第一邊;112-第二邊。
【具體實(shí)施方式】
[0051]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0052]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種掩膜板修復(fù)裝置，掩膜板修復(fù)裝置包括修復(fù)器件和移動(dòng)機(jī)構(gòu);移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)修復(fù)器件在金屬掩膜板正對(duì)的區(qū)域內(nèi)、且在與金屬掩膜板平行的面內(nèi)移動(dòng);修復(fù)器件用于對(duì)金屬掩膜板上與修復(fù)器件相對(duì)的部分進(jìn)行修復(fù)。
[0053]如圖2所示，金屬掩膜板正對(duì)的區(qū)域11'即與金屬掩膜板11所在平面垂直的面內(nèi)，金屬掩膜板11垂直投影區(qū)域。金屬掩膜板正對(duì)的區(qū)域IV位于與金屬掩膜板平行的面內(nèi)。本發(fā)明實(shí)施例中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)修復(fù)器件在金屬掩膜板正對(duì)的區(qū)域內(nèi)、且在與金屬掩膜板平行的面內(nèi)移動(dòng)，即可以是移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)修復(fù)器件在圖2所示的區(qū)域11'內(nèi)移動(dòng)。具體的，移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以是機(jī)械手或機(jī)械機(jī)器人等。
[0054]此外，對(duì)掩膜板進(jìn)行修復(fù)具體根據(jù)掩膜板的實(shí)際問(wèn)題進(jìn)行。例如，掩膜板被磁化而有金屬網(wǎng)絲粘結(jié)，則對(duì)掩膜板進(jìn)行修復(fù)即要對(duì)掩膜板進(jìn)行消磁修復(fù)。若掩膜板上有蒸鍍材料淤積，則對(duì)掩膜板進(jìn)行修復(fù)即要去除淤積的蒸鍍材料。
[0055]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種掩膜板修復(fù)裝置，包括修復(fù)器件和移動(dòng)機(jī)構(gòu);移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)修復(fù)器件在金屬掩膜板正對(duì)的區(qū)域內(nèi)、且在與金屬掩膜板平行的面內(nèi)移動(dòng);修復(fù)器件用于對(duì)金屬掩膜板上與修復(fù)器件相對(duì)的部分進(jìn)行修復(fù)。則修復(fù)裝置可以安裝于真空蒸鍍腔室內(nèi)，則無(wú)需將掩膜板從蒸鍍腔室內(nèi)取出，減少了修復(fù)的工作量。當(dāng)然，也可以將金屬掩膜板從真空蒸鍍腔室內(nèi)取出，再利用修復(fù)裝置對(duì)金屬掩膜板進(jìn)行修復(fù)，以減少作業(yè)人員的工作量。
[0056]優(yōu)選的，如圖3所示，修復(fù)器件20包括:消磁器21以及與消磁器連接的電流控制器22;電流控制器22用于控制消磁器21產(chǎn)生的磁場(chǎng)大小以及磁場(chǎng)變化頻率的高低。電流控制器22和消磁器21的位置不限于圖3所示，圖3中以電流控制器22位于消磁器21的下方為例進(jìn)行說(shuō)明。
[0057]需要說(shuō)明的是，消磁器產(chǎn)生不同頻率(即磁場(chǎng)變化頻率)和強(qiáng)度(即磁場(chǎng)大小)的交變磁場(chǎng)，以打亂金屬掩膜板內(nèi)部排列一致的磁疇，從而金屬掩膜板由于磁化而粘連的金屬網(wǎng)絲會(huì)消磁分開。一般的，磁場(chǎng)大小的變化頻率越高，磁場(chǎng)強(qiáng)度越大，消磁效果越好?，F(xiàn)有的修復(fù)金屬掩膜板的方法是作業(yè)人員手持消磁器金屬掩膜板進(jìn)行消磁，且在一定頻率的情況下，作業(yè)人員需要使得消磁器與金屬掩膜板的距離逐漸減小，從而使得掩膜板接收磁場(chǎng)逐漸增大，以達(dá)到對(duì)金屬掩膜板進(jìn)行消磁的目的。
[0058]本發(fā)明實(shí)施例提供的修復(fù)器件中，電流控制器用于產(chǎn)生交變電流，并輸出不同大小和頻率的交變電流，繼而使消磁器產(chǎn)生不同強(qiáng)度和頻率的交變磁場(chǎng)。即本發(fā)明實(shí)施例可以通過(guò)電流控制器控制消磁器產(chǎn)生的磁場(chǎng)大小，從而無(wú)需改變消磁器與金屬掩膜板之間的距離。即消磁器的移動(dòng)平面與金屬掩膜板所在平面平行且距離不變，通過(guò)調(diào)整電流控制器調(diào)整消磁器的磁場(chǎng)大小，即可以對(duì)金屬掩膜板進(jìn)行消磁，從而無(wú)需較大空間，可以更加方便的將修復(fù)裝置安裝于蒸鍍腔室內(nèi)。
[0059]當(dāng)然，還可以通過(guò)電路控制器使得消磁器的磁場(chǎng)變化頻率提高，從而消磁器的消磁效果更好，以節(jié)省消磁時(shí)間。
[0060]優(yōu)選的，如圖6所示，金屬掩膜板11的輪廓為矩形，包括相鄰的第一邊111(即矩形的短邊)和第二邊112(即矩形的長(zhǎng)邊)；沿金屬掩膜板11的第一邊111，消磁器21的長(zhǎng)度大于或等于金屬掩膜板11，即沿101方向消磁器21的長(zhǎng)度大于等于金屬掩膜板11的長(zhǎng)度。沿金屬掩膜板11的第二邊112，消磁器21的長(zhǎng)度小于金屬掩膜板11，即沿102方向消磁器21的長(zhǎng)度小于金屬掩膜板11的長(zhǎng)度。移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)修復(fù)器件20沿第二邊112的方向(S卩102方向)移動(dòng)，則修復(fù)器件20沿第二邊112的方向(S卩102方向)移動(dòng)，就可以對(duì)金屬掩膜板的全部進(jìn)行消磁。
[0061]當(dāng)然，消磁器的長(zhǎng)度也可以是在第一邊和第二邊的方向上均小于掩膜板的長(zhǎng)度，則消磁器在第一邊和第二邊的方向上均可以移動(dòng)，以對(duì)金屬掩膜板的全部進(jìn)行消磁。或者，消磁器的長(zhǎng)度也可以是在第一邊和第二邊的方向上均大于掩膜板的長(zhǎng)度，則消磁器在不移動(dòng)的情況下，以對(duì)金屬掩膜板的全部進(jìn)行消磁。
[0062]優(yōu)選的，如圖5、圖6所不，移動(dòng)機(jī)構(gòu)30包括:第一絲杠31和導(dǎo)向桿32，第一絲杠31和導(dǎo)向桿32均與金屬掩膜板11的第二邊112平行，且第一絲杠31與導(dǎo)向桿32所確定的平面與金屬掩膜板11平行，第一絲杠31和導(dǎo)向桿32均穿過(guò)消磁器21，即消磁器21在第一絲杠31的帶動(dòng)下，沿導(dǎo)向桿32移動(dòng)，則消磁器21的移動(dòng)方向即為第二邊112的方向(S卩102方向)。且第一絲杠31與導(dǎo)向桿32所確定的平面即為與金屬掩膜板11平行的面。如圖5、圖6所示，本發(fā)明實(shí)施例以移動(dòng)結(jié)構(gòu)30包括兩個(gè)導(dǎo)向桿32為例，其中，兩個(gè)導(dǎo)向桿32分別位于第一絲杠31的兩側(cè)。
[0063]優(yōu)選的，如圖5、圖6所示，修復(fù)裝置100包括:圖像獲取裝置40以及與圖像獲取裝置40連接的顯示設(shè)備(圖中未示出)；其中，圖像獲取裝置40用于獲取金屬掩膜板11上與圖像獲取裝置40相對(duì)的部分的圖像，并發(fā)送給顯示設(shè)備；顯示設(shè)備用于顯示圖像獲取裝置40所獲取的圖像;移動(dòng)機(jī)構(gòu)30還用于使得圖像獲取裝置40在金屬掩膜板11正對(duì)的區(qū)域內(nèi)、且在與金屬掩膜板11平行的面內(nèi)移動(dòng)。
[0064]圖像獲取裝置可以獲取掩膜板的圖像以發(fā)送給顯示設(shè)備，顯示設(shè)備還可以將圖像獲取裝置獲取的圖像進(jìn)行放大以方便顯示。從顯示設(shè)備顯示的圖像中可以看出掩膜板是否被磁化而發(fā)出金屬絲粘結(jié)或者從顯示設(shè)備顯示的圖像中可以看出掩膜板上是否有蒸鍍材料的淤積，從而進(jìn)一步確認(rèn)是否需要對(duì)金屬掩膜板進(jìn)行修復(fù)。
[0065]優(yōu)選的，如圖5、圖6所示，在修復(fù)器件20包括消磁器21的情況下，圖像獲取裝置30設(shè)置在消磁器21上，并可隨著所消磁器21的移動(dòng)而移動(dòng)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)30還用于帶動(dòng)圖像獲取裝置40在垂直于消磁器21移動(dòng)的方向上移動(dòng)。
[0066]消磁器21移動(dòng)的方向即為導(dǎo)向桿32的方向，導(dǎo)向桿32與第二邊112平行，消磁器21的移動(dòng)方向?yàn)榈诙?12的方向(S卩102方向)，即圖像獲取裝置40可以沿第二邊112的方向移動(dòng)。則垂直于消磁器21移動(dòng)的方向即為第一邊111的方向(S卩101方向)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)30還用于帶動(dòng)圖像獲取裝置40在垂直于消磁器21移動(dòng)的方向上移動(dòng)，則圖像獲取裝置40還可以沿第一邊111的方向移動(dòng)。則在圖像獲取裝置40比較小的情況下，圖像獲取裝置40通過(guò)在第一邊111和第二邊112的方向上的移動(dòng)，可以獲取金屬掩膜板的全部圖像。
[0067]優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中，圖像獲取裝置可以是顯微鏡，顯示設(shè)備可以是液晶顯示器。則圖像獲取裝置每次獲取與顯微鏡對(duì)應(yīng)的部分金屬掩膜板的圖像。
[0068]優(yōu)選的，如圖4、圖6所示，修復(fù)器件20包括:激光器23，激光器23用于向金屬掩膜板11發(fā)射激光;移動(dòng)機(jī)構(gòu)30具體用于驅(qū)動(dòng)激光器23移動(dòng)至與顯示設(shè)備顯示的圖像對(duì)應(yīng)金屬掩膜板11的正對(duì)位置處，即移動(dòng)機(jī)構(gòu)30帶動(dòng)激光器23在與金屬掩膜板11平行且與金屬掩膜板11正對(duì)的區(qū)域內(nèi)移動(dòng)，以使得激光器23可以向金屬掩膜板11的任意位置發(fā)射激光。
[0069]需要說(shuō)明的是，掩膜板在進(jìn)行掩膜蒸鍍過(guò)程中，蒸鍍材料有可能淤積在掩膜板上，從而造成掩膜圖案不精準(zhǔn)。本發(fā)明實(shí)施例提供的修復(fù)器件包括激光器，則激光器可以向掩膜板上淤積的蒸鍍材料發(fā)射激光，從而使得淤積的蒸鍍材料蒸發(fā)，保證掩膜板的掩膜精度。
[0070]優(yōu)選的，如圖4、圖6所示，激光器21發(fā)射的激光與圖像獲取裝置30獲取的掩膜板圖像的位置一致。以圖像獲取裝置為顯微鏡為例，顯微鏡的鏡頭垂直掩膜板，以獲取與鏡頭正對(duì)的掩膜板位置處的圖像。激光器位于顯微鏡一側(cè)，激光器的激光頭可以是具有一定傾斜角度，從而激光頭發(fā)射的激光