用于阻抗匹配的方法和高頻功率供給裝置制造方法
【專利摘要】一種用于高頻（HF）功率供給裝置（10，30，50）與負載（14）進行阻抗匹配的方法，所述方法包括以下方法步驟：a.借助調(diào)制頻率的調(diào)制信號（E）對高頻功率信號進行頻率調(diào)制；b.探測與由所述負載反射的功率有關的信號（B）；c.借助解調(diào)頻率的解調(diào)信號解調(diào)探測到的信號（B）或由探測到的信號得到的信號（C，D）；d.由經(jīng)解調(diào)的信號（F）產(chǎn)生阻抗匹配信號（G）。
【專利說明】用于阻抗匹配的方法和高頻功率供給裝置
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于高頻(HF)功率供給裝置與負載阻抗匹配的方法。
[0002]此外，本發(fā)明涉及一種高頻(HF)功率供給裝置。
【背景技術】
[0003]借助等離子體以及氣體激光器對工件的表面處理是以下工業(yè)方法:其中，尤其在等離子體腔室中，借助直流電或借助具有在幾十kHz至GHz的范圍中的工作頻率的高頻交流信號產(chǎn)生等離子體。
[0004]等離子體腔室經(jīng)由其他的電子部件，如線圈、電容器、導線或變壓器連接到高頻功率供給裝置(HF-Generator:高頻發(fā)生器)上。所述其他的部件可以是振蕩回路、濾波器或阻抗匹配電路。
[0005]等離子體過程具有如下問題:在過程期間出現(xiàn)的等離子體腔室的(等離子體的)電負載阻抗取決于等離子體腔室中的狀態(tài)并且可能劇烈地改變。尤其影響工件、電極和氣體比例的性能。
[0006]高頻功率供給裝置具有限定的與所連接的電負載的阻抗有關的工作區(qū)域。如果負載阻抗離開允許的區(qū)域，則可能發(fā)生高頻功率供給裝置的損壞或甚至毀壞。
[0007]出于所述原因，通常需要阻抗匹配電路(Matchbox:匹配箱)，所述阻抗匹配電路將負載的阻抗變換到發(fā)生器輸出端(通常50 Ω )的額定阻抗。在錯誤匹配的情況下，不能提供滿功率給負載。換言之，功率的一部分被反射。在額定阻抗的范圍內(nèi)具有以下阻抗范圍、即經(jīng)變換的負載阻抗的范圍:在所述阻抗范圍內(nèi)高頻功率供給裝置穩(wěn)定地工作并且不受損壞。如果經(jīng)變換的負載阻抗在所述額定阻抗范圍之外，則可能由于反射的功率而發(fā)生高頻功率供給裝置的損壞和不穩(wěn)定。
[0008]已知不同的阻抗匹配電路?；蛘咦杩蛊ヅ潆娐肥枪潭ㄔO定的并具有預給定的變換效果，即由電子構件、尤其是線圈和電容器組成，所述電子構件在運行期間沒有被改變。這尤其在始終不變的運行的情況下，例如在氣體激光器中是有意義的。
[0009]此外，已知以下阻抗匹配電路:其中，阻抗匹配電路的構件中的至少一部分是機械可變的。例如已知電動機驅(qū)動的可變電容器，其電容值可以被改變，其方式是，相對彼此改變電容器板的設置。
[0010]已知的阻抗匹配網(wǎng)絡的問題是，經(jīng)常相對緩慢地進行阻抗匹配的追蹤，例如因為必須先控制電動機，然后電動機才將電容器板重新帶到正確的位置上。然而，等離子體的狀態(tài)、尤其是其阻抗有時改變得非?？臁Ｒ虼?，借助傳統(tǒng)的阻抗匹配網(wǎng)絡經(jīng)常不能對負載阻抗的改變作出足夠快速的反應。另外，通常未知的是，必須如何改變匹配以便使反射的功率最小化并且是否已達到反射功率的局部最小值或全局最小值。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的任務是，提供一種方法和一種高頻功率供給裝置，借助其可以實現(xiàn)高頻功率供給裝置的輸出阻抗與負載的阻抗的快速阻抗匹配。
[0012]根據(jù)本發(fā)明，所述任務通過一種用于高頻(HF)功率供給裝置與負載阻抗匹配的方法解決，所述方法具有以下方法步驟:
[0013]a借助調(diào)制頻率的調(diào)制信號對高頻功率信號進行頻率調(diào)制；
[0014]b探測與由負載反射的功率有關的信號；
[0015]c借助解調(diào)頻率的解調(diào)信號解調(diào)所述探測到的信號或由所述探測到的信號得到的信號;
[0016]d由經(jīng)解調(diào)的信號產(chǎn)生阻抗匹配信號。
[0017]如果借助優(yōu)選與高頻信號的頻率尤其顯著偏離的調(diào)制頻率的調(diào)制信號調(diào)制高頻功率信號，則在等離子體腔室或者等離子體處反射的高頻功率信號就顯示幅度調(diào)制。通過所述幅度調(diào)制的信號的解調(diào)或與此有關的信號的解調(diào)，可以得到阻抗匹配信號、尤其是直流電壓，所述直流電壓可以直接用于控制阻抗匹配網(wǎng)絡或用于影響高頻功率信號的頻率。尤其通過高頻功率信號的頻率改變，可以實施非常快速的阻抗匹配。
[0018]根據(jù)一種方法變型可以規(guī)定,相位正確(phasenrichtig)地解調(diào)探測到的信號或由所述探測到的信號得到的信號。由此，得到具有正確符號的阻抗匹配信號。因此，具有符號的阻抗匹配信號直接說明，必須向哪個方向進行或者阻抗匹配網(wǎng)絡的阻抗或者高頻功率信號的頻率的改變。因此，不需要其他的算法或分析處理單元用于阻抗匹配。
[0019]與由負載反射的功率相關的信號可以是由定向耦合器生成的信號。也可以是在耦合器、尤其是混合耦合器的端口處測量的信號，所述混合耦合器用于組合多個高頻發(fā)生器的功率。所述端口尤其可以是3dB混合耦合器的端口，在該端口處連接有平衡電阻?？梢栽诟哳l發(fā)生器的最不同的位置上或在阻抗匹配電路中得到所述信號。例如，由一個或多個高頻發(fā)生器的直流電流供給得到或由阻抗匹配電路的偏置電壓測量得到。尤其當運行具有不同相位的兩個高頻發(fā)生器，并且組合這些功率的耦合器相位相關(Phasetreu)地組合功率時，在無定向耦合器的情況下得到簡單的電流測量或電壓測量的許多可能性以生成與由負載反射的功率有關的信號。
[0020]調(diào)制頻率可以小于、尤其明顯小于高頻功率信號的頻率，例如比高頻功率信號的頻率小超過10倍或100倍。
[0021]當具有與調(diào)制信號相同頻率的信號用作解調(diào)信號時，可以簡化本方法。當借助該調(diào)制信號實現(xiàn)解調(diào)時，可以特別簡單地實施本方法。在這種情況下，調(diào)制信號的頻率改變自動導致解調(diào)信號的相位正確的頻率改變。
[0022]經(jīng)解調(diào)的信號可以被濾波，尤其是被低通濾波。由此，可以產(chǎn)生直流電壓作為阻抗匹配信號，所述阻抗匹配信號直接輸送給高頻源或阻抗匹配網(wǎng)絡。
[0023]調(diào)制信號原則上可以采用任意的信號形式。然而，優(yōu)選的是正弦形的或矩形的。
[0024]可以零差解調(diào)或外差解調(diào)所述探測到的信號或由所述探測到的信號得到的信號。在外差解調(diào)中，優(yōu)選使用本地振蕩器(LO)頻率用于解調(diào)，所述本地振蕩器頻率可能與高頻功率信號的頻率相差數(shù)百個kHz。在外差解調(diào)中，探測到的幅度調(diào)制的信號直接轉(zhuǎn)換到低頻范圍上。具有本地振蕩器頻率的信號可以涉及調(diào)制信號。借助作為本地振蕩器的調(diào)制信號對幅度調(diào)制的信號的外差解調(diào)得到一個信號，該信號的符號和幅度直接是用于頻率朝更好的匹配方向的調(diào)節(jié)量。[0025]反之，在零差解調(diào)中，本地振蕩器和高頻信號具有相同的頻率。當不采用零差解調(diào)時，重要的是，不僅確定幅值而且至少確定與調(diào)制信號的相位關系的符號。
[0026]在解調(diào)之前可以將探測到的信號混頻到中間頻率上。由此，使探測到的信號的放大和濾波變得容易。信號濾波可以在較低的中間頻率上進行。由此，可以使用定頻濾波器并且簡化信號處理元件的結構。
[0027]此外可以規(guī)定，復數(shù)解調(diào)探測到的信號或由探測到的信號得到的信號。這意味著，借助兩個解調(diào)信號解調(diào)，所述兩個解調(diào)信號在相位上偏移90°。由此，也可以求得幅度調(diào)制的信號與調(diào)制信號之間的相位關系。此外，也可以求得其他的細節(jié)，如在復電阻平面中軌跡的方向、與等離子體腔室的電距離和作為彎曲的軌跡的符號的高次諧波。
[0028]對探測到的信號或?qū)τ商綔y到的信號得到的信號的解調(diào)可以多級地實現(xiàn)。例如，可以借助第一解調(diào)信號解調(diào)探測到的信號或由探測到的信號得到的信號，并且借助第二解調(diào)信號解調(diào)經(jīng)解調(diào)的信號。例如，可以首先實施零差解調(diào)，隨后實施復數(shù)解調(diào)。在此，復數(shù)解調(diào)還可以是多級的，從而最終得到信息，所述信息說明，必須如何強烈地改變高頻功率信號的頻率并且必須朝哪個方向改變頻率以便改善匹配。
[0029]此外可以規(guī)定，借助第一解調(diào)信號和第二解調(diào)信號解調(diào)探測到的信號。在此，第一解調(diào)信號和第二解調(diào)信號可以僅僅在相位方面不同。特別地，第一解調(diào)信號和第二解調(diào)信號可以具有相同的頻率和/或相同的信號形式，然而是彼此相位偏移的。
[0030]此外，第一解調(diào)信號的頻率和第二解調(diào)信號的頻率可以是不同的。例如，第一解調(diào)信號可以具有高頻功率信號的頻率而第二解調(diào)信號可以具有調(diào)制信號的頻率。
[0031]替代地或附加地，可以調(diào)整調(diào)制信號的頻移。通過調(diào)制信號的頻移可以調(diào)節(jié)功率信號的基頻。例如，可以首先選擇相對大的頻移，然后在更好的匹配時降低所述頻移。特別地，在具有13.56MHz基頻的高頻功率信號的情況下可以使用IOkHz的調(diào)制頻率和IOOkHz的頻移。通過調(diào)制信號的首先較高的越過最小值的頻移能夠避免鎖定到(einrasten)匹配的局部最小值。在匹配變得更好時，可以減小頻移。
[0032]如上所述，可以借助阻抗匹配信號控制高頻源或阻抗匹配網(wǎng)絡。尤其，經(jīng)低通濾波的調(diào)節(jié)信號(阻抗匹配信號)可以直接輸送給電壓控制的振蕩器(Voltage ControlledOscillator VCO:壓控振蕩器)或 DDS 組件(Direct Digital Synthesizer:直接數(shù)字合成器)。通過解調(diào)，不需要作出更好的/更壞的決策。DDS組件是一種集成的開關電路，所述集成的開關電路根據(jù)“直接數(shù)字合成”方法實現(xiàn)合成器的完整的硬件。所述方法在數(shù)字信號處理中用于產(chǎn)生具有實際上任意精細的頻率分辨率的、周期性的、帶寬限制的信號。
[0033]如果多個激勵頻率參與(多個高頻功率信號)，則每個激勵頻率可以獲得其自身的調(diào)制頻率。于是，可以彼此無關地同時解調(diào)這些高頻功率信號。同樣適用于其他參數(shù)的同時調(diào)制。由此，等離子體腔室處的多個高頻源、高頻源的全橋或與過程相關的其他影響彼此獨立地被調(diào)制并正交地被解調(diào)。
[0034]另外，以下屬于本發(fā)明的范疇:具有高頻源、與高頻源連接的調(diào)制信號發(fā)生器或調(diào)制信號輸入端和解調(diào)器的高頻(HF)功率供給裝置，與由負載反射的功率有關的探測信號或由所述探測信號得到的信號和解調(diào)信號輸送給所述解調(diào)器。通過高頻源的輸出信號的頻率調(diào)制，產(chǎn)生反射的功率信號，所述反射的功率信號不僅是頻率調(diào)制的，而且是幅度調(diào)制的?？梢允紫热绱私庹{(diào)所述信號或與所述信號有關的信號，使得高頻分量被去除。尤其得到幅度調(diào)制信號的包絡。此外，涉及一種具有調(diào)制信號的頻率的信號。然后可以進一步解調(diào)所述如此得到的信號，以便由所述信號生成阻抗匹配信號，所述阻抗匹配信號可以直接控制高頻源。所述阻抗匹配信號尤其可以引起高頻源頻率被改變。由此，可以在復電阻平面中改變至少一個方向，這也導致(絕對的)匹配的改變?？梢院芸焖俚?、尤其比阻抗匹配網(wǎng)絡的阻抗的改變更快地實施頻率改變。
[0035]替代直接檢測反射的功率的信號，也可能的是，檢測另一個與反射的功率有關的參量，例如通過高頻源控制的全橋的直流電流接收的和或差。直流電流接收與反射的功率的負載角有關。因此可能的是，在全橋的直流電流接收的和、平方和或差(必要時平方差)方面探測調(diào)制頻率。這在史密斯圖中給出關于頻率改變軌跡方向的說明。
[0036]通過適合地、尤其通過復數(shù)地解調(diào)，可以得到尤其用于頻率改變的、用于更好的絕對匹配的阻抗匹配信號。
[0037]如果設置有置于解調(diào)器后面的濾波器，則可以得到具有符號的直流電壓作為阻抗匹配信號。
[0038]可以設置有第一解調(diào)器和置于第一解調(diào)器后面的第二解調(diào)器。例如，可以通過第一解調(diào)器去除探測到的信號的高頻分量。在第二解調(diào)器中，可以實施如此得到的信號與可以相應于調(diào)制信號的解調(diào)信號的混頻，以便由此得到阻抗匹配信號。
[0039]在第一解調(diào)器和第二解調(diào)器之間可以設置有電容器。由此，可以去除在第一解調(diào)器中解調(diào)的信號的直流分量，這使進一步的信號分析處理變得容易。
[0040]至少一個解調(diào)器可以構造為復解調(diào)器。
[0041]在高頻源和解調(diào)器之間可以設置有相位改變元件。這當在兩個不同的解調(diào)器中分別借助高頻功率信號的頻率解調(diào)探測到的信號時尤其有利。然后，高頻功率信號可以直接輸送給解調(diào)器，而高頻功率信號在由相位改變元件引起的相位偏移之后輸送給另外的解調(diào)器。由此，可以求得復數(shù)指針的坐標，所述坐標說明，必須如何改變匹配以便使反射的功率最小化。
[0042]替代地或附加地，可以設置有微處理器，解調(diào)器的輸出輸送給所述微處理器。微處理器可以算出，為了更好的匹配必須如何強烈地和朝哪個方向改變高頻功率信號的頻率。
[0043]當高頻源構造為VCO或DDS時，可以實施特別簡單的阻抗匹配和快速的阻抗匹配。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0044]本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點由下面根據(jù)附圖對本發(fā)明的實施例的描述并由權利要求得出，所述附圖示出本發(fā)明基本細節(jié)。在本發(fā)明的一種變型中，各個特征可以單獨地或以多個任意組合地實現(xiàn)。
[0045]在附圖中示意性地示出并且以下參考附圖詳細闡述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。附圖示出:
[0046]圖1:高頻功率供給裝置的第一實施例的示意圖；
[0047]圖2a:在圖1的A位置上出現(xiàn)的高頻功率信號；
[0048]圖2b:與反射的功率有關的幅度調(diào)制的高頻信號，在圖1的B位置上得到所述高頻信號；
[0049]圖2c:圖2b的解調(diào)信號；[0050]圖2d:圖2c的去除直流分量后的信號；
[0051]圖2e:調(diào)制信號；
[0052]圖2f:借助調(diào)制信號解調(diào)的信號；
[0053]圖2g:阻抗匹配信號；
[0054]圖3:高頻功率供給裝置的第二實施例；
[0055]圖4:高頻功率供給裝置的第三實施例。
【具體實施方式】
[0056]圖1示出具有高頻源11的高頻功率供給裝置10。通過構造為所謂的壓控振蕩器(VCO)的高頻源11生成高頻的功率信號。在本實施例中，所述高頻的功率信號輸送給放大器12并經(jīng)由阻抗匹配網(wǎng)絡13引導至等離子體腔室14，在所述等離子體腔室處借助高頻功率信號生成等離子體。
[0057]此外，高頻功率供給裝置10具有生成調(diào)制信號的調(diào)制信號發(fā)生器15。所述調(diào)制信號發(fā)生器15在本實施例中示為高頻功率供給裝置10的組成部分。然而，也可考慮，設置設有在外部的單獨的調(diào)制信號發(fā)生器15。在這種情況下，高頻功率供給裝置10具有調(diào)制信號輸入端。
[0058]調(diào)制信號經(jīng)由加法器單元16輸送給高頻源11。因此，在高頻源11的A位置上的輸出信號是頻率調(diào)制的信號。A位置上出現(xiàn)的信號示例性地在圖2a中示出。
[0059]在錯誤匹配的情況下，頻率調(diào)制的高頻功率信號根據(jù)頻率在腔室14上反射并由此獲得借助調(diào)制信號的頻率的幅度調(diào)制。所反射的高頻功率信號可以通過在實施例中構造為定向耦合器的測量裝置17檢測。因此，通過測量裝置17輸出與反射的功率相關的信號B。在圖2b中示例性地說明所述信號。
[0060]可以從圖2b得出，所述信號不僅是頻率調(diào)制的而且是幅度調(diào)制的。所述信號輸送給構造為二極管的第一解調(diào)器18。因此，通過第一解調(diào)器18得到圖2b的信號的包絡并且去除所述信號B的高頻分量。在C位置上得到的信號在圖2c中示出。在此可以看出，C位置上的信號涉及具有根據(jù)圖2a的信號的頻率調(diào)制的頻率的信號。這意味著，信號2c具有調(diào)制信號的頻率。圖2c中所示的信號也理解為與反射的功率有關的信號。
[0061]所述信號輸送給電容器19，由所述電容器濾除信號C的直流分量。由此得出圖2d中所示的信號，所述信號在圖1的D位置上得到。
[0062]又可以理解為與反射的功率有關的信號的所述信號輸送給第二解調(diào)器20。另外，調(diào)制信號發(fā)生器15的調(diào)制信號輸送給解調(diào)器20，這在圖1中通過字母E表示。所述調(diào)制信號在圖2e中示出。
[0063]因此，在解調(diào)器20中實現(xiàn)信號D和E的混頻。在解調(diào)器20中實施信號D的相位符合(Phasentreu)的解調(diào)。F位置上最終的信號在圖2f中示出。所述信號再次輸送給低通濾波器21，在其輸出端處在G位置上得到圖2g的信號。所述信號涉及阻抗匹配信號，所述阻抗匹配信號輸送給加法器單元16。信號G是隨阻抗匹配緩慢改變的直流電壓信號。由此，使調(diào)制信號因此偏移，這再次對在A位置上輸出的高頻功率信號的頻率具有影響。
[0064]通過在第二解調(diào)器20中實施相位符合的解調(diào)的方式，在G位置上產(chǎn)生直流電壓，所述直流電壓是具有符號的。因此，根據(jù)符號使調(diào)制信號正向或負向偏移，這說明高頻功率信號的頻率改變(更高的或更低的頻率)的方向。直流電壓的大小說明，以什么程度、也就是說如何劇烈地改變高頻功率信號的頻率。通過改變高頻功率信號的頻率，改善高頻功率供給裝置10的輸出阻抗與等離子體腔室14的阻抗的匹配。在此，目標是，使反射的功率最小化。
[0065]替代地或附加地，存在以下可能性:低通濾波器21的輸出信號輸送給阻抗匹配網(wǎng)絡13，并且在所述阻抗匹配網(wǎng)絡中根據(jù)阻抗匹配信號改變阻抗匹配網(wǎng)絡的各個元件的阻抗，以便改善高頻功率供給裝置10的輸出阻抗與等離子體腔室14的阻抗的阻抗匹配。
[0066]圖3中示出高頻功率供給裝置的一個替代的實施例。與圖1的元件相應的元件用相同的附圖標記表示。與先前描述的實施例不同，由測量裝置17輸出的與反射的功率有關的信號在第一解調(diào)器31和第二解調(diào)器32中解調(diào)。此外，在第一解調(diào)器31中實現(xiàn)與由高頻源11輸出的高頻功率信號的混頻。在第二解調(diào)器32中，實現(xiàn)與由相位改變元件33相位偏移的高頻功率信號的混頻。在本實施例中規(guī)定，相位改變元件33引起90°的相位偏移。涉及復數(shù)解調(diào)。因此，由測量裝置17輸出的信號借助具有相同頻率的信號解調(diào)。因此，通過解調(diào)器31、32實施零差解調(diào)。
[0067]解調(diào)器31、32的輸出信號輸送給第一分析處理單元34，在那由解調(diào)器31、32的輸出信號求得測量裝置17的輸出信號的幅值r和相位Φ。幅值r經(jīng)由可選的電容器35輸送給第三解調(diào)器36和第四解調(diào)器37。
[0068]此外，調(diào)制信號發(fā)生器15的調(diào)制信號輸送給調(diào)制器36并且由于相位改變元件38而相位偏移的調(diào)制信號輸送給解調(diào)器37。在此也實現(xiàn)復數(shù)解調(diào)(90°相位偏移的解調(diào)信號)。經(jīng)解調(diào)的信號再次輸送給第二分析處理單元39，在那求得分析處理單元34的輸出信號的幅值和相位。這些值輸送給微處理器40，所述微處理器生成阻抗匹配信號，所述阻抗匹配信號再次輸送給加法器16。
[0069]在分析處理單元39中求得的幅值r說明阻抗匹配信號是多大，而相位φ說明，必須在哪個方向上進行阻抗匹配，即調(diào)制信號必須朝哪個方向偏移。因此，微處理器40再次輸出具有符號的直流信號作為阻抗匹配信號。替代地或附加地，阻抗匹配信號可以輸送給阻抗匹配網(wǎng)絡13。
[0070]圖4示出高頻功率供給裝置50的另一種實施方式。與圖1和3的部件相應的部件用相同的參考數(shù)字表示。高頻源11的輸出信號輸送給放大器51，所述放大器具有尤其構造為全橋的第一功率單元52和同樣優(yōu)選構造為全橋的第二功率單元53。兩個功率單元52,53連接到直流供給裝置54上。此外，高頻功率信號輸送給兩個功率單元52、53，其中，在所述高頻功率信號輸送給功率單元52之前，相位改變元件55改變高頻功率信號的相位。功率單元52、53的輸出信號輸送給功率耦合器56，所述功率耦合器根據(jù)功率單元52、53輸出信號的相位耦合功率，然后經(jīng)由阻抗匹配網(wǎng)絡13輸送給等離子體腔室14。
[0071]當由于錯誤匹配在等離子體腔室14上發(fā)生功率的反射時，所述功率的反射影響功率單元52、53的電流接收，這可以通過測量裝置57、58探測。因此，功率單元52、53直流電流接收的和和/或差與反射的功率相關聯(lián)。與反射的功率有關的信號輸送給分析處理單元59，在那求得直流電流接收的和、平方和、差或平方差。
[0072]在所示的實施例中，直流電流接收的和輸送給第一解調(diào)器60并且該電流接收的差輸送給第二解調(diào)器61。此外，作為解調(diào)信號或者本地振蕩器，調(diào)制信號發(fā)生器15的調(diào)制信號輸送給這兩個解調(diào)器60、61。經(jīng)解調(diào)的信號再次輸送給微處理器62，所述微處理器從經(jīng)解調(diào)的信號生成阻抗匹配信號，所述阻抗匹配信號輸送給加法器16和/或阻抗匹配網(wǎng)絡13。
【權利要求】
1.一種用于高頻(HF)功率供給裝置(10，30，50)與負載(14)阻抗匹配的方法，所述方法具有以下方法步驟: a.借助調(diào)制頻率的調(diào)制信號(E)對高頻功率信號進行頻率調(diào)制； b.探測與由所述負載反射的功率有關的信號(B); c.借助解調(diào)頻率的解調(diào)信號解調(diào)探測到的信號(B)或由所述探測到的信號得到的信號(C，D)； d.由經(jīng)解調(diào)的信號(F)產(chǎn)生阻抗匹配信號(G)。
2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，借助所述調(diào)制信號(E)實現(xiàn)所述解調(diào)。
3.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述調(diào)制信號(E)是正弦形或矩形的。
4.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，零差解調(diào)所述探測到的信號(B)或由所述探測到的信號(C、D)得到的信號。
5.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，在所述解調(diào)之前實現(xiàn)將所述探測到的信號(B)混頻到中間頻率上。
6.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，復數(shù)解調(diào)所述探測到的信號(B)或由所述探測到的信號得到的信號。
7.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，借助第一解調(diào)信號解調(diào)所述探測到的信號(B)或由所述探測到的信號得到的信號，并且借助第二解調(diào)信號解調(diào)經(jīng)解調(diào)的信號。
8.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，借助第一解調(diào)信號和第二解調(diào)信號解調(diào)所述探測到的信號(B)。
9.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述第一解調(diào)信號的頻率和所述第二解調(diào)信號的頻率不同。
10.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述第一解調(diào)信號的頻率和所述第二解調(diào)信號的頻率相同，而這些信號是相位偏移的。
11.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，調(diào)整所述調(diào)制信號(F)的頻移。
12.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，借助阻抗匹配信號(G)控制高頻源(11)或阻抗匹配網(wǎng)絡(13)。
13.—種高頻(HF)功率供給裝置(10，30，50)，其具有高頻源(11 )、與所述高頻源(11)連接的調(diào)制信號發(fā)生器(15)或調(diào)制信號輸入端、解調(diào)器(18，20，31，32，36，37，60，61)，與由負載反射的功率有關的探測信號或由所述探測信號得到的信號和解調(diào)信號輸送給所述解調(diào)器。
14.根據(jù)權利要求13所述的高頻功率供給裝置，其特征在于，設置有置于所述解調(diào)器(20)后面的濾波器(21)。
15.根據(jù)權利要求13或14所述的高頻功率供給裝置，其特征在于，設置有第一解調(diào)器和置于所述第一解調(diào)器(18，31，32)后面的第二解調(diào)器(20，36，37)。
16.根據(jù)權利要求13至15中任一項所述的高頻功率供給裝置，其特征在于，在所述第一解調(diào)器和所述第二解調(diào)器(18，20 )之間設置有電容器(19 )。
17.根據(jù)權利要求13至16中任一項所述的高頻功率供給裝置，其特征在于，至少一個解調(diào)器構造為復解調(diào)器。
18.根據(jù)權利要求13至17中任一項所述的高頻功率供給裝置，其特征在于，在所述高頻源(11)和解調(diào)器之間設置有相位改變元件(33 )。
19.根據(jù)權利要求13至18中任一項所述的高頻功率供給裝置，其特征在于，設置有微處理器(40， 62 )，解調(diào)器(61，62 )的輸出輸送給所述微處理器。
20.根據(jù)權利要求13至19中任一項所述的高頻功率供給裝置，其特征在于，所述高頻源(11)構造為VCO或DDS。
【文檔編號】H01J37/32GK103765772SQ201280030006
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2012年4月13日 優(yōu)先權日:2011年4月18日
【發(fā)明者】C·博克, M·格呂克, F·邁爾 申請人:通快許廷格兩合公司