專利名稱：一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)。所提供的樣品臺(tái)可用于涉及到掃描電鏡測(cè)試的科學(xué)研究和生產(chǎn)的領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
掃描電鏡在高等院校、科研院所、大型企業(yè)的科學(xué)研究和生產(chǎn)領(lǐng)域等應(yīng)用越來越廣泛，已經(jīng)成為應(yīng)用較多的科學(xué)研究方法之一?；趻呙桦婄R進(jìn)行測(cè)試和研究的應(yīng)用范圍很廣，主要集中在薄膜、粉體、塊體等樣品的微觀表面或截面形貌觀察以及樣品成分測(cè)定等。在進(jìn)行測(cè)試時(shí)需要將樣品用導(dǎo)電膠固定在特定的樣品臺(tái)上，目前應(yīng)用的樣品臺(tái)功能單一，做樣品表面形貌測(cè)試和樣品截面形貌測(cè)試要分別用對(duì)應(yīng)的樣品臺(tái)，并且對(duì)于目前應(yīng)用的截面樣品臺(tái)能放的樣品較少，在樣品較多時(shí)，就需要分多次來測(cè)試，另外有些掃描電鏡沒有樣品架的傾斜功能，這樣采用目前的樣品臺(tái)就不能夠進(jìn)行一定傾斜角的測(cè)試。由于掃描電鏡的測(cè)試一方面是要把樣品放在真空室中，在開始測(cè)試前要先花費(fèi)一定時(shí)間用于抽真空，另一方面是樣品需要具有導(dǎo)電性能，如果樣品不導(dǎo)電，就要進(jìn)行噴金或噴碳處理，因此，如果要對(duì)樣品的表面形貌和截面形貌以及傾斜角形貌都進(jìn)行測(cè)試，就要分多次分別進(jìn)行，這樣的話就需要多次抽真空和多次噴金處理，導(dǎo)致測(cè)試時(shí)間的延長(zhǎng)和成本的提高。本實(shí)用新型提供了一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征一是能分別用于表面、截面、不同傾斜角的測(cè)試，二是能同時(shí)用于表面、截面、不同傾斜角的測(cè)試，三是能實(shí)現(xiàn)不同高度的樣品同批次測(cè)試等。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的在于提供一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)，使用該樣品臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的表面、截面、不同傾斜角、不同高度的測(cè)試同批次進(jìn)行，達(dá)到縮短掃描電鏡測(cè)試的時(shí)間以及降低測(cè)試成本的目的。
1、本實(shí)用新型涉及一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)，該樣品臺(tái)所用材質(zhì)為導(dǎo)電性好的銅或招。2、該樣品臺(tái)由一個(gè)圓形基板、幾個(gè)長(zhǎng)方體塊和一個(gè)長(zhǎng)方形平板幾部分組成。圓形基板用來進(jìn)行樣品的表面測(cè)試以及固定其他部件；長(zhǎng)方體塊可以用來進(jìn)行樣品的表面、截面和不同高度樣品的測(cè)試；長(zhǎng)方形平板可以用來進(jìn)行樣品的不同傾斜角測(cè)試。3、在圓形基板上固定多個(gè)長(zhǎng)方體塊，可以滿足較多樣品的表面和截面測(cè)試；將幾個(gè)長(zhǎng)方體塊疊加在一起時(shí)，可以滿足高度不同的樣品的測(cè)試；以一個(gè)長(zhǎng)方體塊作為支撐，將長(zhǎng)方形平板用導(dǎo)電膠傾斜著固定在圓形基板上時(shí)，通過調(diào)整支撐點(diǎn)的位置，可以滿足樣品的不同傾斜角測(cè)試。

圖1為同批次進(jìn)行樣品表面、截面和30°傾斜角測(cè)試用的樣品臺(tái)；[0008]圖2為同批次進(jìn)行不同高度樣品測(cè)試用的樣品臺(tái)。具體實(shí)施方案實(shí)施例1對(duì)于要求直徑為50mm圓形樣品臺(tái)的掃描電鏡，如果要同批次進(jìn)行樣品表面、截面、30°傾斜角的測(cè)試，可以使用如下的樣品臺(tái):(I) 一個(gè)圓形基板,直徑Φ為50mm,厚度d為2mm,兩個(gè)長(zhǎng)方體塊,其尺寸分別為4mmX4mmX40mm 和 2_X 2_X 20mm, —個(gè)長(zhǎng)方形平板，尺寸為 40mmX 30mmX 1mm。(2)將尺寸為4mmX4mmX40mm的長(zhǎng)方體塊用導(dǎo)電膠粘到圓形基板上，長(zhǎng)方體塊的上表面可以固定表面測(cè)試的樣品，長(zhǎng)方體塊的側(cè)面可以固定截面測(cè)試的樣品。(3)將尺寸為2mmX2mmX20mm的長(zhǎng)方體塊用導(dǎo)電膠粘到圓形基板上，然后以此作為支撐，將尺寸為40mmX30mmX Imm的長(zhǎng)方形平板用導(dǎo)電膠傾斜著固定到圓形基板上，通過調(diào)整支撐點(diǎn)的位置，使長(zhǎng)方形平板的傾斜角為30°，長(zhǎng)方形平板表面可以固定要進(jìn)行30°傾斜角測(cè)試的樣品。該樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)圖見附圖1。實(shí)施例2對(duì)于要求直徑為50mm圓形樣品臺(tái)的掃描電鏡，如果要同批次進(jìn)行高度不同的樣品的測(cè)試，如一個(gè)為塊體樣品，其高度為10_，另一個(gè)樣品為薄膜樣品，可以使用如下的樣品臺(tái):(I) 一個(gè)圓形基板，直徑Φ為50mm,厚度d為2mm,兩個(gè)長(zhǎng)方體塊，其尺寸為5mmX 5mmX 50mmο(2)將兩個(gè)尺寸為5mmX5mmX50mm的長(zhǎng)方體塊用導(dǎo)電膠重疊粘到一起，再用導(dǎo)電膠將其固定到圓形基板上，長(zhǎng)方體塊的上表面可以固定表面測(cè)試的薄膜樣品，長(zhǎng)方體塊的側(cè)面可以固定截面測(cè)試的薄膜樣品，高度為IOmm的待測(cè)塊體樣品直接用導(dǎo)電膠固定在圓形基板上。該樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)圖見附圖2。
權(quán)利要求1.一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于:該樣品臺(tái)由一個(gè)圓形基板、幾個(gè)長(zhǎng)方體塊和一個(gè)長(zhǎng)方形平板幾部分組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于:圓形基板用來進(jìn)行樣品的表面測(cè)試以及固定用于進(jìn)行截面測(cè)試的長(zhǎng)方體塊；長(zhǎng)方體塊可以用來進(jìn)行樣品的表面、截面和不同高度樣品的測(cè)試；長(zhǎng)方形平板可以用來進(jìn)行樣品的不同傾斜角測(cè)試。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于:該樣品臺(tái)的材質(zhì)為銅或招。·
專利摘要本實(shí)用新型目的在于提供一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)，使用該樣品臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的表面、截面、不同傾斜角、不同高度的測(cè)試同批次進(jìn)行，達(dá)到節(jié)省掃描電鏡測(cè)試時(shí)間以及降低測(cè)試成本的目的。其特征是該樣品臺(tái)由一個(gè)圓形基板，幾個(gè)長(zhǎng)方體塊，一個(gè)長(zhǎng)方形平板幾部分組成。圓形基板用來進(jìn)行樣品的表面測(cè)試以及固定其他部件；長(zhǎng)方體塊可以用來進(jìn)行樣品的表面、截面和不同高度樣品的測(cè)試，長(zhǎng)方形平板可以用來進(jìn)行樣品的不同傾斜角測(cè)試。摘要附圖為能夠同批次進(jìn)行樣品表面、截面、30°傾斜角的測(cè)試的樣品臺(tái)設(shè)計(jì)圖。所提供的多功能掃描電鏡樣品臺(tái)在涉及到掃描電鏡測(cè)試的科學(xué)研究和生產(chǎn)的領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用價(jià)值。
文檔編號(hào)H01J37/20GK203134751SQ20122066692
公開日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月30日
發(fā)明者楊海剛, 曹偉偉, 張基東, 蔣玉榮, 王天興, 常方高 申請(qǐng)人:河南師范大學(xué)