顯示面板用玻璃板、其制造方法及tft面板的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供B2O3含有率低、收縮低、可用作TFT面板用玻璃板的顯示面板用玻璃板。該顯示面板用玻璃板以氧化物基準的質量％表示，作為玻璃主要組成，包含：SiO2：50.0～73.0、Al2O3：6.0～20.0、B2O3：0～2.0、MgO：4.2～9.0、CaO：0～6.0、SrO：0～2.0、BaO：0～2.0、MgO+CaO+SrO+BaO：6.5～11.3、Li2O：0～2.0、Na2O：2.0～18.0、K2O：0～13.0、Li2O+Na2O+K2O：8.0～18.0，熱收縮率(C)在20ppm以下。
【專利說明】顯示面板用玻璃板、其制造方法及TFT面板的制造方法
[0001]本發(fā)明專利申請是國際申請?zhí)枮镻CT/JP2009/057675，國際申請日為2009年04月16日，進入中國國家階段的申請?zhí)枮?00980114731.6，發(fā)明名稱為“顯示面板用玻璃板、其制造方法及TFT面板的制造方法”的發(fā)明專利申請的分案申請。
【技術領域】
[0002]本發(fā)明涉及用于液晶顯示(IXD)面板、等離子顯示面板(rop)等各種顯示面板的顯示面板用玻璃板。本發(fā)明的顯示面板用玻璃板特別適合作為LCD面板用的玻璃板。
【背景技術】
[0003]—直以來，IXD面板用的玻璃基板米用不含堿金屬氧化物的無堿玻璃。其理由是如果玻璃基板中含堿金屬氧化物，則在LCD面板的制造エ序中所實施的熱處理中，玻璃基板中的堿金屬離子可能會擴散至用于驅動LCD面`板的薄膜晶體管(TFT)的半導體膜，導致TFT特性的劣化。
[0004]此外，也因為無堿玻璃的熱膨脹系數低，玻璃化溫度(Tg)高，因此LCD面板的制造エ序中的尺寸變化小，使用LCD面板時熱應カ對顯示品質的影響小，所以作為LCD面板用的玻璃基板是優(yōu)選的。
[0005]然而，無堿玻璃在制造方面存在如下所述的問題。
[0006]無堿玻璃具有粘性非常高而難以熔融的性質，在制造中伴有技術上的困難。
[0007]此外，對于無堿玻璃，澄清劑的效果通常較差。例如，使用SO3作為澄清劑的情況下，SO3(分解)發(fā)泡的溫度低于玻璃的熔融溫度，因此在得到澄清之前，所添加的SO3大部分分解而從熔融玻璃揮散，無法充分發(fā)揮澄清效果。
[0008]作為TFT面板用(a-Si TFT面板用)的玻璃基板，還提出了使用含堿金屬氧化物的含堿玻璃基板的技術方案(參照專利文獻1、2)。這是由于以往在350-450°C進行的TFT面板制造エ序中的熱處理逐漸可以在較低的溫度(250-300°C左右)下進行。
[0009]含堿金屬氧化物的玻璃由于一般熱膨脹系數高，因此通常含有具有使熱膨脹系數降低的效果的B2O3，從而達到適合作為TFT面板用的玻璃基板的熱膨脹系數(專利文獻1、2)。
[0010]然而，采用含B2O3的玻璃組成的情況下，將玻璃熔融時，特別是在熔化工序、澄清エ序和浮法成形エ序中，B2O3發(fā)生揮散，因此玻璃組成容易變得不均一。如果玻璃組成不均質，則會對成形為板狀時的平坦性造成影響。為了確保顯示品質，TFT面板用的玻璃基板被要求具有高度的平坦度，從而保持夾著液晶的2塊玻璃的間隔、即液晶盒間隙恒定。因此，為了確保規(guī)定的平坦度，在通過浮法成形為平板玻璃后，進行平板玻璃的表面研磨，但如果成形后的平板玻璃無法獲得規(guī)定的平坦性，則研磨エ序所需的時間變長，生產性下降。此外，如果考慮到所述B2O3的揮散產生的環(huán)境負擔，熔融玻璃中的B2O3的含有率較好是更低。[0011 ] 但是，如果B2O3的含有率低，則難以使熱膨脹系數降至作為TFT面板用的玻璃基板的理想的熱膨脹系數，并且難以在抑制粘性的上升的同時獲得規(guī)定的Tg等。[0012]專利文獻1:日本專利特開2006-137631號公報
[0013]專利文獻2:日本專利特開2006-169028號公報
[0014]發(fā)明的掲示
[0015]本發(fā)明人認真研究后發(fā)現，在所述的低溫下的熱處理中，低溫下的玻璃的收縮(熱收縮率)可能會對玻璃基板上的成膜品質(成膜圖案精度)造成較大的影響。
[0016]為了解決上述現有技術的問題，本發(fā)明的目的在于提供含有堿金屬氧化物，B2O3少，TFT面板制造エ序中的低溫(150-300°C )下的熱處理(具體為形成柵極絕緣膜的エ序中的熱處理)時的收縮小，特別適合用作大型(例如ー邊在2m以上的尺寸)的TFT面板用的玻璃基板的顯示面板用玻璃基板及其制造方法以及使用所述玻璃板的TFT面板的制造方法。
[0017]為達到上述目的，本發(fā)明提供一種顯示面板用玻璃板，其特征在干，
[0018]以氧化物基準的質量％表示，作為玻璃主要組成，包含:
[0019]
【權利要求】
1.一種顯示面板用玻璃板，其特征在干，以氧化物基準的質量％表示，作為玻璃主要組成，包含:
2.—種顯示面板用玻璃板的制造方法，該方法是將熔化原料而得的熔融玻璃用浮法成形爐成形為帶狀的玻璃板后，通過冷卻裝置進行冷卻，得到處于室溫狀態(tài)的權利要求1所述的顯示面板用玻璃板的顯示面板用玻璃板的制造方法，其特征在干， 將從所述浮法成形爐引出的玻璃板的表面溫度設為Th(°C )，將室溫設為IY(°C )，將所述玻璃板的表面溫度在所述冷卻裝置的冷卻下從Th到達IY所需的時間設為t (分鐘)吋，所述冷卻裝置是使以(Th-1Y)/t表示的平均冷卻速度為10-300°C /分鐘的冷卻裝置。
3.—種TFT面板的制造方法，該方法是包括在顯示面板用玻璃板的表面形成陣列基板柵極絕緣膜的成膜エ序和將所述陣列基板和彩色濾光片基板粘合的粘合エ序的TFT面板的制造方法，其特征在干， 所述成膜エ序是以下的エ序:將權利要求1所述的顯示面板用玻璃板的表面的成膜區(qū)域升溫至150-300°C的范圍內的成膜溫度后，在所述成膜溫度下保持5-60分鐘，在所述成膜區(qū)域形成所述柵極絕緣膜。
【文檔編號】H01J17/16GK103449719SQ201310360124
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2009年4月16日 優(yōu)先權日:2008年4月21日
【發(fā)明者】西澤學, 嶋田勇也, 黑木有一, 前田敬 申請人:旭硝子株式會社