一種液相等離子輝光放電裝置制造方法
【專利摘要】一種液相等離子輝光放電裝置，它包括一下部開設(shè)有進水孔、上部開設(shè)有出水口的反應(yīng)槽體，所述反應(yīng)槽體上面配置有一開設(shè)有陰極孔、陽極孔、通氣孔以及出氣孔的槽蓋，其中的陰極孔和陽極孔中分別插接有伸入在反應(yīng)槽體內(nèi)的、分別連接于外接電源的陰極金屬管和陽極金屬棒，位于陰極孔和陽極孔中間的通氣孔中插接有直插于陰極金屬管和陽極金屬棒兩端部之間的通氣管；位于陰極金屬管和陽極金屬棒兩端部的下方反應(yīng)槽體底部設(shè)置有攪拌磁子；它具有操作簡單、高效、無污染以及成本低等特點。
【專利說明】
一種液相等離子輝光放電裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及的是一種液相等離子輝光放電裝置，主要用于各種材料表面的處理，它在復(fù)合材料、光電材料及有機光電功能器件中有著巨大潛在的應(yīng)用價值。

【背景技術(shù)】
[0002]輝光放電屬于低氣壓放電，工作壓力一般都低于lOmbar，其構(gòu)造是在封閉的容器內(nèi)放置兩個平行的電極板，利用電子將中性原子和分子激發(fā)，當(dāng)粒子由激發(fā)態(tài)降回至基態(tài)時會以光的形式釋放出能量。電源可以為直流電源也可以為交流電源。輝光放電可用于材料表面的處理和氣體物質(zhì)的合成或分解?，F(xiàn)有的輝光放電裝置包括金屬腔體、上電極、下電極，上、下電極相距一定的距離，在上、下電極上施加一定功率的高壓電，在幾十帕以下的低氣壓或特殊氣體的條件下產(chǎn)生低溫等離子體。
[0003]然而，現(xiàn)有的可產(chǎn)生低溫等離子體的裝置由于只能在低氣壓或特殊氣體的條件下產(chǎn)生低溫等離子體，對設(shè)備的真空度要求高，而且等離子區(qū)的氣氛濃度較低，用于材料表面處理、接枝和聚合等工藝中速度較慢?，F(xiàn)有的輝光放電裝置很少依賴于液相氛圍，實現(xiàn)液相氛圍下的輝光放電不僅能突破傳統(tǒng)輝光放電裝置依賴于氣體氛圍的限制，還為材料處理不只是局限于表面提供了可能，且其具有操作簡單、高效、無污染以及成本低的優(yōu)點。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，而提供一種操作簡單、高效、無污染、成本低，能在液相氛圍下、可在低電壓條件下產(chǎn)生均勻的和接近常溫的液相等離子的輝光放電裝置。
[0005]本實用新型的目的是通過如下技術(shù)方案來完成的，所述的液相等離子輝光放電裝置，它包括一下部開設(shè)有進水孔、上部開設(shè)有出水口的反應(yīng)槽體，所述反應(yīng)槽體上面配置有一開設(shè)有陰極孔、陽極孔、通氣孔以及出氣孔的槽蓋，其中的陰極孔和陽極孔中分別插接有伸入在反應(yīng)槽體內(nèi)的、分別連接于外接電源的陰極金屬管和陽極金屬棒，位于陰極孔和陽極孔中間的通氣孔中插接有直插于陰極金屬管和陽極金屬棒兩端部之間的通氣管；位于陰極金屬管和陽極金屬棒兩端部的下方反應(yīng)槽體底部設(shè)置有攪拌磁子。
[0006]所述的反應(yīng)槽體為一絕緣反應(yīng)槽體，其上面配套的槽蓋為聚四氟乙烯板制成；所述外接電源的電壓為20-100V，電流為0.2-0.9A，功率為4-90W ;所述陰極金屬管和陽極金屬棒之間的縱向距離為0.5-5cm。
[0007]所述的陰極金屬管為鉬金屬、銅金屬或鐵金屬及其合金制成的管的一種，陽極金屬棒為鉬金屬、銅金屬或鐵金屬及其合金制成的棒的一種；所述的反應(yīng)槽體內(nèi)還從槽蓋上開設(shè)的溫度計孔插入有量程為o-1oo°c的溫度計。
[0008]所述的陰極金屬管通入有空氣、氫氣、氦氣、氮氣、氬氣、氧氣、臭氧中的一種或者幾種導(dǎo)電氣體，所述反應(yīng)槽體底部內(nèi)置的攪拌磁子為聚四氟乙烯材質(zhì)制成。
[0009]本實用新型所述裝置的各部分之間都是通過嵌套方式相連，它具有結(jié)構(gòu)簡單，容易拆卸，安裝方便，裝置容量大小可以根據(jù)實際情況進行設(shè)計，操作簡單、高效、無污染、成本低，能在液相氛圍下、可在低電壓條件下產(chǎn)生均勻的和接近常溫的液相等離子等特點。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是實用新型所述液相等離子輝光放電裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是實用新型所述液相等離子輝光放電裝置的槽蓋表面結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0012]下面將結(jié)合附圖對本實用新型作詳細的介紹:圖1、2所示，本實用新型所述的液相等離子輝光放電裝置，它包括一下部開設(shè)有進水孔7、上部開設(shè)有出水口 6的反應(yīng)槽體10，所述反應(yīng)槽體10上面配置有一開設(shè)有陰極孔、陽極孔、通氣孔以及出氣孔I的槽蓋9，其中的陰極孔和陽極孔中分別插接有伸入在反應(yīng)槽體10內(nèi)的、分別連接于外接電源的陰極金屬管2和陽極金屬棒4，位于陰極孔和陽極孔中間的通氣孔中插接有直插于陰極金屬管2和陽極金屬棒4兩端部之間的通氣管3 ;位于陰極金屬管2和陽極金屬棒4兩端部的下方反應(yīng)槽體底部設(shè)置有攪拌磁子8。
[0013]本實用新型所述的反應(yīng)槽體10為一絕緣反應(yīng)槽體，其上面配套的槽蓋9為聚四氟乙烯板制成；所述外接電源的電壓為20-100V，電流為0.2-0.9A，功率為4-90W ;所述陰極金屬管2和陽極金屬棒3之間的縱向距離為0.5-5cm。
[0014]所述的陰極金屬管2為鉬金屬、銅金屬或鐵金屬及其合金制成的管的一種，陽極金屬棒4為鉬金屬、銅金屬或鐵金屬及其合金制成的棒的一種；所述的反應(yīng)槽體10內(nèi)還從槽蓋9上開設(shè)的溫度計孔插入有量程為0-100°C的溫度計5。
[0015]所述的陰極金屬管2通入有空氣、氫氣、氦氣、氮氣、氬氣、氧氣、臭氧中的一種或者幾種導(dǎo)電氣體，所述反應(yīng)槽體10底部內(nèi)置的攪拌磁子8為聚四氟乙烯材質(zhì)制成。
[0016]實施例:本實用新型所述的陰極和陽極在連接外接電源的情況下嵌入反應(yīng)槽體10內(nèi)，且陰極和陽極以彎折的方式保持一定的距離，溫度計嵌入反應(yīng)槽體內(nèi)，攪拌磁子至于反應(yīng)槽體內(nèi)部，及在反應(yīng)槽體兩端各設(shè)有進水口和出水口，在反應(yīng)槽體的上端設(shè)有出氣口。
[0017]本實用新型在接入外接電源時，可以形成輝光放電所需的回路，釋放等離子體，而且，通過陰極金屬管通入不同的氣體，可以電離釋放不同元素組成的等離子體，借此，可以處理各種材料的表面以滿足不一樣的需求。
【權(quán)利要求】
1.一種液相等離子輝光放電裝置，它包括一下部開設(shè)有進水孔、上部開設(shè)有出水口的反應(yīng)槽體，其特征在于所述反應(yīng)槽體上面配置有一開設(shè)有陰極孔、陽極孔、通氣孔以及出氣孔的槽蓋，其中的陰極孔和陽極孔中分別插接有伸入在反應(yīng)槽體內(nèi)的、分別連接于外接電源的陰極金屬管和陽極金屬棒，位于陰極孔和陽極孔中間的通氣孔中插接有直插于陰極金屬管和陽極金屬棒兩端部之間的通氣管；位于陰極金屬管和陽極金屬棒兩端部的下方反應(yīng)槽體底部設(shè)置有攪拌磁子。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相等離子輝光放電裝置，其特征在于所述的反應(yīng)槽體為一絕緣反應(yīng)槽體，其上面配套的槽蓋為聚四氟乙烯板制成；所述外接電源的電壓為20-100V,電流為0.2-0.9A，功率為4-90W ;所述陰極金屬管和陽極金屬棒之間的縱向距離為 0.5_5cm0
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液相等離子輝光放電裝置，其特征在于所述的反應(yīng)槽體內(nèi)還從槽蓋上開設(shè)的溫度計孔插入有量程為o-1oo°c的溫度計。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液相等離子輝光放電裝置，其特征在于所述反應(yīng)槽體底部內(nèi)置的攪拌磁子為聚四氟乙烯材質(zhì)制成。
【文檔編號】H01J37/32GK203983228SQ201420224908
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年5月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月5日
【發(fā)明者】江國華, 江騰騰 申請人:浙江理工大學(xué)