專利名稱：顯示器的dfr膜顯影后的處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體放電技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種顯示器的DFR膜顯影后的處
理方法。
背景技術(shù)：
彩色等離子顯示器(Plasma Display Panel，簡稱PDP)，是利用氣體放電產(chǎn)生真空 紫外光(VUV)，該紫外光又激發(fā)三原色熒光粉而產(chǎn)生紅綠藍(lán)三基色光，然后經(jīng)過空間和時間 的調(diào)試實現(xiàn)了圖像顯示。AC表面放電型等離子顯示屏，分為前后基板。前基板包括ΙΤ0，以 及在ITO層上交替排列的X電極和Y電極，在X、Y電極上覆蓋有一定厚度的介質(zhì)層，再于介 質(zhì)層上沉積一層MgO薄膜；后基板包括在玻璃基板上的尋址電極，覆蓋該尋址電極的介質(zhì) 層以及介質(zhì)層上具有的一定高度的障壁，障壁將放電空間隔離開并在其中涂敷藍(lán)、綠、紅三 色熒光粉。隨后將前、后玻璃基板封結(jié)在一起充入氣體。經(jīng)過Y電極和ADD尋址電極之間 微弱放電產(chǎn)生壁電荷，這時通電時X、Y電極之間會產(chǎn)生放電，產(chǎn)生的紫外光會激發(fā)障壁槽 內(nèi)的三原色熒光粉發(fā)出可見光。PDP顯示屏由前、后基板及制作在基板上的電極、障壁、介質(zhì)、熒光粉等功能器件組 成。障壁制作一直是PDP制程中的瓶頸，特別是隨著PDP分辨率的提高，對PDP障壁制作精 度要求越來越高，在制作高精細(xì)障壁時，DFR(干膜光刻膠，Dry Film Resist)膜加工圖形精 度和強度是制作的關(guān)鍵。由于障壁噴砂用的DFR膜一般比較厚，DFR干膜的厚度范圍在40 至60 μ m，顯影時溶脹的DFR膜厚度將達(dá)到50至80 μ m,這樣的DFR膜在精細(xì)加工過程中， 側(cè)壁的陡峭十分重要，顯影條件十分苛刻。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種有利于提高DFR膜加工圖形精度和強度的顯示器的DFR膜顯 影后的處理方法。根據(jù)本發(fā)明一種顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，使用氯化鈣水溶液處理DFR 膜的斷面。在該顯示器的DFR膜顯影后的處理方法中，所述氯化鈣水溶液的濃度為 0. Iwt % -0. 5wt%。優(yōu)選地，所述氯化鈣的濃度為約0. Iwt % -0. 2wt%。優(yōu)選地，所述氯化鈣的濃度為約0. 3wt % -0. 5wt %。更優(yōu)選地，所述氯化鈣的濃度為約0. Iwt %。更優(yōu)選地，所述氯化鈣的濃度為約0. 2wt%。
更優(yōu)選地，所述氯化鈣的濃度為約0. 5wt %。 采用本發(fā)明的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，使用化學(xué)藥品處理DFR膜的斷 面，尤其使用氯化鈣水溶液處理DFR膜的斷面。為了控制DFR膜的顯影精度，通過化學(xué)藥品 處理剛顯影后的DFR膜，使殘留的碳酸鈉反應(yīng)生成碳酸鈣，這樣就降低了殘留液體側(cè)向侵入DFR斷面造成的影響，增強了 DFR膜的強度，特別是那些斷面比較粗糙部分的DFR膜的強 度，進而提高了 DFR膜的顯影精度，提高了顯示器的顯示質(zhì)量。


附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，本發(fā)明的示意性實 施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法的理想狀態(tài)下的DFR膜在 障壁的表面示意圖；以及圖2是根據(jù)本發(fā)明的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法的實際DFR膜在顯示器的 障壁表面的示意圖。
具體實施例方式根據(jù)本發(fā)明的具體實施方式
，提供了一種新的DFR膜的工藝處理方法。其中，為了 控制DFR膜的顯影精度，引入濃度范圍為0. Iwt % -0. 5wt%的氯化鈣溶液處理剛顯影后的 DFR膜，碳酸鈉會和氯化鈣反應(yīng)生成碳酸鈣，這樣就實現(xiàn)了降低殘留液體側(cè)向侵入的效果， 增強了 DFR膜的強度，特別是那些斷面比較粗糙部分的強度。通過利用氯化鈣溶液處理剛顯影后的DFR膜，能夠固化DFR膜強度，提高保護膜側(cè) 壁的陡峭度，提高障壁加工精度，降低障壁加工的缺陷率。在本發(fā)明的一個具體實施方式
中，提供了一種顯示器的DFR膜顯影后的處理方 法，使用氯化鈣水溶液處理DFR膜的斷面。在本發(fā)明的一個優(yōu)選具體實施方式
中，該顯示器的DFR膜顯影后的處理方法中， 所述氯化鈣水溶液的濃度為0. Iwt% -0. 5wt%。在一更優(yōu)選具體實施方式
中，所述氯化鈣的濃度為約0. Iwt% -0. 2wt%。在另一更優(yōu)選具體實施方式
中，所述氯化鈣的濃度為約0. 3wt% -0. 5wt%。在一進一步優(yōu)選具體實施方式
中，所述氯化鈣的濃度為約0. lwt%。在另一進一步優(yōu)選具體實施方式
中，所述氯化鈣的濃度為約0. 2wt%。在又一進一步優(yōu)選具體實施方式
中，所述氯化鈣的濃度為約0. 5wt%。根據(jù)本發(fā)明的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法的一個實施例，通過使用不同濃 度的氯化鈣，強化DFR斷面膜強度。該方法采用如下步驟1、使用印刷、干燥、曝光、顯影和燒結(jié)完成在顯示器玻璃基板上的尋址電極制作， 使該尋址電極在對應(yīng)的Y電極下方。2、在尋址電極上方制作一層厚度為IOum左右的介質(zhì)層。具體的，使用印刷工藝， 先印刷第一層介質(zhì)，然后干燥，燒結(jié)。3、使用印刷法或涂覆法制備障壁層，用噴砂法制作出障壁；在制作障壁是需要使 用DFR貼膜，曝光，顯影，噴砂，剝膜和燒結(jié)。本發(fā)明的方法主要應(yīng)用在障壁制作過程中DFR 膜的顯影過程中。4、將完成障壁制作的玻璃基板在550°C 600°C高溫下燒結(jié)；5、采用印刷或噴涂工藝制作熒光粉涂層；6、如上結(jié)束下基板的制作；
下面將參考附圖并結(jié)合實施例，來詳細(xì)說明本發(fā)明。 實施例實施例1如圖1所示，在玻璃基板1上制作尋址電極；在尋址電極上制作介質(zhì)層；在介質(zhì)層 上涂覆一層厚度約350微米的障壁漿料2，在180°C干燥30min，貼附DFR膜3;利用光刻蝕工 藝把障壁的圖形轉(zhuǎn)印到DFR膜上；使用濃度為0. 3-0. 5wt%的Na2CO3顯影液(液溫30°C ) 進行顯影，其中所使用的Na2CO3可商購獲得；之后，將濃度為約0. Iwt%的CaCl2水溶液涂覆 至DFR斷面4，最后在干燥箱中在約80°C下干燥持續(xù)20分鐘。實施例2按照與實施例1相同的步驟來處理經(jīng)顯影后的DFR膜，只是使用的CaCl2溶液的 濃度為約0. 2wt%0實施例3按照與實施例1相同的步驟來處理經(jīng)顯影后的DFR膜，只是使用的CaCl2溶液的 濃度為約0. 5wt%0比較例1按照與實施例1相同的步驟來處理經(jīng)顯影后的DFR膜，只是未使用CaCl2溶液。
經(jīng)CaCl2水溶液處理過的DFR膜的性能效果測試將實施例1-3與比較例1中獲得的DFR膜進行如下的性能測試(1)膜強度的增強(I-I)DFR膜的側(cè)面的耐沖擊性測試。測試側(cè)面膜質(zhì)，即利用噴砂加氣壓的方法進 行側(cè)面膜的耐沖擊性測試。所使用的噴砂機為ALPS會社的BSP-120F噴砂機。對于每一個 試樣，進行5次恒定噴砂強度和壓力條件下的噴砂，之后，測量障壁圖案被沖擊后變窄的程 度，即測量障壁圖案的寬度。利用100倍顯微鏡測量該圖案寬度的數(shù)值。通過測量障壁圖 案頂端的寬度可以檢測DFR膜側(cè)面膜質(zhì)的效果(即耐沖擊性)，以便體現(xiàn)氯化鈣溶液的效 用。如果DFR膜的側(cè)面不堅韌，噴砂時的砂粒將掀起DFR膜。利用此方法測量經(jīng)CaCl2水 溶液處理過的DFR膜和未經(jīng)CaCl2溶液處理過的DFR膜的耐沖擊性。(1-2) DFR膜的硬度測試。利用維氏硬度計測量經(jīng)CaCl2水溶液處理過的DFR膜和 未經(jīng)CaCl2溶液處理過的DFR膜的維氏硬度。(1_3)DFR膜的翹曲現(xiàn)象(翹曲度)。觀察經(jīng)CaCl2水溶液處理過的DFR膜和未經(jīng) CaCl2溶液處理過的DFR膜的翹曲度。其中翹曲度的值按照(翹曲高度/曲邊長度)X 100% 的方法計算。(2)降低殘留液的側(cè)向侵入。由于經(jīng)CaCl2溶液處理過的DFR膜的強度得以增強， 使得殘留液的側(cè)向侵入降低。(3)還利用最終產(chǎn)品的產(chǎn)品完好率來衡量經(jīng)CaCl2溶液處理的步驟對于增強DFR 膜的強度并提高最終產(chǎn)品率的有利作用。產(chǎn)品完好率為最終產(chǎn)品中的合格產(chǎn)品占總產(chǎn)品總 量的比例。對于實施例1-3與比較例1中獲得的DFR膜進行的性能測試的結(jié)果列出于表1 中
表 權(quán)利要求
1.一種顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，其特征在于，使用氯化鈣水溶液處理DFR膜 的斷面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，其特征在于，所述氯化鈣 水溶液的濃度為0. Iwt% -0. 5wt%。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，其特征在于，所述氯化鈣 水溶液的濃度為0. Iwt % -0. 2wt%。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，其特征在于，所述氯化鈣 的濃度為約0. 3wt% -0. 5wt%0
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，其特征在于，所述氯化鈣 水溶液的濃度為約0. Iwt%。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，其特征在于，所述氯化鈣 水溶液的濃度為約0. 2wt%。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，其特征在于，所述氯化鈣 的濃度為約0. 5wt%。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，其特征在于，使用氯化鈣水溶液處理DFR膜的斷面。為了控制DFR膜的顯影精度，通過氯化鈣水溶液處理剛顯影后的DFR膜，使碳酸鈉反應(yīng)生成碳酸鈣，這樣就降低了殘留液體側(cè)向侵入DFR斷面造成的影響，增強了DFR膜的強度，特別是增強了那些斷面比較粗糙部分的DFR膜的強度，進而提高了DFR膜的顯影精度，提高了顯示器的顯示質(zhì)量。在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例中，其中所述氯化鈣水溶液的濃度為0.1wt％-0.5wt％。
文檔編號H01J9/24GK102087941SQ20101062041
公開日2011年6月8日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者呂旭東, 宋利建 申請人:四川虹歐顯示器件有限公司