專利名稱：一種濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于鉭材的機(jī)械加工工藝，特別是涉及一種濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊 接滾花工藝。
背景技術(shù)：
物理氣相沉積(PVD)是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵的工藝之一，其目的是把金 屬或金屬的化合物以薄膜的形式沉積到硅片或其他的基板上，并隨后通過光刻與腐蝕等工 藝的配合，最終形成半導(dǎo)體芯片中復(fù)雜的配線結(jié)構(gòu)。物理氣相沉積是通過濺射機(jī)臺來完成 的，濺射鉭環(huán)件就是用于上述工藝中的一個非常重要的關(guān)鍵耗材。濺射鉭環(huán)件在半導(dǎo)體工藝中的主要作用有兩點(diǎn) 第一約束濺射粒子的運(yùn)動軌跡，起到聚焦的作用；
第二 吸附濺射過程中產(chǎn)生的大的顆粒物，起到凈化的作用。由于濺射鉭環(huán)件的特殊使用環(huán)境，因而其對表面滾花的要求極為嚴(yán)格，具體為表 面滾花為8 OTPI凸出的菱形，既在一英寸范圍內(nèi)有8 O道花紋，滾花均勻，表面無可視平 點(diǎn)。但是，在實(shí)際生產(chǎn)中，存在如下難點(diǎn)
第一環(huán)件為開口環(huán)件，表面滾花不但要求紋路一致，并要求深淺一致 第二環(huán)件側(cè)邊為圓弧形； 第三圓弧要求滾花和表面滾花一致。目前，濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的滾花只能在國外生產(chǎn)，國內(nèi)還未有相關(guān)的成熟技術(shù) 存在。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種能夠生產(chǎn)出紋理結(jié)構(gòu)滿足 半導(dǎo)體用戶使用要求的濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案
一種濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其特征在于工藝過程為首先制備鉭 條，卷圓，將鉭條兩端焊接，熱處理，整形，然后內(nèi)外表面滾花，車削側(cè)邊圓弧，進(jìn)行側(cè)邊圓弧 滾花，最后切斷焊口即可；
上述制備的鉭條表面光滑；
上述卷圓時在鉭條的上下表面墊橡膠皮，控制圓度< 1. Omm ； 上述焊接時焊縫寬度< 5mm，焊縫光整，焊后將突出點(diǎn)通過磨削消除； 上述熱處理是指將鉭條置于溫度為鉭熔點(diǎn)的30% 35%的條件下保溫60 120分鐘； 上述整形控制圓度< 0. 2mm ；
上述側(cè)邊圓弧滾花采用普通斜紋滾花輪，通過改變刀架角度，分7次完成整個圓弧的 滾花，刀架角度依次為45°、60°、75°、90°、105°、120° 和 135°。通過本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)開口濺射鉭環(huán)件的內(nèi)外表面及側(cè)邊的形成均勻一致的80TPI凸菱形花紋，從而滿足半導(dǎo)體用戶的使用要求。


圖1為本發(fā)明開口濺射鉭環(huán)件的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1的內(nèi)外表面的紋理示意圖3為圖1中側(cè)邊紋理示意圖； 圖4為側(cè)邊圓弧滾花示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花的具體工藝步驟如下 1、制備鉭條
按照生產(chǎn)要求制備鉭條，為了滿足后續(xù)工藝的順利進(jìn)行，制備的鉭條要表面光滑備鉭 條，無劃傷、坑點(diǎn)等缺陷。2、卷圓
利用精密卷圓機(jī)卷圓，控制圓度< 1.0mm，卷圓時注意保護(hù)表面，在鉭條上下表面墊 1. 5mm的橡膠皮。3、焊接
為了實(shí)現(xiàn)環(huán)件內(nèi)外表面的滾花要求，將卷圓后的環(huán)件進(jìn)行端頭焊接，焊縫寬度< 5mm， 焊縫必須光整，焊后將突出點(diǎn)通過磨削消除。4、熱處理
主要目的降低焊接處硬度，同時必須保證不會改變材料的內(nèi)部組織，溫度為鉭熔點(diǎn)的 30% 35%，保溫時間60 120分鐘。5、整形
焊接環(huán)件進(jìn)行整形，保證后期滾花要求，圓度< 0. 2mm。6、內(nèi)外表面滾花
內(nèi)外表面滾花必須均勻一致，表面沒有可視點(diǎn)。7、車削側(cè)邊圓弧
加工設(shè)備為普通車床，先車削大概輪廓，然后利用專用圓弧車刀車削。8、側(cè)邊圓弧滾花
側(cè)邊圓弧滾花所用滾花輪為普通斜紋滾花輪，通過改變刀架角度，分7次完成整個圓 弧的滾花，刀架角度依次為45°、60°、75°、90°、105°、120°和135°，如圖4所示。9、焊口切斷
完成表面滾花后，為了實(shí)現(xiàn)端頭滾花，將焊口切斷，切斷尺寸為6. 35mm。
權(quán)利要求
一種濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其特征在于工藝過程為首先制備鉭條，卷圓，將鉭條兩端焊接，熱處理，整形，然后內(nèi)外表面滾花，車削側(cè)邊圓弧，進(jìn)行側(cè)邊圓弧滾花，最后切斷焊口即可。
2.按照權(quán)利要求1所述的濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其特征是上述 制備的鉭條表面光滑。
3.按照權(quán)利要求1所述的濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其特征是上述 卷圓時在鉭條的上下表面墊橡膠皮，控制圓度< 1.0mm。
4.按照權(quán)利要求1所述的濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其特征是上述 焊接時焊縫寬度< 5mm，焊縫光整，焊后將突出點(diǎn)通過磨削消除。
5.按照權(quán)利要求1所述的濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其特征是上述 熱處理是指將鉭條置于溫度為鉭熔點(diǎn)的30% 35%的條件下保溫60 120分鐘。
6.按照權(quán)利要求1所述的濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其特征是上述 整形控制圓度彡0. 2mm。
7.按照權(quán)利要求1所述的濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其特征是上述 側(cè)邊圓弧滾花采用普通斜紋滾花輪，通過改變刀架角度，分7次完成整個圓弧的滾花，刀架 角度依次為45°、60°、75°、90°、105°、120° 和 135°。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種濺射鉭環(huán)件內(nèi)外表面的卷圓焊接滾花工藝，其工藝過程為首先制備鉭條，卷圓，將鉭條兩端焊接，熱處理，整形，內(nèi)外表面滾花，車削側(cè)邊圓弧，進(jìn)行側(cè)邊圓弧滾花，切斷焊口即可。通過本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)開口濺射鉭環(huán)件的內(nèi)外表面及側(cè)邊形成均勻一致的80TPI凸菱形花紋，從而滿足半導(dǎo)體用戶的使用要求。
文檔編號B23P15/00GK101920439SQ20101025881
公開日2010年12月22日 申請日期2010年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月20日
發(fā)明者同磊, 張春恒, 李兆博, 李桂鵬, 汪凱, 王莉, 趙兵, 趙紅運(yùn), 郭叢喜 申請人:寧夏東方鉭業(yè)股份有限公司;國家鉭鈮特種金屬材料工程技術(shù)研究中心