掃描電鏡多用途樣品臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，所述掃描電鏡多用途樣品臺(tái)包括：夾持樣品的樣品夾持部；調(diào)整所述樣品夾持部角度的調(diào)整部，所述調(diào)整部設(shè)置在所述樣品夾持部之下，所述調(diào)整部包括：球形萬向節(jié)、支撐所述球形萬向節(jié)的平臺(tái)、以及調(diào)整所述球形萬向節(jié)角度的調(diào)節(jié)件，所述球形萬向節(jié)上設(shè)有與樣品夾持部連接的接頭。本實(shí)用新型能夠得到掃描電鏡較佳的觀察角度。
【專利說明】掃描電鏡多用途樣品臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及掃描電鏡樣品室內(nèi)使用的樣品臺(tái)，即一種掃描電鏡多用途樣品臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前掃描電鏡在生產(chǎn)、科研等領(lǐng)域存在廣泛應(yīng)用，通常掃描電鏡內(nèi)部隨機(jī)配置常規(guī)樣品臺(tái)，用于觀察研究一些規(guī)則形狀樣品，在金屬材料生產(chǎn)實(shí)踐領(lǐng)域，樣品往往體積較大，且形狀不規(guī)則，樣品安裝在常規(guī)樣品臺(tái)上時(shí)，往往樣品固定較為困難，且觀察角度不佳。
[0003]綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)中至少存在以下問題:難以得到較佳的觀察樣品的角度。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型提供一種掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，以解決觀察樣品的角度不佳的問題。
[0005]為此，本實(shí)用新型提出一種掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，所述掃描電鏡多用途樣品臺(tái)包括:
[0006]夾持樣品的樣品夾持部；
[0007]調(diào)整所述樣品夾持部角度的調(diào)整部，所述調(diào)整部設(shè)置在所述樣品夾持部之下，所述調(diào)整部包括:球形萬向節(jié)、支撐所述球形萬向節(jié)的平臺(tái)、以及調(diào)整所述球形萬向節(jié)角度的調(diào)節(jié)件，所述球形萬向節(jié)上設(shè)有與樣品夾持部連接的接頭。
[0008]進(jìn)一步地，所述樣品夾持部包括:樣品座和連接在所述樣品座側(cè)向的滑動(dòng)支撐板，所述樣品座包括:底部支撐座和與所述底部支撐座連接的側(cè)面支撐座，所述滑動(dòng)支撐板與所述側(cè)面支撐座形成夾持樣品的側(cè)向夾持空間。
[0009]進(jìn)一步地，所述側(cè)面支撐座設(shè)有一個(gè)或多個(gè)緊固樣品的螺孔。
[0010]進(jìn)一步地，所述底部支撐座設(shè)有燕尾形卡臺(tái)，所述滑動(dòng)支撐板設(shè)有與所述燕尾形卡臺(tái)相吻合的燕尾形卡槽。
[0011]進(jìn)一步地，所述側(cè)面支撐座為板狀，所述滑動(dòng)支撐板與所述側(cè)面支撐座相互平行。
[0012]進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)件包括側(cè)向夾持所述球形萬向節(jié)的萬向節(jié)夾持件、以及設(shè)置在所述萬向節(jié)夾持件中的鎖緊螺栓，所述鎖緊螺栓緊固所述球形萬向節(jié)，所述萬向節(jié)夾持件設(shè)置在所述平臺(tái)之上。
[0013]進(jìn)一步地，所述球形萬向節(jié)上的接頭為柱狀，所述接頭上設(shè)有螺紋。
[0014]進(jìn)一步地，所述滑動(dòng)支撐板通過滑動(dòng)支撐板緊固螺栓擰緊在所述底部支撐座上。
[0015]進(jìn)一步地，所述萬向節(jié)夾持件為兩個(gè)平行的夾持塊，其中一個(gè)夾持塊中設(shè)有與所述鎖緊螺栓連接的連接孔。
[0016]進(jìn)一步地，所述掃描電鏡多用途樣品臺(tái)還包括:緊固樣品的螺栓，所述緊固樣品的螺栓與所述緊固樣品的螺孔相配合。
[0017]本實(shí)用新型可根據(jù)需求，通過調(diào)整安裝在樣品夾持部之下的球形萬向節(jié)的角度，調(diào)整樣品夾持部的角度，因而可以獲得各種不同的觀察角度，從中得到較佳的觀察角度，解決了掃描電鏡觀察樣品的角度不佳的問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為本實(shí)用新型的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)示意圖，其中取出了樣品夾持部上的相應(yīng)的螺栓；圖中箭頭表示鎖緊螺栓擰入方向；
[0019]圖2為本實(shí)用新型的樣品座的立體結(jié)構(gòu)，圖中箭頭表示緊固樣品的螺栓的擰入方向；
[0020]圖3為本實(shí)用新型的滑動(dòng)支撐板的立體結(jié)構(gòu)，圖中箭頭表示滑動(dòng)支撐板緊固螺栓抒入方向；
[0021]圖4為本實(shí)用新型的球形萬向節(jié)的立體結(jié)構(gòu)；
[0022]圖5為本實(shí)用新型的調(diào)整部的主視結(jié)構(gòu)示意圖，圖中箭頭表示鎖緊螺栓擰入方向。
[0023]附圖標(biāo)號(hào)說明:
[0024]I樣品座3滑動(dòng)支撐板5球形萬向節(jié)7萬向節(jié)夾持件9 (支撐所述球形萬向節(jié)的)平臺(tái)11緊固樣品的螺栓13側(cè)面支撐座15底部支撐座150卡臺(tái)100夾持樣品的空間31滑動(dòng)支撐板緊固螺栓33卡槽51接頭55鎖緊螺栓75連接孔
【具體實(shí)施方式】
[0025]為了對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對(duì)照【專利附圖】

【附圖說明】本實(shí)用新型。
[0026]如圖1所示，本實(shí)用新型的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)包括:夾持樣品的樣品夾持部和調(diào)整所述樣品夾持部角度的調(diào)整部。
[0027]夾持樣品的樣品夾持部用于夾持樣品，調(diào)整所述樣品夾持部角度的調(diào)整部用于調(diào)整調(diào)整所述樣品夾持部角度的調(diào)整部的角度，以獲得各種不同的觀察角度，從中得到較佳的觀察角度。
[0028]調(diào)整所述樣品夾持部角度的調(diào)整部，所述調(diào)整部設(shè)置在所述樣品夾持部之下，如圖1，所述調(diào)整部包括:球形萬向節(jié)5、支撐所述球形萬向節(jié)的平臺(tái)9、以及調(diào)整所述球形萬向節(jié)角度的調(diào)節(jié)件，如圖4，所述球形萬向節(jié)5上設(shè)有與樣品夾持部連接的接頭51。所述球形萬向節(jié)上的接頭51為柱狀，所述接頭51上設(shè)有螺紋，用于擰入到底部支撐座15的底部，從而方便的實(shí)現(xiàn)球形萬向節(jié)5與樣品座的連接。
[0029]進(jìn)一步地，如圖1，所述樣品夾持部包括:樣品座I和連接在所述樣品座側(cè)向的滑動(dòng)支撐板3，樣品座I為固定的，滑動(dòng)支撐板3可滑動(dòng)的設(shè)置在樣品座I上，以便夾持不同形狀或尺寸的樣品。
[0030]如圖2，所述樣品座I包括:底部支撐座15和與所述底部支撐座15連接的側(cè)面支撐座13，如圖1，所述滑動(dòng)支撐板3與所述側(cè)面支撐座15形成夾持樣品的側(cè)向夾持空間100，樣品支撐在底部支撐座15上，兩側(cè)受到所述滑動(dòng)支撐板3與所述側(cè)面支撐座14的夾持，從而固定。這樣的夾持方式，簡(jiǎn)單穩(wěn)定。
[0031]進(jìn)一步地，如圖2，所述側(cè)面支撐座13設(shè)有一個(gè)或多個(gè)緊固樣品的螺孔，所述掃描電鏡多用途樣品臺(tái)還包括:緊固樣品的螺栓11，所述緊固樣品的螺栓與所述緊固樣品的螺孔相配合。當(dāng)樣品為不規(guī)則形狀時(shí)，通過在多個(gè)螺孔擰入緊固樣品的螺栓11，數(shù)量例如為四個(gè)或其他數(shù)目，有利于實(shí)現(xiàn)對(duì)不規(guī)則樣品的固定。
[0032]進(jìn)一步地，如圖2和圖3，所述底部支撐座15設(shè)有燕尾形卡臺(tái)150，所述滑動(dòng)支撐板3設(shè)有與所述燕尾形卡臺(tái)相吻合的燕尾形卡槽33，這樣能夠?qū)崿F(xiàn)滑動(dòng)支撐板3穩(wěn)定的連接在底部支撐座15上，而且，便于滑動(dòng)支撐板3滑動(dòng)。進(jìn)一步地，所述滑動(dòng)支撐板3通過滑動(dòng)支撐板緊固螺栓31擰緊在所述底部支撐座15的燕尾形卡臺(tái)150上，這樣能夠?qū)崿F(xiàn)可拆卸連接，而且連接穩(wěn)固。
[0033]進(jìn)一步地，所述側(cè)面支撐座13為板狀，所述滑動(dòng)支撐板3與所述側(cè)面支撐座13相互平行，這樣形成的夾持空間為直槽形，便于加工安裝，便于安放樣品。
[0034]進(jìn)一步地，如圖5，所述調(diào)節(jié)件包括側(cè)向夾持所述球形萬向節(jié)5的萬向節(jié)夾持件7、以及設(shè)置在所述萬向節(jié)夾持件中的鎖緊螺栓55，所述鎖緊螺栓55緊固所述球形萬向節(jié)5，所述萬向節(jié)夾持件7設(shè)置在所述平臺(tái)9之上。這樣，一方面有利于實(shí)現(xiàn)球形萬向節(jié)5與底部支撐座15的連接，另一方面，通過松開鎖緊螺栓55，有利于實(shí)現(xiàn)球形萬向節(jié)5角度的調(diào)難
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[0035]進(jìn)一步地，所述萬向節(jié)夾持件7為兩個(gè)平行的夾持塊，球形萬向節(jié)5位于兩個(gè)平行的夾持塊之間，其中一個(gè)夾持塊中設(shè)有與所述鎖緊螺栓連接的連接孔75。這樣，一方面便于球形萬向節(jié)5的夾持，另一方面便于球形萬向節(jié)5的轉(zhuǎn)動(dòng)，而且還便于對(duì)球形萬向節(jié)5的固定，防止測(cè)試過程中樣品脫落。
[0036]本實(shí)用新型的球形萬向節(jié)5采用淬火合金鋼球，其余各部件采用304號(hào)不銹鋼塊，精密機(jī)加工完成，最后組裝完成整個(gè)描電鏡多用途樣品臺(tái)。
[0037]以上所述僅為本實(shí)用新型示意性的【具體實(shí)施方式】，并非用以限定本實(shí)用新型的范圍。為本實(shí)用新型的各組成部分在不沖突的條件下可以相互組合，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的構(gòu)思和原則的前提下所作出的等同變化與修改，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述掃描電鏡多用途樣品臺(tái)包括: 夾持樣品的樣品夾持部; 調(diào)整所述樣品夾持部角度的調(diào)整部，所述調(diào)整部設(shè)置在所述樣品夾持部之下，所述調(diào)整部包括:球形萬向節(jié)、支撐所述球形萬向節(jié)的平臺(tái)、以及調(diào)整所述球形萬向節(jié)角度的調(diào)節(jié)件，所述球形萬向節(jié)上設(shè)有與樣品夾持部連接的接頭。
2.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述樣品夾持部包括:樣品座和連接在所述樣品座側(cè)向的滑動(dòng)支撐板，所述樣品座包括:底部支撐座和與所述底部支撐座連接的側(cè)面支撐座，所述滑動(dòng)支撐板與所述側(cè)面支撐座形成夾持樣品的側(cè)向夾持空間。
3.如權(quán)利要求2所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述側(cè)面支撐座設(shè)有一個(gè)或多個(gè)緊固樣品的螺孔。
4.如權(quán)利要求2所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述底部支撐座設(shè)有燕尾形卡臺(tái)，所述滑動(dòng)支撐板設(shè)有與所述燕尾形卡臺(tái)相吻合的燕尾形卡槽。
5.如權(quán)利要求2所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述側(cè)面支撐座為板狀，所述滑動(dòng)支撐板與所述側(cè)面支撐座相互平行。
6.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件包括側(cè)向夾持所述球形萬向節(jié)的萬向節(jié)夾持件、以及設(shè)置在所述萬向節(jié)夾持件中的鎖緊螺栓，所述鎖緊螺栓緊固所述球形萬向節(jié)，所述萬向節(jié)夾持件設(shè)置在所述平臺(tái)之上。
7.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述球形萬向節(jié)上的接頭為柱狀，所述接頭上設(shè)有螺紋。
8.如權(quán)利要求2所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述滑動(dòng)支撐板通過滑動(dòng)支撐板緊固螺栓擰緊在所述底部支撐座上。
9.如權(quán)利要求6所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述萬向節(jié)夾持件為兩個(gè)平行的夾持塊，其中一個(gè)夾持塊中設(shè)有與所述鎖緊螺栓連接的連接孔。
10.如權(quán)利要求3所述的掃描電鏡多用途樣品臺(tái)，其特征在于，所述掃描電鏡多用途樣品臺(tái)還包括:緊固樣品的螺栓，所述緊固樣品的螺栓與所述緊固樣品的螺孔相配合。
【文檔編號(hào)】H01J37/20GK203503600SQ201320678693
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年10月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月30日
【發(fā)明者】董樹青 申請(qǐng)人:國(guó)家電網(wǎng)公司, 華北電力科學(xué)研究院有限責(zé)任公司