技術(shù)編號(hào)：3037796
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及制作用于濺射目標(biāo)的包括鉬(Mo)的大的鋼坯或棒的方法，及該方法生產(chǎn)的鋼坯和濺射目標(biāo)。背景技術(shù) 制作大的鉬濺射目標(biāo)的當(dāng)前方法是冷卻均衡擠壓(CIP)鉬粉末，燒結(jié)以減少氧含量，然后熱軋成期望長(zhǎng)度/寬度/厚度的板。然后，將該板機(jī)械加工成最終公差。由于目標(biāo)的噴濺產(chǎn)量和沉積薄膜的腐蝕特征，使用CIP、燒結(jié)和熱軋?zhí)幚碇谱鞯你f濺射目標(biāo)是有缺點(diǎn)的。這涉及到在熱軋?zhí)幚砥陂g形成的板的微觀結(jié)構(gòu)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明在說明性實(shí)施例中提供制作用于濺射目標(biāo)的含有鉬(Mo)的鋼坯或...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。