專(zhuān)利名稱(chēng)：制作濺射目標(biāo)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制作用于濺射目標(biāo)的包括鉬(Mo)的大的鋼坯或棒的方法，及該方法生產(chǎn)的鋼坯和濺射目標(biāo)。
背景技術(shù)：
制作大的鉬濺射目標(biāo)的當(dāng)前方法是冷卻均衡擠壓(CIP)鉬粉末，燒結(jié)以減少氧含量，然后熱軋成期望長(zhǎng)度/寬度/厚度的板。然后，將該板機(jī)械加工成最終公差。由于目標(biāo)的噴濺產(chǎn)量和沉積薄膜的腐蝕特征，使用CIP、燒結(jié)和熱軋?zhí)幚碇谱鞯你f濺射目標(biāo)是有缺點(diǎn)的。這涉及到在熱軋?zhí)幚砥陂g形成的板的微觀(guān)結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明在說(shuō)明性實(shí)施例中提供制作用于濺射目標(biāo)的含有鉬(Mo)的鋼坯或棒的方法，其中包括鉬的兩個(gè)或多個(gè)燒結(jié)粉末金屬本體(例如，鋼錠本體)放置成彼此相鄰(例如將一個(gè)堆疊在另一個(gè)上)，使包括鉬的粉末金屬存在于相鄰本體的結(jié)合處。相鄰的本體受到加熱均衡擠壓，以在相鄰本體之間的每個(gè)金屬-粉末金屬層-金屬結(jié)合處形成擴(kuò)散結(jié)合(diffusion bond)。這形成可以進(jìn)行機(jī)械加工或以其它方式形成以提供大的濺射目標(biāo)的鋼坯或棒。選擇放置成彼此相鄰的本體的數(shù)量和尺寸，以生產(chǎn)適合于濺射目標(biāo)的期望的大尺寸鋼坯或棒。例如，通過(guò)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明可以提供具有超過(guò)3000毫米的長(zhǎng)度和225毫米×225毫米的橫截面的鋼坯或棒。
在本發(fā)明的另一說(shuō)明性實(shí)施例中，提供用于制作用于濺射目標(biāo)的含有鉬(Mo)的鋼坯或棒的方法，其中含有鉬的兩個(gè)或多個(gè)燒結(jié)粉末金屬本體在第一加熱均衡擠壓操作中在它們之間的一個(gè)或多個(gè)金屬一金屬結(jié)合處擴(kuò)散結(jié)合在一起，形成預(yù)制坯(preform)。然后，兩個(gè)或多個(gè)預(yù)制坯放置成彼此相鄰(例如一個(gè)堆疊在另一個(gè)上面)，在相鄰預(yù)制坯之間的結(jié)合處具有含有鉬的粉末金屬層。相鄰預(yù)制坯在第二加熱均衡擠壓操作中受到加熱均衡擠壓，以在相鄰預(yù)制坯之間的每個(gè)金屬-粉末金屬層-金屬結(jié)合處形成擴(kuò)散結(jié)合，以形成可以機(jī)械加工或以其它方式形成以提供大的濺射目標(biāo)的鋼坯或棒。對(duì)放置成彼此相鄰的預(yù)制坯的數(shù)量和尺寸進(jìn)行選擇，以生產(chǎn)適合于濺射目標(biāo)的期望的大尺寸鋼坯或棒。
用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒具有包括期望小顆粒尺寸(例如，大約30微米或更小)的等軸晶粒的微觀(guān)結(jié)構(gòu)，并由于低氧燒結(jié)鉬粉末金屬本體的使用而具有不到大約100ppm(百萬(wàn)分之一重量)的低氧含量。用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒包括大于理論密度的99％的密度和一個(gè)或多個(gè)擴(kuò)散結(jié)合點(diǎn)，在該結(jié)合點(diǎn)處，金屬粉末先前存在于相鄰本體或預(yù)制坯之間的結(jié)合點(diǎn)處。
從下面的描述中，本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)、特征和實(shí)施例將變得明確。


圖1是燒結(jié)的鉬粉末金屬鋼錠本體之間金屬-粉末金屬層-金屬擴(kuò)散結(jié)合處的100X的顯微照片。
圖2是板形燒結(jié)鉬粉末金屬磚之間金屬-金屬擴(kuò)散結(jié)合處的100X的顯微照片。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提供制作用于濺射目標(biāo)(sputtering target)的包含鉬(Mo)的伸長(zhǎng)本體的方法，如大的鋼坯或棒。出于說(shuō)明而非限制性目的，盡管本發(fā)明的實(shí)踐由于任何尺寸都可以制作成適合于期望目標(biāo)應(yīng)用而不僅局限于任何特殊尺寸的鋼坯/棒，但是該方法可以用于制作用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒，該鋼坯或棒具有3000毫米或以上的棒長(zhǎng)度及225mm×225mm(mm為毫米)及以下的棒橫截面尺寸。用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒具有包括期望的小顆粒尺寸(例如，大約30微米或更小)的等軸晶粒的微觀(guān)結(jié)構(gòu)，并具有小于大約100ppm(百萬(wàn)分之一重量)的低氧含量，如下所述。用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒包括大于理論密度的99％的密度。
本發(fā)明的方法的說(shuō)明性實(shí)施例從燒結(jié)粉末金屬板形鋼錠本體開(kāi)始，該鋼錠本體包括鉬，具有小于大約100ppm(百萬(wàn)分之一重量)的氧含量。鋼錠本體通過(guò)以下步驟制作對(duì)合適橡膠容器中的市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬粉末進(jìn)行冷卻均衡擠壓(CIP)，以生產(chǎn)擠壓的鋼錠本體，然后在指定環(huán)境(例如，氫)中燒結(jié)該鋼錠本體，以將其氧含量減小到重量低于大約100ppm，并將其理論密度增大到大于94％。盡管也可以使用其它CIP參數(shù)，但是出于說(shuō)明性而非限制性目的，將具有3至10微米的顆粒尺寸、純度為99.95％(重量)并且氧含量通常小于1000ppm(重量)的市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬粉末加載到橡膠袋和鋼模具中，以在其中包裝有鉬粉末的橡膠袋和鋼模具在室溫下以合適壓力(例如，15至30ksi氣體壓力)受到冷卻均衡擠壓(CIP)時(shí)，生產(chǎn)近似網(wǎng)形的鋼錠本體。該近似網(wǎng)形的鋼錠本體具有大于理論密度60％的密度。盡管本發(fā)明的實(shí)踐由于任何尺寸都可以制作成適合于期望目標(biāo)應(yīng)用而不僅局限于任何特殊尺寸的經(jīng)CIP的鋼坯本體，但是在用于一個(gè)特殊濺射目標(biāo)應(yīng)用的CIP之后，說(shuō)明性鋼錠本體可以具有220mm×210mm的尺寸，并具有大約600mm的厚度。例如，另一個(gè)說(shuō)明性鋼錠本體在CIP之后可以具有220mm×210mm的尺寸，并具有大約200mm的厚度。然后，對(duì)該CIP鋼錠本體進(jìn)行燒結(jié)。盡管也可以使用其他燒結(jié)參數(shù)，但是出于說(shuō)明性而非限制性目的，該CIP鋼錠本體在合適溫度和時(shí)間下在合適環(huán)境(例如，在部分氫氣的環(huán)境中以1800攝氏度燒結(jié)18至24小時(shí))中進(jìn)行感應(yīng)燒結(jié)，該環(huán)境對(duì)將經(jīng)CIP的鋼錠本體的氧含量重量減小到小于100ppm是有效的。在出于說(shuō)明性而非限制性目的的上述尺寸的情況下，燒結(jié)的鉬粉末金屬鋼錠本體具有大于理論密度94％的密度，和重量基位(weight basis)99.95％的純度。適合于制作期望濺射目標(biāo)的各種形狀和尺寸的這種低氧鋼錠本體可以從H.C.Starck，Coldwater，Michigan購(gòu)買(mǎi)。
在本發(fā)明的方法實(shí)施例中，下一步驟包括在加熱均衡擠壓操作中在特殊結(jié)合狀況下對(duì)兩個(gè)或多個(gè)鋼錠本體進(jìn)行HIP，以形成用于濺射目標(biāo)的較大鋼坯或棒。例如，上述兩個(gè)鋼錠本體使它們的外頂部和底部主側(cè)表面受到機(jī)械加工和清潔。提供具有225mm×225mm內(nèi)部尺寸、2300mm高度的低碳鋼HIP罐。一個(gè)鋼錠本體使其經(jīng)機(jī)械加工的主側(cè)表面面向側(cè)面放置在該HIP罐中。在鋼錠本體之間留有大約6mm的間隙。重復(fù)該過(guò)程，直到HIP罐填滿(mǎn)并排設(shè)置的鋼錠本體為止。然后，市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬金屬粉末噴灑在HIP罐中第一預(yù)制坯的面向上的經(jīng)機(jī)械加工的主側(cè)表面及可選的周?chē)吘壣?。出于說(shuō)明性而非限制性目的，鉬金屬粉末在HIP罐中相鄰鋼錠本體之間的間隙中放置成一層。填充間隙的市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬粉末金屬的氧含量通常小于1000ppm(重量)。
輔助的鉬金屬粉末可以放置在鋼坯本體的邊緣周?chē)?，以填滿(mǎn)HIP罐和鋼坯本體之間的所有間隙。該過(guò)程持續(xù)到所有間隙都已經(jīng)填滿(mǎn)為止。然后，將具有排氣管的HIP的其余側(cè)壁焊接到HIP罐上，以將其密封。
在該HIP操作之前，通過(guò)焊接的側(cè)壁上的管用氦氣對(duì)HIP罐進(jìn)行泄漏測(cè)試。幾個(gè)經(jīng)泄漏測(cè)試的HIP罐放置在脫氣爐中，并加熱到合適的溫度(例如，600華氏度)，同時(shí)經(jīng)各個(gè)管對(duì)HIP罐進(jìn)行排氣(例如，小于10-5托)，直到獲得合適的泄漏速度(例如，每分鐘小于100微米)為止，每個(gè)該HIP罐中都具有經(jīng)CIP和燒結(jié)的鋼錠本體。然后，盡管也可以使用其它HIP參數(shù)，但是將該HIP罐放置在常規(guī)HIP容器中，并在溫度、壓力和時(shí)間下進(jìn)行HIP(例如，在1034巴的氣體壓力下以1236攝氏度進(jìn)行300分鐘)，以在相鄰錠料本體之間的結(jié)合處實(shí)現(xiàn)金屬(鉬)-粉末金屬(鉬)層-金屬(鉬)的擴(kuò)散結(jié)合，以形成鋼坯或棒。選擇經(jīng)HIP的錠料本體的數(shù)量和尺寸，以生產(chǎn)適合于濺射目標(biāo)的期望的大尺寸鋼坯或棒。
用于濺射目標(biāo)的最終經(jīng)HIP的鋼坯或棒具有包括期望的小顆粒尺寸(例如，大約30微米或以下)的等軸晶粒的微觀(guān)結(jié)構(gòu)，并具有小于大約100ppm(百萬(wàn)分之一重量)的低氧含量，該低氧含量是使用低氧燒結(jié)鉬粉末金屬鋼錠本體和HIP處理的結(jié)果，該HIP處理影響氧從相鄰鋼錠本體之間的每個(gè)結(jié)合處的市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬粉末金屬擴(kuò)散。例如，通過(guò)來(lái)自市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬粉末金屬結(jié)合處的氧擴(kuò)散到低氧(小于100ppm的氧)鋼錠本體中的該HIP過(guò)程，將結(jié)合處中的氧含量減小到小于100ppm(重量)。圖1示出了通過(guò)上述程序的初始金屬(鉬)-粉末金屬(鉬)層-金屬(鉬)結(jié)合處獲得的擴(kuò)散結(jié)合處。從而，用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒包括一個(gè)或多個(gè)擴(kuò)散結(jié)合處，在該結(jié)合處，鉬粉末層先前存在于HIP罐中相鄰鋼錠本體之間的間隙中。
按照本發(fā)明的另一方法實(shí)施例，上述類(lèi)型的兩個(gè)或多個(gè)燒結(jié)鉬粉末金屬磚(鋼錠本體)在第一加熱均衡擠壓操作中在它們之間的一個(gè)或多個(gè)金屬-金屬結(jié)合處擴(kuò)散結(jié)合在一起，形成兩個(gè)或多個(gè)預(yù)制坯。然后，在鉬粉末層位于相鄰預(yù)制坯之間的結(jié)合處的情況下，將該預(yù)制坯彼此相鄰放置(例如，一個(gè)堆疊在另一個(gè)上)。相鄰的預(yù)制坯在第二加熱均衡擠壓操作中進(jìn)行加熱均衡擠壓，以在相鄰預(yù)制坯的每個(gè)結(jié)合處形成擴(kuò)散結(jié)合，以形成可以機(jī)械加工或以其它方式形成以提供大濺射目標(biāo)的鋼坯或棒。對(duì)彼此相鄰放置的預(yù)制坯的數(shù)量和尺寸進(jìn)行選擇，以生產(chǎn)適合用于濺射目標(biāo)的期望的大尺寸鋼坯或棒。
出于說(shuō)明性而非限制性目的，為了形成預(yù)制坯，上述制作的兩個(gè)板形鉬粉末磚使它們的配合平主側(cè)表面(即，最大面積的表面)機(jī)械加工成180至220RMS(均方根)表面光潔度，并進(jìn)行清潔，以在主側(cè)表面放置成接觸以形成它們之間的金屬-金屬結(jié)合處時(shí)確保充分的金屬-金屬接觸。通常，燒結(jié)的磚以?shī)A層形式一個(gè)堆疊在另一個(gè)上面，在其主側(cè)表面之間具有金屬(鉬)-金屬(鉬)結(jié)合處。堆疊的燒結(jié)磚放置在用于加熱均衡擠壓(HIP)的低碳鋼HIP罐中。例如，堆疊的燒結(jié)磚可以放置在該HIP罐的一個(gè)端蓋上。然后，在該HIP罐的頂部端蓋放置在堆疊的燒結(jié)磚頂部之后，將HIP罐的側(cè)壁環(huán)繞堆疊的燒結(jié)磚放置在頂蓋和底蓋之間。然后，該側(cè)壁在適當(dāng)位置焊接到HIP罐的頂蓋和底蓋上。
在HIP之前，通過(guò)焊接在一個(gè)端蓋上的管使用氦氣對(duì)該HIP罐進(jìn)行泄漏測(cè)試。幾個(gè)經(jīng)泄漏測(cè)試的HIP罐放置在脫氣爐中，加熱到適當(dāng)溫度(例如，600華氏度)，同時(shí)經(jīng)過(guò)管對(duì)HIP罐進(jìn)行排氣(例如，小于10-5托)，直到獲得適當(dāng)?shù)男孤┧俣?例如，小于每分鐘100微米)為止，每個(gè)經(jīng)過(guò)泄漏測(cè)試的HIP罐中都帶有堆疊的燒結(jié)板形磚。然后，盡管也可以使用其它HIP溫度、壓力和時(shí)間，但是將該HIP罐放置在常規(guī)HIP容器中，并在一定溫度、壓力和時(shí)間下進(jìn)行HIP(例如，在1034巴的氣體壓力下以1400攝氏度進(jìn)行240分鐘)，以實(shí)現(xiàn)鉬粉末金屬磚的機(jī)械加工主側(cè)表面之間的金屬(鉬)-金屬(鉬)擴(kuò)散結(jié)合。
出于說(shuō)明性而非限制性目的，每個(gè)HIP都可以具有225mm×225mm×625mm的內(nèi)部尺寸。每個(gè)HIP罐都在內(nèi)部涂覆有作為脫模劑的氧化鋁。該HIP處理產(chǎn)生經(jīng)HIP處理的預(yù)制坯，該預(yù)制坯包括在它們的內(nèi)部配合主表面擴(kuò)散結(jié)合到一起的兩個(gè)板形磚的夾層。圖2示出了通過(guò)上述程序在板形磚的金屬-金屬結(jié)合處獲得的擴(kuò)散結(jié)合。
出于說(shuō)明性而非限制性目的，在將經(jīng)過(guò)HIP的預(yù)制坯從HIP容器去除之后，將每個(gè)預(yù)制坯夾層的外平主側(cè)表面機(jī)械加工到180至220RMS表面光潔度。當(dāng)它以擴(kuò)散結(jié)合的內(nèi)表面平行于該表面的形式而放置在水平表面上時(shí)，這些外平主側(cè)表面對(duì)應(yīng)于預(yù)制坯夾層的外頂部表面和底部表面。
本發(fā)明的這個(gè)方法實(shí)施例中的下一步驟包括在第二加熱均衡擠壓操作中在特殊結(jié)合狀態(tài)下對(duì)兩個(gè)或多個(gè)預(yù)制坯進(jìn)行HIP，以形成用于濺射目標(biāo)的較大鋼坯或棒。例如，使它們的外頂部和底部主側(cè)表面經(jīng)過(guò)機(jī)械加工和清潔的上述兩個(gè)預(yù)制坯如下放置在HIP罐中。無(wú)頂部罐蓋的低碳鋼HIP罐提供高度為2300mm的225mm×225mm的內(nèi)部尺寸。一個(gè)預(yù)制坯放置在HIP罐(無(wú)頂部罐蓋)中，使其經(jīng)機(jī)械加工的主側(cè)表面面向上。然后，將在市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬金屬粉末噴灑到HIP罐中第一預(yù)制坯的面向上的經(jīng)機(jī)械加工的主側(cè)表面及可選的周?chē)吘壣?。出于說(shuō)明性而非限制性目的，鉬金屬粉末在HIP罐中的第一預(yù)制坯上放置成均勻深度為3mm的一層。形成該層的鉬粉末金屬通常具有小于1000ppm(重量)的氧含量。
然后，將第二預(yù)制坯放置在HIP罐(無(wú)頂部罐蓋)中，使其經(jīng)機(jī)械加工的主側(cè)表面面向下朝向其上帶有鉬粉末金屬層的第一預(yù)制坯的經(jīng)機(jī)械加工的主側(cè)表面，從而第二預(yù)制坯的經(jīng)機(jī)械加工的主側(cè)表面接觸鉬粉末金屬層。輔助鉬金屬粉末放置在第二(頂)預(yù)制坯的邊緣周?chē)?。將輔助預(yù)制坯放置在HIP罐中持續(xù)該處理，直到HIP罐填滿(mǎn)為止。然后，將具有排氣管的HIP罐的頂蓋焊接到罐的側(cè)壁上。
在第二HIP操作之前，通過(guò)焊接到每個(gè)端蓋上的管使用氦氣對(duì)HIP罐進(jìn)行泄漏測(cè)試。幾個(gè)經(jīng)泄漏測(cè)試的HIP罐放置在脫氣爐中并加熱到適當(dāng)溫度(例如，600華氏度)，同時(shí)經(jīng)所述管對(duì)HIP罐進(jìn)行排氣(例如，到小于10-5托)，直到獲得適當(dāng)?shù)男孤┧俣?例如，小于每分鐘100微米)為止，每個(gè)HIP罐中都帶有堆疊的預(yù)制坯。然后，盡管也可以使用其它HIP參數(shù)，但是將該HIP罐放置在常規(guī)HIP容器中，并在一定溫度、壓力和時(shí)間下進(jìn)行HIP(例如，在1034巴的氣壓下以低于第一HIP操作的HIP溫度的1236攝氏度進(jìn)行300分鐘)，以實(shí)現(xiàn)預(yù)制坯之間的結(jié)合處金屬(鉬)-粉末金屬(鉬)層-金屬(鉬)的擴(kuò)散結(jié)合，以形成鋼坯或棒。對(duì)在第二HIP操作中經(jīng)HIP的預(yù)制坯的數(shù)量和尺寸進(jìn)行選擇，以生產(chǎn)適合用于濺射目標(biāo)的期望的大尺寸鋼坯或棒。
用于濺射目標(biāo)的經(jīng)最終HIP的鋼坯或棒具有包括期望小顆粒尺寸(例如，大約30微米或以下)的等軸晶粒，并具有小于大約100ppm(百萬(wàn)分之一重量)的低氧含量，該低氧含量是使用低氧燒結(jié)的鉬粉末金屬本體和在相鄰鋼錠本體之間的每個(gè)結(jié)合處從在市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬粉末金屬實(shí)現(xiàn)氧擴(kuò)散的第二HIP操作的結(jié)果。例如，通過(guò)氧從市場(chǎng)上可購(gòu)買(mǎi)到的鉬粉末金屬結(jié)合處擴(kuò)散到低氧(小于100ppm氧)的鋼錠本體的第二HIP操作，將結(jié)合處中氧含量減小到小于100ppm(重量)。圖1示出了通過(guò)上述程序，在初始金屬(鉬)-粉末金屬(鉬)層-金屬(鉬)結(jié)合處實(shí)現(xiàn)的擴(kuò)散結(jié)合。從而，用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒包括擴(kuò)散結(jié)合處，鉬粉末層先前存在在該預(yù)制坯結(jié)合處。
盡管已經(jīng)在上面描述了本發(fā)明的一些實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，本發(fā)明不僅局限于這些實(shí)施例，在不脫離如所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以作出修改和改變。
權(quán)利要求
1.制作包含鉬的鋼坯或棒的方法，包括在加熱均衡擠壓操作中在它們之間的金屬-粉末金屬層-金屬結(jié)合處，將包含鉬的相鄰本體擴(kuò)散結(jié)合到一起，其中，該粉末金屬層包括鉬。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，該粉末金屬層在重量上具有小于大約1000ppm的氧含量。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述本體在重量上具有小于大約100ppm的氧含量。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，包括機(jī)械加工鋼坯或棒，以形成濺射目標(biāo)。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，每個(gè)所述本體都包括預(yù)制坯，該預(yù)制坯通過(guò)以下步驟制作在第一加熱均衡擠壓操作中將金屬-金屬結(jié)合處的相鄰燒結(jié)鉬粉末金屬本體擴(kuò)散結(jié)合到一起，而形成每個(gè)預(yù)制坯。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，燒結(jié)的鉬粉末金屬本體在重量上具有小于大約100ppm的氧含量。
7.制作含有鉬的伸長(zhǎng)鋼坯或棒的方法，包括將含有鉬的本體彼此相鄰放置，在相鄰本體之間提供含有鉬的金屬粉末，在加熱均衡擠壓操作中，在它們之間帶有金屬粉末的情況下擴(kuò)散結(jié)合相鄰的本體。
8.一種通過(guò)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述方法制作的用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒。
9.一種通過(guò)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述方法制作的濺射目標(biāo)。
10.一種具有經(jīng)HIP的微觀(guān)結(jié)構(gòu)的用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒，該微觀(guān)結(jié)構(gòu)包括大約30微米或以下的顆粒尺寸的等軸晶粒，和在重量上小于100ppm的氧含量。
11.如權(quán)利要求10所述的鋼坯或棒，它具有先前具有鉬粉末金屬的擴(kuò)散結(jié)合處。
全文摘要
一種制作用于濺射目標(biāo)的大的鉬鋼坯或棒的方法，其中兩個(gè)或多個(gè)含有鉬的本體彼此相鄰放置(例如，一個(gè)堆疊在另一個(gè)上)，使得鉬粉末金屬存在于相鄰本體之間的間隙或結(jié)合處。對(duì)相鄰本體進(jìn)行加熱均衡擠壓，以在相鄰本體之間的每個(gè)金屬－鉬粉末層－金屬結(jié)合處形成擴(kuò)散結(jié)合，以形成可以機(jī)械加工或以其它方式形成以提供大濺射目標(biāo)的鋼坯或棒。對(duì)彼此相鄰放置的鉬本體的數(shù)量和尺寸進(jìn)行選擇，以生產(chǎn)適合用于濺射目標(biāo)的期望的大尺寸鋼坯或棒。用于濺射目標(biāo)的鋼坯或棒具有含有小于30微米顆粒尺寸的等軸晶粒的微觀(guān)結(jié)構(gòu)，并具有小于大約100ppm(重量)的低氧含量。
文檔編號(hào)B23K28/00GK1946507SQ200580006205
公開(kāi)日2007年4月11日 申請(qǐng)日期2005年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月27日
發(fā)明者格雷格·A·布策, 羅伯特·H·休伊曾加, 史蒂文·D·穆斯曼 申請(qǐng)人:豪梅公司