專利名稱：卷對板壓印的均勻施壓裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種均勻施壓裝置，尤其涉及一種卷對板微納米壓印的均勻施壓裝置。
背景技術(shù)：
2010年起全球發(fā)光二極管(LED)市場將恢復(fù)兩位數(shù)的高成長，預(yù)估將從2009年的69億美元成長至2013年的200億美元。高亮度LED從2006年的68%成長到2009年的76%。提升LED發(fā)光效率的主流技術(shù)包括表面粗化、光子晶體，以及背部反射鏡等方法，其中光子晶體還有控制偏極與光場分布，故可更提升LED價值。目前在LED晶粒上制作光子晶體結(jié)構(gòu)，采平面單片式納米壓印工藝為主，產(chǎn)能低于30片/小時，若改采卷對板 (roll-to-sheet)方式，產(chǎn)能至少提高2倍以上。但由于硬質(zhì)基板卷對板工藝的壓印均勻性普遍不佳。是故，目前的生產(chǎn)方式大部分都采用卷對卷(Roll-to-Roll)工藝生產(chǎn)(如下列專利所揭露國際專利號W02009107294 ；日本專利JP2007203576 ；韓國專利KR20090119545 ； 日本專利JP200^90330 ；日本專利JP200^92008 ；中國專利CN24771538)，生產(chǎn)速度快且產(chǎn)能高為其主要的工藝特點(diǎn)。卷對板(Roll-tolheet)與卷對卷同為滾壓成形技術(shù)，差異之處在于卷對卷工藝的基材大多是具可撓性膜材，利用膜材收放卷的張力控制，在壓印區(qū)可獲得均勻的壓力分布。卷對板工藝則大多面臨硬質(zhì)基板，例如LED晶圓(wafer)，玻璃面板等，當(dāng)壓印區(qū)域變大或同時壓印多片基板時，傳統(tǒng)不具均壓效果的滾筒模具，將無法使大范圍區(qū)域的成形質(zhì)量一致并常導(dǎo)致成形不均勻。針對未來產(chǎn)業(yè)所需要的大面積硬質(zhì)基板滾壓成形工藝，具均壓功能的卷對板模具裝置的技術(shù)就顯得越來越重要。于現(xiàn)有專利中，中國臺灣專利第1316466號“滾筒模具結(jié)構(gòu)及其制造方法”，該案揭露一種固定軟性金屬模仁包覆于圓筒外表面的模具結(jié)構(gòu)，乃利用一置于圓筒內(nèi)部的心軸，通過旋轉(zhuǎn)心軸，對軟性金屬模仁施以一張力，而使軟性金屬模仁該貼附于圓筒外表面， 但該外表面結(jié)構(gòu)為硬質(zhì)結(jié)構(gòu)，故該滾筒對硬質(zhì)基板并無均壓功能，從而無法使成形的質(zhì)量均勻。已知日本專利(專利公告號為JP6(^64278)提出的“Imprinting Apparatus”揭露一滾印裝置。該裝置利用一滾壓輪對平面基板進(jìn)行滾印工藝，滾壓輪本身并無強(qiáng)調(diào)均壓功效，在裝置其它部件部位設(shè)計許多機(jī)構(gòu)及彈簧裝置，以達(dá)到滾壓輪與基板間的壓力固定， 然而，此裝置并無法確認(rèn)每一滾壓輪與基板接觸區(qū)的壓力均相等，是故也無法提升壓印質(zhì)量的均勻性。已知國際專利號W02009107294文件揭露一種可快速拆換滾筒裝置，操作方式類似氣脹軸之作動方式，主要由三個部件組成，包括一簍空內(nèi)軸，內(nèi)軸內(nèi)有一氣壓囊以及滾筒模具。該裝置是利用氣壓囊撐住滾筒模具，若滾筒裝置為硬式材質(zhì)，則并無法完全順應(yīng)性地接觸施壓于表面不平坦的基板，若為軟式材質(zhì)，則背壓會明顯不均勻，故此也無法提升壓印的均勻性。
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由于傳統(tǒng)滾印成形工藝的滾筒模具并無均壓效果，當(dāng)進(jìn)行軟性基材卷對卷滾壓成形時，可經(jīng)由背壓輪及基材收卷的張力控制，并利用被壓印的軟性基材本身的撓曲變形，獲得良好的均壓效果。然而，當(dāng)被壓印的基板為硬質(zhì)時，則上述傳統(tǒng)滾筒模具無法達(dá)到均壓效果。也即，上述專利雖揭露各種壓印裝置，但卻無揭露對硬質(zhì)基板具有均壓的壓印裝置，因此，卷對板微納米壓印的均勻施壓裝置仍有相當(dāng)大的改善空間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提出一種卷對板壓印的均勻施壓裝置，為利用流體的均壓特性為設(shè)計的具均壓效果滾壓模具。本發(fā)明提出一種卷對板壓印的均勻施壓裝置，其包含圓筒、等壓裝置及軟性模具。 等壓裝置設(shè)置于圓筒上并利用等壓裝置內(nèi)所含流體的本身具有的均壓特性，而制作具均勻施壓功效的均勻施壓裝置，并利用軟性模具與等壓裝置可分離地并于壓印時能緊密接觸的特性，以達(dá)到大面積硬質(zhì)基板均勻成形微納米結(jié)構(gòu)目的。其中，該圓筒包含一筒狀部及設(shè)置于該筒狀部相對兩端的一圓環(huán)部，該等壓裝設(shè)置于該筒狀部表面，并與該圓環(huán)部側(cè)緣相抵接。其中，該筒狀部與該圓環(huán)部沿該圓筒縱軸方向共一軸心，且該筒狀部與該圓環(huán)部的該軸心處形成一空腔。其中，另包含一紫外線燈源，其特征在于，該圓筒的材質(zhì)允許紫外線穿透。其中，該軟性模具表面另包含一微納米圖案。其中，該等壓裝置包含一液壓囊或一氣壓囊。本發(fā)明所提出另一種卷對板壓印的均勻施壓裝置包含圓筒、等壓裝置及軟性模具。此種均勻施壓裝置與上述裝置不同之處在于，軟性模具貼附于等壓裝置上，隨等壓裝置同軸轉(zhuǎn)動。其中，該圓筒包含一筒狀部及設(shè)置于該筒狀部相對兩端的一圓環(huán)部，該等壓裝設(shè)置于該筒狀部表面，并與該圓環(huán)部側(cè)緣相抵接。其中，該筒狀部與該圓環(huán)部沿該圓筒縱軸方向共一軸心，且該筒狀部與該圓環(huán)部的該軸心處形成一空腔。其中，另包含一紫外線燈源，該圓筒的材質(zhì)允許紫外線穿透。其中，該軟性模具表面另包含一微納米圖案。其中，該等壓裝置包含一液壓囊或一氣壓囊。本發(fā)明所提出又一種卷對板壓印的均勻施壓裝置包含圓筒、彈性膜及固定件。彈性膜設(shè)置于圓筒上，并和該圓筒間有一空間，而固定件可用來固定彈性膜于圓筒上，以供流體注入彈性膜與圓筒之間的空間而產(chǎn)生上述的均壓特性，進(jìn)而達(dá)成現(xiàn)有技術(shù)無法達(dá)到的均勻成形質(zhì)量。本發(fā)明有別于現(xiàn)有技術(shù)所采用的滾筒模具及滾壓裝置的設(shè)計，提出一種利用流體的均壓特性為設(shè)計的具均壓效果滾壓模具，利用此滾壓模具，即使是面對表面平坦度不佳的硬質(zhì)基板，仍可使?jié)L壓模具與基板的每一接觸部位，其壓力均相等，如此可縮小成形結(jié)構(gòu)的尺寸變異量，達(dá)到均勻的成形質(zhì)量。其中，進(jìn)一步包含一軟性模具，該軟性模具與該彈性膜可分離地并于壓印時能緊密接觸。其中，該彈性膜表面另包含一軟性膜具。其中，該圓筒包含一筒狀部及設(shè)置于該筒狀部相對兩端的一圓環(huán)部，該彈性膜經(jīng)由該固定件固定于該圓環(huán)部。其中，該筒狀部與該圓環(huán)部沿該圓筒縱軸方向共一軸心，且該筒狀部與該圓環(huán)部的該軸心處形成一空腔。其中，另包含一紫外線燈源，其特征在于，該圓筒的材質(zhì)允許紫外線穿透。其中，該軟性模具表面另包含一微納米圖案。其中，該固定件包含一扣環(huán)，該扣環(huán)夾持該彈性膜于該圓環(huán)部。其中，該圓環(huán)部包含一工作流體注入孔。其中，該筒狀部包含一工作流體注入孔。其中，該彈性膜包含一工作流體注入孔。上文已經(jīng)概略地敘述本揭露的技術(shù)特征，以使下文的本揭露詳細(xì)描述得以獲得較佳了解。構(gòu)成本揭露的權(quán)利要求標(biāo)的的其它技術(shù)特征將描述于下文。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可了解，下文揭示的概念與特定實(shí)施范例可作為基礎(chǔ)而相當(dāng)輕易地予以修改或設(shè)計其它結(jié)構(gòu)或工藝而實(shí)現(xiàn)與本揭露相同的目的。本領(lǐng)域技術(shù)人員也應(yīng)可了解，這類等效的建構(gòu)并無法脫離后附的權(quán)利要求所提出的本揭露的精神和范圍。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對本發(fā)明的限定。


圖1為本發(fā)明的一實(shí)施例的均勻施壓裝置示意圖；圖2為本發(fā)明的另一實(shí)施例的均勻施壓裝置側(cè)視圖；圖3為本發(fā)明的一實(shí)施例的圓筒剖面圖；圖4為本發(fā)明的另一實(shí)施例的圓筒剖面圖；圖5為本發(fā)明的又一實(shí)施例的均勻施壓裝置示意圖；圖6為圖5實(shí)施例的圓筒剖面圖；圖7為圖6變換實(shí)施例的圓筒剖面圖；圖8為圖4變換實(shí)施例的圓筒剖面圖；圖9為本發(fā)明對照組的金屬圓筒剖面圖；圖10為本發(fā)明對照組的覆蓋彈性橡膠的金屬圓筒剖面圖；以及圖11為圖8、圖9及圖10壓印實(shí)施例的示意圖。其中，附圖標(biāo)記100:均勻施壓裝置100'均勻施壓裝置100〃 均勻施壓裝置100〃 ‘均勻施壓裝置110:圓筒130:等壓裝置130'液壓囊130〃 氣壓囊150:軟性模具151:微納米圖案200:圓筒210:筒狀部220:圓環(huán)部221 頂緣
250 軟性模具251 微納米圖案300:均勻施壓裝置300'均勻施壓裝置310:圓筒311 筒狀部312:圓環(huán)部313 注氣孔313'注氣孔330 彈性膜331 軟性模具333 微納米圖案350:固定件370:軟性模具371 微納米圖案400 空腔500:金屬圓筒600 彈性橡膠700 壓力感測紙700A 壓力感測紙700B 壓力感測紙700C 壓力感測紙800 收放卷裝置900 硬質(zhì)基板
具體實(shí)施例方式以下將參照隨附的附圖來描述本發(fā)明為達(dá)成目的所使用的技術(shù)手段與功效，而以下附圖所列舉的實(shí)施例僅為輔助說明，但本案的技術(shù)手段并不限于所列舉附圖。如圖1的實(shí)施例所示，本發(fā)明的卷對板壓印的均勻施壓裝置100包含圓筒110、等壓裝置130及軟性模具150。等壓裝置130設(shè)置于圓筒110上。具體而言，等壓裝置130以包覆圓筒110圓周的方式設(shè)置，然而在其它實(shí)施例中，也可因應(yīng)不同設(shè)計需求而以不同方式將等壓裝置130設(shè)置于圓筒110上。在此實(shí)施例中，等壓裝置130包含但不限于液壓囊或氣壓囊，也可包含其它可提供相同均壓功能的裝置。具體而言，等壓裝置130于此實(shí)施例中為液壓囊130'。由于液壓囊130'中所含的流體為液體，且此液體可提供液壓囊130' 內(nèi)每一單位表面積所受的壓力相等，因此，液壓囊130'可具有等壓裝置130所提供均壓的功能。若以其它流體例如氣體來取代液體時，等壓裝置130則為氣壓囊130"，由于氣體也是流體，也可造成氣壓囊130"內(nèi)每一單位表面積所受的壓力相等，因此，氣壓囊130"也可具有等壓裝置130所提供的均壓功能。本發(fā)明通過等壓裝置130所提供的功能，而完成具有均壓效果的卷對板壓印(roll-to-sheet)的均勻施壓裝置。為了將軟性模具150表面所包含的微納米圖案(圖未示)均勻壓印于硬質(zhì)基板900上，如圖1所示的實(shí)施例中，軟性模具150并未固定設(shè)置于圓筒100或等壓裝置130上，而是與等壓裝置130可分離地并于壓印時能緊密接觸。具體而言，如圖2所示的均勻施壓裝置100'實(shí)施例中，軟性模具150 為一扁平帶狀撓性材料，且其中單面或雙面具有微納米圖案(圖未示)。其主要是利用兩端以收放卷裝置800而作動，軟性模具150收放卷的線速度將與圓筒110轉(zhuǎn)動時的等壓裝置 130表面切線方向速度相同，在此實(shí)施例中，等壓裝置130可為氣壓囊130"。由于本發(fā)明所提出具均壓效果的卷對板壓印裝置設(shè)計，因硬質(zhì)基板900設(shè)置在輸送帶裝置上，可使壓印產(chǎn)能至少提高2倍以上，是故本發(fā)明未來不僅可用于LED產(chǎn)業(yè)，更可推廣至常用硬質(zhì)基板的太陽能光電產(chǎn)業(yè)或面板產(chǎn)業(yè)。如圖3的實(shí)施例所示，圓筒200也可呈現(xiàn)不同于上述實(shí)施例所示的結(jié)構(gòu)。在圖3的均勻施壓裝置100 “實(shí)施例的剖面圖中，圓筒200包含筒狀部210以及設(shè)置于筒狀部210相對兩端的兩個圓環(huán)部220。等壓裝置130(例如液壓囊130')則設(shè)置于筒裝部210的外表面并于圓環(huán)部220的側(cè)緣相抵接。由于液壓囊130'的剖面體積比圓環(huán)部220的頂緣221 要突出，因此，硬質(zhì)基板900并不會與圓筒200直接接觸，而造成成型不均勻的不良結(jié)果。如圖3的實(shí)施例所示，圓筒200所包含的筒狀部210與圓環(huán)部220沿圓筒200縱軸方向共軸心，且筒狀部210與圓環(huán)部220的軸心處形成空腔400。然而在圖1及圖2所示的實(shí)施例中，圓筒110與圖3的圓筒200相同，也可為實(shí)心并無形成任何空腔。由于圓筒 200與軟性膜具150可分離地并于壓印時能緊密接觸，因此，如圖3所示，軟性模具150的剖面只有在圓筒200靠近硬質(zhì)基板900的一側(cè)出現(xiàn)，在此實(shí)施例中可以明顯地觀察到軟性模具150表面所包含的微納米圖案151。當(dāng)均勻施壓裝置100"利用微納米圖案151均勻成形于硬質(zhì)基板900上時，通常需要將硬質(zhì)基板900上的圖案(圖未示)固化。本發(fā)明的固化成形工藝包含但不限于加熱固化成形工藝、紫外線固化成形工藝或其它具有相似功能的固化成形工藝。若采加熱固化成形工藝，熱源可設(shè)置于硬質(zhì)基板900 下方或圓筒(較佳為軸心中空，但也可將熱源與圓筒整合而變成實(shí)心結(jié)構(gòu))內(nèi)部；反之，若采紫外線固化成形工藝，UV燈源(圖未示)可設(shè)置于硬質(zhì)基板900下方或圓筒(較佳為UV 燈源設(shè)置于圓筒內(nèi)部，但也可將UV燈源與圓筒整合而變成實(shí)心結(jié)構(gòu))內(nèi)部。為了使UV燈源(圖未示)可照射到硬質(zhì)基板900上所成形的圖案，在UV燈源設(shè)置于圓筒內(nèi)部的實(shí)施例 (圖未示)中，圓筒的材質(zhì)允許紫外線穿透，在此實(shí)施例(圖未示)中，圓筒內(nèi)部也可包含一屏蔽(圖未示)屏蔽可避免紫外線照射到其它尚未需要固化的UV固化涂料，以利正常固化程序進(jìn)行；然而若是在UV燈源設(shè)置于硬質(zhì)基板900下方的實(shí)施例(圖未示)時，圓筒的材質(zhì)也可吸收多余的紫外線，以避免多余的紫外線造成不必要的固化發(fā)生。如圖4所示的實(shí)施例中，均勻施壓裝置100"‘包含圓筒200、等壓裝置(例如氣壓囊130'，但不限于此，也可為液壓囊)及軟性模具250。主要與上述實(shí)施例不同之處在于軟性模具250貼附于等壓裝置。因此在此實(shí)施例中，并不需要如圖2中收放卷裝置800， 且由圖4的剖面圖觀察，軟性模具250在氣壓囊130'的上下兩側(cè)都出現(xiàn)。換言之，軟性模具250環(huán)繞地貼附于等壓裝置上。在此實(shí)施例中也可明顯地觀察到軟性模具250表面所包含的微納米圖案251。如圖5所示的實(shí)施例中，均勻施壓裝置300包含圓筒310、彈性膜330及固定件 350。彈性膜330設(shè)置于圓筒310上，并和圓筒310間有一空間，且固定件350可供固定彈性膜330于圓筒310上。如圖6所示的實(shí)施例中，均勻施壓裝置300進(jìn)一步包含軟性模具 370，軟性模具370與彈性膜330可分離地并于壓印時能緊密接觸，是故在此實(shí)施例中，彈性膜330需要兩端以收放卷裝置(圖未示)而如上述實(shí)施例方式作動。在圖6的均勻施壓裝置300實(shí)施例的剖面圖中，圓筒310包含筒狀部311以及設(shè)置于筒狀部311相對兩端的兩個圓環(huán)部312。彈性膜330則設(shè)置于圓環(huán)部312的外表面并以固定件350固定。在此實(shí)施例中，固定件350為扣環(huán)，扣環(huán)則挾持彈性膜330于圓環(huán)部312。 由于彈性膜330與筒狀部311之間的空間有填充流體(包含氣體或液體)，因此彈性膜330 可膨脹并比固定件350還要突出，因此，硬質(zhì)基板900并不會與固定件350直接接觸，而造成成型不均勻的不良結(jié)果。又可于該圓環(huán)部312外側(cè)設(shè)置一注氣孔313，故可通過該注氣孔 313將氣體或液體充滿彈性膜330和筒狀部311及圓環(huán)部312之間的空間。如圖6的實(shí)施例所示，圓筒310所包含的筒狀部311與圓環(huán)部312沿圓筒310縱軸方向共軸心，且筒狀部311與圓環(huán)部312的軸心處形成空腔400。然而在圖1及圖2所示的實(shí)施例中，圓筒110的軸心為實(shí)心并無形成任何空腔。由于圓筒310與軟性膜具370可分離地并于壓印時能緊密接觸，因此如圖6所示，軟性模具370的圖案只有在圓筒310靠近硬質(zhì)基板900的一側(cè)出現(xiàn)，在此實(shí)施例中可以明顯地觀察到軟性模具370表面所包含的微納米圖案371。當(dāng)均勻施壓裝置300利用微納米圖案371均勻成形于硬質(zhì)基板900上時，通常需要將硬質(zhì)基板900上的圖案(圖未示)固化。固化方式及相關(guān)所需的組件以如上述實(shí)施例所述，故不再贅述。如圖7所示的另一實(shí)施例中，均勻施壓裝置300'包含圓筒310、彈性膜330及固定件350。主要與圖6實(shí)施例不同之處在于彈性膜330包含軟性模具331。因此在此實(shí)施例中，并不需要收放卷裝置，且由圖7的剖面圖觀察，軟性模具331在彈性膜330的上下兩側(cè)都出現(xiàn)。換言之，軟性模具331環(huán)繞地形成于彈性膜330表面上。在此實(shí)施例中也可明顯地觀察到軟性模具331表面所包含的微納米圖案333。又可于該彈性膜330設(shè)置一注氣孔313'，故可通過注氣孔313'將氣體或液體充滿彈性膜330和筒狀部311及圓環(huán)部312 之間的空間。不論是圖6或圖7的實(shí)施例，彈性膜330與圓筒310之間的空間需要填充流體，一般而言，所流體較佳是在彈性膜330經(jīng)由固定件350固定前所填充，因此并不需要流體注入孔，然而在圖6或圖7的其它變化實(shí)施例中，流體注入孔可形成于圓環(huán)部312、筒狀部311或彈性膜330上，以供彈性膜330經(jīng)由固定件350固定后再行填充流體(例如氣體或液體)。如圖8所示的實(shí)施例中，圓筒200包含筒狀部210及圓環(huán)部220，液壓囊130'設(shè)置于筒狀部210上并與圓環(huán)部220側(cè)緣抵觸，為了證明本發(fā)明均勻施壓裝置的均壓能力，利用上述圓筒200于硬質(zhì)基板900上的壓力感測紙700壓印，結(jié)果如圖11所示的壓力感測紙700A所示。此外，如圖9所示的現(xiàn)有金屬圓筒500直接于硬質(zhì)基板900上的壓力感測紙 700壓印，結(jié)果如圖11所示的壓力感測紙700C所示。再者，如圖10所示的現(xiàn)有金屬圓筒 500上包覆彈性橡膠600后，于硬質(zhì)基板900上的壓力感測紙700壓印，結(jié)果如圖11所示的壓力感測紙700B所示。綜合上述圖8、圖9及圖10的壓印結(jié)果如圖11所示，壓力感測紙700C顏色分布不均勻，有些區(qū)塊呈現(xiàn)深紅色，代表該區(qū)壓力較大，有些區(qū)塊則呈現(xiàn)白色， 代表壓力相對小，因此壓印區(qū)的壓力分布不均勻。而壓力感測紙700B顯示顏色分布均勻性有提升，但邊緣處的壓力仍較大，代表均勻施壓效果仍有限。最后，壓力感測紙700A顯示顏色分布均勻，代表每個壓印區(qū)的壓力相當(dāng)。是故本發(fā)明的均勻施壓裝置的確具有均勻施壓的效果。當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種卷對板壓印的均勻施壓裝置，其特征在于，包含 一圓筒；一等壓裝置，設(shè)置于該圓筒上，以及一軟性模具，與該等壓裝置可分離地并于壓印時能緊密接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該圓筒包含一筒狀部及設(shè)置于該筒狀部相對兩端的一圓環(huán)部，該等壓裝設(shè)置于該筒狀部表面，并與該圓環(huán)部側(cè)緣相抵接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該筒狀部與該圓環(huán)部沿該圓筒縱軸方向共一軸心，且該筒狀部與該圓環(huán)部的該軸心處形成一空腔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的均勻施壓裝置，另包含一紫外線燈源，其特征在于，該圓筒的材質(zhì)允許紫外線穿透。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該軟性模具表面另包含一微納米圖案。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該等壓裝置包含一液壓囊或一氣壓囊。
7.一種卷對板壓印的均勻施壓裝置，其特征在于，包含 一圓筒；一等壓裝置，設(shè)置于該圓筒上，以及一軟性模具，貼附于該等壓裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該圓筒包含一筒狀部及設(shè)置于該筒狀部相對兩端的一圓環(huán)部，該等壓裝設(shè)置于該筒狀部表面，并與該圓環(huán)部側(cè)緣相抵接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該筒狀部與該圓環(huán)部沿該圓筒縱軸方向共一軸心，且該筒狀部與該圓環(huán)部的該軸心處形成一空腔。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的均勻施壓裝置，其特征在于，另包含一紫外線燈源，該圓筒的材質(zhì)允許紫外線穿透。
11.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該軟性模具表面另包含一微納米圖案。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該等壓裝置包含一液壓囊或一氣壓囊。
13.—種卷對板壓印的均勻施壓裝置，其特征在于，包含 一圓筒；一彈性膜，設(shè)置于該圓筒上，并和該圓筒間有一空間；以及一固定件，固定該彈性膜于該圓筒上。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的均勻施壓裝置，其特征在于，進(jìn)一步包含一軟性模具，該軟性模具與該彈性膜可分離地并于壓印時能緊密接觸。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該彈性膜表面另包含一軟性膜具。
16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該圓筒包含一筒狀部及設(shè)置于該筒狀部相對兩端的一圓環(huán)部，該彈性膜經(jīng)由該固定件固定于該圓環(huán)部。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該筒狀部與該圓環(huán)部沿該圓筒縱軸方向共一軸心，且該筒狀部與該圓環(huán)部的該軸心處形成一空腔。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的均勻施壓裝置，另包含一紫外線燈源，其特征在于，該圓筒的材質(zhì)允許紫外線穿透。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該軟性模具表面另包含一微納米圖案。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該固定件包含一扣環(huán)，該扣環(huán)夾持該彈性膜于該圓環(huán)部。
21.根據(jù)權(quán)利要求16所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該圓環(huán)部包含一工作流體注入孔。
22.根據(jù)權(quán)利要求16所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該筒狀部包含一工作流體注入孔。
23.根據(jù)權(quán)利要求16所述的均勻施壓裝置，其特征在于，該彈性膜包含一工作流體注入孔。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種卷對板微納米壓印的均勻施壓裝置，其包含圓筒、等壓裝置及軟性模具。等壓裝置設(shè)置于圓筒上并利用等壓裝置內(nèi)所含流體的本身具有的均壓特性，而制作具均勻施壓功效的均勻施壓裝置，并利用軟性模具與等壓裝置可分離地并于壓印時能緊密接觸的特性，以達(dá)到大面積硬質(zhì)基板均勻成形微納米結(jié)構(gòu)目的。當(dāng)進(jìn)行硬質(zhì)基板滾印工藝時，此裝置可提供均勻壓力，可提高工藝良率，有利后續(xù)工藝。
文檔編號B21D37/00GK102463293SQ20101061030
公開日2012年5月23日 申請日期2010年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月2日
發(fā)明者周大鑫, 謝志瑋, 賴文郎 申請人:財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院