光源裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具備收納有放電燈的燈單元的光源裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]從很早以前開始，在光學(xué)零件的粘合、涂料或膠粘劑的硬化、半導(dǎo)體生產(chǎn)的晶圓周邊曝光等方面所使用的光源裝置中，一直采用放電燈作為光源。該種類的放電燈是一種例如在氙燈中使氙(Xe)氣發(fā)光、在超高壓水銀燈中使水銀發(fā)光、在金屬齒化物燈中使水銀及金屬鹵化物發(fā)光的放電燈，以比發(fā)光管的直徑要短的電弧，即以較短的電極間距離放電，產(chǎn)生超高亮度的光。
[0003]專利文獻(xiàn)I中所示的是使用上述放電燈的光源裝置的示例。專利文獻(xiàn)I所述的光源裝置具備有放電管的電極與放電管一體設(shè)置的放電燈。替換燈時(shí)，若將放電燈插入在光源裝置內(nèi)的燈單元時(shí)，放電燈的插入側(cè)前端的陰極被按壓在設(shè)在燈單元上的連接構(gòu)件上，陰極與連接構(gòu)件作電性連接，并且放電燈被定位在燈單元內(nèi)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2001-176304號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的問題:
[0007]根據(jù)專利文獻(xiàn)I所述結(jié)構(gòu)，將放電管的電極與放電管一體設(shè)置，采用連接構(gòu)件按壓該放電管的電極進(jìn)行電性連接，因此不需要進(jìn)行燈替換時(shí)的引線連接作業(yè)。但是，在專利文獻(xiàn)I所述的結(jié)構(gòu)中，由于燈單元被固定在光源裝置內(nèi)的燈基座上，因此在進(jìn)行燈替換時(shí)，會(huì)產(chǎn)生必須要將被鎖緊的蓋子拆下這樣的繁雜操作，從而出現(xiàn)放電燈替換時(shí)所發(fā)生的停工時(shí)間(down time)(非運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間)依然未被縮短的問題。
[0008]本發(fā)明鑒于上述情況而完成，其目的在于提供一種可輕松進(jìn)行燈替換，且可縮短停工時(shí)間的光源裝置。
[0009]用于解決問題的手段:
[0010]為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的光源裝置，具備有:放電燈，其包括具有前端部、基端部及陰極的發(fā)光管、及與設(shè)在基端部的陰極作電性連接的固定用接口 ；燈單元，其通過以可安裝和拆卸的方式支撐固定用接口，由此以可替換的方式收納放電燈；及箱形的機(jī)殼，其具有前面、背面及一對(duì)側(cè)面，機(jī)殼用于收納燈單元，固定用接口包括具有與發(fā)光管通用的軸心，且收納基端部的圓筒狀的第I本體部、及以從第I本體部的外周面突出的方式所形成的凸緣部，燈單元具有夾持部，當(dāng)固定用接口被插入，以軸心為中心而朝第I旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，夾持凸緣部，當(dāng)固定用接口朝與第I旋轉(zhuǎn)方向相反的第2旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，解除對(duì)凸緣部的夾持，一對(duì)側(cè)面的任意一方具有以設(shè)在前端附近的旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，且在機(jī)殼的內(nèi)側(cè)支撐燈單元的開合門，當(dāng)開合門朝外側(cè)旋轉(zhuǎn)時(shí)，燈單元被拉出從而露出夾持部。
[0011]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，僅打開開合門即可在被燈單元支撐的放電燈內(nèi)進(jìn)出，而且僅操作燈單元的夾持部(即僅使固定用接口旋轉(zhuǎn))，便可輕松替換放電燈，因此停工時(shí)間大為縮短。
[0012]此外，優(yōu)選地，凸緣部具備有在與軸心正交的方向所形成的基端部側(cè)的端面，夾持部具有規(guī)定基準(zhǔn)面，當(dāng)夾持凸緣部時(shí)，端面抵接于基準(zhǔn)面。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，放電燈被定位在正確的位置。
[0013]此外，優(yōu)選地，凸緣部具備有:短邊部，其沿著端面的第I方向形成，當(dāng)固定用接口被插入在燈單元時(shí)，控制固定用接口的方向；及長邊部，其沿著與第I方向呈正交的第2方向形成，當(dāng)固定用接口被旋轉(zhuǎn)時(shí)，與燈單元扣合，凸緣部的外周緣部，當(dāng)從軸心方向觀看時(shí)，相對(duì)于軸心形成為非點(diǎn)對(duì)稱形。此時(shí)，優(yōu)選地，凸緣部的外周緣部，當(dāng)從軸心方向觀看時(shí)，相對(duì)于通過軸心且朝第2方向延伸的直線，形成為非線對(duì)稱形。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過凸緣部控制將固定用接口插入在夾持部時(shí)的固定用接口的插入方向，可確切地防止放電燈的錯(cuò)誤插入。
[0014]此外，優(yōu)選地，短邊部由夾著軸心所形成的一方的外周緣部與另一方的外周緣部所構(gòu)成，相對(duì)于沿著與軸心呈正交的第2方向的虛擬直線，由一方的外周緣部往下的虛擬垂線之中為最長的虛擬垂線的第I長度、與由另一方的外周緣部往下的虛擬垂線之中為最長的虛擬垂線的第2長度不同，長邊部由夾著軸心所形成的一端的外周緣部與另一端的外周緣部所構(gòu)成，將軸心、與一端及另一端的外周緣部相連接的虛擬直線之中為最長的虛擬直線的第3長度，比第I長度及第2長度的任一者要長。
[0015]此外，優(yōu)選地，短邊部由夾著軸心所形成的一方的外周緣部與另一方的外周緣部所構(gòu)成，相對(duì)于沿著與軸心呈正交的第2方向的虛擬直線，由一方的外周緣部往下的虛擬垂線之中為最長的虛擬垂線的第I長度、與由另一方的外周緣部往下的虛擬垂線之中為最長的虛擬垂線的第2長度不同，長邊部由夾著軸心所形成的一端的外周緣部與另一端的外周緣部所構(gòu)成，相對(duì)于沿著與軸心呈正交的第I方向的虛擬直線，由一端的外周緣部往下的垂線之中為最長的垂線的第3長度、與由另一端的外周緣部往下的垂線之中為最長的垂線的第4長度的和，比第I長度與第2長度的和要長。
[0016]此外，優(yōu)選地，一方的外周緣部及另一方的外周緣部，各自包含有與第2方向呈平行的直線部，一端的外周緣部及另一端的外周緣部，各自包含有朝第2方向相對(duì)的圓弧部。
[0017]此外，優(yōu)選地，凸緣部為板狀結(jié)構(gòu)。
[0018]此外，夾持部可具備有控制固定用接口旋轉(zhuǎn)的突起部，短邊部可具備有當(dāng)固定用接口被旋轉(zhuǎn)時(shí)與突起部相扣合的承接部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，固定用接口旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過突起部，可控制固定用接口不會(huì)超過規(guī)定角度旋轉(zhuǎn)，因此可將固定用接口正確地定位在夾持部。
[0019]此外，可構(gòu)成為:夾持部具備有柱塞，其與凸緣部的前端部側(cè)的端面相抵接，將固定用接口朝向基端部側(cè)彈壓。在這種情況下，優(yōu)選地，凸緣部的前端部側(cè)的端面具備有供柱塞的前端嵌入的錐形擴(kuò)孔部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，利用柱塞的彈壓力，可更加確切地將凸緣部的基端側(cè)的面定位在基準(zhǔn)面上。
[0020]此外，可構(gòu)成為:燈單元具備有固定裝置，當(dāng)固定用接口被安裝在燈單元上時(shí)，相對(duì)于第I本體部的外周面突出并抵接，對(duì)固定用接口進(jìn)行固定，第I本體部在外周面上具備有固定裝置可抵接的第I區(qū)域、及固定裝置不可抵接的第2區(qū)域，當(dāng)固定用接口未被旋轉(zhuǎn)時(shí)，第2區(qū)域與固定裝置相對(duì)，當(dāng)固定用接口被旋轉(zhuǎn)時(shí)，第I區(qū)域與固定裝置相對(duì)。在這種情況下，優(yōu)選地，第2區(qū)域是將第I本體部的外周面，在與軸心呈平行的面開槽后的平面。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，只要不旋轉(zhuǎn)固定用接口，便無法通過固定裝置對(duì)固定用接口進(jìn)行固定，因此可促使使用者將固定用接口正確地定位在燈單元(即，將固定用接口進(jìn)行旋轉(zhuǎn))上。
[0021]可構(gòu)成為:發(fā)光管具備有用以封入放電介質(zhì)且進(jìn)行密封的尖部，當(dāng)固定用接口被安裝在燈單元時(shí)，尖部位于比包含軸心在內(nèi)的水平面更為下方的位置。通過上述結(jié)構(gòu)，可降低當(dāng)放電燈發(fā)光時(shí)，在燈泡的內(nèi)面相當(dāng)于尖部的位置所形成的低洼處產(chǎn)生積存熱，由此而導(dǎo)致的燈泡溫度過高的可能。
[0022]此外，凸緣部設(shè)在第I本體部的基端部側(cè)的端部，固定用接口可具有第2本體部，其具有與第I本體部通用的軸心，由凸緣部的基端部側(cè)的端面突出成圓筒狀。
[0023]此外，可構(gòu)成為:第I本體部具備有多個(gè)開口孔，其被配置在以軸心為中心呈對(duì)稱的位置，朝第I本體部的基端部側(cè)的端面開口。
[0024]此外，燈單元可具備有彈壓裝置，其與前端部相抵接并將發(fā)光管朝基端部側(cè)彈壓。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，利用彈壓裝置的彈壓力，可更加確切地將凸緣部的基端部側(cè)的端面定位在基準(zhǔn)面。
[0025]發(fā)明的效果:
[0026]如上所示，根據(jù)本發(fā)明的光源裝置，可輕松進(jìn)行燈替換，且可縮短停工時(shí)間。
【附圖說明】
[0027]圖1是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的光源裝置的示意性外觀圖。
[0028]圖2(a)是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈單元的部分示意性外觀圖，圖2(b)是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈單元及燈座的俯視圖。
[0029]圖3是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈單元的部分示意性外觀圖。
[0030]圖4(a)、(b)是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的放電燈的示意性透視圖。
[0031]圖5(a)?(C)是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的放電燈接口的示意性外觀圖。
[0032]圖6 (a)、(b)是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈單元、燈座、放電燈的俯視圖。
[0033]圖7是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的放電燈的接口及夾具的部分剖面圖。
[0034]圖8(a)、(b)是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈泡替換用夾具的各種投影圖。
[0035]圖9是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈泡替換用夾具及放電燈的示意性透視圖。
[0036]圖10(a)?(e)是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈單元的一部分及放電燈的示意性外觀圖。
[0037]圖11 (a)?(f)是本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈單元的一部分及放電燈的示意性外觀圖。
[0038]圖12是示出了本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的燈泡替換用夾具及放電燈的變形例圖。
[0039]圖13是示出了被安裝在本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的放電燈的接口的凸緣的變形例圖。
[0040]圖14是示出了被安裝在本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的放電燈的接口的凸緣變形例圖。
[0041]圖15是示出了被安裝在本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的放電燈的接口的凸緣變形例圖。
[0042]圖16是示出了本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的放電燈的變形例圖。
[0043]圖17是示出了本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的放電燈的變形例圖。
[0044]圖中:
[0045]1:光源裝置
[0046]10:機(jī)殼
[0047]1a:背面
[0048]50:放電燈
[0049]100:燈單元
[0050]101:背面面板
[0051]102:面板固定螺絲
[0052]103:橢圓反射鏡
[0053]104:陽極連接部
[0054]200:燈替換用門
[0055]300:燈座
[0056]301:桿
[0057]302:桿軸
[0058]303:桿軸承
[0059]304:桿軸承固定螺絲
[0060]305:支架座
[0061]306:夾具
[0062]306a:正面
[0063]307:支架座固定螺絲
[0064]308:平行銷
[0065]309:左凸緣扣合部
[0066]309a:平坦部
[0067]309b:正面
[0068]309c:背面
[0069]310:右凸緣扣合部
[0070]310a:平坦部
[0071]311:開口部
[0072]312:按壓部
[0073]313:貫穿孔
[0074]314:螺絲孔
[0075]315:柱塞
[0076]500、500'、500A、500B:放電燈
[0077]510、510A、510B:接口(固定用接口)
[0078]511:第2本體部
[0079]512:扣合銷
[0080]513、513A、513B、513C、513D、513E、513F、513G、513H、5131、513J、513K、513L、513M: O
IiYifi TCS[mo]
aW ocs[cuo]
厘輯鈾 I|:6ZS[3U0]: 8CS[mo]
MWir LZ^[ouo]
口輯髀腿:9ZS
[6010]
口輯髀聲:SZS
[8010]
壓孬士睜:3時(shí)SUOlO]
壓孬慕掘:WZS
[9010]
動(dòng)麴:13 時(shí) S
[5010]
MWir CCS[WHO]
聰笨:HS[CO 10]
秘I1: TCS
[3010]
琳本I1: OZS
[1010]
聰厘士:6TS、8TS
[0010]
聰尉:WZTS
[6600]
rMMmi ZTS
[8600]
厘_路:9TS[Z600]
聰琳本 I M: Sis
[9600]
聰輯承:HS
[5600]
厘仞:13WOTS[^600]
聰黎0 9 M: 9HCTSV90CTS
[0600]
聰?? S M: SHCTSvSOCTS
[3600]
聰?? f Μ: Wctsv^octs[woo]
聰?? ε Μ: CWCTSVSHCTSVC0CTS
[0600]
聰?? Z Μ'.CWCTSvCICTSvCHCTSvCOCTS
[6800]
聰?? T Μ: TWCTSvTICTSvTHCTSvTOCTS
[8800]
^□?^: 1WCTSv^CTS
[1300]
8HCTS
[9800]
MM1 JHCTSVJ3CTSV93CTS
[5800] 厘髀歸莩:PWCTSvPlCTSvP)ICTSvPrCTSvPICTS
vP^HCTSvPTHCTSvP^0CTSvPT0CTSvPHCTSvPaCTSvPaCTSvP3CTSvPaCTSvPVCTS[剛 0]
厘髀歸牙:°WCTSV31CTSV3)ICTS
v3rCTSv3ICTSv3CHCTSv