(gòu)布置緊湊；真空爐設(shè)置了多層隔熱防護(hù)板，減少了熱量損失，保證了釬焊的溫度要求；強(qiáng)制冷卻方式冷卻時(shí)間短，提高了生產(chǎn)效率；對所用的惰性氣體采用了循環(huán)回收利用的方式，降低了泄漏，達(dá)到了極高的經(jīng)濟(jì)性。
文檔編號B23K3/047GK103157875SQ20131009096
公開日2013年6月19日 申請日期2013年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月20日
發(fā)明者李元陽, 李雙雙, 劉振華 申請人:上海交通大學(xué)