專利名稱：等離子體顯示板后板介質(zhì)層的制作方法及具有該后板的等離子體顯示器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子體顯示板后板介質(zhì)層的制作方法及具有該后板的等離子體顯 不器。
背景技術(shù)：
PDP是一種使用氣體放電期間產(chǎn)生的等離子體激發(fā)熒光粉，以顯示字符和圖形的 顯示裝置。預(yù)訂電壓施加到裝備在該PDP放電區(qū)域中的兩個不同類型的電極上，從而在電 極之間產(chǎn)生等離子放電；并且等離子放電期間產(chǎn)生的紫外線激發(fā)放電單元表面上的熒光 層，由此產(chǎn)生圖像的顯示。在等離子體顯示板中包含前面板和后面板，兩者以相互對置的方式配置。在后面 板中包括后面板基板，在其上形成的條紋狀電極，在其上形成電介質(zhì)層，進(jìn)而在介質(zhì)層上再 形成障壁。就電介質(zhì)層而言，通常是將含有玻璃粉末、載體以及需要的無機填充劑或無機顏 料等，充分混和經(jīng)過輥軋等后續(xù)加工后，利用絲網(wǎng)印刷技術(shù)涂敷在玻璃基板上，通過干燥燒 結(jié)形成。同時，作為在PDP中使用的玻璃基板，通常在高于600°C時容易發(fā)生變型。因此，玻 璃膏應(yīng)該在600度以下進(jìn)行，所以需要用熔點較低的玻璃形成電介質(zhì)層。以In3O為主要原料 的玻璃有合適的熔點，但是出于對環(huán)境問題的考慮，含1 的低熔點玻璃粉逐漸被淘汰，而 因為Bi2O3材料也具有與PbO類似的低熔點性質(zhì)，目前后板介質(zhì)材料越來越多的采用Bi2O3 體系玻璃來取代含1 玻璃。例如公開號CN1572747A中同時含有I^bO和Bi2O3，能夠達(dá)到軟化點在500 600°C 范圍，玻璃的熱膨脹系數(shù)在70 80X 10_7范圍內(nèi)。但是由于其中仍然含有1 ，對環(huán)境的污 染較大。公開號為CN1953941A中采用Bi2O3和ZnO作為降低玻璃熔點的主要材料。其作為 前板介質(zhì)材料性能良好，但是由于現(xiàn)在的生產(chǎn)工藝中開始使用刻蝕法來制作障壁，這就要 求后板介質(zhì)也要有很高的耐刻蝕性，而SiO的加入會使得介質(zhì)玻璃的耐刻蝕性大大降低， 限制了其在后板介質(zhì)的制作中的應(yīng)用。然而，如果減少ZnO的含量則需要同時增加Bi2O3的 含量。因此在現(xiàn)有技術(shù)采用的后板介質(zhì)漿料中，氧化鉍含量較高，這不利于降低成本。通過 提高氧化鋇的含量可以實現(xiàn)降低氧化鉍含量。近年來有一些專利中還提出了使用無鉛無鉍 的介質(zhì)材料，其主要是通過ZnO和堿金屬氧化物來實現(xiàn)低熔點，但是同樣也具有不耐酸的 缺點。因此，需要開發(fā)一種在后板上形成另一層電介質(zhì)層的方法，在后板介質(zhì)上形成一 層較薄的、具有較高耐酸性的電介質(zhì)層。該電介質(zhì)層應(yīng)該能夠在刻蝕過程中使后板介質(zhì)與 刻蝕液分離，防止后板介質(zhì)玻璃在刻蝕法制作障壁的過程中被過多刻蝕，從而提高后板介 質(zhì)對電極的保護(hù)能力。鈦酸鋇(BaTiO3)作為一種介電材料已被廣泛運用于電子產(chǎn)品中?？梢圆捎枚喾N 方法形成BaTiO3保護(hù)層，比如磁控濺射、電子束沉積和溶膠-凝膠法等。一般通過磁控濺射可以得到透明致密的BaTiO3膜，其厚度為從幾十納米到幾百納米。因此可以在原有的后 板介質(zhì)層上再形成一層較薄的BaTiO3介電層，以達(dá)到在刻蝕過程中使后板介質(zhì)與刻蝕液分 離的目的。通過使用這種結(jié)構(gòu)，后板介質(zhì)材料可以實現(xiàn)低鉍甚至是無鉍含量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是在原有的后板介質(zhì)材料上面形成一種較薄的BaTiO3保護(hù)層。該保 護(hù)層在刻蝕過程中能夠?qū)⒉荒退岬暮蟀褰橘|(zhì)材料與刻蝕液分開，使后板介質(zhì)材料在設(shè)計過 程中不用考慮其耐刻蝕性，實現(xiàn)低鉍甚至無鉍含量。同時，形成的BaTiO3薄膜還具有較高 的二次電子發(fā)射系數(shù)，可以通過二次電子發(fā)射實現(xiàn)放電電壓的降低，減小PDP的功耗。本發(fā)明的等離子體顯示板后板介質(zhì)層的制作方法包括以下步驟首先在后板基板 上形成電極；然后在基板和電極上形成第一電介質(zhì)層；接著在第一電介質(zhì)層上形成第二電 介質(zhì)層；該離子體顯示板后板介質(zhì)層由第一電介質(zhì)層和第二電介質(zhì)層構(gòu)成。在等離子體顯 示板后板的制作中，接著在第二電介質(zhì)層上形成障壁。該第一電介質(zhì)層可以是通過絲網(wǎng)印刷方法形成的，例如將第一電介質(zhì)層絲網(wǎng)印刷 在基板上，并進(jìn)行燒結(jié)，之后進(jìn)行清洗和干燥，從而得到第一電介質(zhì)層。形成第一電介質(zhì)層 的方法不限于此，本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的用于形成第一電介質(zhì)層的方法均可用與本發(fā)明。在本發(fā)明的一種實施方式中，第二電介質(zhì)層是通過溶膠-凝膠法形成的，包括以 下步驟首先通過將(A)鋇鹽、(B)鈦醇鹽、(C)鈦醇鹽穩(wěn)定劑、(D)催化劑、和(E)溶劑混合 并攪拌使各組分均勻混合反應(yīng)，并將混合溶液在50 90°C的溫度下熱處理1 6小時以制 備BaTiO3凝膠；向制得的BaTiO3凝膠中加入黏度調(diào)節(jié)劑并攪拌至完全溶解，從而制得第二 電介質(zhì)層漿料，該第二電介質(zhì)層漿料的黏度為15 40 · S ；將第二電介質(zhì)層漿料印刷到 所述第一電介質(zhì)層上，并在燒結(jié)爐中于250 500°C的溫度下保溫20 30分鐘，從而得到 第二電介質(zhì)層。在一種優(yōu)選的實施方式中，BaTiO3凝膠是將混合溶液在60°C的溫度下熱處理3小 時而得到的，接著向制得的BaTiO3凝膠中加入黏度調(diào)節(jié)劑攪拌至完全溶解，并將第二電介 質(zhì)層漿料的黏度調(diào)節(jié)至30 · S，以制得第二電介質(zhì)層漿料；然后將第二電介質(zhì)層漿料印刷 到第一電介質(zhì)層上，并在燒結(jié)爐中于350°C保溫30分鐘，從而得到第二電介質(zhì)層。在一種實施方式中，用于制備BaTiO3凝膠的(A)鋇鹽、(B)鈦醇鹽、(C)鈦醇鹽穩(wěn)定 劑、(D)催化劑、和(E)溶劑的重量比為A B C D E = 13 15 16 20 0. 05 0.1 0.1 0.3 60 70，優(yōu)選 14 15 17 19 0. 05 0. 1 0. 2 0. 3 60 65，更優(yōu)選 15 17 0.05 0.2 64。(A)鋇鹽可以是醋酸鋇、硝酸鋇、硬脂酸鋇等中的任一種，但不限于此。(B)鈦醇鹽為異丙醇鈦、鈦酸四丁酯等中的任一種，但不限于此。(C)鈦醇鹽穩(wěn)定劑為鄰苯二酚等，但不限于此。本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的鈦醇鹽穩(wěn)定 劑均可使用，優(yōu)選使用鄰苯二酚。(D)催化劑為鹽酸等，但不限于此。本發(fā)明中使用的鹽酸為15wt%的鹽酸水溶液。(E)溶劑可以為本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的用于制備BaTiO3凝膠的溶劑，例如松油醇、
丙三醇、二乙基卡必醇、二縮丙二醇正丙醚、三丙二醇單甲醚、二乙基溶纖劑等，優(yōu)選使用松 油醇或丙三醇。
黏度調(diào)節(jié)劑可以為本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的黏度調(diào)節(jié)劑，例如纖維素類樹脂、丙烯 酸類樹脂、聚乙烯醇或聚乙烯醇縮丁醛類中的任一種。優(yōu)選地，可以使用乙基纖維素或硝基 纖維素。在本發(fā)明的另一種實施方式中，第二電介質(zhì)層是通過電子束蒸鍍法形成的，包括 以下步驟采用BaTiO3作為靶材，在100 250°C，優(yōu)選150 200°C的襯底溫度，0. 01 0. lPa，優(yōu)選0. 02 0. 04Pa的工作氣壓下實施蒸鍍，蒸鍍時間為10 60分鐘，優(yōu)選20 30分鐘，從而得到BaTiO3薄膜。在通過電子束蒸鍍法形成第二電介質(zhì)層的一種優(yōu)選的實施方式中，蒸鍍是在 200°C的襯底溫度，0. 02Pa的工作氣壓下實施的，蒸鍍時間為30分鐘。根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式，本發(fā)明的BaTiO3薄膜的厚度為50 500nm，優(yōu)選 200-300nm,更優(yōu)選 300nm。也可以利用本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的其他方法來形成第二電介質(zhì)層，例如氣相沉 積、磁控濺射和熱蒸鍍等方法。本發(fā)明還提供了一種等離子體顯示板，該等離子體顯示板的后板介質(zhì)層是通過本 發(fā)明的方法制作的。采用本發(fā)明的方法制作等離子體顯示板后板，所形成的第二層電介質(zhì)層厚度一般 可以為幾十納米到幾百納米之間，并且在較低溫度下進(jìn)行熱處理即可得到穩(wěn)定的薄膜。采 用本發(fā)明的方法通過在后板保護(hù)介質(zhì)層上形成一層較薄的BaTiO3電介質(zhì)層，能夠使得后板 介質(zhì)層在進(jìn)行障壁刻蝕時不受到酸液的侵蝕。同時避免使用鉍含量較高的后板介質(zhì)材料。 本發(fā)明的實施過程簡單，且成本較低。
具體實施例方式除了上文所描述的目的、特征和優(yōu)點之外，本發(fā)明還有其他的目的、特征和優(yōu)點。 下面將對本發(fā)明的其他的目的、特征和效果作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。應(yīng)該指出，以上說明和以下詳細(xì)說明都是例示性的，旨在對所要求的本發(fā)明提供 進(jìn)一步的說明。除非另有指明，本文使用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有與本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng) 域的普通技術(shù)人員通常理解的相同含義。本發(fā)明的本發(fā)明的等離子體顯示板后板介質(zhì)層的制作方法包括以下步驟首先在后板基板上形成電極。形成電極的方法是本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的，本文中 不再贅述。然后，在基板和電極上形成第一電介質(zhì)層，該第一電介質(zhì)層可以通過絲網(wǎng)印刷或 涂覆的方法形成。第一電介質(zhì)層的成分可以是現(xiàn)有技術(shù)中所使用的具有較高鉍含量的后 板介質(zhì)材料。例如，包含40 70wt % ^ Bi203、0 30w%^ B2O3、0 15wt %的Al2O3、0 40wt%的&ι0、以及0 15wt%的SW2的高鉍含量介質(zhì)玻璃粉。在另一種實施方式中，也可以使用用于前板介質(zhì)等的不需要考慮耐刻蝕性能的材 料，其可以低鉍甚至無鉍含量的材料。例如，包含1 15襯％的SiO2UO 50wt%&B203、 30 &ι0、0 12wt%的至少一種堿金屬氧化物以及3 BaO，其中 R表示選自K、Na或Li的堿金屬。印刷完成后進(jìn)行燒結(jié)，然后進(jìn)行清洗干燥，從而得到第一 電介質(zhì)層。
接著在第一電介質(zhì)層上形成第二電介質(zhì)層。該第二電介質(zhì)層可通過電子束蒸鍍法 或溶膠-凝膠法形成。除此之外，也可以利用本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的其他方法來形成第二 電介質(zhì)層，例如氣相沉積、磁控濺射和熱蒸鍍等方法。在利用溶膠-凝膠法形成第二電介質(zhì)層的實施方式中，首先將鋇鹽、鈦醇鹽、鈦醇 鹽穩(wěn)定劑、催化劑、和溶劑混合并攪拌使各組分均勻混合反應(yīng)，并將混合溶液在50 90°C 的溫度下熱處理1 6小時以制備BaTiO3凝膠；向制得的BaTiO3凝膠中加入黏度調(diào)節(jié) 劑并攪拌至完全溶解從而制得第二電介質(zhì)層漿料，將該第二電介質(zhì)層漿料的黏度為15 40 · S ；然后將該第二電介質(zhì)層漿料印刷或涂覆到第一電介質(zhì)層上，并在燒結(jié)爐中于 350 500°C的溫度下保溫20 30分鐘，從而得到第二電介質(zhì)層。所形成的BaTiO3薄膜 的厚度為約50 500nm，優(yōu)選200 300nm。在一種具體實施方式
中，可以利用醋酸鋇和異丙醇鈦來制備BaTiO3凝膠。以醋酸 鋇、異丙醇鈦為原料，鄰苯二酚作為鈦醇鹽穩(wěn)定劑，使用鹽酸為催化劑，溶劑為丙三醇來制 備。本發(fā)明中使用的催化劑為濃度約為15wt%的鹽酸。將上述組分按一定的重量比混合， 之后用磁力攪拌器連續(xù)攪拌約3小時使各組分均勻混合以進(jìn)行反應(yīng)。其中各組分的重量比 (w/w)為醋酸鋇異丙醇鈦鄰苯二酚鹽酸丙三醇=15 17 0.05 0.2 64。 然后，將混合溶液放入燒杯中靜置存放1小時，加入黏度調(diào)節(jié)劑(如乙基纖維素或硝基纖維 素)使膠體達(dá)到涂敷或印刷工藝所需要的黏度。在其他的實施方式中，也可以利用其他鋇鹽如硝酸鋇、硬脂酸鋇等和其他的鈦鹽 如鈦酸四丁酯等來制備BaTiO3凝膠?？梢允褂玫拟伌见}穩(wěn)定劑包括鄰苯二酚，但不限于此?？梢允褂玫娜軇┌ㄋ捎痛?、丙三醇、二乙基卡必醇、二縮丙二醇正丙醚、三丙二 醇單甲醚、二乙基溶纖劑中的任一種，但不限于此。在熱處理過程之后加入黏度調(diào)節(jié)劑，該黏度調(diào)節(jié)劑可以是纖維素類樹脂、丙烯酸 類樹脂、聚乙烯醇或者聚乙烯醇縮丁醛類中的任一種。如乙基纖維素、硝基纖維素等，但不 限于此。利用溶膠-凝膠法形成第二電介質(zhì)層具有以下優(yōu)點(1)液態(tài)反應(yīng)物比熔融法所 用的粉料易混合均勻，可以實現(xiàn)在較低溫度(如低于500°C )下形成介質(zhì)層；( 能夠很方 便地根據(jù)性能要求對第二介質(zhì)層成分進(jìn)行調(diào)整。在利用通過電子束蒸鍍法形成第二電介質(zhì)層的實施方式中，采用BaTiO3作為靶 材，在100 250°C，優(yōu)選150 200°C的襯底溫度，0. 01 0. lPa，優(yōu)選0. 02 0. 04Pa的 工作氣壓下實施蒸鍍，蒸鍍時間為10 60分鐘，優(yōu)選20 30分鐘，從而得到BaTiO3薄膜。 所形成的BaTiO3薄膜的厚度為約50 500nm，更優(yōu)選200 350nm，最優(yōu)選300nm。在制作等離子體顯示板后板的情況下，可以在第二電介質(zhì)層形成后在其上形成障 壁，從而完成等離子體顯示板后板的制作。可通過參考下面的實施例更好地理解本發(fā)明，這些實施例用于說明的目的而不能 理解為以任何方式限制本發(fā)明的范圍，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求限定。實施例實施例1 在玻璃基板上形成電極并在基板和電極上形成第一電介質(zhì)層。用于制作第一電介質(zhì)層的材料組成如表1所示。接著利用溶膠-凝膠法制備的漿料在第一電介質(zhì)層上形成第 二電介質(zhì)層。利用醋酸鋇和異丙醇鈦來制備BaTiO3凝膠。使用醋酸鋇、異丙醇鈦為原料，使用丙 三醇作為溶劑，使用鄰苯二酚為鈦醇鹽穩(wěn)定劑，并使用15wt%鹽酸水溶液為催化劑。將15 重量份的醋酸鋇、17重量份的異丙醇鈦、0. 05重量份的鄰苯二酚、0. 2重量份的鹽酸以及65 重量份的丙三醇混合以得到混合溶液。用磁力攪拌器連續(xù)攪拌3小時使各組分均勻混合以 進(jìn)行反應(yīng)。然后將混合溶液置于在60°C水浴中，加入3重量份的乙基纖維素并攪拌至完全 溶解，直至膠體的黏度為30 · S，從而制得用于形成第二電介質(zhì)層的BaTiO3漿料。利用絲網(wǎng)印刷方法將上述制得的BaTiO3漿料印刷在已形成電極和第一電介質(zhì)層 的PDP的后板上，然后在燒結(jié)爐中于500°C保溫30分鐘，即得到本發(fā)明的第二層電介質(zhì)層， 其厚度為200nm。實施例2 以與實施例1以相似方式制作實施例2的等離子體顯示板后板。在玻璃基板上形成電極并在基板和電極上形成第一電介質(zhì)層。用于制作第一電介 質(zhì)層的材料組成如表1所示。接著利用溶膠-凝膠法制備的漿料在第一電介質(zhì)層上形成第 二電介質(zhì)層。利用硝酸鋇和異丙醇鈦來制備BaTiO3凝膠。使用硝酸鋇、異丙醇鈦為原料，使用 松油醇作為溶劑，使用鄰苯二酚為鈦醇鹽穩(wěn)定劑，并使用15wt%鹽酸為催化劑。將15重量 份的硝酸鋇、17重量份的異丙醇鈦、0. 05重量份的鄰苯二酚、0. 2重量份的鹽酸以及64重 量份的松油醇混合以得到混合溶液。用磁力攪拌器連續(xù)攪拌3小時使各組分均勻混合以進(jìn) 行反應(yīng)。然后將混合溶液置于在60°C水浴中，加入4重量份的乙基纖維素并攪拌至完全溶 解，直至膠體的黏度為30 · S，從而制得用于形成第二電介質(zhì)層的BaTiO3漿料。利用絲網(wǎng)印刷將BaTiO3漿料印刷在已形成電極和第一電介質(zhì)層的PDP的后板上， 然后在燒結(jié)爐中于500°C保溫30分鐘，即得到本發(fā)明的第二層電介質(zhì)層，其厚度為250nm。實施例3 以與實施例1以相似方式制作實施例3的等離子體顯示板后板。在玻璃基板上形成電極并在基板和電極上形成第一電介質(zhì)層。使用無鉍玻璃粉作 為第一電介質(zhì)層的材料，其組成如表1所示。接著利用溶膠-凝膠法制備的漿料在第一電 介質(zhì)層上形成第二電介質(zhì)層。利用硝酸鋇和鈦酸四丁酯鈦來制備BaTiO3凝膠。使用硝酸鋇、鈦酸四丁酯為原料， 使用丙三醇作為溶劑，使用鄰苯二酚為鈦醇鹽穩(wěn)定劑，并使用15wt%鹽酸水溶液為催化劑。 將15重量份的硝酸鋇、17重量份的鈦酸四丁酯、0. 05重量份的鄰苯二酚、0. 2重量份的鹽 酸以及65重量份的丙三醇混合以得到混合溶液。用磁力攪拌器連續(xù)攪拌3小時使各組分 均勻混合以進(jìn)行反應(yīng)。然后將混合溶液置于在60°C水浴中，加入3重量份的硝酸纖維素并 攪拌至完全溶解，直至膠體的黏度為35 *S，從而制得用于形成第二電介質(zhì)層的BaTiO3漿 料。利用絲網(wǎng)印刷將BaTiO3漿料印刷在已形成電極和第一電介質(zhì)層的PDP的后板上， 然后在燒結(jié)爐中于350°C保溫60分鐘，即得到本發(fā)明的第二層電介質(zhì)層，其厚度為220nm。實施例4-5
以與實施例1以相似方式制作實施例4-5的等離子體顯示板后板，區(qū)別在于用于 制備BaTiO3凝膠的各組分的體積比不同。其第一電介質(zhì)層的材料和第二電介質(zhì)層的材料 的組成，以及第二電介質(zhì)層的制備工藝條件參數(shù)如表1所示。比較例以與實施例1以相似方式制作等離子體顯示板后板介質(zhì)層，但在第一電介質(zhì)層上 不形成第二電介質(zhì)層。表1 第一電介質(zhì)層的材料的組成和第二電介質(zhì)層的制備工藝條件
權(quán)利要求
1.一種等離子體顯示板后板介質(zhì)層的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟在后板的基板上形成電極；在所述基板和所述電極上形成第一電介質(zhì)層；在所述第一電介質(zhì)層上形成第二電介質(zhì)層；所述離子體顯示板后板介質(zhì)層由所述第一電介質(zhì)層和所述第二電介質(zhì)層構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二電介質(zhì)層是通過溶膠-凝膠法形 成的，包括以下步驟通過將(A)鋇鹽、(B)鈦醇鹽、(C)鈦醇鹽穩(wěn)定劑、(D)催化劑、和(E)溶劑混合并攪拌使 各組分均勻混合反應(yīng)，并將混合溶液在50 90°C的溫度下熱處理1 6小時以制備BaTiO3 凝膠；向制得的BaTiO3凝膠中加入黏度調(diào)節(jié)劑并攪拌至完全溶解，從而制得第二電介質(zhì)層漿 料，所述第二電介質(zhì)層漿料的黏度為15 40 · S ；將所述第二電介質(zhì)層漿料涂覆或印刷到所述第一電介質(zhì)層上，并在燒結(jié)爐中于350 500°C的溫度下保溫20 30分鐘，從而得到所述第二電介質(zhì)層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，(A)鋇鹽、(B)鈦醇鹽、(C)鈦醇鹽穩(wěn)定劑、 (D)催化劑、和(E)溶劑的重量比為A B C D E = 13 15 16 20 0. 05 0.1 0.1 0.3 60 70，優(yōu)選 14 15 17 19 0. 05 0. 1 0. 2 0. 3 60 65，更優(yōu)選 15 17 0.05 0.2 64。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述鋇鹽(A)為醋酸鋇、硝酸鋇、硬脂酸鋇 中的任一種；所述鈦醇鹽(B)為異丙醇鈦、鈦酸四丁酯中的任一種；所述鈦醇鹽穩(wěn)定劑(C) 為鄰苯二酚；所述催化劑(D)為鹽酸；所述溶劑(E)為松油醇、丙三醇、二乙基卡必醇、二縮 丙二醇正丙醚、三丙二醇單甲醚、二乙基溶纖劑中的任一種；所述黏度調(diào)節(jié)劑為纖維素類樹 脂、丙烯酸類樹脂、聚乙烯醇或聚乙烯醇縮丁醛類中的一種或多種，優(yōu)選乙基纖維素、硝基 纖維素中的任一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述BaTiO3凝膠是將混合溶液在60°C的 溫度下熱處理3小時而得到的，接著向制得的BaTiOdf膠中加入黏度調(diào)節(jié)劑攪拌至完全溶 解，并將所述第二電介質(zhì)層漿料的黏度調(diào)節(jié)至30 · S，以制得第二電介質(zhì)層漿料；然后將 所述第二電介質(zhì)層漿料涂覆或印刷到所述第一電介質(zhì)層上，并在燒結(jié)爐中于350°C保溫30 分鐘，從而得到所述第二電介質(zhì)層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二電介質(zhì)層是通過電子束蒸鍍法 形成的，包括以下步驟采用BaTiO3作為靶材在0. 01 0. lPa，優(yōu)選0. 02 0. 04Pa的工作氣壓下實施蒸鍍， 襯底溫度為100 250°C，優(yōu)選150 200°C，蒸鍍時間為10 60分鐘，優(yōu)選20 30分鐘， 從而得到BaTiO3薄膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述電子束蒸鍍是在200°C的襯底溫度， 0. 02Pa的工作氣壓下實施的，蒸鍍時間為20分鐘。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的方法，其特征在于，所述BaTiO3薄膜的厚度為 50 500nm，優(yōu)選 200 300nm，更優(yōu)選 300nm。
9. 一種等離子體顯示板，其特征在于，所述等離子體顯示板的后板介質(zhì)層是通過權(quán)利 要求1-8中任一項所述的方法制作的。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種等離子體顯示板后板介質(zhì)層的制作方法，包括以下步驟在后板的基板上形成電極；在所述基板和所述電極上形成第一電介質(zhì)層；在所述第一電介質(zhì)層上形成第二電介質(zhì)層；所述離子體顯示板后板介質(zhì)層由所述第一電介質(zhì)層和所述第二電介質(zhì)層構(gòu)成。本發(fā)明還提供了一種包括第二電介質(zhì)層的通過本發(fā)明方法制作的等離子體顯示板。使用本發(fā)明方法制成的等離子體顯示板后板可避免受到蝕刻液的侵蝕，并降低放電電壓，減小PDP的功耗。
文檔編號H01J17/49GK102087942SQ201010620429
公開日2011年6月8日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者商紅凱, 李海燕, 薛道齊 申請人:四川虹歐顯示器件有限公司