專利名稱：真空排氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有制品的排氣口的封閉機(jī)構(gòu)的真空排氣裝置(日語真空排気
、y ν)。
背景技術(shù)：
在等離子顯示面板等的制造工序中，需要將制品內(nèi)部的空氣排成真空、根據(jù)需要 封入氣體、封閉制品的排氣口的作業(yè)。為了實(shí)現(xiàn)高真空，需要邊對制品進(jìn)行加熱邊抽真空。 作為封閉排氣口的方法，有將安裝于排氣口的接頭管熔斷的方法和利用熱溶融性的粘接劑 (熔融金屬等)將封閉構(gòu)件(蓋)粘接于排氣口的方法。專利文獻(xiàn)1至3中所記載的那樣的真空排氣裝置中，通過緊貼制品的排氣口周圍 而形成有封閉的內(nèi)部空間，通過將內(nèi)部空間抽真空，能將制品抽成真空。此外，在上述真空 排氣裝置中，在內(nèi)部空間具有保持封閉構(gòu)件、在抽成真空后將封閉構(gòu)件按壓于制品的排氣 口的桿，但由于不易進(jìn)行桿的滑動(dòng)部的軸密封，因此，在將制品抽真空時(shí)，需要不對桿的軸 封部進(jìn)行加熱。因此，在專利文獻(xiàn)1至3的真空排氣裝置中，不能將真空排氣裝置整體在爐內(nèi)加 熱，將桿的軸封部露出在加熱爐(加熱箱)外進(jìn)行抽真空。此外，上述真空排氣裝置中，即 便在桿的前端或其附近設(shè)置小型的加熱器、使粘接劑熔化、利用封閉構(gòu)件封閉排氣口時(shí)，也 不能有過剩的熱作用于桿的軸封部。另一方面，為了實(shí)現(xiàn)真空排氣工序的效率化，作為優(yōu)選，如專利文獻(xiàn)4所述，保持 多個(gè)制品，采用能將真空排氣裝置按壓于各制品的推車，在加熱爐內(nèi)加熱各推車，同時(shí)進(jìn)行 許多制品的抽真空。不過，如上所述，若設(shè)置將封閉構(gòu)件按壓于排氣口的桿，為了軸封桿，不能將真空 排氣裝置整體在爐內(nèi)加熱，不能提高生產(chǎn)效率。專利文獻(xiàn)1 日本專利特開平6-139935號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本專利特開2001-195983號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本專利特開2004-55480號公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本專利特許第3866085號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述技術(shù)問題而作，其目的在于提供一種能在高溫的爐內(nèi)將封閉構(gòu)件 按壓于制品的排氣口來封閉排氣口的真空排氣裝置。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所涉及的真空排氣裝置包括裝置主體和保持構(gòu)件， 其中，上述裝置主體被劃分成真空排氣空間和差壓驅(qū)動(dòng)空間，上述真空排氣空間的開口被 制品封閉從而可抽真空，差壓驅(qū)動(dòng)空間位于上述開口的相反一側(cè)，與上述真空排氣空間被 可變形的隔板劃分開，可獨(dú)立于上述真空排氣空間地抽真空，上述保持構(gòu)件被上述隔板支 承，保持對上述制品的排氣口進(jìn)行封閉的封閉構(gòu)件，通過上述隔板的變形，可朝上述裝置主體的開口移動(dòng)。[oo13] 根據(jù)該結(jié)構(gòu)，將真空排氣空間和差壓驅(qū)動(dòng)空間同時(shí)抽真空，將制品內(nèi)的氣體排空，將空氣導(dǎo)入差壓驅(qū)動(dòng)空間，藉此，使隔板朝真空排氣空間側(cè)膨脹，使保持構(gòu)件朝制品移動(dòng)，能將封閉構(gòu)件按壓于制品的排氣口來封閉排氣口。此外，該結(jié)構(gòu)中，由于保持構(gòu)件的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)不需要軸封，因此，在使真空排氣裝置在爐內(nèi)加熱的狀態(tài)下也能驅(qū)動(dòng)。[oo14] 此外，本發(fā)明的真空排氣裝置中，上述保持構(gòu)件被上述隔板支承，并設(shè)于朝向上述開口延伸的桿的前端，此外，在上述真空排氣空間內(nèi)，也可具有將上述桿保持成可在軸向上滑動(dòng)的引導(dǎo)構(gòu)件。[oo15] 根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于桿的姿勢和移動(dòng)方向被引導(dǎo)構(gòu)件限制，因此，保持構(gòu)件的移動(dòng)穩(wěn)定，能可靠地封閉排氣口。[oo16] 此外，在本發(fā)明的真空排氣裝置中，上述差壓驅(qū)動(dòng)空間的截面積也可比上述真空排氣空間的截面積小。[oo17] 根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于能在真空排氣空間與差壓驅(qū)動(dòng)空間的邊界上形成臺階，因此，能將隔板固定于該臺階。此外，通過減小差壓驅(qū)動(dòng)空間的容積，在同時(shí)將真空排氣空間和差壓驅(qū)動(dòng)空間抽真空時(shí)，由于差壓驅(qū)動(dòng)空間的內(nèi)部壓力先降低，因此，在制品的抽真空結(jié)束之前，不會(huì)出現(xiàn)保持構(gòu)件突出1堵住制品的排出口的情形。[oo18] 此外，本發(fā)明的真空排氣裝置中，也可在上述開口的周圍設(shè)置與上述制品緊貼的。形環(huán)。[oo19] 根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能確保真空排氣裝置與制品之間的氣密。
根據(jù)本發(fā)明，由于利用真空排氣裝置內(nèi)部的隔板的變形來驅(qū)動(dòng)保持構(gòu)件，將封閉制品的排氣口的封閉構(gòu)件按壓于制品，因此，能將保持構(gòu)件和保持構(gòu)件的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)完全收容于真空排氣裝置的內(nèi)部。由此，不需要驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的軸封，不存在不耐熱的部分，從而能使真空排氣裝置整體在加熱爐內(nèi)暴露于高溫下。藉此，可實(shí)現(xiàn)真空排氣工序的簡化和處理能力的增強(qiáng)。


圖l是本發(fā)明第一實(shí)施方式的真空排氣裝置的剖視圖。
圖2是圖l的真空排氣裝置的排氣口封閉時(shí)的剖視圖。
圖3是具有多個(gè)圖l的真空排氣裝置的處理推車。
圖4是本發(fā)明第二實(shí)施方式的真空排氣裝置的剖視圖。
(符號說明)
l 真空排氣裝置
2 制品
3真空源
4裝置主體
5 真空排氣空間
6 差壓驅(qū)動(dòng)空間
7 隔板
8 桿
9排氣口
10封閉構(gòu)件
11保持構(gòu)件
12引導(dǎo)構(gòu)件
13’.14排氣路
17真空回路
180形環(huán)
19冷水源
20冷卻流路
31粘接劑
32推車
33圓板
34波紋管(隔板)
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的 真空排氣裝置1。真空排氣裝置1是用于將諸如等離子顯示面板這樣的中空制品2與真空 源3連接、并將制品2內(nèi)部的空氣排成真空并封閉的裝置。真空排氣裝置1具有上部開口的、大致有底筒狀的裝置主體4。裝置主體4的內(nèi)部 空間被橡膠制的隔板(隔膜)7劃分成上側(cè)截面積大的真空排氣空間5、和下側(cè)(與開口相 反的一側(cè))截面積小的差壓驅(qū)動(dòng)空間6。隔膜7粘接固定于真空排氣空間5與差壓驅(qū)動(dòng)空 間6的臺階部分。在隔膜7的中央固定有朝向裝置主體4的開口垂直延伸的桿8。在桿8的上端具 有對用于封閉制品2的排氣口 9的封閉構(gòu)件10予以保持的臺板狀的保持構(gòu)件11。此外，桿 8被配置于真空排氣空間5內(nèi)的板狀的引導(dǎo)構(gòu)件12保持成可滑動(dòng)。在引導(dǎo)構(gòu)件12上形成 有允許空氣通過的孔12a。裝置主體4具有分別開口于真空排氣空間5和差壓驅(qū)動(dòng)空間6的排氣路13、14。 真空排氣空間5和差壓驅(qū)動(dòng)空間6分別通過耐壓軟管15、16與用于從真空源3供給真空壓 力(抽真空)的真空回路17連接。此外，在上端具有0形環(huán)18來圍住開口，從而與制品2氣密地緊貼。除此之外，裝 置主體4具有使從冷水源19供給的冷卻水循環(huán)的冷卻流路20。真空回路17包括通過真空斷續(xù)閥21和流量調(diào)節(jié)閥22將真空排氣空間5與真空 源3連接，且具有用于檢測真空排氣空間5的內(nèi)部壓力的壓力開關(guān)23的管路；以及從與真 空排氣空間5連接的上述管路分支，通過聯(lián)絡(luò)閥24與差壓驅(qū)動(dòng)空間6連接，具有用于檢測 差壓驅(qū)動(dòng)空間6的內(nèi)部壓力的壓力開關(guān)25的管路。與真空排氣空間5連接的管路上設(shè)有用于使真空排氣空間5與空氣接通的真空排 氣空間開放閥26，在與差壓驅(qū)動(dòng)空間6連接的管路上設(shè)有經(jīng)由流量調(diào)節(jié)閥27使差壓驅(qū)動(dòng)空 間6與空氣接通的差壓驅(qū)動(dòng)空間開放閥28。此外，為使操作人員能目視確認(rèn)真空排氣空間5和差壓驅(qū)動(dòng)空間6的內(nèi)部壓力，真空回路17還具有壓力計(jì)29、30。在使用真空排氣裝置1將制品2抽真空時(shí)，將涂覆有粘接劑31的封閉構(gòu)件10安 設(shè)于桿8的保持構(gòu)件11。在真空排氣空間5和差壓驅(qū)動(dòng)空間6與空氣接通的狀態(tài)下，桿8 將保持構(gòu)件11保持于真空排氣空間5內(nèi)，使封閉構(gòu)件10完全遠(yuǎn)離配置于真空排氣裝置1 上的制品2的排氣口 9。此時(shí)，由于桿8和保持構(gòu)件11等的重量，隔膜7略朝向差壓驅(qū)動(dòng)空 間6側(cè)彎曲。將真空排氣裝置1和制品2配置于加熱爐內(nèi)進(jìn)行加熱，打開真空回路17的聯(lián)絡(luò)閥 24，打開真空斷續(xù)閥21，藉此，將真空排氣空間5和差壓驅(qū)動(dòng)空間6同時(shí)抽真空。真空排氣 裝置1通過0形環(huán)18與制品2緊貼，通過制品2的排氣口 9、配置于真空排氣空間5內(nèi)的引 導(dǎo)構(gòu)件12的孔12a和排氣路13，將制品2內(nèi)的氣體朝真空回路17排出。此時(shí)，由于真空排氣空間5與制品2的內(nèi)部空間連通，容積變大，因此，容積小的差 壓驅(qū)動(dòng)空間6首先變成真空。由此，橡膠制的隔板7以朝差壓驅(qū)動(dòng)空間6側(cè)突出的形式彈 性變形，使桿8下降。藉此，在制品2抽真空結(jié)束前，桿8不會(huì)上升而使粘接劑31與制品2 抵接。當(dāng)制品2的抽真空結(jié)束時(shí)，由于真空排氣空間5與差壓驅(qū)動(dòng)空間6的壓力差消失， 隔板7將桿8支承在與真空排氣裝置5和差壓驅(qū)動(dòng)空間6同空氣接通時(shí)大致相同的位置。真空回路17也可具有氣體供給路，從而在將制品2抽真空后，例如能將等離子顯 示面板用的發(fā)光氣體等的微量氣體，通過真空排氣空間5，導(dǎo)入制品2內(nèi)部。若在制品2的抽真空結(jié)束(壓力開關(guān)23檢測到規(guī)定的真空壓力)、并根據(jù)需要將 氣體供給到制品2后，關(guān)閉真空回路17的聯(lián)絡(luò)閥24后，打開差壓驅(qū)動(dòng)空間開放閥28，僅使 差壓驅(qū)動(dòng)空間6與空氣接通。這樣，由于差壓驅(qū)動(dòng)空間6的內(nèi)部壓力比真空排氣空間5的 內(nèi)部壓力高，因此，如圖2所示，隔板7朝真空排氣空間5側(cè)突出，推升桿8。藉此，保持構(gòu) 件11朝裝置主體4的開口移動(dòng)，將封閉構(gòu)件10朝制品2按壓，利用封閉構(gòu)件10覆蓋排氣 Π 9。 裝置主體4被在冷卻流路19內(nèi)循環(huán)的冷卻水冷卻，將橡膠制的隔板7和0形環(huán)18 維持在耐熱溫度以下。由于不被冷卻水直接冷卻的制品2的排氣口 9周圍隨著爐內(nèi)溫度的 上升而溫度升高，因此，涂敷于被按壓的封閉構(gòu)件10的粘接劑31融解。隨后，將差壓驅(qū)動(dòng)空間6的內(nèi)部壓力維持在比真空排氣空間5高，保持對封閉構(gòu)件 10的按壓，降低爐內(nèi)溫度，使粘接劑31固化，藉此，使利用封閉構(gòu)件10對排氣口 9的封閉變 得可靠。接著，在將真空排氣裝置1和制品2 —起從爐內(nèi)取出后，先關(guān)閉真空斷續(xù)閥21，再 打開真空排氣空間開放閥26，藉此，使真空排氣空間5與空氣接通。這樣，再一次，由于真空 排氣空間5與差壓驅(qū)動(dòng)空間6的壓力差消失，隔板7下降，桿8后退。此時(shí)，由于真空排氣 空間5變成大氣壓，0形環(huán)18的緊貼力也消失，真空排氣裝置1與制品2分離，能將制品2 送入下一工序。在真空排氣裝置1中，隔板7收容于被冷卻水冷卻的裝置主體4內(nèi)部，不會(huì)直接被 加熱爐的熱影響。因此，即便隔板7的耐熱性較差，但在真空排氣裝置1配置于加熱爐內(nèi)的 狀態(tài)下，也不會(huì)斷裂，而可膨脹收縮。也可不使用冷卻水而使用其他種類的冷卻流體。此外，在真空排氣裝置1中，若利用流量調(diào)節(jié)閥27的開度來調(diào)節(jié)差壓驅(qū)動(dòng)空間6向空氣的開放速度、即對差壓驅(qū)動(dòng)空間6的空氣供給速度，則能調(diào)節(jié)桿8的上升速度，能防 止粘接劑31的飛散。由于本發(fā)明的真空排氣裝置1小型、且能與制品2 —起在爐內(nèi)加熱，因此，如圖3 所示，可將真空排氣裝置1并排安裝于對許多制品2進(jìn)行保持的推車32，對多個(gè)制品2同時(shí) 進(jìn)行抽真空、封閉。圖4表示本發(fā)明第二實(shí)施方式的真空排氣裝置la。在本實(shí)施方式中，對于與第一 實(shí)施方式相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的符號，省略重復(fù)的說明。真空排氣裝置Ia中，在桿8的下端設(shè)有圓板33，利用兩端被裝置主體4的底板和 圓板33封閉的金屬制的波紋管34，劃分出差壓驅(qū)動(dòng)空間6。也就是說，在本實(shí)施方式中，波 紋管34是劃分真空排氣空間5和差壓驅(qū)動(dòng)空間6的隔板。在該真空排氣裝置Ia中，也能利用真空排氣空間5與差壓驅(qū)動(dòng)空間6的壓力差， 使波紋管34伸縮，并使桿8升降。在上述實(shí)施方式中，利用引導(dǎo)構(gòu)件12限制桿8的姿勢和移動(dòng)方向，但若隔板的膨 脹和收縮穩(wěn)定，則也可省略引導(dǎo)構(gòu)件12，隨之，也可使裝置主體4的高度降低。 此外，來自由空氣壓縮機(jī)等形成的壓縮空氣源35的、被調(diào)節(jié)器36壓力調(diào)整后的壓 縮空氣，能通過壓縮空氣供給閥37供給到本實(shí)施方式的真空回路17的與差壓驅(qū)動(dòng)空間6 連接的管路中。使差壓驅(qū)動(dòng)空間6與空氣接通后，或省略與空氣接通，在關(guān)閉聯(lián)絡(luò)閥24和差壓驅(qū) 動(dòng)空間28的狀態(tài)下，對差壓驅(qū)動(dòng)空間6供給壓縮空氣，藉此，能以更大的力將封閉構(gòu)件10 按壓于制品2。藉此，即便在差壓驅(qū)動(dòng)空間6的截面積小的情形下，也能確保封閉構(gòu)件10與 制品2的緊貼。此外，在使真空排氣裝置Ia與制品2分離時(shí)，不打開真空排氣空間開放閥26，而 打開聯(lián)絡(luò)閥24，將壓縮空氣也供給到真空排氣空間5，則能將空氣快速地供給到真空排氣 空間5，將真空排氣裝置Ia迅速地從制品2分離。在真空回路17的管路和耐壓軟管15、16 的直徑小、路徑長度長的情形下特別有效。
權(quán)利要求
1.一種真空排氣裝置，其特征在于，包括裝置主體，該裝置主體被劃分成真空排氣空間和差壓驅(qū)動(dòng)空間，所述真空排氣空間的 開口被制品封閉從而可抽真空，所述差壓驅(qū)動(dòng)空間位于所述開口的相反一側(cè)，與所述真空 排氣空間被可變形的隔板劃分開，可獨(dú)立于所述真空排氣空間地抽真空；以及保持構(gòu)件，該保持構(gòu)件被所述隔板支承，保持對所述制品的排氣口進(jìn)行封閉的封閉構(gòu) 件，通過所述隔板的變形，可朝所述裝置主體的開口移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的真空排氣裝置，其特征在于，所述保持構(gòu)件被所述隔板支承，并設(shè)于朝向所述開口延伸的桿的前端， 此外，在所述真空排氣空間內(nèi)，具有將所述桿保持成可在軸向上滑動(dòng)的引導(dǎo)構(gòu)件。
3.如權(quán)利要求1或2所述的真空排氣裝置，其特征在于， 所述差壓驅(qū)動(dòng)空間的截面積比所述真空排氣空間的截面積小。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的真空排氣裝置，其特征在于， 在所述開口的周圍具有與所述制品緊貼的0形環(huán)。
全文摘要
一種能在高溫的爐內(nèi)將封閉構(gòu)件按壓于制品的排氣口來封閉排氣口的真空排氣裝置。包括裝置主體(4)和保持構(gòu)件(11)，其中，裝置主體(4)被劃分成真空排氣空間(5)和差壓驅(qū)動(dòng)空間(6)，真空排氣空間(5)的開口被制品(2)封閉從而可抽真空，差壓驅(qū)動(dòng)空間(6)位于開口的相反一側(cè)，與真空排氣空間(5)被可變形的隔板(7)劃分開，可獨(dú)立于真空排氣空間(5)地抽真空，保持構(gòu)件(11)被隔板(7)支承，保持對制品(2)的排氣口(9)進(jìn)行封閉的封閉構(gòu)件(10)，通過隔板(7)的變形，可朝裝置主體(4)的開口移動(dòng)。
文檔編號H01J9/385GK101996832SQ201010258919
公開日2011年3月30日 申請日期2010年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月20日
發(fā)明者內(nèi)田恭輔, 后藤尚史 申請人:中外爐工業(yè)株式會(huì)社