高功率纖維激光器瀉流孔鉆孔裝置和使用該裝置的方法
【專利摘要】一種纖維激光處理工件配置成具有主體，主體具有不連續(xù)表面，其限定多個間隔開的貫穿的通道，使得每個通道由外圍層界定，所述外圍層具有表面特性，所述表面特性包括再鑄層或和一個或多個微裂紋或其組合。通道是由高功率Yb纖維激光器提供，所述高功率Yb纖維激光器操作脈沖機(jī)制并且被配置為在每一個整個通道上輸出單個脈沖或者在每一個通道上輸出脈沖串。所述Yb纖維激光器如此配置使得，如果形成再鑄層和微裂紋，每一個比航空工業(yè)中相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)小。
【專利說明】高功率纖維激光器瀉流孔鉆孔裝置和使用該裝置的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于處理航天發(fā)動機(jī)材料的高功率纖維激光裝置。特別地，本發(fā)明涉及一種用于在航天材料中鉆孔/通道的高功率脈沖纖維激光系統(tǒng)，和使用高功率脈沖纖維激光有效和重復(fù)地鉆大致均勻的孔的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]包括鉆孔的激光加工是熔化過程，其中在液體狀態(tài)過程中未被蒸發(fā)或移除的基材再固化且變成再鑄層。在傳統(tǒng)的激光鉆孔過程的情形中，再鑄層通常在被鉆孔的側(cè)壁處由再固化的熔化材料形成。在鉆的孔/通道由冷卻介質(zhì)通過的位置，再鑄層是特別不期望的。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求再鑄層是大約0.005"厚或更小。但是即使這樣薄的再鑄層也是極不可取的。
[0003]處理后的金屬的快速固化導(dǎo)致通常延伸進(jìn)入母材的微裂紋。工業(yè)上可接受的微裂紋的寬度為約0.0016"。然而，可接受的寬度是如此微小，這種微裂紋往往降低零件壽命。
[0004]航天燃?xì)鉁u輪機(jī)要求有大量的小直徑的孔(< Inam)以對渦輪葉片、噴嘴引導(dǎo)翼或?qū)蛉~片、燃燒室和后燃燒室提供冷卻。成千上萬的孔被引入這些部件的表面，以允許冷卻空氣的薄膜在渦輪機(jī)的操作在部件之上流動。冷卻薄膜延長部件壽命且允許從發(fā)動機(jī)實(shí)現(xiàn)額外的性能。典型的現(xiàn)代發(fā)動機(jī)將具有100，000個這樣的孔/通道。現(xiàn)在已經(jīng)令人滿意地確立通過高峰值功率脈沖Nd-YAG激光器鉆孔這些冷卻孔，但是再鑄和微裂紋的問題仍然懸而未決。
[0005]正如在激光領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所知道的，每一種類型的激光器在諸如提供具有多個孔的航天部件的特定用途的情況下都有其優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。具體地，參見Nd-YAG激光器，優(yōu)點(diǎn)包括(除其他優(yōu)點(diǎn)外)將在Iym波長范圍內(nèi)的輻射良好耦合為部分和高脈沖能量和峰值功率。
[0006]然而，已知單模式(“SM”)Nd-YAG激光也有多種局限性，這可能并不總是導(dǎo)致其在航天工業(yè)中的有效的使用，因?yàn)槠湫阅苋我庾兓蚱x。例如，由于通常使用的高斯束具有小半徑圓頂形橫截面，因此在整個激光光束上的功率分布可能并不總是均勻的或一致的。此外，脈沖寬度可能會波動。同樣令人不安的是，難以控制相應(yīng)的隨后脈沖的峰值-峰值的功率。因此，鉆出的孔，除了典型的再鑄層和微裂紋以外，可能具有不同的圓度、密度，因此，可能不是期望的工業(yè)要求的質(zhì)量。
[0007]由于通常設(shè)計用于低的重復(fù)率和每個脈沖高峰值功率的電源和閃光燈的限制，進(jìn)一步的限制可能涉及相對低的脈沖頻率。作為一般規(guī)律，試圖增加重復(fù)頻率導(dǎo)致每個脈沖的最大功率急劇下降。在當(dāng)前對于高功率和更高的重復(fù)頻率的需求的情況下，目前使用的Nd-YAG激光器可能無法滿足這些需求。
[0008]此外，如激光【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員所知道的，傳統(tǒng)的Nd-YAG激光器具有復(fù)雜的腔體設(shè)計，通常需要在封閉在水套中使用O形圈密封的直接地冷卻的晶體桿。存在很多需要校正Nd:YAG桿中的熱變形的特大腔體的光學(xué)元件。全部這些元件必須被適當(dāng)?shù)鼐S護(hù)，這需要一個復(fù)雜的控制裝置；否則，腔體內(nèi)部和外部的熱不穩(wěn)定性可能會導(dǎo)致光束輸出特性的明顯差異，導(dǎo)致鉆出通道具有明顯不同的再鑄厚度和因此較差的均勻性。
[0009]因此，對于設(shè)置有多個不均勻通道的激光處理過的工件有如下要求:使得平均再鑄層(如果形成)比工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)薄很多。
[0010]對于設(shè)置有多個不均勻通道的激光處理過的工件還有如下要求:使得在部件中的基體裂紋深度水平低于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。纖維激光器系統(tǒng)存在的另一個要求:構(gòu)造成使得在工件上激光鉆孔的多個均勻通道的各自的外圍形成有具有低于工業(yè)確立標(biāo)準(zhǔn)的相應(yīng)水平的最小程度的再鑄層和微裂紋。
[0011]另一個要求是在工件上激光鉆孔多個通道使得再鑄層和基體微裂紋水平(如果形成在相應(yīng)的外圍上)遠(yuǎn)低于相應(yīng)的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的方法。
[0012]另一個要求是在工件上激光鉆孔多個通道使得通道直徑的直徑一致性遠(yuǎn)低于相應(yīng)的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、優(yōu)選地小于XXX標(biāo)準(zhǔn)偏差的方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]通過本發(fā)明提供的教導(dǎo)滿足上述的和其它的需要。特別地，本公開教導(dǎo)一種工件、一種激光處理工件的方法和一種用于實(shí)施本方法的裝置。該裝置如此配置和該方法如此實(shí)施使得工件的主體被設(shè)置有多個大致均勻或一致的通道，所述通道的質(zhì)量比由航天工業(yè)中目前的Nd =YAG技術(shù)提供的好。
[0014]根據(jù)本公開的一個方面，提供一種激光處理的工件，其具有限定多個鉆孔通道的不連續(xù)的主體。每個鉆孔通道的壁構(gòu)造為使得再鑄層，如果形成，具有顯著小于目前工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的約0.005"的厚度。再固化再鑄層上的微裂紋的寬度小于目前工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的0.0015"。
[0015]根據(jù)本公開的又一個方面，一種高功率單模Yb光纖脈沖激光器被用于機(jī)加工件的主體。Yb光纖脈沖激光器被配置為激光處理主體從而鉆出多個貫穿的通道，使得每個通道的壁可以具有遠(yuǎn)小于約0.005"的目前工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的再鑄層，其中在再鑄層中的至少一個微裂紋的深度至少小于目前工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的0.0015"的50%。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的再一個方面，提供一種用于激光對工件鉆孔的方法，使得高功率單個模塊Yb光纖脈沖激光器操作以發(fā)射脈沖，其中發(fā)射脈沖的重復(fù)頻率超過25赫茲、平均功率為至少10千瓦和峰值功率超過10千瓦。所述方法進(jìn)一步使Yb光纖脈沖激光器以大致基本模式均勻的高脈沖間頻率輻射平頂脈沖。后者特征在于，如此選擇的參數(shù)除了別的以外包括大致一致的或均勻的小M2值和大致均勻峰值功率，多個均勻的通道的質(zhì)量優(yōu)于由目前可用的Nd-YAG激光器產(chǎn)生的通道。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]通過如下附圖和具體的描述，更容易理解所公開的設(shè)備、方法和產(chǎn)品的上面的和其他特征和優(yōu)點(diǎn)，其中:
[0018]圖1是所公開的纖維激光系統(tǒng)的示意圖。
[0019]圖2是具有多個通道的工件，所述多個通道由根據(jù)所公開的方法和實(shí)施所公開的方法的裝置提供。
[0020]圖3-7是計算機(jī)生成的拍攝照片，圖示在通過所公開的裝置和方法發(fā)射的不同地配置的脈沖情況下獲得相應(yīng)的微裂紋由。[0021]圖8是總結(jié)在圖3-7中圖示的結(jié)果并且將這些結(jié)果與工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較的圖表。
[0022]圖9-13是相應(yīng)的計算機(jī)生成的拍攝照片，圖示在圖1的纖維激光系統(tǒng)的不同操作條件下產(chǎn)生的再鑄層。
[0023]圖14是圖示分別地在圖9-13中顯示并且與工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較的結(jié)果的圖表?！揪唧w實(shí)施方式】
[0024]現(xiàn)在將詳細(xì)地參考圖示在附圖中的本發(fā)明的幾個實(shí)施例。只要有可能，相同或類似的附圖標(biāo)記在附圖和說明書中指示相同或類似的部件或步驟。某些附圖是以簡化形式且不以精確比例。術(shù)語“耦合”和類似的術(shù)語不一定表示直接和即時的連接，而是還包括通過中間部件或裝置的連接。
[0025]圖1圖示纖維激光鉆孔系統(tǒng)10，包括高功率纖維激光器12、通常具有導(dǎo)束光學(xué)部件的光束傳輸系統(tǒng)14，所述導(dǎo)束光學(xué)部件引導(dǎo)激光輸出束到激光頭16。激光頭16操作以將光束聚焦在工件18的所希望的位置，并且通常具有高達(dá)12個自由度以便允許激光頭和工件相對彼此沿著預(yù)定路徑在對應(yīng)于將要被鉆出的相應(yīng)通道的多個位置上方便地移動，如使用Y公司從(Z地址)獲得的X產(chǎn)物提供。
[0026]纖維激光器12包括多個分離的激光模塊，每一個設(shè)置有鐿(“Yb”)振蕩器，操作以輸出約500瓦或更高。可以通過利用激光領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的主振功率放大器(“ΜΟΡΑ”)方案進(jìn)行修改該結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述激光器是可從MA的Oxford的IPG光子公司獲得的一種型號YLBxxxx。
[0027]模塊的累計輸出系統(tǒng)光可以容易地達(dá)到約1kW和20kW之間的幾千瓦級別和更高級別。鐿纖維激光器12被配置成以在約25赫茲和50赫茲之間的重復(fù)頻率以低的多模式(“MM”)發(fā)射約1070nm波長的方形或矩形脈沖。系統(tǒng)光具有與穩(wěn)定的低的束產(chǎn)品參數(shù)(“BPP”)，其范圍從約3至約5且M2值大致約為10。
[0028]參照圖2，在上述公開范圍內(nèi)的Yb纖維激光器12的具體參數(shù)被選擇以使所有鉆出的通道20是清潔的，沒有表面飛濺物，并且具有大致一致或均勻的直徑、錐度、清潔的通道入口和通道出口。換句話說，該脈沖具有一個穩(wěn)定均勻的脈沖間頻率、一致的振幅或峰值功率以及一致或均勻的方波脈沖形狀，全部這些導(dǎo)致形成大致均勻的通道。
[0029]圖2提供一種在頂部表面上具有z的標(biāo)準(zhǔn)偏差的橢圓形通道的工件18，橢圓形通道具有長軸X和直徑的短軸。被橢圓移除的表面的面積等于Aoval。
[0030]包括航天業(yè)的很多工業(yè)所需的上述結(jié)果已經(jīng)由以上公開的處理工件18的激光系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)，工件18由下列形成:鋁、陶瓷、金屬陶瓷、鎳和鎳合金，包括但不限于Hastelloy?變體、包括Inconel?1625 和Inconel? 718 的Inconel?變體、Mar-M變
體、單晶、碳鋼、鈦/或Waspalloy?變體及各種氧化物、合金及其組合。
[0031]參照圖3-7，通過包括工件18中的再鑄層和微裂紋的構(gòu)成和尺寸的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖1中所公開的系統(tǒng)10的重要性顯而易見，工件18可以沒有任何限制地配置為渦輪葉片、噴嘴、引導(dǎo)翼或?qū)蛉~片、燃燒室和后燃燒室和其他。如下參數(shù)共用于在相應(yīng)的圖3-6中顯示的所有實(shí)驗(yàn)，并且包括激光系統(tǒng)10，其輸出25赫茲重復(fù)頻率的15個方形或矩形脈沖，并且每個脈沖具有15千瓦的峰值功率。盡管具有如下所公開的不同的脈沖，但是用于鉆出通道需要的平均時間是約6秒。是什么材料？[0032]具體地參見圖3和8，被配置為以上述列出的參數(shù)的系統(tǒng)10在工件18中的通道20的壁上形成微裂紋24。在該實(shí)驗(yàn)中的脈沖寬度是約0.5毫秒。在圖8中顯示為I的這個實(shí)驗(yàn)導(dǎo)致具有約0.0004"的寬度的微裂紋24。
[0033]特別參考圖4和8，系統(tǒng)10操作以輸出脈沖，每個脈沖具有I毫秒的脈沖寬度。由圖8中數(shù)字標(biāo)號2表示，產(chǎn)生的微裂紋24具有約0.0006"的寬度。
[0034]圖5圖示約2毫秒的脈沖寬度的結(jié)果。這個實(shí)驗(yàn)的結(jié)果由圖8中的標(biāo)號3表示，且包括約0.001"的微裂紋24寬度。
[0035]圖6圖示使用激光系統(tǒng)10操作以發(fā)射方形或矩形脈沖通過對工件鉆孔所產(chǎn)生的結(jié)果，每個方形或矩形脈沖具有約3毫秒的脈沖寬度。這個實(shí)驗(yàn)對應(yīng)于圖8中的參考數(shù)字4，并且得出約0.0008"的寬度。
[0036]圖7圖示在與先前四個實(shí)驗(yàn)有所不同的參數(shù)情況下形成的微裂紋24。特別地，代替脈沖串，系統(tǒng)10觸發(fā)單個的10毫秒的脈沖，這不可以通過Nd-YAG激光器獲得。如可以在圖8中看到，在參考數(shù)字5下的結(jié)果，0.0002"的寬度基本上與實(shí)驗(yàn)I中的0.5毫秒的最短脈沖寬度情形中的一樣。然而，相比于全部先前的設(shè)置，在這個實(shí)驗(yàn)中每個通道的鉆孔時間是約0.05，其比在先前的實(shí)驗(yàn)中需要的0.6毫秒短得多。
[0037]圖8清楚地圖示了使用本發(fā)明的系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)。相比于附圖標(biāo)記6指示的約0.014"的航天標(biāo)準(zhǔn)，甚至通過公開的纖維激光系統(tǒng)10在實(shí)驗(yàn)3中得到的最壞的結(jié)果也顯著地好于上述標(biāo)準(zhǔn)。
[0038]現(xiàn)在參看圖9-14，配置有與參考圖3-8披露的參數(shù)相同的參數(shù)的激光系統(tǒng)10還顯示相對于航天工業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)顯著改善再鑄層的厚度。
[0039]具體地說，進(jìn)行與相應(yīng)的脈沖寬度0.5、1.0,2.0、3.0和10毫秒的單個脈沖對應(yīng)的相同的五個實(shí)驗(yàn)，并且得出再鑄層26，清楚地顯現(xiàn)在相應(yīng)的圖9-13中。圖14圖示通過相應(yīng)的數(shù)字1，2，3，4和5表示的5個實(shí)驗(yàn)的結(jié)果和參考數(shù)字6是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
[0040]正如從圖14所示，具有相應(yīng)的脈沖寬度0.5、1.0和2.0毫秒的前三個實(shí)驗(yàn)分別產(chǎn)生約0.0018"、0.0022"和0.0025"厚的再鑄層。具有3.0毫秒脈沖寬度的第四設(shè)置得出具有厚度約0.0022"的再鑄層。以上產(chǎn)生相應(yīng)結(jié)果的所有的實(shí)驗(yàn)，再鑄層厚度小于對應(yīng)于右端柱狀物6的約0.005"的標(biāo)準(zhǔn)厚度。
[0041]使用單個10毫秒脈沖寬度的最后的實(shí)驗(yàn)(編號5)再次顯示在許多方面具有優(yōu)勢，并且具有與使用最短脈沖寬度的實(shí)驗(yàn)I大至相同的結(jié)果0.0018"。
[0042]所有的結(jié)果在認(rèn)證的冶金實(shí)驗(yàn)室中得出，并且與本發(fā)明的高功率MMYb纖維激光器的配置和使用相互關(guān)聯(lián)。已經(jīng)參照附圖描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中的至少一個，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見地，本發(fā)明并不限于這些描述的實(shí)施例，并且可以對于目前公開的用于航天材料的激光鉆孔的工件、方法和系統(tǒng)進(jìn)行各種修改和變化。相信，隨著很快將能夠使用更高功率、各種脈沖寬度、發(fā)射計數(shù)和可能甚至改變的脈沖形狀，結(jié)果可能更令人鼓舞。因此，目的在于，本發(fā)明覆蓋本公開的修改和變化，只要它們在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種纖維激光處理的工件，包括限定多個間隔的貫穿的通道的非連續(xù)主體，每個通道被具有表面特性的外圍層界定，所述表面特性包括再鑄層和一個或多個微裂紋，其中，如果形成，則再鑄層深度或厚度和微裂紋寬度每一個比航空工業(yè)中相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的纖維激光處理工件，其中再鑄層厚度和微裂紋寬度的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)分別是0.005"和0.0015"。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的纖維激光處理工件，其中再鑄層的厚度在約0.0015"和約0.0025"之間變化，和微裂紋寬度在約0.0002"和約0.001"之間變化。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的纖維激光處理的工件,其中主體由選自由如下構(gòu)成的組的材料制成:鋁、陶瓷、金屬陶瓷、鎳合金、不銹鋼、鈦及其組合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的纖維激光處理的工件，其中主體具有選自由如下構(gòu)成的組的配置:渦輪葉片、噴嘴、引導(dǎo)翼或?qū)蛉~片、燃燒室和后燃燒室。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的纖維激光處理的工件，其中隔開的通道具有相應(yīng)的大致一致的直徑和錐度，外圍層的每一個無飛濺物，并且具有清潔和基本上一致的、沒有不規(guī)則物的出口和入口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的纖維激光處理工件，間隔開的通道具有大致一致或均勻開口，所述開口具有小于X的標(biāo)準(zhǔn)偏差。
8.—種對工件鉆孔的方法,包括: 沿著路徑在多個預(yù)定位置之間相對于彼此可控制地移動工件和單模高功率纖維激光器；和 在每一個位置處周期性地觸發(fā)纖維激光器，由此輸出至少一個脈沖入射在該位置，以便在工件中鉆出多個貫穿的隔開的通道，所述至少一個脈沖具有選定的光學(xué)特性，使得再鑄層，如果形成在限定通道的外圍上，以及一個或多個微裂紋，如果形成在再鑄層中，所具有的厚度和寬度分別地小于用于航天工業(yè)的相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中纖維激光器的周期性觸發(fā)包括每一個位置輸出單獨(dú)一個脈沖，所述一個脈沖被成形和配置以鉆出整個通道。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中在每個位置處的所述一個脈沖具有約10毫秒的脈沖寬度、方形或矩形、在6千瓦和約20千瓦之間變化的峰值功率。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中纖維激光器的周期觸發(fā)包括以在約25赫茲和約.50赫茲之間變化的重復(fù)頻率在每個位置輸出多個脈沖。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中脈沖的輸出包括配置均勻或一致的矩形脈沖，每一個矩形脈沖具有約0.5至約3毫秒之間的脈沖寬度。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中以大致基本模式進(jìn)行均勻或一致的脈沖的輸出，所述基本模式具有大致一致的參數(shù)，參數(shù)包括M2值、焦點(diǎn)、光斑尺寸和在約6千瓦和20千瓦之間的范圍的峰值功率。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中用于厚度和寬度的標(biāo)準(zhǔn)分別是約0.0015"和約0.0005"。
15.一種用于對工件的主體鉆孔的激光系統(tǒng)，所述激光系統(tǒng)包括操作以發(fā)射入射在主體上的選定位置的多個離散的脈沖的高功率Yb纖維激光器，并且配置成在相應(yīng)的位置處提供多個貫穿的且大致均勻間隔開的通道，該通道每一個由外圍限定，脈沖的每一個具有選定的參數(shù)，使得再鑄層，如果形成在外圍上，和一個或多個微裂紋，如果形成在再鑄層中，所具有的厚度和寬度分別地小于用于航天工業(yè)的相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的激光系統(tǒng)，其中用于再鑄層厚度和微裂紋寬度的標(biāo)準(zhǔn)分別是 0.005"和 0.0015"。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的激光系統(tǒng)，其中纖維激光器配置成使得單個離散脈沖具有足以鉆孔整個通道的參數(shù)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的激光系統(tǒng)，其中單個離散脈沖具有參數(shù)，參數(shù)包括矩形形狀、至少10毫秒的脈沖寬度和至少...的峰值功率，這些參數(shù)被如此選擇使得相應(yīng)通道的外圍以大致一致或均勻的角度傾斜、具有大致一致的直徑，無飛濺物且具有清潔且大致一致的沒有不規(guī)則物的出口和入口。
19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的激光系統(tǒng)，其中所述纖維激光器被配置為發(fā)射離散脈沖串用于單個通道，脈沖的每一個具有大致一致的參數(shù)，參數(shù)包括矩形形狀和在約0.5至約3毫秒之間變化的脈沖寬度，這些參數(shù)被如此選擇使得相應(yīng)通道的外圍以大致一致或均勻的角度傾斜或成錐形、具有大致一致的直徑，無飛濺物且具有清潔且大致一致的沒有不規(guī)則物的出口和入口。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的激光系統(tǒng)，其中纖維激光器操作以輸出離散脈沖，其中輸出離散脈沖的重復(fù)頻率在約25赫茲至約50赫茲之間和峰值功率在約6千瓦和20千瓦之間變化。
21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的激光系統(tǒng)，其中高功率單模Yb纖維激光器配置有多個模塊，所述多個模塊 彼此光學(xué)地耦合，并且每一個具有Yb摻雜的振蕩器的輸出輻射，該輻射具有大致均勻M2值、大致一致或均勻的焦點(diǎn)和光斑尺寸和在約6千瓦和約20千瓦之間的范圍的大致均勻的峰值功率。
【文檔編號】B23K103/00GK104039496SQ201280062040
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2012年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月20日
【發(fā)明者】威廉·什葉納, 史蒂文·梅納德 申請人:Ipg光子公司