專利名稱：一種等離子刻蝕用夾緊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及光電技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種等離子刻蝕用夾緊裝置。
背景技術(shù)：
在太陽能電池片生產(chǎn)過程中，經(jīng)過磷擴(kuò)散的硅片，不僅在硅片的表面形成了 PN 結(jié)，并且硅片的四周邊緣也形成了 PN結(jié)，四周邊緣的PN結(jié)會造成電池的短路，通過等離子刻蝕可以將四周邊緣的N型層去除掉。為了使等離子刻蝕僅作用于硅片的四周邊緣，先將多個硅片重合疊放，分別在最上面和最下面不與其他硅片接觸的硅片表面上放置兩塊環(huán)氧樹脂板，使所有的硅片只露出硅片的四周邊緣，并且通過裝置將環(huán)氧樹脂板進(jìn)行夾緊，進(jìn)而使硅片與硅片之間緊密接觸， 這樣在對硅片的四周邊緣進(jìn)行等離子刻蝕的時候才不會對硅片的正反表面造成傷害。在等離子刻蝕過程中由于受到高溫等離子體粒子的撞擊，環(huán)氧樹脂板的邊緣及表面的保護(hù)漆被刻蝕掉，導(dǎo)致環(huán)氧樹脂板邊緣不平整，而且內(nèi)部材質(zhì)會較容易產(chǎn)生顆粒物。由于環(huán)氧樹脂板的四周邊緣和與其接觸的硅片的邊緣相重疊，環(huán)氧樹脂板邊緣的不平整會導(dǎo)致硅片邊緣過刻，影響最終太陽能電池的效率；并且環(huán)氧樹脂板內(nèi)部材質(zhì)產(chǎn)生的顆粒物漂浮在刻蝕環(huán)境中，在完成刻蝕后利用真空泵抽離等離子體的過程中，會將顆粒物一并抽入真空泵中，真空泵體內(nèi)積累大量的沉積物，導(dǎo)致真空泵運轉(zhuǎn)困難。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種等離子刻蝕用夾緊裝置，以解決環(huán)氧樹脂板在長期刻蝕環(huán)境下遭到損壞后降低太陽能電池效率以及環(huán)氧樹脂板內(nèi)部材質(zhì)產(chǎn)生的顆粒物造成真空泵運轉(zhuǎn)困難的問題。為解決上述問題，本實用新型提出了一種等離子刻蝕用夾緊裝置，所述等離子刻蝕用夾緊裝置包括第一夾具、與所述第一夾具形狀相同的第二夾具、兩個連接桿、兩個緊固元件，所述第一夾具和所述第二夾具的兩側(cè)均具有孔洞，所述兩個連接桿的一端分別固定在所述第一夾具的兩個孔洞內(nèi)，所述兩個連接桿的另一端分別穿過所述第二夾具的兩個孔洞，所述第二夾具通過所述緊固元件與所述兩個連接桿活動連接，所述等離子刻蝕用夾緊裝置還包括兩個表面光滑的石英夾板，所述石英夾板能放入所述第一夾具和所述第二夾具之間，并且兩個所述石英夾板分別與所述第一夾具和所述第二夾具緊密接觸。優(yōu)選地，所述石英夾板的厚度為6mm至8mm。優(yōu)選地，所述緊固裝置為螺母。優(yōu)選地，兩個所述石英夾板之間安置有重合疊放的多個硅片。優(yōu)選地，所述石英夾板為正方體。優(yōu)選地，所述石英夾板的邊沿和與其接觸的硅片的邊沿重疊。優(yōu)選地，所述等離子刻蝕用夾緊裝置還包括把手，所述把手固定在所述第二夾具的上表面。[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的等離子刻蝕用夾緊裝置，通過兩個表面光滑的石英夾板將多個重疊在一起的硅片夾緊，防止等離子刻蝕對硅片的正反表面造成傷害。 石英板表面光滑，不會產(chǎn)生縫隙，能夠保證硅片的刻蝕效果良好；此外，石英板在長期使用過程中，刻蝕中的高溫等離子體粒子不會對石英板造成邊緣破損；更不會產(chǎn)生石英顆粒而保證真空泵運轉(zhuǎn)正常。

圖1為本實用新型實施例提供的等離子刻蝕用夾緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的石英夾板以及硅片的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的使用等離子刻蝕用夾緊裝置夾緊硅片的正視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的等離子刻蝕用夾緊裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。本實用新型的核心思想在于，提供一種等離子刻蝕用夾緊裝置，通過兩個表面光滑的石英夾板將多個重疊在一起的硅片夾緊，防止等離子刻蝕對硅片的正反表面造成傷害。石英板表面光滑，不會產(chǎn)生縫隙，能夠保證硅片的刻蝕效果良好；此外，石英板在長期使用過程中，刻蝕中的高溫等離子體粒子不會對石英板造成邊緣破損；更不會產(chǎn)生石英顆粒而保證真空泵運轉(zhuǎn)正常。圖1為本實用新型實施例提供的等離子刻蝕用夾緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖1， 所述等離子刻蝕用夾緊裝置10包括第一夾具11、與所述第一夾具11形狀相同的第二夾具 11’、兩個連接桿12、兩個緊固元件13，所述第一夾具11和所述第二夾具11’的兩側(cè)均具有孔洞(圖中未示出)，所述兩個連接桿12的一端分別固定在所述第一夾具11的兩個孔洞內(nèi)，所述兩個連接桿12的另一端分別穿過所述第二夾具11’的兩個孔洞，所述第二夾具11’ 通過所述緊固元件13與所述兩個連接桿12活動連接，所述等離子刻蝕用夾緊裝置10還包括兩個表面光滑的石英夾板14，所述石英夾板14能放入所述第一夾具11和所述第二夾具 11’之間，并且兩個所述石英夾板14分別與所述第一夾具11和所述第二夾具11’緊密接觸。在本實施中，石英夾板14的厚度為6mm至8mm，所述緊固元件13為螺母，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，所述緊固元件13不僅僅可以是螺母，還可以是其他能夠起到緊固作用的器械結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步地，所述等離子刻蝕用夾緊裝置10還包括把手15，所述把手15固定在所述第二夾具11’的上表面。通過握住把手15可以將等離子刻蝕用夾緊裝置10平穩(wěn)放入等離子刻蝕反應(yīng)室。圖2為本實用新型實施例提供的石英夾板以及硅片的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖2， 所述石英夾板14的邊沿和與其接觸的硅片21的邊沿重疊，在本實施例中，所述石英夾板14
4為正方體。所述石英夾板14的表面剛好能把硅片的表面完全覆蓋掉。圖3為本實用新型實施例提供的使用等離子刻蝕用夾緊裝置夾緊硅片的正視結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖3，先將多個硅片21重合疊放，分別在最上面和最下面不與其他硅片21 接觸的硅片21表面上放置兩塊石英夾板14，使所有的硅片21只露出硅片21的四周邊緣， 將所有的硅片21以及兩塊石英夾板14放置在所述第一夾具11上，此時收緊緊固元件13 使第二夾具11’朝貼近硅片21的方向運動，夾緊石英夾板14，進(jìn)一步夾緊所有的硅片21， 使硅片21與硅片21之間緊密接觸，這樣在對硅片21的四周邊緣進(jìn)行等離子刻蝕的時候才不會對硅片21的正反表面造成傷害。將等離子刻蝕用夾緊裝置10連同其夾緊的多個硅片21平穩(wěn)放入等離子刻蝕反應(yīng)室的支架上，關(guān)好反應(yīng)室的蓋子，刻蝕過程在反應(yīng)室內(nèi)完成。石英板表面光滑，不會產(chǎn)生縫隙，能夠保證硅片的刻蝕效果良好；此外，石英板在長期使用過程中，由于石英具有耐高溫耐沖擊的特性，刻蝕中的高溫等離子體粒子不會對石英板造成邊緣破損；更不會產(chǎn)生石英顆粒而保證真空泵運轉(zhuǎn)正常。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，包括第一夾具、與所述第一夾具形狀相同的第二夾具、兩個連接桿、兩個緊固元件，所述第一夾具和所述第二夾具的兩側(cè)均具有孔洞，所述兩個連接桿的一端分別固定在所述第一夾具的兩個孔洞內(nèi)，所述兩個連接桿的另一端分別穿過所述第二夾具的兩個孔洞，所述第二夾具通過所述緊固元件與所述兩個連接桿活動連接，所述等離子刻蝕用夾緊裝置還包括兩個表面光滑的石英夾板，所述石英夾板能放入所述第一夾具和所述第二夾具之間，并且兩個所述石英夾板分別與所述第一夾具和所述第二夾具緊密接觸。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述石英夾板的厚度為 6mm 至 8mm0
3.如權(quán)利要求1所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述緊固裝置為螺母。
4.如權(quán)利要求1所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，兩個所述石英夾板之間安置有重合疊放的多個硅片。
5.如權(quán)利要求4所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述石英夾板為正方體。
6.如權(quán)利要求5所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述石英夾板的邊沿和與其接觸的硅片的邊沿重疊。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述等離子刻蝕用夾緊裝置還包括把手，所述把手固定在所述第二夾具的上表面。
專利摘要本實用新型提出的等離子刻蝕用夾緊裝置包括第一夾具、與第一夾具形狀相同的第二夾具、兩個連接桿、兩個緊固元件，第一夾具和第二夾具的兩側(cè)均具有孔洞，兩個連接桿的一端分別固定在第一夾具的兩個孔洞內(nèi)，兩個連接桿的另一端分別穿過第二夾具的兩個孔洞，所述第二夾具通過緊固元件與兩個連接桿活動連接，等離子刻蝕用夾緊裝置還包括兩個表面光滑的石英夾板，石英夾板能放入第一夾具和第二夾具之間，并且兩個石英夾板分別與第一夾具和第二夾具緊密接觸。本實用新型提供的等離子刻蝕用夾緊裝置中的石英板在長期使用過程中，刻蝕中的高溫等離子體粒子不會對石英板造成邊緣破損，更不會產(chǎn)生石英顆粒而保證真空泵運轉(zhuǎn)正常。
文檔編號H01J37/32GK202067763SQ20112011828
公開日2011年12月7日 申請日期2011年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月20日
發(fā)明者張茂勝, 成品奇, 李鵬飛, 王輝, 胥健奇 申請人:江蘇伯樂達(dá)光伏有限公司