專利名稱：基板檢測及修補裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及ー種基板檢測及修補裝置，是ー種點亮基板并對其進行檢查，對檢查后發(fā)現(xiàn)的缺陷進行修補的基板檢測及修補裝置。
背景技術：
平板顯示器大致分為液晶顯示器(LCD :Liquid Crystal Display),等離子顯示器(F1DP=Plasma Display Panel),發(fā)光二極管(LED :Light_Emitting Diode)顯不器，有機發(fā)光二極管(0LED Organic Light-Emitting Diode)顯不器等。有機發(fā)光二極管顯示器具有低電壓驅動，發(fā)光效率高，視野角廣，反應速度快等優(yōu)點，作為新一代平板顯示器，因可顯示高清晰影像而備受矚目?！び袡C發(fā)光二極管顯示器的制造エ序中包括檢測エ序和修補(Itepair)エ序。檢測エ序是向形成在基板上的陽極線和陰極線供給電源，對基板的缺陷進行檢查，修補エ序是利用激光對檢測出的基板上的缺陷部位進行修補。制造平板顯示器吋，要在檢測裝置上對基板有無缺陷進行檢測，發(fā)現(xiàn)基板存有缺陷，需將基板移送至修補裝置，以對基板的缺陷部位進行修補。然后，將修補后的基板重新移送至檢測裝置，對其進行復檢。即，缺點是要分別配備檢測裝置和修補裝置，且為完成基板檢測一修補一復檢，還需移送基板，進而導致生產(chǎn)性能低下。為解決上述問題而開發(fā)了ー種實現(xiàn)檢測裝置和修補裝置一體化的檢測及修補裝置。但是，現(xiàn)有的基板檢測及修補裝置的特點在于，與基板陽極線和陰極線相連接并為基板供給電源的探頭(Probe)位置是固定的，這樣就需要從下往上移送基板，而使基板的陽極線和陰極線連接到探頭上。即，現(xiàn)有的基板檢測及修補裝置的缺點是需要與基板移送空間大小相當?shù)陌惭b空間。另外，缺點還在于，因需要移動基板的聞價裝置，進而提聞成本。

發(fā)明內容
本發(fā)明為解決上述現(xiàn)有技術中存在的問題而進行了研究，其目的在于提供ー種可減少安裝空間，同時又能降低成本的基板檢測及修補裝置。為達上述目的，本發(fā)明提供的基板檢測及修補裝置，其特點在于，包括工作臺；檢測單元，被安裝在上述工作臺上，搭載并支撐形成有陽極線和陰極線的基板，還具有向上述基板供給電源的多個探頭(Probe)，以檢測上述基板是否存有缺陷；修補單元，被安裝在工作臺上，能夠在X軸方向和Y軸方向移動，對上述基板的缺陷部位進行修補，其中，上述探頭位于上述基板的下方，可進行升降，以實現(xiàn)與上述基板的上述陽極線和上述陰極線的連接或不連接。本發(fā)明提供的基板檢測及修補裝置的效果在干基板固定并支撐在檢測單元上，檢測單元的探頭在基板下方升降，從而實現(xiàn)與基板電極線的連接與不連接。即，升降的探頭的尺寸和體積較小，探頭又安置在檢測單元內部，因此，能夠減少基板檢測及修補裝置的安裝空間。另外，其效果還在于無需使用高價的基板移動裝置，可降低基板檢測及修補裝置的成本。


圖1為本發(fā)明的一實施例所示的基板檢測及修補裝置的立體圖。圖2為圖1所示檢測單元的放大立體圖。圖3為圖2所示按壓板向外側移動的狀態(tài)示意立體圖。圖4為圖3的“A”部的放大圖。 圖5為圖4所示探頭的截面圖。附圖標記100:工作臺200 :檢測單元261 :探頭271 :按壓板300 :修補單元
具體實施例方式下面，將參照附圖舉例說明本發(fā)明可實施的特定實施例。本發(fā)明的各種實施例雖有所不同，但相互之間并不排斥。為使本領域技術人員能夠充分實施本發(fā)明，將對這些實施例作以詳細說明。例如，這里所記載的特定形狀，特定結構和特性與一實施例相關，且在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下，也可由其他的實施例來體現(xiàn)。另外，各自公開的實施例中的個別結構組成部分的位置或配置，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下也可進行變動。因此，后述詳細說明并無限定之意，只要合理說明，本發(fā)明的范圍則僅限定干與其權利要求所主張的內容等同的所有范圍以及附加的權利要求。為方便起見，也有可能會夸張地表現(xiàn)附圖所示實施例的長度、面積、厚度及形態(tài)。以下，結合附圖詳細說明本發(fā)明的一實施例的基板檢測及修補裝置。圖1為本發(fā)明的一實施例所示的基板檢測及修補裝置的立體圖。如圖1所示，本發(fā)明基板檢測與修補裝置包括工作臺100，檢測單元200和修補單元300。檢測單元200安裝在工作臺100上面，用于搭載并支撐著基板50。檢測單元200包括，向基板50供給電源并點亮基板的各個像素以檢測基板50是否存在缺陷的探頭(Probe)261 (參照圖4)。這時，基板50的一側和另一側外緣部上形成有與探頭261相連接以接收電源供給的陽極線和陰極線。以下，稱基板50上形成的陽極線與陰極線為‘電極線’。修補單元300安裝在工作臺100上，可實現(xiàn)X軸方向和Y軸方向的移動，對基板50的點缺陷(Point Defect)部位或線缺陷(Line Defect)部位進行修補。參照圖2至圖4來說明本實施例所示檢測單元200。圖2為圖1所示檢測單元的放大立體圖。圖3為圖2所示按壓板向外側移動的狀態(tài)示意立體圖。圖4為圖3的“A”部的放大圖。如圖所示，檢測單元200包括安裝在工作臺100 (參照圖1)上的底座210。底座210的中央部安裝有長度方向與X軸方向平行的第一支撐塊220，第一支撐塊220上搭載并支撐著需要檢測或修補的基板50 (參照圖1)的中央部。第一支撐塊220上安裝有第一鉗位器231。第一鉗位器231由相互對置的ー對構成，其中一個安裝在第一支撐塊220的一端，另ー個安裝在第一支撐塊220的另一端。第一鉗位器231以相互靠近或遠離方式運動，來支持與X軸方向垂直的基板50的ー個側面和另ー個側面。第一支撐塊220上安裝有電機233，電機233上連接有滾珠絲杠，上述滾珠絲杠上安裝有第一鉗位器231。因此，電機233帶動上述滾珠絲杠正反旋轉時，第一鉗位器231則也會隨滾珠絲杠而做直線往返運動。底座210上安裝有ー對第二支撐塊240。第二支撐塊240隔著第一支撐塊220分別安裝在第一支撐塊240的一側和另一側的底座210部位上。S卩，以第一支撐塊220為準，其中ー個第二支撐塊240安裝在Y軸正方向上，另ー個第二支撐塊240安裝在Y軸負方向 上。第二支撐塊240的長度方向與X軸方向保持平行的同時，與第一支撐塊220也保持平行。第二支撐塊240可沿Y軸方向移動，以相互靠近并遠離的形態(tài)進行運動，搭載并支撐與Y軸方向垂直的基板50的一側和另一側外緣部。第二支撐塊240被分別安裝在底板243上，底座210上分別安裝有支撐底板243的支撐導軌245。另外，底板243與支撐導軌245通過LM導軌等來連接，底板243隨支撐導軌245做直線運動。這樣，第二支撐塊240以相互靠近或遠離的方式，即以靠近或遠離第一支撐塊220的方式進行移動。第二支撐塊240上分別安裝有第二鉗位器251。在ー個第二支撐塊240與另ー個第二支撐塊240上分別安裝多個第二鉗位器251，其與第二支撐塊240 —同運動來支撐與Y軸方向垂直的基板50的ー個側面和另ー個側面。相互對向的ー對第一鉗位器231之間的距離可變，分別安裝有第二鉗位器251的ー對相互對置的第二支撐塊240的距離也可變，可用來支撐具有各種尺寸的基板50?；?0 是有機發(fā)光二極管(OLED :0rganic Light-Emitting Diode)顯示器時，只有通過上述電極線供給電源，才能檢測基板50是否存在缺陷。為此，本實施例所示的檢測單元200上安裝有與基板50的電極線相連接的多個探頭261。探頭261位于搭載并支撐在檢測單元200上的基板50的下方，可升降而與基板的上述電極線進行連接或不進行連接。探頭261被分別安裝在第二支撐塊240上，在與第二支撐塊240 —同運動的同時，可面向第二支撐塊240進行升降。以下，對探頭261的升降結構作以說明。第二支撐塊240上分別安裝有升降板263，升降板263上可拆卸地分別結合有支撐架265。這時，升降板263與第二支撐塊240 —同運動的同時，可相對于第二支撐架240進行升降。另外，支撐架265與升降板263 —同運動。升降板263由氣缸(無圖示)等來帶動升降。支撐架265上分別安裝有多個探頭261。因此，升降板263升降的同時，支撐架265也會升降，且隨著支撐架265的升降，探頭261也會升降，以與基板50的上述電極線進行連接或不進行連接。通過探頭261向基板50供給電源時，未發(fā)光的基板50部位或未顯示所需顏色的基板50部位即為缺陷部位?；?0支撐并固定在檢測單元200上，尺寸和體積比基板50小的探頭261升降并與基板50進行連接或不進行連接，故本實施例所示的基板檢測及修補裝置，可在相對小的空間內安裝。探頭261的上升距離由控制部(未圖示)來適當控制。但是，如果探頭261被固定在支撐架265上，在探頭261與基板50連接的狀態(tài)下，探頭261與基板50之間的作用カ處于規(guī)定值以上時，會導致探頭261受損。為防止該現(xiàn)象的發(fā)生，探頭261被設置成能夠相對于支撐架265進行升降。另外，如圖5所示，在支撐架265上安裝有對探頭261向基板50側進行弾性支撐的彈性支撐構件267。這樣，即使探頭261已經(jīng)連接到基板50上，如果探頭261持續(xù)上升，則探頭261會下降，從而防止探頭261受損。探頭261由彈性支撐構件267牢牢地連接到基板50上。探頭261上升并連接到基板50上時，若基板50也因探頭261而上升，探頭261與基板50將無法牢固連接。為防止該現(xiàn)象的發(fā)生，本實施例所示的檢測單元200上安裝有可升降井向下按壓基板50的按壓板271。按壓板271在與第二支撐塊240 —同運動的同時，還可相對于第二支撐塊240進行升降，從而向下按壓基板50上面的外緣部側。具體為，底板243上安裝有支撐導軌273，支撐導軌273上安裝有水平支撐板275a，水平支撐板275a上安裝有垂直支撐板275b。另外，垂直支撐板275b上安裝著通過氣缸(無圖示)進行升降的按壓板271。這樣，通過用機械臂等支撐使基板50搭載并支撐在第一和第二支撐塊220、240上，則第一鉗位器231以相互靠近的方式移動，第二支撐塊240以相互靠近的方式移動，從而支撐基板50。在這種狀態(tài)下，按壓板271下降并對基板50進行按壓支撐，則探頭261上升而連接到基板50。因此，探頭261能夠牢固地連接到基板50上。水平支撐板275a獨立于第二支撐塊240的直線運動，而單獨沿著與第一支撐塊220靠近或遠離的方向、即Y軸方向做直線運動。為此，支撐導軌273與水平支撐板275a 通過LM導軌而相互連接，水平支撐板275a可沿著支撐導軌273做直線運動。因此，按壓板275a與第二支撐塊240的直線運動獨立地進行直線運動。在修理或替換探頭261吋，因安裝有探頭261的支撐架265是可拆卸地結合到第ニ支撐塊240上，因此，如圖3所示，在朝第一支撐塊220的外側移動水平支撐板275a的狀態(tài)下，即可替換支撐架265。底板243上形成第一檔塊243a和第二檔塊243b。第一檔塊243a限定朝靠近第一支撐塊220的方向運動的水平支撐板275a的移動距離，第二檔塊243b限定朝遠離第一支撐塊220的方向運動的水平支撐板275a的移動距離。即，第一檔塊243a與第二檔塊243b限定因水平支撐板275a而做直線運動的按壓板271的移動距離。另外，使按壓板271做直線運動的水平支撐板275a上形成沿水平支撐板275a的直線運動方向而卡到第一檔塊243a或第二檔塊243b上的凸起275aa。圖5中未說明的標號261a是向探頭261供給電源的電線。本實施例所示的基板檢測與修補裝置，其基板50被支撐并固定在檢測單元200上，檢測單元200的探頭261在基板50的下方升降并與基板50的上述電極線進行連接或不進行連接。即，升降的探頭261與基板50相比具有小尺寸和小體積，且探頭261被安裝在檢測單元200的內部，所以可安裝在狹窄的空間內。另外，無需移動基板50的附加裝置，進而降低成本。綜上所述，結合最佳實施例及附圖而作以詳細說明，但并不以此為限，凡具備本發(fā) 明所屬技術領域內一般知識的技術人員，均可在不脫離本發(fā)明精神的范圍內，進行各種變形和變動。這些變形例和變動例均被看作包含在本發(fā)明及權利要求范圍之內。
權利要求
1.一種基板檢測及修補裝置，其特征在于，包括 工作臺； 檢測單元，被安裝在所述工作臺上，搭載并支撐形成有陽極線和陰極線的基板，且具有向所述基板供給電源的多個探頭，以檢測所述基板是否存在缺陷 '及 修補單元，以能夠沿X軸方向和Y軸方向移動的方式安裝在所述工作臺上，對所述基板的缺陷部位進行修補； 所述探頭位于所述基板的下方，可進行升降，并與所述陽極線和所述陰極線進行連接或不進行連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的基板檢測及修補裝置，其特征在于，所述檢測單元包括 底座，設置在上述工作臺上； 第一支撐塊，以長度方向平行于X軸方向的方式設置在所述底座上，用于搭載并支撐所述基板的中央部側； 一對第二支撐塊，隔著所述第一支撐塊分別設置在所述第一支撐塊的一側和另一側的所述底座部位上，且長度方向與X軸方向平行，能夠沿Y軸方向移動，并以相互靠近或遠離的方式移動，用于搭載并支撐與Y軸方向垂直的所述基板的一側和另一側的外緣部； 一對第一鉗位器，設置在所述第一支撐塊的一端和另一端，以相互靠近或遠離的方式移動，并分別對與X軸方向垂直的所述基板的一側面和另一側面進行支撐；以及 第二鉗位器，分別設置在所述第二支撐塊上以與所述第二支撐塊一同移動，并分別對與Y軸方向垂直的所述基板的一側面和另一側面進行支撐。
3.根據(jù)權利要求2所述的基板檢測及修補裝置，其特征在于 所述探頭分別設置在所述第二支撐塊一側，與所述第二支撐塊一同運動，并且，可相對于所述第二支撐塊進行升降。
4.根據(jù)權利要求3所述的基板檢測及修補裝置，其特征在于 在所述第二支撐塊上分別設置有升降板，所述升降板在與所述第二支撐塊一同移動的同時，可相對于所述第二支撐板進行升降， 所述升降板上分別可拆卸地結合有支撐架， 所述支撐架上分別支撐并設置有多個所述探頭。
5.根據(jù)權利要求4所述的基板檢測及修補裝置，其特征在于 所述探頭設置成可升降設置在支撐架， 在所述支撐架上設置有朝向基板一側彈性支撐所述探頭的彈性支撐構件。
6.根據(jù)權利要求4所述的基板檢測及修補裝置，其特征在于 所述第二支撐塊上分別安裝有多個按壓板，該按壓板在分別與所述第二支撐塊一同移動的同時，可相對于第二支撐架進行升降，并向下按壓所述基板的上面外緣部。
7.根據(jù)權利要求6所述的基板檢測及修補裝置，其特征在于 所述按壓板設置成，能夠與所述第二支撐塊的移動獨立地沿Y軸方向進行直線移動。
8.根據(jù)權利要求7所述的基板檢測及修補裝置，其特征在于 所述底座上設置有能夠沿Y軸方向移動的底板， 所述底板上設置有所述第二支撐塊， 所述底板上形成第一檔塊和第二檔塊，該第一檔塊用于限定朝所述第二支撐塊靠近的方向移動的所述按壓板的移動距離，該第二檔塊用于限定朝遠離所述第二支撐塊的方向移動的所述按壓板的移動距離。
9.根據(jù)權利要求8所述的基板檢測及修補裝置，其特征在于 在所述按壓板上形成有沿所述按壓板的移動方向而卡到所述第一檔塊和所述第二檔塊上的凸起。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基板檢測及修補裝置。根據(jù)本發(fā)明的基板檢測及修補裝置，基板支撐并固定在檢測單元上，檢測單元的探頭在基板的下方升降并與基板的電極線進行連接或不進行連接。即，升降的探頭相對于基板具有小尺寸、小體積，且探頭被安裝在檢測單元的內部，因此，具有可減少基板檢測及修補裝置安裝空間的效果。另外，無需設置用于移動基板的高價裝置，有降低基板檢測及修補裝置成本的效果。
文檔編號H01J9/42GK103021896SQ20121034829
公開日2013年4月3日 申請日期2012年9月18日 優(yōu)先權日2011年9月20日
發(fā)明者金顯正, 姜道煥, 趙啟峰, 池泳洙 申請人:燦美工程股份有限公司