高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，包含用于放置樣品及調(diào)整樣品位置的旋轉(zhuǎn)基座、固定于樣品臺上的套筒和彈簧，旋轉(zhuǎn)基座的下底面凸設(shè)有中心軸，中心軸上套置有彈簧，中心軸的下端通過螺紋與套筒相旋接，彈簧的上端與旋轉(zhuǎn)基座的下底面相抵接，彈簧的下端與套筒的上頂面相抵接。可以同時對不同高度的樣品進(jìn)行測試，在測試前可以靈活的對樣品位置進(jìn)行調(diào)整，使樣品待檢測面接近同一高度，提高了樣品的檢測質(zhì)量和效率。
【專利說明】高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座。
【背景技術(shù)】
[0002]掃描電鏡是一種電子光學(xué)顯像儀器，采用極細(xì)的電子束在樣品表面掃描，高能電子射束與物質(zhì)之交互作用產(chǎn)生各種訊號，這些訊號經(jīng)由適當(dāng)?shù)臋z測器接收后，經(jīng)放大器放大，然后送到顯像管上成像，具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。
[0003]用掃描電鏡觀察樣品時，應(yīng)當(dāng)利用導(dǎo)電性良好的樣品夾具將樣品緊固在樣品室中，如果樣品固定不好，在電子束的照射下，將會使圖象發(fā)生微觀飄移，導(dǎo)電性較差的樣品尤為嚴(yán)重，從而會影響觀察分析，特別會造成定點微區(qū)成分分析的誤差。
[0004]目前，一般所使用的掃描電鏡樣品座高度固定，對于不同高度的樣品不能同時進(jìn)行測試，必須通過多次更換樣品測試才能完成，大大影響了掃描電鏡測試效率和測試成本。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，旨在解決不同高度樣品同時測試的問題。
[0006]本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0007]高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，特點是:包含用于放置樣品及調(diào)整樣品位置的旋轉(zhuǎn)基座、固定于樣品臺上的套筒和彈簧，所述旋轉(zhuǎn)基座的下底面凸設(shè)有中心軸，中心軸上套置有彈簧，中心軸的下端通過螺紋與套筒相旋接，彈簧的上端與旋轉(zhuǎn)基座的下底面相抵接，彈簧的下端與套筒的上頂面相抵接。
[0008]進(jìn)一步地，上述的高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，所述套筒的上端凸設(shè)有臺階。
[0009]更進(jìn)一步地，上述的高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，所述旋轉(zhuǎn)基座上沿徑向設(shè)有夾持凹槽。
[0010]本實用新型技術(shù)方案的實質(zhì)性特點和進(jìn)步主要體現(xiàn)在:
[0011]本實用新型掃描電鏡樣品座，其結(jié)構(gòu)簡單、操作方便，可以同時對不同高度的樣品進(jìn)行測試，在測試前可以靈活的對樣品位置進(jìn)行調(diào)整，使樣品待檢測面接近同一高度，提高了樣品的檢測質(zhì)量和效率。采用高度可調(diào)的方式，可以簡便靈活的隨時對樣品的高度位置進(jìn)行調(diào)整，滿足不同高度樣品同時測試的要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]下面結(jié)合附圖對本實用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說明:
[0013]圖1:本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】[0014]如圖1所示，高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，包含用于放置樣品及調(diào)整樣品位置的旋轉(zhuǎn)基座1、固定于樣品臺上的套筒2和彈簧3，旋轉(zhuǎn)基座I的下底面凸設(shè)有中心軸，中心軸上套置有彈簧3，中心軸的下端通過螺紋C與套筒2相旋接，套筒2的軸線與中心軸的軸線同軸，彈簧3的上端與旋轉(zhuǎn)基座I的下底面相抵接，彈簧3的下端與套筒2的上頂面相抵接。套筒2的上端凸設(shè)有臺階B，臺階B便于樣品座在樣品臺上定位。旋轉(zhuǎn)基座I上沿徑向設(shè)有夾持凹槽A，便于用夾具將樣品座安裝到儀器樣品臺上。當(dāng)旋轉(zhuǎn)基座向上或向下工作時放松或擠壓彈簧3，使旋轉(zhuǎn)基座I與套筒2之間有適量的彈簧力而穩(wěn)定。
[0015]測試前通過鑷子夾持旋轉(zhuǎn)基座I上凹槽A將套筒2插到掃描電鏡測試臺插孔中，通過套筒上端的臺階B對其定位，再調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)基座I將樣品臺上若干個測試樣品測試面調(diào)整到接近的高度。
[0016]綜上可見，本實用新型掃描電鏡樣品座，其結(jié)構(gòu)簡單、操作方便，可以同時對不同高度的樣品進(jìn)行測試，在測試前可以靈活的對樣品位置進(jìn)行調(diào)整，使樣品待檢測面接近同一高度，提高了樣品的檢測質(zhì)量和效率。采用高度可調(diào)的方式，可以簡便靈活的隨時對樣品的高度位置進(jìn)行調(diào)整，滿足不同高度樣品同時測試的要求。
[0017]需要理解到的是:以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，其特征在于:包含用于放置樣品及調(diào)整樣品位置的旋轉(zhuǎn)基座、固定于樣品臺上的套筒和彈簧，所述旋轉(zhuǎn)基座的下底面凸設(shè)有中心軸，中心軸上套置有彈簧，中心軸的下端通過螺紋與套筒相旋接，彈簧的上端與旋轉(zhuǎn)基座的下底面相抵接，彈簧的下端與套筒的上頂面相抵接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，其特征在于:所述套筒的上端凸設(shè)有臺階。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高度調(diào)節(jié)式掃描電鏡樣品座，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)基座上沿徑向設(shè)有夾持凹槽。
【文檔編號】H01J37/20GK203690251SQ201320864046
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2013年12月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月25日
【發(fā)明者】嚴(yán)永林 申請人:蘇州新銳合金工具股份有限公司