專利名稱：：開孔方法及開孔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在印刷線路板等上加工基準(zhǔn)孔的開孔裝置。
背景技術(shù)：
：電子設(shè)備具有IC芯片、電阻、電容等表面安裝用的電子部件。近年，隨著這些部件的小型化，對(duì)安裝這些部件的印刷線路板也要求高密度化。其結(jié)果，印刷線路板多有被多層化的。多層印刷線路板由露出于表里兩層外部的導(dǎo)體層、和數(shù)層不露出的內(nèi)層的導(dǎo)體層構(gòu)成。其構(gòu)造為，在各導(dǎo)體層之間插入絕緣性的基板，通過該基板導(dǎo)體層被粘接結(jié)合。多層印刷線路板，例如，預(yù)先在雙面線路板上開設(shè)定位用的至少兩個(gè)基準(zhǔn)孔，以該基準(zhǔn)孔為基準(zhǔn)形成表里兩面的圖案等。雙面印刷線路板的表里的圖案在平面上，其位置相互得到保持。這樣多張張雙面線路板上使用相同坐標(biāo)位置的基準(zhǔn)孔形成圖案等。在成為內(nèi)層板的雙面印刷線路板上形成的圖案中，除了單一線路板的圖案以外，還準(zhǔn)備有多個(gè)新設(shè)的基準(zhǔn)孔用的引導(dǎo)記號(hào)、以及示出表里識(shí)別用的基準(zhǔn)孔的引導(dǎo)記號(hào)等。這些引導(dǎo)記號(hào)在蝕刻工序中形成。將多張經(jīng)過蝕刻的內(nèi)層用雙面印刷線路板重疊，將形成在各自的線路板的導(dǎo)體部的圖案的位置關(guān)系準(zhǔn)確地對(duì)齊，這稱為疊合(layup)。為了進(jìn)行疊合，準(zhǔn)備設(shè)有多個(gè)銷子的治具板。通常，銷子設(shè)置在與已設(shè)的基準(zhǔn)孔匹配的位置上，為了將完成的多層線路板的各層圖案更準(zhǔn)確地對(duì)齊，有時(shí)也新設(shè)疊合用的基準(zhǔn)孔。將一張經(jīng)過蝕刻的雙面印刷線路板，以其基準(zhǔn)孔中插通治具板的銷子的方式而放置在治具板上。在其上，放上開有基準(zhǔn)孔的、加熱前的基板材料(稱為預(yù)浸材料)。接著將另一張雙面線路板，以其基準(zhǔn)孔中插通有治具板的銷子的方式而重疊在治具板上。在此階段中，將兩張的雙面線路板與放置在其間的預(yù)浸材料的外周暫時(shí)固定，疊合就此完成。在疊合后的兩張雙面印刷線路板的兩側(cè)用熱壓機(jī)對(duì)預(yù)浸材料和導(dǎo)體材料的銅箔進(jìn)行加熱加壓后，銅箔或插入雙面線路板之間的預(yù)浸材料熱硬化而變成(絕緣)基板，各導(dǎo)體間的粘結(jié)完成。其后，開設(shè)與多層配線板的內(nèi)層圖案對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)孔。以該基準(zhǔn)孔為基準(zhǔn)進(jìn)行最外層的導(dǎo)體配線圖案的蝕刻、通孔的開孔加工等。進(jìn)而，實(shí)施電鍍工序、防銹處理工序等，用機(jī)械加工分割為單一線路板，切割出所要的外形形狀完成多層線路板。多層印刷線路板制造過程中，作為基準(zhǔn)孔使用兩種基準(zhǔn)孔，即疊合用的基準(zhǔn)孔、和熱壓工序后形成的基準(zhǔn)孔。如上所述，形成多層印刷線路板內(nèi)層的雙面線路板上，除了單一線路板的圖案以外，還準(zhǔn)備有多個(gè)基準(zhǔn)孔用的引導(dǎo)記號(hào)，在蝕刻工序中這些引導(dǎo)記號(hào)也將被蝕刻。由于這些引導(dǎo)記號(hào)的坐標(biāo)被確定為與單一線路板的圖案保持某種位置關(guān)系，因此只要測(cè)定這些引導(dǎo)記號(hào)的位置，就能判明構(gòu)成電路的圖案的坐標(biāo)。通常，使用開孔裝置，觀測(cè)這些多個(gè)引導(dǎo)記號(hào)等，根據(jù)從該觀測(cè)值計(jì)算的結(jié)果求得新基準(zhǔn)孔的坐標(biāo)，進(jìn)行基準(zhǔn)孔的開孔。作為開孔裝置的加工對(duì)象，第l是疊合工序、熱壓工序結(jié)束后所形成的多層印刷線路板，第2是構(gòu)成多層印刷線路板的部材即疊合工序前的雙面印刷線路板。也就是說，作為基準(zhǔn)孔開孔裝置的工件，有多層、雙面的印刷線路板，后面有時(shí)也將這兩者統(tǒng)稱為工件或僅記為印刷線路板。如前所述，經(jīng)熱壓機(jī)加熱加壓了的多層印刷線路板的表里兩外表面由無垢的導(dǎo)體層所覆蓋，要想用肉眼對(duì)形成在內(nèi)層的引導(dǎo)記號(hào)進(jìn)行清晰地透視是困難或不可能的。為了應(yīng)對(duì)這種情況，研究出種種不使用可視光線的觀測(cè)手段。例如使用超聲波。目前使用微弱的X線的觀測(cè)手段占了上風(fēng)，利用它的X線(基準(zhǔn)孔)開孔機(jī)多有使用。通過利用該X線，可透視多層線路板，對(duì)形成在內(nèi)層的導(dǎo)體層的引導(dǎo)記號(hào)進(jìn)行觀測(cè)。印刷線路板的加工精度，依賴于基準(zhǔn)孔的精度。作為提升印刷線路板加工精度的技術(shù)，例如有專利文獻(xiàn)1和2。專利文獻(xiàn)l中，記載了目的在于利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成進(jìn)行印刷基板的準(zhǔn)確的開孔的技術(shù)。專利文獻(xiàn)l的技術(shù)，準(zhǔn)備作業(yè)臺(tái)上的治具板，該治具板上設(shè)置有多個(gè)孔部。以兩個(gè)攝像裝置對(duì)多個(gè)孔部的透過像進(jìn)行攝像，求得其中心位置與圖像中心之間的位置偏差。由于孔部間的間隔為已知，因此可算出兩攝像裝置的間隔。因此，設(shè)置印刷基板，利用兩攝像裝置對(duì)兩識(shí)別用記號(hào)進(jìn)行攝像，進(jìn)行圖像處理，求得這些中心位置與圖像中心之間的位置偏差。根據(jù)兩攝像裝置之間的間隔，算出識(shí)別用記號(hào)間的間隔。此處，分開^f務(wù)正識(shí)別用記號(hào)間的間隔和應(yīng)穿孔的孔間的間隔之間的誤差量，設(shè)定開孔位置，對(duì)該處用鉆頭進(jìn)行開孔。另外，專利文獻(xiàn)2中記載的技術(shù)，具有按壓輥，其被設(shè)置在線路板按壓部件的中央部，且回轉(zhuǎn)軸與可動(dòng)臺(tái)的移動(dòng)方向呈直角，通過可動(dòng)臺(tái)的移動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。按壓輥直至加工結(jié)束將工件按壓在可動(dòng)臺(tái)上以防止位置偏移。專利文獻(xiàn)1:日本專利特開平9-85693號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2001-310208號(hào)公報(bào)以往的開孔裝置，預(yù)先測(cè)定攝像機(jī)和鉆子之間的位置關(guān)系，求得兩者中心位置的偏差作為修正值(零位調(diào)整)。還有，用圖像處理計(jì)測(cè)表示實(shí)際開孔時(shí)設(shè)置在工件上的開孔位置的記號(hào)，對(duì)其中心坐標(biāo)加上修正值后移動(dòng)鉆子，其后利用鉆子開孔。這一方法中，沒有手段確認(rèn)鉆子是否準(zhǔn)確地移動(dòng)到了工件的應(yīng)開孔位置，為開環(huán)控制。由于鉆子移動(dòng)之際發(fā)生的移動(dòng)誤差，成為使開孔精度降低的原因。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述實(shí)際情況作出的，其目的在于消除開孔設(shè)備移動(dòng)之際發(fā)生的移動(dòng)誤差，提高開孔精度。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明第l觀點(diǎn)的開孔方法是開孔裝置的開孔方法，所述開孔裝置具有栽置待開孔的印刷線路板，并在水平方向移動(dòng)的載臺(tái)；由鉆子、將該鉆子沿上下方向移動(dòng)的升降設(shè)備、以及固定所述印刷線路板的固定設(shè)備構(gòu)成，并在所述印刷線路板上開孔的穿孔設(shè)備；測(cè)定所述印刷線路板的開孔位置或基準(zhǔn)點(diǎn)位置的至少兩個(gè)攝像設(shè)備；保持所述攝像設(shè)備和所述穿孔設(shè)備之間的距離不動(dòng)，將兩者同時(shí)沿水平方向移動(dòng)的移動(dòng)設(shè)備；以及將所述鉆子在所述移動(dòng)設(shè)備之上相對(duì)于所述攝像設(shè)備沿水平方向移動(dòng)的鉆子移動(dòng)設(shè)備，其特征在于，所述開孔裝置具有夾具板，該夾具板具有用于以所述攝像設(shè)備對(duì)印刷線路板的基準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行攝像的攝像孔、和用于以所述穿孔設(shè)備在該印刷線路板的規(guī)定的穿孔位置進(jìn)行開孔的夾具孔，該夾具板上這樣形成兩個(gè)攝像孔和夾具孔，其中兩個(gè)所述攝像孔的中心相互間的距離等于所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)的距離，而且所述夾具孔的中心的位置相對(duì)于所述兩個(gè)攝像孔的中心的位置的關(guān)系，與所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)和規(guī)定的穿孔位置的關(guān)系相等，所述開孔方法具有攝像設(shè)備位置暫定工序，設(shè)置所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置，使其與所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的關(guān)系相等；鉆子位置暫定工序，相對(duì)所述兩個(gè)攝像設(shè)備設(shè)置所述穿孔設(shè)備的位置，使其與所述印刷線路板的規(guī)定的穿孔位置相對(duì)于兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的關(guān)系相等；攝像位置調(diào)節(jié)工序，相對(duì)栽置在所述栽臺(tái)上的所述夾具板，調(diào)節(jié)所述移動(dòng)設(shè)備和所述載臺(tái)，使得所述兩個(gè)攝像孔中心與所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心分別一致；誤差測(cè)定工序，在利用所述穿孔設(shè)備在栽置在所述夾具板上的穿孔位置修正用的基板上開孔后，使所述載臺(tái)動(dòng)作，將由所述穿孔設(shè)備所開的孔的位置移動(dòng)至所述攝像中心，測(cè)定所述夾具孔中心和所述穿孔位置修正用基板上被開的孔的中心的位置，測(cè)定所述開孔位置中心相對(duì)于所述夾具孔中心的誤差；鉆子定位工序，使所述鉆子移動(dòng)設(shè)備動(dòng)作，設(shè)定所述鉆子相對(duì)所述攝像設(shè)備的位置，以修正在所述誤差測(cè)定工序中測(cè)定的開孔位置中心相對(duì)于夾具孔中心的誤差；基板定位工序，對(duì)于栽置在所述載臺(tái)上的標(biāo)記有至少兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的開孔對(duì)象的印刷線路板，使所述載臺(tái)動(dòng)作，使得兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)分別與所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置一致；開孔工序，對(duì)于載置在所述載臺(tái)上的標(biāo)記有至少兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的開孔對(duì)象的印刷線路板，利用所述穿孔設(shè)備在該印刷線路板的規(guī)定位置開孔。本發(fā)明第2觀點(diǎn)的開孔裝置具有載置待開孔的印刷線路板，并在水平方向移動(dòng)的載臺(tái)；由鉆子、將該鉆子沿上下方向移動(dòng)的升降設(shè)備、以及固定所述印刷線路板的固定設(shè)備構(gòu)成，并在所述印刷線路板上開孔的穿孔設(shè)備；測(cè)定所述印刷線路板的開孔位置或基準(zhǔn)點(diǎn)位置的至少兩個(gè)攝像設(shè)備；保持所述攝像設(shè)備和所述穿孔設(shè)備之間的距離不動(dòng)，將兩者同時(shí)沿水平方向移動(dòng)的移動(dòng)設(shè)備；以及將所述鉆子在所述移動(dòng)設(shè)備之上相對(duì)于所述攝像設(shè)備沿水平方向移動(dòng)的鉆子移動(dòng)設(shè)備，其特征在于，具有夾具板，該夾具板具有用于以所述攝像設(shè)備對(duì)印刷線路板的基準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行攝像的攝像孔、和用于以鉆子在該印刷線路板的規(guī)定的穿孔位置進(jìn)行開孔的夾具孔，該夾具板上這樣形成兩個(gè)所述攝像孔和夾具孔，其中兩個(gè)所述攝像孔的中心相互間的距離等于所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)的距離，而且所述夾具孔的中心的位置相對(duì)于所述兩個(gè)攝像孔的中心的位置的關(guān)系，與所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)和規(guī)定的穿孔位置的關(guān)系相等；攝像設(shè)備位置暫定設(shè)備，設(shè)置所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置，使其與所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的關(guān)系相等；鉆子位置暫定設(shè)備，相對(duì)所述兩個(gè)攝像設(shè)備設(shè)置所述穿孔設(shè)備的位置，使其與所述印刷線路板的規(guī)定的穿孔位置相對(duì)于兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的關(guān)系相等；攝像位置調(diào)節(jié)設(shè)備，相對(duì)載置在所述載臺(tái)上的所述夾具板調(diào)節(jié)所述移動(dòng)設(shè)備和所述載臺(tái)，使得所述兩個(gè)攝像孔中心與所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像位置中心分別一致；誤差測(cè)定設(shè)備，在利用所述穿孔設(shè)備在載置在所述夾具板上的穿孔位置修正用的基板上開孔后，使所述載臺(tái)動(dòng)作，將由所述穿孔設(shè)備所開的孔的位置移動(dòng)至所述攝像中心，從而測(cè)定所述夾具孔中心和所述穿孔位置^f務(wù)正用基板上被開的孔的中心的位置，測(cè)定所述開孔位置中心相對(duì)于所述夾具孔中心的誤差；鉆子定位設(shè)備，使所述鉆子移動(dòng)設(shè)備動(dòng)作，設(shè)定所述鉆子相對(duì)所述攝像設(shè)備的位置，以修正用所述誤差測(cè)定設(shè)備測(cè)定的開孔位置中心相對(duì)于夾具孔中心的誤差；基板定位設(shè)備，對(duì)于載置在所述載臺(tái)上的標(biāo)記有至少兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的開孔對(duì)象的印刷線路板，使所述載臺(tái)動(dòng)作，使得兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)分別與所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置一致；以及開孔設(shè)備，對(duì)于栽置在所述載臺(tái)上的標(biāo)記有至少兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的開孔對(duì)象的印刷線路板，利用所述穿孔設(shè)備在該印刷線路板的規(guī)定位置開孔。理想地，所述基板定位設(shè)備包含將所述印刷線路板沿長(zhǎng)度方向和寬度方向移動(dòng)的基板移動(dòng)設(shè)備，所述基板移動(dòng)設(shè)備還包含將所述印刷線路板沿寬度方向移動(dòng)的寬度方向移動(dòng)設(shè)備。該具有基板移動(dòng)設(shè)備和寬度方向移動(dòng)設(shè)備的構(gòu)成中，進(jìn)一步更理想地構(gòu)成為，所述寬度方向移動(dòng)設(shè)備，通過使所述印刷線路板的一端直線地移動(dòng)，而能使該印刷線路板以其另一端為中心進(jìn)行回轉(zhuǎn)?；蛘?，也可構(gòu)成為，所述寬度方向移動(dòng)設(shè)備包含可使所述印刷線路板的一端及另一端相互獨(dú)立地移動(dòng)的兩個(gè)小型臺(tái)設(shè)備，該寬度方向移動(dòng)設(shè)備，通過利用所述兩個(gè)小型臺(tái)設(shè)備中一者的驅(qū)動(dòng)使所述印刷線路板的一端或另一端直線地移動(dòng)，而保持另一者停止不動(dòng)，從而能使該印刷線路板以該另一者的小型臺(tái)設(shè)備為中心進(jìn)行回轉(zhuǎn)。另外，前述的"長(zhǎng)度方向和寬度方向"，例如典型地設(shè)定為，前者沿著X軸方向，后者沿著與其直交的Y軸方向。此時(shí)，所述"寬度方向移動(dòng)設(shè)備"，更具體而言，可以是，具有可向Y方向移動(dòng)的臺(tái)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等，"小型臺(tái)設(shè)備"可以是，具有可向Y方向移動(dòng)的兩個(gè)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等。當(dāng)然有關(guān)上述軸方向的設(shè)定(即坐標(biāo)系的設(shè)定)基本上是任意的，因此"長(zhǎng)度方向和寬度方向"也可分別設(shè)定為Y軸及X軸。此時(shí)，所述"寬度方向移動(dòng)設(shè)備"更具體而言，可以是，具有可向X方向移動(dòng)的臺(tái)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等，"小型臺(tái)設(shè)備"可以是，具有可向X方向移動(dòng)的兩個(gè)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等?；蛘撸硐氲?，所述印刷線路板包括形成有構(gòu)成規(guī)定電路的圖案的雙面印刷線路板?；蛘撸硐氲?，所述印刷線路板包括多層印刷線路板，該多層印刷線路板將形成有構(gòu)成規(guī)定電路的圖案的雙面印刷線路板進(jìn)行多張積層。這一包括多層印刷線路板的構(gòu)成中，進(jìn)一步更理想地也可構(gòu)成為，所述多層印刷線路板的表里兩面由導(dǎo)體層覆蓋?；蛘撸硐氲?，所述攝像設(shè)備包括X線攝像機(jī)。這一包括X線攝像機(jī)的構(gòu)成中，更理想地也可構(gòu)成為，所述攝像設(shè)備還包括X線發(fā)生裝置，所述移動(dòng)設(shè)備使所述X線攝像機(jī)及所述X線發(fā)生裝置一起移動(dòng)。這一包括X線^WIJ機(jī)的構(gòu)成中，或者理想地也可構(gòu)成為，所述攝像設(shè)備還包括X線防護(hù)設(shè)備?；蛘呃硐氲匾部蓸?gòu)成為，還具有將所述印刷線路板向所述載臺(tái)提供，以及從所述載臺(tái)搬出的搬運(yùn)設(shè)備?；蛘呃硐氲匾部蓸?gòu)成為，利用所述誤差測(cè)定設(shè)備時(shí)對(duì)所述穿孔位置修正用基板開孔的數(shù)目，與由所述開孔設(shè)備對(duì)所述印刷線路板開孔的數(shù)目均為兩個(gè)以上，且互為相同的數(shù)目，利用所述誤差測(cè)定設(shè)備時(shí)對(duì)所述穿孔位置修正用基板的開孔，針對(duì)所述兩個(gè)以上的孔是以同時(shí)或按規(guī)定的次序進(jìn)行的，由所述開孔設(shè)備對(duì)所述印刷線路板的開孔，采用與對(duì)所述穿孔位置修正用基板的開孔同樣的步驟，針對(duì)所述兩個(gè)以上的孔是以同時(shí)或按規(guī)定的次序進(jìn)行?；蛘呃硐氲匾部蓸?gòu)成為，所述移動(dòng)設(shè)備包括滾珠絲杠。利用本發(fā)明的開孔方法，在校正鉆子位置時(shí)，將鉆子位置實(shí)際地移動(dòng)調(diào)整，以在規(guī)定位置進(jìn)行開孔，調(diào)整完成后，將鉆子原地不動(dòng)地保持，以后不從該位置變動(dòng)。本發(fā)明的開孔裝置中，在栽置印刷線路板的可動(dòng)臺(tái)上設(shè)置夾具孔。通過以該夾具孔為基準(zhǔn)反饋移動(dòng)結(jié)果，就可以一邊驗(yàn)證移動(dòng)到了準(zhǔn)確的位置一邊進(jìn)行定位。利用這一方法，可消除將印刷線路板的開孔位置移動(dòng)至鉆子位置時(shí)的誤差。通過將以往的開環(huán)控制改變?yōu)殚]環(huán)控制，可消除與鉆子移動(dòng)相關(guān)的誤差，在精度更高的位置進(jìn)行開孔。圖l是示出本發(fā)明實(shí)施方式的開孔裝置的構(gòu)成例的圖。圖2是示出本發(fā)明實(shí)施方式的開孔裝置的不同構(gòu)成例的圖。圖3是示出本發(fā)明實(shí)施方式的開孔裝置的主要的內(nèi)部構(gòu)成例的圖。圖4是示出本發(fā)明實(shí)施方式的控制裝置的硬件構(gòu)成的一例的框圖。圖5是示出本發(fā)明實(shí)施方式的夾具板的詳細(xì)的圖。圖6是示出本發(fā)明實(shí)施方式的開孔裝置的可動(dòng)臺(tái)的動(dòng)作的圖。圖7是示出本發(fā)明實(shí)施方式的開孔裝置的動(dòng)作的一例的流程圖，圖8是示出在本發(fā)明實(shí)施方式的開孔裝置上，利用修正用基板校正鉆子的位置的情況的圖。圖9是示出夾具孔和穿孔的誤差的例的圖。圖IO是示出在本發(fā)明實(shí)施方式的開孔裝置中，在印刷線路板上開基準(zhǔn)孔的工序的圖。符號(hào)說明如下1…開孔裝置；2…框體；3…架臺(tái)；4…X線發(fā)生裝置；5…X線防護(hù)管；6…X線攝像機(jī)；7…鉆子；7a…鉆子移動(dòng)架臺(tái)7b…鉆頭9…夾緊器；9a…汽釭；10…X移動(dòng)架臺(tái)；11…Y移動(dòng)架臺(tái)；12可動(dòng)臺(tái)；10a、lla、12a…直線導(dǎo)向部件(LM導(dǎo)向部件)；10b、llb、12b…滾珠絲杠；17…作業(yè)者位置(空白箭頭)；50…夾具板；51…吸附部;52…攝像孔；53…夾具孔；60…印刷線路板；60h…基準(zhǔn)孔；60m…記號(hào)；61…修正用基板；61h…孔。具體實(shí)施例方式參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式的開孔裝置1進(jìn)行i兌明。圖1透視開孔裝置1的框體2而示出其內(nèi)部。另外，記入在圖l中的機(jī)械坐標(biāo)系(原點(diǎn)O、X、Y、Z)是固定在開孔裝置1的不動(dòng)部分(例如框體2、架臺(tái)3)上的坐標(biāo)系。送進(jìn)裝置的各種機(jī)械部分的移動(dòng)方向與該坐標(biāo)軸平行。另外，圖1的空白箭頭17在圖面上的位置是作業(yè)者的固定位置.作業(yè)者面向箭頭方向(Y軸的正方向)站立，投入工件即印刷線路板(未圖示)，加工結(jié)束后則從開孔裝置1取出。工件的供給和取出，也可通過搬運(yùn)裝置進(jìn)行。搬運(yùn)裝置例如可由機(jī)器手構(gòu)成，機(jī)器手上設(shè)置利用空氣來吸附的吸附器。開孔裝置1的框體2的內(nèi)部，固定著架臺(tái)3。左右1對(duì)的X移動(dòng)架臺(tái)IO形成近似溝道狀，形成左右成對(duì)稱關(guān)系的形狀。該X移動(dòng)架臺(tái)10由配置在架臺(tái)3上端的直線導(dǎo)向部件10a支承。X移動(dòng)架臺(tái)10通過安裝在其下表面上的滾珠螺母(未圖示)和與其配合的滾珠絲杠10b,而可在X軸方向移動(dòng)。為了單獨(dú)對(duì)各X移動(dòng)架臺(tái)IO進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，而對(duì)每一個(gè)X移動(dòng)架臺(tái)IO配置滾珠絲杠10b。X移動(dòng)架臺(tái)10載置X線攝^f象機(jī)6。使X移動(dòng)架臺(tái)10待機(jī)在通過X線攝像機(jī)6可觀測(cè)線路板上的記號(hào)(后述)的位置上。為了實(shí)現(xiàn)這樣的待機(jī)，X移動(dòng)架臺(tái)IO利用靠前述的滾珠絲杠10b等而可在X軸方向移動(dòng)的性能。另外，這一待機(jī)動(dòng)作是根據(jù)前述線路板的大小而適宜適當(dāng)?shù)?、且預(yù)先地進(jìn)行的。X移動(dòng)架臺(tái)10的上部固定著X線發(fā)生裝置4。又，X移動(dòng)架臺(tái)IO的上部配置著X線防護(hù)管5，與其并列地設(shè)置著使夾緊器9和夾緊器9上下移動(dòng)的汽缸9a。該X移動(dòng)架臺(tái)10的下部安裝著直線導(dǎo)向部件lla。Y移動(dòng)架臺(tái)11由該直線導(dǎo)向部件lla支承。通過滾珠絲杠lib和與其配合的安裝在X移動(dòng)架臺(tái)ll下表面上的滾珠螺母(未圖示)，Y移動(dòng)架臺(tái)ll可與Y軸平行地移動(dòng)。Y移動(dòng)架臺(tái)11上固定著栽有鉆子7的鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a(參照?qǐng)D3)和X線攝像機(jī)6?？蓜?dòng)臺(tái)12搭載多層印刷線路板等的基板。該可動(dòng)臺(tái)12由固定在框體2的中央部分的與Y軸平行的直線導(dǎo)向部件12a和滾珠絲杠12b支承。通過這些，可動(dòng)臺(tái)12與Y軸平行地移動(dòng)?？蓜?dòng)臺(tái)12在圖1的12A的位置，載置工件即待對(duì)基準(zhǔn)孔60h開孔的印刷線路板60,并沿Y軸移動(dòng)而被拉入到進(jìn)行記號(hào)測(cè)定、基準(zhǔn)孔開孔的位置。另外，圖l中雖然未圖示，但可動(dòng)臺(tái)12利用與X軸平行地配置的直線導(dǎo)向部件和滾珠絲杠，來與X軸平行地運(yùn)動(dòng)。還有，通過與Y軸平行地配置的較小型的另一直線導(dǎo)向部件和滾珠絲杠，可動(dòng)臺(tái)12的一端與滾珠絲杠12b獨(dú)立地與Y軸平行地運(yùn)動(dòng)。由此，可動(dòng)臺(tái)12就可以與Z軸平行的軸為中心進(jìn)行回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，有關(guān)這點(diǎn)后面將進(jìn)一步敘述。鉆子7相對(duì)于Y移動(dòng)架臺(tái)11，可沿X軸及Y軸方向移動(dòng)。鉆子7水平方向的位置，可相對(duì)于X線攝係水6進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，圖1中沒有示出驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠10b、llb、12b等，控制X移動(dòng)架臺(tái)10、Y移動(dòng)架臺(tái)ll及可動(dòng)臺(tái)12的移動(dòng)的控制裝置。以以上的說明為前提，可整理為開孔裝置1的主要構(gòu)成要素是由觀測(cè)機(jī)構(gòu)、開孔機(jī)構(gòu)及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成的。即觀測(cè)機(jī)構(gòu)包含X線發(fā)生裝置4、X線防護(hù)管5及X線攝像機(jī)6。開孔機(jī)構(gòu)包含鉆子7和夾緊器9。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包含X移動(dòng)架臺(tái)10、Y移動(dòng)架臺(tái)ll和可動(dòng)臺(tái)12、以及對(duì)它們進(jìn)行支承、驅(qū)動(dòng)的直線導(dǎo)向部件10a、lla、12a、滾珠絲杠10b、llb、12b等。另外，圖1中沒有示出的控制裝置，遵從一系列的開孔作業(yè)步驟，進(jìn)行上述各種裝置的控制。還有，圖1中在X移動(dòng)架臺(tái)10的上部設(shè)置有X線發(fā)生裝置4，但也可如圖2中所示，在Y移動(dòng)架臺(tái)11的上部設(shè)置X線發(fā)生裝置4，與X線防護(hù)管5—體地構(gòu)成。圖2中示出本實(shí)施方式開孔裝置的不同構(gòu)成例。圖2的構(gòu)成中，X線發(fā)生裝置4與Y移動(dòng)架臺(tái)ll一起移動(dòng)，因此X線攝像機(jī)6攝像的位置不限定于Y方向的某一處。圖3是沿Y軸方向看開孔裝置1內(nèi)部的主視圖。圖3中，框體2及架臺(tái)3被省略。又，X移動(dòng)架臺(tái)IO省略了溝道形狀的部分。左右配置的兩個(gè)X移動(dòng)架臺(tái)10，分別獨(dú)立地在X方向(圖3中左右方向)運(yùn)動(dòng)。配置在X移動(dòng)架臺(tái)10上的Y移動(dòng)架臺(tái)11沿著直線導(dǎo)向部件lla，在Y方向(圖3中垂直于紙面)運(yùn)動(dòng)。X線攝像機(jī)6固定在Y移動(dòng)架臺(tái)ll上，因此跟隨X移動(dòng)架臺(tái)10和Y移動(dòng)架臺(tái)11的動(dòng)作而移動(dòng)。支承鉆子7的鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a固定在Y移動(dòng)架臺(tái)11上，能夠使鉆子7相對(duì)于Y移動(dòng)架臺(tái)11(從而，相對(duì)于X線攝像機(jī)6)沿X軸及Y軸方向運(yùn)動(dòng)。又，鉆子7利用汽缸(未圖示)沿Z軸方向升降。通過鉆子7的升降，用安裝在鉆子7前端的鉆頭7b在印刷線路板60上開孔。可動(dòng)臺(tái)12與X移動(dòng)架臺(tái)IO和Y移動(dòng)架臺(tái)ll獨(dú)立地，沿X軸及Y軸方向運(yùn)動(dòng)。在可動(dòng)臺(tái)12的上面安裝著夾具板50。夾具板50中央設(shè)置著吸附部51，來吸附固定印刷線路板60等。圖3中雖然省略，但是為這樣的構(gòu)成，即通過夾緊器9和汽缸9a，印刷線路板60的開孔位置附近被固定，用鉆頭7b開孔時(shí)印刷線路板60不發(fā)生移動(dòng)。夾具板50上設(shè)置有夾具孔53，使得在印刷線路板60上開孔時(shí)，鉆子7和鉆頭7a不致與之干擾?？刂蒲b置20中輸入X線攝像機(jī)6所攝的圖像，從該攝像的圖像計(jì)測(cè)孔或記號(hào)的位置?？刂蒲b置20驅(qū)動(dòng)X移動(dòng)架臺(tái)10、Y移動(dòng)架臺(tái)ll、可動(dòng)臺(tái)12及鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a的電動(dòng)機(jī)(未圖示)，使它們的滾珠絲杠回轉(zhuǎn)，移動(dòng)各架臺(tái)及工作臺(tái)。另外，控制裝置20，根據(jù)X移動(dòng)架臺(tái)10、Y移動(dòng)架臺(tái)11、可動(dòng)臺(tái)12及鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a的線位移傳感器，接收各自的架臺(tái)或工作臺(tái)的位置信息(及速度信息)的輸入，進(jìn)行反饋控制。圖4是示出構(gòu)成控制裝置20的硬件構(gòu)成的一例的框圖?？刂蒲b置20如圖4所示，具有控制部21、主存儲(chǔ)部22、外部存儲(chǔ)部23、操作部24、顯示部25及輸入輸出部26。主存儲(chǔ)部22、外部存儲(chǔ)部23、操作部24、顯示部25及輸入輸出部26均通過內(nèi)部總線28與控制部21連接。控制部21由CPU(CentralProcessingUnit)等構(gòu)成，遵從存儲(chǔ)在外部存儲(chǔ)部23中的程序，執(zhí)行后述的用于開孔的處理。主存儲(chǔ)部22由RAM(Random-AccessMemory)等構(gòu)成，讀入存儲(chǔ)在外部存儲(chǔ)部23中的程序，作為控制部21的作業(yè)領(lǐng)域使用。外部存儲(chǔ)部23由閃存、硬盤、DVD-RAM(DigitalVersatileDiscRandom-AccessMemory)、DVD-RW(DigitalVersatileDiscRewritable)等非揮發(fā)性存儲(chǔ)器構(gòu)成。外部存儲(chǔ)部23預(yù)先存儲(chǔ)令控制部21執(zhí)行前述處理的程序。又，外部存儲(chǔ)部23遵從控制部21的指令，向控制部21提供該程序所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，或存儲(chǔ)從控制部21提供的數(shù)據(jù)。操作部24由鍵盤及鼠標(biāo)等指示器等、以及將鍵盤及鼠標(biāo)等與內(nèi)部總線28連接的接口裝置構(gòu)成。通過操作部24，輸入處理的開始或結(jié)束的指令等，向控制部21提供。顯示部25由CRT(CathodeRayTube)或LCD(LiquidCrystalDisplay)等構(gòu)成，顯示X線攝像機(jī)6攝像的圖像或X線攝像機(jī)6及鉆子7的位置坐標(biāo)、及計(jì)測(cè)的印刷線路板60的記號(hào)60m(參照?qǐng)D5)或孔的坐標(biāo)等。輸入輸出部26由串行接口或LAN(LocalAreaNetwork)接口構(gòu)成。通過輸入輸出部26，輸入從X線攝像機(jī)6攝像的圖像信號(hào)。另外，輸出驅(qū)動(dòng)X移動(dòng)架臺(tái)10、Y移動(dòng)架臺(tái)11、可動(dòng)臺(tái)12及鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a的電動(dòng)機(jī)的信號(hào)。還有，通過輸入輸出部26，從X移動(dòng)架臺(tái)10、Y移動(dòng)架臺(tái)11、可動(dòng)臺(tái)12及鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a的線位移傳感器，輸入各自的架臺(tái)或工作臺(tái)的位置信息(及速度信息)。另外，設(shè)置有前述的工件的搬運(yùn)裝置(未圖示)的情況下，為了與搬運(yùn)裝置的動(dòng)作取得同步，也可以通過輸入輸出部26，向搬運(yùn)裝置輸出動(dòng)作的指令，從搬運(yùn)裝置輸入動(dòng)作的結(jié)束指令。圖5是示出夾具板50的詳細(xì)的圖。圖5中(a)是夾具板50的俯視圖，(b)是將印刷線路板60放置于夾具板50的狀態(tài)，(c)是(b)的A-A線剖視圖。本實(shí)施方式中，以下述情況為例進(jìn)行說明，即印刷線路板60的兩端存在兩個(gè)i己號(hào)60m,以該記號(hào)60m為中心隔開一定的間隔各開兩個(gè)孔的位置，合計(jì)四個(gè)孔的情況。如圖5(a)中所示，夾具板50在其兩端具有用X線攝像機(jī)60對(duì)印刷線路板60的記號(hào)60m進(jìn)行攝影用的兩個(gè)攝像孔52。另外，夾具板50具有各自以這些攝像孔52為中心分為兩處的夾具孔53。該兩個(gè)攝像孔52和總計(jì)四個(gè)夾具孔53，形成為使得其形成位置與印刷線路板60的兩個(gè)記號(hào)60m和待開基準(zhǔn)孔60h的位置一致。也就是說，兩個(gè)攝像孔52的中心間的距離，與兩個(gè)記號(hào)60m間的距離實(shí)質(zhì)上一致。又，攝像孔52和夾具孔53之間的相對(duì)配置關(guān)系，與記號(hào)60m的位置和基準(zhǔn)孔60的開孔位置之間的相對(duì)配置關(guān)系實(shí)質(zhì)上一致。夾具板50上，如前所述，在中央部形成有吸附部51。吸附部51上，嵌入有開了孔51a的板51b(參照?qǐng)D5(c))。通過從連接在吸氣裝置(未圖示)的吸氣管51c吸氣，使得氣體從所述孔51a被吸引進(jìn)而吸附載置在夾具板50上的工件(印刷線路板60或修正用基板61).印刷線路板60是這樣載置的，使得記號(hào)60m基本上位于攝像孔52的中心(參照?qǐng)D5(b))。圖6是示出可動(dòng)臺(tái)12的動(dòng)作的圖。圖6中(a)是可動(dòng)臺(tái)12的俯視圖，(b)是示出可動(dòng)臺(tái)12回轉(zhuǎn)情況的俯視圖，(c)是可動(dòng)臺(tái)12的主視圖?？蓜?dòng)臺(tái)12由沿X方向移動(dòng)的XI臺(tái)12c和XI臺(tái)12d支承。XI臺(tái)12c通過滾珠絲杠和滾珠螺母在X軸方向運(yùn)動(dòng)。XI臺(tái)12d沿X導(dǎo)向部件12d2在X方向自由移動(dòng)。XI臺(tái)12c和Xl臺(tái)12d由臺(tái)架12g連結(jié)，因此XI臺(tái)12d與XI臺(tái)12c的動(dòng)作聯(lián)動(dòng)。XI臺(tái)12c上設(shè)置有Yl臺(tái)12e。XI臺(tái)12d上設(shè)置有Y2臺(tái)12f。Yl臺(tái)12e和Y2臺(tái)12f分別獨(dú)立地在Y軸方向移動(dòng)。臺(tái)架12g與Yl臺(tái)12e回轉(zhuǎn)自如地結(jié)合，另一方面也與Y2臺(tái)12f回轉(zhuǎn)自如地結(jié)合。通過將Y1臺(tái)12e和Y2臺(tái)12f同時(shí)向同方向移動(dòng)，臺(tái)架12g在Y軸方向上平行移動(dòng)。另一方面，例如如果^f吏Yl臺(tái)12e原地不動(dòng)被固定，而移動(dòng)Y2臺(tái)12f,則XI臺(tái)12d在X軸方向上自由移動(dòng)，因此臺(tái)架12g以Yl臺(tái)12e為中心回轉(zhuǎn)。例如，如圖6(b)中所示，將臺(tái)架12g回轉(zhuǎn)弧度6時(shí)，i殳臺(tái)架12g的Yl臺(tái)軸與Y2臺(tái)軸的多巨離為L(zhǎng)，只要將Y2臺(tái)12f移動(dòng)Lsin6即可。此時(shí)，XI臺(tái)12d移動(dòng)L(l-cos6)。臺(tái)架12g的位置和角度可通過觀測(cè)設(shè)置在臺(tái)架12g上的兩個(gè)孔12h、12i來測(cè)定。由于可動(dòng)臺(tái)12沒有必要移動(dòng)較大的角度，因此其回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可通過上述那樣Y1臺(tái)12e或Y2臺(tái)12f的直線動(dòng)作來充分地實(shí)現(xiàn)。通過置換為Y2臺(tái)12f(或Yl臺(tái)12e)的直線運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)可動(dòng)臺(tái)12的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，能夠以簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)高精度地得到所希望的角度變位。接下來，參照?qǐng)D7至圖10說明開孔裝置1的動(dòng)作。如前所述，開孔裝置l的動(dòng)作，由控制部21與主存儲(chǔ)部22、外部存儲(chǔ)部23、操作部24、輸入輸出部26、X線才聶4象機(jī)6、X移動(dòng)架臺(tái)10、Y移動(dòng)架臺(tái)11、可動(dòng)臺(tái)12及鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a協(xié)動(dòng)而進(jìn)行。事先，使兩個(gè)X線攝像機(jī)6的間隔，與印刷線路板(以下也稱為基板)60的記號(hào)60m的間隔相一致，由此決定X移動(dòng)架臺(tái)10的位置。另外，鉆子7的位置是這樣相對(duì)于X線攝像機(jī)6設(shè)定的，使其成為相對(duì)記號(hào)60m的基準(zhǔn)孔60h的位置(換言之，鉆子7的位置是這樣設(shè)定的，使得該鉆子7和X線攝像機(jī)6之間的相對(duì)配置關(guān)系與記號(hào)60m和基準(zhǔn)孔60h之間的相對(duì)配置關(guān)系一致。)。由此，當(dāng)X線攝像機(jī)6位于攝像孔52的中心時(shí)，鉆子7位于夾具孔53。首先，將夾具板50的攝像孔52的中心精確地對(duì)準(zhǔn)X線攝像機(jī)6的攝像中心(步驟S1)。此時(shí)，可僅移動(dòng)可動(dòng)臺(tái)12,也可移動(dòng)X移動(dòng)架臺(tái)lO及Y移動(dòng)架臺(tái)ll。但是，不改變X線攝像機(jī)6和鉆子7的相對(duì)配置關(guān)系。接著，將修正用基板61載置在夾具板50上，在將夾具板50的攝像孔52的中心精確地對(duì)準(zhǔn)X線攝像機(jī)6的攝像中心的狀態(tài)下，升降鉆子7來開設(shè)孔61h(步驟S2)。此時(shí)的情況如圖8(a)中所示。在X線攝像機(jī)6的攝像中心與攝像孔52的中心對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，在位于修正用基板61的夾具孔53的四處開i更孔61h。在用鉆子7在修正用基板61上開孔61h時(shí)，既可逐一升降鉆子7，而逐一開孔，也可全部同時(shí)開孔。最好是進(jìn)行與對(duì)后述的印刷線路板60開基準(zhǔn)孔60h時(shí)同樣的動(dòng)作。移動(dòng)可動(dòng)臺(tái)12,將開孔位置移至X線攝像機(jī)6的攝像中心，測(cè)定夾具孔53和修正用基板61的孔61h之間的誤差(步驟S3)。圖8(b)示出將進(jìn)深一側(cè)的開孔位置移至X線攝像機(jī)6的攝像中心的情況。圖8的(c)示出將靠前一側(cè)的開孔位置移至X線攝像機(jī)6的攝像中心的情況。本實(shí)施方式中，孔61h的位置左右對(duì)稱，因此可左右同時(shí)測(cè)定?？?1h的位置左右不對(duì)稱時(shí)，逐一對(duì)準(zhǔn)X線攝像機(jī)6的攝像位置進(jìn)行測(cè)定。圖9是示出夾具孔53和孔61h的誤差例的圖。圖9中，相對(duì)夾具孔53的中心，孔61h在X軸方向偏移Ax，在Y軸方向偏移Ay。另外，同時(shí)也測(cè)定X線攝像機(jī)6的攝像中心和夾具孔53的中心的誤差(圖中，該誤差用Ax及Ay表示)。X線攝像機(jī)攝像中心和夾具孔中心的誤差是可動(dòng)臺(tái)12的移動(dòng)誤差。回到圖7的流程圖，接下來，對(duì)鉆子7(鉆頭7b)的位置進(jìn)行修正(步驟S4)?？?1h本來是以這樣的方式開孔為佳，即，使得其中心與夾具孔相一致的方式。從而，相對(duì)于X線攝像機(jī)6的位置來修正鉆子7的位置，以消除夾具孔中心和孔61h的中心的誤差。例如如圖9中所示，如果誤差為Ax及Ay,則對(duì)鉆子的位置修正-Ax及-Ay的量。對(duì)所有的鉆子7,同樣地修正誤差。也就是說，如果所有鉆子7的誤差修正沒有結(jié)束(步驟S5;否)，則重復(fù)步驟S3和步驟S4。當(dāng)對(duì)所有鉆子7的誤差修正結(jié)束后(步驟S5;是)，則判定這些誤差是否在容許范圍內(nèi)(步驟S6)，如果誤差不在容許范圍內(nèi)(步驟S6;否)，則在夾具板50上栽置新的修正用基板，進(jìn)行鉆子位置的校正(重復(fù)步驟S2至步驟S6)。夾具孔53的中心與孔61h的中心的容許誤差，例如，由X線攝像機(jī)6的分辨率和鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a的分解機(jī)能所決定。如果夾具孔53的中心與孔61h的中心的誤差在容許范圍狀態(tài)下(步驟S6;是)，則X線攝像機(jī)6的攝像中心和鉆子7開孔位置之間的關(guān)系，應(yīng)該在容許誤差的范圍內(nèi)，與夾具板50攝像孔中心的位置和夾具孔中心的位置之間的關(guān)系一致。于是，接著是將X線攝像機(jī)6和鉆子7的位置保持不變，在印刷線路板60上開設(shè)基準(zhǔn)孔60h。也就是說，在夾具板50上載置待開孔基準(zhǔn)孔60h的印刷線路板60，調(diào)節(jié)可動(dòng)臺(tái)12，將印刷線路板60的記號(hào)60m對(duì)準(zhǔn)X線攝像機(jī)6的攝像中心(步驟S7)。此時(shí)，還有，以后的工序中也是，基本上要緊的是，將X移動(dòng)架臺(tái)10、Y移動(dòng)架臺(tái)ll及鉆子移動(dòng)架臺(tái)7a保持在前述校正結(jié)束的狀態(tài)不發(fā)生變化。接著，維持這一狀態(tài)，升降鉆子7對(duì)基準(zhǔn)孔60h進(jìn)行開孔(步驟S8)。此時(shí)，如前所述，理想的，用與鉆子位置校正時(shí)在修正用基板61上開孔61h同樣的動(dòng)作來開孔基準(zhǔn)孔60h。圖10示出在夾具板50上載置印刷線路板60，將記號(hào)60m對(duì)準(zhǔn)X線攝像機(jī)6的攝像中心，再用鉆子7開孔基準(zhǔn)孔60h的工序。圖10(a)示出剛剛在夾具板50上載置印刷線路板60的狀態(tài)，也就是X線攝像機(jī)6的攝像中心和記號(hào)60m偏移的狀態(tài)。圖10(b)示出調(diào)節(jié)可動(dòng)臺(tái)12，從而印刷線路板60的記號(hào)60m與X線攝像機(jī)6的攝像中心相一致的狀態(tài)。圖10(c)表示在印刷線路板60的記號(hào)60m與X線攝像機(jī)6的攝像中心相一致的狀態(tài)下，用鉆子7開孔基準(zhǔn)孔60h的狀態(tài)。在將印刷線路板60的記號(hào)60m對(duì)準(zhǔn)X線攝像機(jī)6的攝像中心的過程中，使用在圖6說明了的可動(dòng)臺(tái)12的X-Y-Y功能。首先，在X軸方向及Y軸方向平行移動(dòng)可動(dòng)臺(tái)12，例如將左側(cè)的記號(hào)60m對(duì)準(zhǔn)一側(cè)的X線攝像機(jī)6的攝像中心。接著，通過圖像計(jì)測(cè)測(cè)定兩個(gè)X線攝像機(jī)6和右側(cè)的記號(hào)60m所成的角度，并調(diào)節(jié)圖6的Y2臺(tái)12f以消除角度誤差。此時(shí)，記號(hào)60m不一定與可動(dòng)臺(tái)12的臺(tái)架12g的支點(diǎn)一致。因此，有可能由于移動(dòng)Y2臺(tái)12f，左側(cè)的記號(hào)60m從X線攝像機(jī)6的攝像中心偏移。因此，預(yù)先計(jì)算該偏移量調(diào)節(jié)X1臺(tái)12c及Yl臺(tái)12e.即這樣控制可動(dòng)臺(tái)12，使得可動(dòng)臺(tái)12的回轉(zhuǎn)中心成為已與X線攝像機(jī)6的攝象中心相一致的記號(hào)60m的中心?；氐綀D7的流程圖，在印刷線路板60上開出基準(zhǔn)孔60h后，判定是否有待開孔基準(zhǔn)孔60h的另外的印刷線路板60(步驟S9)存在。如果有待開孔基準(zhǔn)孔60h的印刷線路板60步驟S9;是)，則回到步驟S7,對(duì)該印刷線路板60的基準(zhǔn)孔60h進(jìn)行開孔。如果沒有印刷線路板60了(步驟S9;否),則結(jié)束動(dòng)作。這樣，只要開孔裝置1的條件，例如鉆頭7b的磨耗、溫度等條件不發(fā)生變化，則通過校正一次鉆子7的位置，即可對(duì)一批多個(gè)印刷線路板60準(zhǔn)確地開孔基準(zhǔn)孔60h。本發(fā)明的開孔裝置1照準(zhǔn)夾具板進(jìn)行反饋控制，因此本發(fā)明開孔裝置1的開孔精度遵從夾具板50的精度。如果提高夾具板50的攝像孔52和夾具孔53的精度，則印刷線路板60的基準(zhǔn)孔60h的精度也相應(yīng)地提高。根據(jù)本發(fā)明的開孔方法，在校正鉆子位置時(shí)，為在規(guī)定位置進(jìn)行開孔，而將鉆子位置實(shí)際地移動(dòng)調(diào)整，在調(diào)整完成后，將鉆子7原地不動(dòng)地保持，以后不從該位置變動(dòng)。因此，不存在由于移動(dòng)鉆子7時(shí)的誤差導(dǎo)致基準(zhǔn)孔60h的位置發(fā)生偏移的情況。本發(fā)明的開孔裝置中，在載置印刷線路板60的可動(dòng)臺(tái)12上設(shè)置夾具孔53.可通過以該夾具孔53為基準(zhǔn)反饋移動(dòng)結(jié)果，來一邊驗(yàn)證移動(dòng)到了正確位置一邊進(jìn)行定位。利用這一方法，可消除將印刷線路板60的開孔位置移動(dòng)至鉆子位置時(shí)的誤差。另外，前述硬件構(gòu)成或流程圖僅是一例，而可任意地變更及修改。上述的實(shí)施方式中，就印刷線路板的記號(hào)在兩端有兩個(gè)，并對(duì)各自的記號(hào)等間隔地開設(shè)兩處基準(zhǔn)孔的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此。例如，記號(hào)的位置不左右對(duì)稱也可，基準(zhǔn)孔不是等間隔也可。另外，對(duì)記號(hào)基準(zhǔn)孔也可不是兩處而是一處或三處以上。本申請(qǐng)基于2006年1月30日提出申請(qǐng)的日本國專利申請(qǐng)2006-20783號(hào)。本i兌明書中作為參照包含了日本國專利申請(qǐng)2006-20783號(hào)的說明書、權(quán)利要求書、附圖全體。產(chǎn)業(yè)上的可利用性在以一定的基準(zhǔn)點(diǎn)為基準(zhǔn)，在基板上形成圖案或積層印刷線路板(多層化)等的半導(dǎo)體制造業(yè)或電子設(shè)備制造業(yè)中，本發(fā)明對(duì)于制造工序的效率化、被制造產(chǎn)品的高質(zhì)量化、高信賴化作出貢獻(xiàn)。權(quán)利要求1.一種開孔方法，是開孔裝置的開孔方法，所述開孔裝置具有:載臺(tái)，其載置待開孔的印刷線路板，并在水平方向移動(dòng)；穿孔設(shè)備，其由鉆子、將該鉆子沿上下方向移動(dòng)的升降設(shè)備、以及固定所述印刷線路板的固定設(shè)備構(gòu)成，并在所述印刷線路板上進(jìn)行開孔；至少兩個(gè)攝像設(shè)備，來測(cè)定所述印刷線路板的開孔位置或基準(zhǔn)點(diǎn)位置；移動(dòng)設(shè)備，其保持所述攝像設(shè)備和所述穿孔設(shè)備之間的距離不動(dòng)，將兩者同時(shí)沿水平方向移動(dòng)；以及鉆子移動(dòng)設(shè)備，其將所述鉆子在所述移動(dòng)設(shè)備之上相對(duì)于所述攝像設(shè)備沿水平方向移動(dòng)，其特征在于，所述開孔裝置具有夾具板，該夾具板具有用于以所述攝像設(shè)備對(duì)印刷線路板的基準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行攝像的攝像孔、和用于以所述穿孔設(shè)備在該印刷線路板的規(guī)定的穿孔位置進(jìn)行開孔的夾具孔，該夾具板上這樣形成兩個(gè)攝像孔和夾具孔，其中兩個(gè)所述攝像孔的中心相互間的距離等于所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)的距離，而且所述夾具孔的中心的位置相對(duì)于所述兩個(gè)攝像孔的中心的位置的關(guān)系，與所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)和規(guī)定的穿孔位置的關(guān)系相等，所述開孔方法具有:攝像設(shè)備位置暫定工序，設(shè)置所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置，使其與所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的關(guān)系相等；鉆子位置暫定工序，相對(duì)所述兩個(gè)攝像設(shè)備設(shè)置所述穿孔設(shè)備的位置，使其與所述印刷線路板的規(guī)定的穿孔位置相對(duì)于兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的關(guān)系相等；攝像位置調(diào)節(jié)工序，相對(duì)載置在所述載臺(tái)上的所述夾具板，調(diào)節(jié)所述移動(dòng)設(shè)備和所述載臺(tái)，使得所述兩個(gè)攝像孔中心與所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心分別一致；誤差測(cè)定工序，在利用所述穿孔設(shè)備在載置在所述夾具板上的穿孔位置修正用的基板上開孔后，使所述載臺(tái)動(dòng)作，將由所述穿孔設(shè)備所開的孔的位置移動(dòng)至所述攝像中心，測(cè)定所述夾具孔中心和所述穿孔位置修正用基板上被開的孔的中心的位置，測(cè)定所述開孔位置中心相對(duì)于所述夾具孔中心的誤差；鉆子定位工序，使所述鉆子移動(dòng)設(shè)備動(dòng)作，設(shè)定所述鉆子相對(duì)所述攝像設(shè)備的位置，以修正在所述誤差測(cè)定工序中測(cè)定的開孔位置中心相對(duì)于夾具孔中心的誤差；基板定位工序，對(duì)于載置在所述載臺(tái)上的標(biāo)記有至少兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的開孔對(duì)象的印刷線路板，使所述載臺(tái)動(dòng)作，使得兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)分別與所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置一致；開孔工序，對(duì)于載置在所述載臺(tái)上的標(biāo)記有至少兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的開孔對(duì)象的印刷線路板，利用所述穿孔設(shè)備在該印刷線路板的規(guī)定位置開孔。2.—種開孔裝置，具有載臺(tái)，其栽置待開孔的印刷線路板，并在水平方向移動(dòng)；穿孔設(shè)備，其由鉆子、將該鉆子沿上下方向移動(dòng)的升降設(shè)備、以及固定所述印刷線路板的固定設(shè)備構(gòu)成，并在所述印刷線路板上進(jìn)行開孔；至少兩個(gè)攝像設(shè)備，來測(cè)定所述印刷線路板的開孔位置或基準(zhǔn)點(diǎn)位置；移動(dòng)設(shè)備，其保持所述攝像設(shè)備和所述穿孔設(shè)備之間的距離不動(dòng)，將兩者同時(shí)沿水平方向移動(dòng)；以及鉆子移動(dòng)設(shè)備，其將所述鉆子在所述移動(dòng)設(shè)備之上相對(duì)于所述攝像設(shè)備沿水平方向移動(dòng)，其特征在于，具有夾具板，該夾具板具有用于以所述攝像設(shè)備對(duì)印刷線路板的基準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行攝像的攝像孔、和用于以鉆子在該印刷線路板的規(guī)定的穿孔位置進(jìn)行開孔的夾具孔，該夾具板上這樣形成兩個(gè)所述攝像孔和夾具孔，其中兩個(gè)所述攝像孔的中心相互間的距離等于所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)的距離，而且所述夾具孔的中心的位置相對(duì)于所述兩個(gè)攝像孔的中心的位置的關(guān)系，與所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)和規(guī)定的穿孔位置的關(guān)系相等；攝像設(shè)備位置暫定設(shè)備，設(shè)置所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置，使其與所述印刷線路板的兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的關(guān)系相等；鉆子位置暫定設(shè)備，相對(duì)所述兩個(gè)攝像設(shè)備設(shè)置所述穿孔設(shè)備的位置，使其與所述印刷線路板的規(guī)定的穿孔位置相對(duì)于兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的關(guān)系相等；攝像位置調(diào)節(jié)設(shè)備，相對(duì)載置在所述載臺(tái)上的所述夾具板調(diào)節(jié)所述移動(dòng)設(shè)備和所述載臺(tái)，使得所述兩個(gè)攝像孔中心與所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像位置中心分別一致；誤差測(cè)定設(shè)備，在利用所述穿孔設(shè)備在栽置在所述夾具板上的穿孔位置修正用的基板上開孔后，使所述載臺(tái)動(dòng)作，將由所述穿孔設(shè)備所開的孔的位置移動(dòng)至所述攝像中心，從而測(cè)定所述夾具孔中心和所述穿孔位置修正用基板上被開的孔的中心的位置，測(cè)定所述開孔位置中心相對(duì)于所述夾具孔中心的誤差；鉆子定位設(shè)備，使所述鉆子移動(dòng)設(shè)備動(dòng)作，設(shè)定所述鉆子相對(duì)所述攝像設(shè)備的位置，以修正用所述誤差測(cè)定設(shè)備測(cè)定的開孔位置中心相對(duì)于夾具孔中心的誤差；基板定位設(shè)備，對(duì)于載置在所述載臺(tái)上的標(biāo)記有至少兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的開孔對(duì)象的印刷線路板，使所述載臺(tái)動(dòng)作，使得兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)分別與所述兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置一致；以及開孔設(shè)備，對(duì)于載置在所述載臺(tái)上的標(biāo)記有至少兩個(gè)規(guī)定基準(zhǔn)記號(hào)的開孔對(duì)象的印刷線路板，利用所述穿孔設(shè)備在該印刷線路板的規(guī)定位置開孔。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開孔裝置，其特征在于，所述基板定位設(shè)備包含將所述印刷線路板沿長(zhǎng)度方向和寬度方向移動(dòng)的基板移動(dòng)設(shè)備，所述基板移動(dòng)設(shè)備還包含將所述印刷線路板沿寬度方向移動(dòng)的寬度方向移動(dòng)設(shè)備。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的開孔裝置，其特征在于，所述寬度方向移動(dòng)設(shè)備，通過使所述印刷線路板的一端直線地移動(dòng)，而能使該印刷線路板以其另一端為中心進(jìn)行回轉(zhuǎn)。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的開孔裝置，其特征在于，所述寬度方向移動(dòng)設(shè)備包含可使所述印刷線路板的一端及另一端相互獨(dú)立地移動(dòng)的兩個(gè)小型臺(tái)設(shè)備，該寬度方向移動(dòng)設(shè)備，通過利用所述兩個(gè)小型臺(tái)設(shè)備中的一者的驅(qū)動(dòng)使所述印刷線路板的一端或另一端直線地移動(dòng)，而保持另一者停止不動(dòng)，從而能使該印刷線路板以該另一者的小型臺(tái)設(shè)備為中心進(jìn)行回轉(zhuǎn)。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開孔裝置，其特征在于，所述印刷線路板包括形成有構(gòu)成規(guī)定電路的圖案的雙面印刷線路板。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開孔裝置，其特征在于，所述印刷線路板包括多層印刷線路板，該多層印刷線路板是將形成有構(gòu)成規(guī)定電路的圖案的雙面印刷線路板進(jìn)行多張積層而成的。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的開孔裝置，其特征在于，所述多層印刷線路板的表里兩面由導(dǎo)體層覆蓋。9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開孔裝置，其特征在于，所述攝像設(shè)備包括X線攝像機(jī)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的開孔裝置，其特征在于，所述攝像設(shè)備還包括X線發(fā)生裝置，所述移動(dòng)設(shè)備使所述X線攝像機(jī)及所述X線發(fā)生裝置一起移動(dòng)。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的開孔裝置，其特征在于，所述攝像設(shè)備還包括X線防護(hù)設(shè)備。12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開孔裝置，其特征在于，還具有將所述印刷線路板向所述載臺(tái)提供，以及從所述載臺(tái)搬出的搬運(yùn)設(shè)備。13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開孔裝置，其特征在于，利用所述誤差測(cè)定設(shè)備時(shí)對(duì)所述穿孔位置修正用基板開孔的數(shù)目，與由所述開孔設(shè)備對(duì)所述印刷線路板開孔的數(shù)目均為兩個(gè)以上，且互為相同的數(shù)目，利用所述誤差測(cè)定設(shè)備時(shí)對(duì)所述穿孔位置修正用基板的開孔，針對(duì)所述兩個(gè)以上的孔是以同時(shí)或按規(guī)定的次序進(jìn)行的，由所述開孔設(shè)備對(duì)所述印刷線路板的開孔，采用與對(duì)所述穿孔位置修正用基板的開孔同樣的步驟，針對(duì)所述兩個(gè)以上的孔是以同時(shí)或按規(guī)定的次序進(jìn)行的。14.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開孔裝置，其特征在于，所述移動(dòng)設(shè)備包括滾珠絲杠。全文摘要消除移動(dòng)鉆子時(shí)發(fā)生的誤差，提高開孔精度。夾具板具有兩個(gè)攝像孔及夾具孔。它們的相對(duì)配置關(guān)系等于開孔對(duì)象的基板上兩個(gè)規(guī)定的記號(hào)和規(guī)定的穿孔位置之間的關(guān)系。鉆子的定位以以下的步驟進(jìn)行，(1)分別使夾具板的兩個(gè)攝像孔中心和兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心的位置相一致，(2)在載置在夾具板上的修正用基板上，利用穿過所述夾具孔的鉆子開孔，(3)將開了孔的位置移動(dòng)至所述攝像中心，測(cè)定開孔位置中心相對(duì)于夾具孔中心的誤差，(4)決定鉆子相對(duì)于攝像設(shè)備的位置，以修正該誤差。其后不移動(dòng)鉆子。鉆子對(duì)基板的開孔，是在調(diào)整標(biāo)記了兩個(gè)規(guī)定的記號(hào)的開孔對(duì)象的基板的位置，使該兩個(gè)規(guī)定的基準(zhǔn)記號(hào)分別與兩個(gè)攝像設(shè)備的攝像中心相一致后進(jìn)行的。文檔編號(hào)B23B41/00GK101375648SQ20078000374公開日2009年2月25日申請(qǐng)日期2007年1月29日優(yōu)先權(quán)日2006年1月30日發(fā)明者荒木正俊,齊藤努申請(qǐng)人:精工精密有限公司