一種用于高熱量光源的風(fēng)冷裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于高熱量光源的風(fēng)冷裝置，其適用于各種精密測量或精密加工設(shè)備，尤其適用于半導(dǎo)體大規(guī)模集成電路制造和測量設(shè)備中。
【背景技術(shù)】
[0002]光學(xué)設(shè)備中的光源，經(jīng)常具有較高的發(fā)熱量，而精密測量系統(tǒng)本身對溫度的變化比較敏感，所以對設(shè)備內(nèi)環(huán)境的熱穩(wěn)定性要求較高，所以要將這些熱量排出系統(tǒng)，且要保證系統(tǒng)的可靠性；另一方面，作為測量系統(tǒng)的一部分，光源經(jīng)常需要相對光路其他部分精確調(diào)節(jié)和定位，且盡量減少振動(dòng)和沖擊。
[0003]通常的液冷系統(tǒng)，由于密封和老化等原因，容易產(chǎn)生堵塞和漏液，可靠性較差。
[0004]而使用風(fēng)扇對高溫?zé)嵩催M(jìn)行冷卻，風(fēng)扇功率和尺寸比較大，振動(dòng)難以徹底消除，勢必降低系統(tǒng)性能(例如，信噪比)，并可能增加系統(tǒng)風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供一種用于高發(fā)熱量可調(diào)光源的風(fēng)冷裝置，具有經(jīng)濟(jì)、可靠、穩(wěn)定、有效的冷卻結(jié)構(gòu)。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的用于高發(fā)熱量可調(diào)光源的風(fēng)冷裝置包括:
[0007]風(fēng)冷腔體組件，其包括進(jìn)風(fēng)腔、出風(fēng)腔和連接進(jìn)風(fēng)腔和出風(fēng)腔的風(fēng)冷腔室，所述風(fēng)冷腔室的底部具有出光窗口 ；
[0008]燈罩組件，其位于所述風(fēng)冷腔體組件的風(fēng)冷腔室中并具有燈罩殼體，所述燈罩殼體的左側(cè)面和右側(cè)面由陶瓷板構(gòu)成，底側(cè)面具有出光窗口，所述風(fēng)冷腔體組件的出光窗口與所述燈罩組件的出光窗口對齊，左側(cè)面和右側(cè)面分別設(shè)有陰極夾塊和陽極夾塊，可調(diào)光源設(shè)置在陰極夾塊和陽極夾塊之間；以及
[0009]導(dǎo)風(fēng)分流組件，其包括限流板、導(dǎo)風(fēng)管以及擴(kuò)風(fēng)套，所述限流板安裝在所述風(fēng)冷腔室中，所述導(dǎo)風(fēng)管的一端連接到所述風(fēng)冷腔體組件，另一端連接到工廠壓縮空氣系統(tǒng)，所述擴(kuò)風(fēng)套安裝在導(dǎo)風(fēng)管中；
[0010]其中，來自工廠壓縮空氣系統(tǒng)的壓縮冷卻空氣通過擴(kuò)風(fēng)套、導(dǎo)風(fēng)管、從進(jìn)風(fēng)腔進(jìn)入風(fēng)冷腔室，再經(jīng)過限流板，從燈罩組件周圍帶走由可調(diào)光源產(chǎn)生的熱量，然后從出風(fēng)腔排出。
[0011]其中，所述風(fēng)冷裝置還包括調(diào)整密封組件，所述調(diào)整密封組件包括多維調(diào)整部件、連接件、彈簧和壓片，所述多維調(diào)整部件安裝在所述風(fēng)冷腔體組件的風(fēng)冷腔室的頂部上，所述連接件安裝在所述多維調(diào)整部件的一側(cè)，并穿過所述風(fēng)冷腔室的頂部的開口以調(diào)整和固定所述燈罩組件的位置，所述壓片通過所述彈簧連接到所述連接件并借助所述彈簧提供的彈簧力來封閉所述開口。
[0012]其中，所述多維調(diào)整部件是手動(dòng)調(diào)整架、電控調(diào)整架或平移臺。
[0013]其中，所述風(fēng)冷裝置還包括用來限制壓縮冷卻空氣流量的流量調(diào)節(jié)組件。
[0014]其中，所述風(fēng)冷裝置還包括用來過濾壓縮冷卻空氣的過濾器。
[0015]其中，所述風(fēng)冷裝置還包括用于凈化壓縮冷卻空氣的油霧分離器和干燥器。
[0016]其中，所述燈罩組件中還設(shè)有線纜保護(hù)裝置。
[0017]其中，所述燈罩組件中還設(shè)有光源更換裝置。
[0018]本發(fā)明的有益效果:
[0019]1.使用工廠壓縮空氣系統(tǒng)中提供的潔凈壓縮空氣，節(jié)省了散熱風(fēng)扇的采購和維護(hù)費(fèi)用，也降低了系統(tǒng)風(fēng)險(xiǎn)。
[0020]2.通過限流板和導(dǎo)風(fēng)管來調(diào)整壓縮冷卻空氣的分布和流速，使發(fā)熱量不同的被冷卻零件各自獲得最合適的散熱效果。
[0021]3.風(fēng)冷腔體組件與精確定位的熱源不發(fā)生直接接觸，空氣流動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)對光源穩(wěn)定性的影響被降到最低，提高了系統(tǒng)性能。
【附圖說明】
[0022]本發(fā)明的其它特征以及優(yōu)點(diǎn)將通過以下結(jié)合附圖詳細(xì)描述的優(yōu)選實(shí)施方式更好地理解，相同或相似的附圖標(biāo)記標(biāo)識相同或相似的部件，其中:
[0023]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的用于高熱量光源的風(fēng)冷裝置的剖視圖；
[0024]圖2示出了圖1中的風(fēng)冷裝置的立體圖；
[0025]圖3示出了圖1中的燈罩組件的剖視圖；以及
[0026]圖4示出了圖1中的調(diào)整密封組件的部分細(xì)節(jié)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]在以下優(yōu)選的實(shí)施例的具體描述中，將參考構(gòu)成本發(fā)明一部分的所附的附圖。所附的附圖通過示例的方式示出了能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的特定的實(shí)施例。示例的實(shí)施例并不旨在窮盡根據(jù)本發(fā)明的所有實(shí)施例?？梢岳斫猓诓黄x本發(fā)明的范圍的前提下，可以利用其他實(shí)施例，也可以進(jìn)行結(jié)構(gòu)性或者邏輯性的修改。
[0028]在以下的具體描述中，方向性的術(shù)語，例如“左”、“右” “頂部”、“底部”、“前”、“后”、
“引導(dǎo)”、“向前”、“拖后”等，參考附圖中描述的方向使用。本發(fā)明的實(shí)施例的部件可被置于多種不同的方向，方向性的術(shù)語是用于示例的目的而非限制性的。
[0029]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的風(fēng)冷裝置的剖視圖。圖2示出了圖1中的風(fēng)冷裝置的立體圖。參見圖1-圖2，本發(fā)明的用于高熱量光源的風(fēng)冷裝置包括風(fēng)冷腔體組件10、燈罩組件20、以及導(dǎo)風(fēng)分流組件30。
[0030]風(fēng)冷腔體組件10包括進(jìn)風(fēng)腔11、出風(fēng)腔12和連接進(jìn)風(fēng)腔11和出風(fēng)腔12的風(fēng)冷腔室13，風(fēng)冷腔室13的底部具有出光窗口 14，例如由透光材料諸如玻璃等形成。
[0031]燈罩組件20將光源(發(fā)熱源)完全包圍，給光源器件供電，并向外傳導(dǎo)熱量。具體參見圖3，燈罩組件20位于風(fēng)冷腔體組件10的風(fēng)冷腔室13中并具有燈罩殼體21。燈罩殼體21為包圍光源的封閉殼體，例如六面體結(jié)構(gòu)或其它結(jié)構(gòu)。燈罩殼體21的左側(cè)面22和右側(cè)面23由陶瓷板構(gòu)成，底側(cè)面24具有出光窗口 25，例如，由透光材料諸如玻璃等形成。風(fēng)冷腔體組件10的出光窗口 14與燈罩組件20的出光窗口 25對齊，左側(cè)面22和右側(cè)面23分別設(shè)有陰極夾塊26和陽極夾塊27，可調(diào)光源50設(shè)置在陰極夾塊26和陽極夾塊27之間。可調(diào)光源50的光線穿過出光窗口 25、出光窗口 14發(fā)射到外面。
[0032]導(dǎo)風(fēng)分流組件30包括限流板31、導(dǎo)風(fēng)管32以及擴(kuò)風(fēng)套33，限流板31安裝在風(fēng)冷腔室13中，導(dǎo)風(fēng)管32的一端連接到風(fēng)冷腔體組件10，另一端連接到工廠壓縮空氣系統(tǒng)(未示出)，擴(kuò)風(fēng)套33安裝在導(dǎo)風(fēng)管32中。例如，限流板31可以是圓形的板，其上設(shè)有多個(gè)限流孔，限流孔的大小和密度與熱量的分布相關(guān)。在進(jìn)入風(fēng)冷腔體組件前，經(jīng)過過濾凈化后的壓縮冷卻空氣通過導(dǎo)風(fēng)分流