專利名稱：：白熾燈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及被用于半導(dǎo)體晶圓的加熱、太陽能電池加熱或液晶的加熱處理的白熾燈。
背景技術(shù)：
：半導(dǎo)體制造工序中的光照射式加熱裝置，在成膜、擴(kuò)散、退火等被廣泛加以利用，任何處理也可將板狀的被處理物等半導(dǎo)體晶圓急速加熱，使其在數(shù)秒鐘數(shù)十秒鐘內(nèi)升溫至100(TC以上。近年來更被要求以高速升溫，被輸入于燈的功率逐漸大功率化。這被稱為尖峰式退火(spikeannealing),以超過200。C/秒的高速使其升溫，若到達(dá)目的溫度，即立即冷卻。通過該尖峰式退火，可形成非常薄的擴(kuò)散層(淺結(jié)(shallowjunction)),而可提升半導(dǎo)體元件的性能。此外，加熱時(shí)，若半導(dǎo)體晶圓的溫度分布不均一，在半導(dǎo)體晶圓上會(huì)發(fā)生被稱為滑移(slip)的現(xiàn)象，即，發(fā)生結(jié)晶轉(zhuǎn)移的缺陷，而會(huì)成為不良品。因此，當(dāng)使用光照射式加熱裝置來對(duì)半導(dǎo)體晶圓作加熱處理時(shí)，需要進(jìn)行加熱、高溫保持、冷卻，使得半導(dǎo)體晶圓的溫度分布成為均一。作為使溫度分布成為均一的提案，在日本特開2006-279008號(hào)公報(bào)中已提出在1支發(fā)光管具備有可獨(dú)立供電的多個(gè)燈絲的白熾燈，由此可改變局部輸入至燈絲的功率，而可作調(diào)整以成為高均一的溫度分布。圖10是表示現(xiàn)有的白熾燈1的圖。圖10(a)表示白熾燈1全體的立體圖，圖10(b)表示以圖10(a)所示的A-A'線予以剖切的剖面圖。直管狀的發(fā)光管2呈剖面橢圓形狀，兩端以密封部3a、3b作氣密式密封。在發(fā)光管2的內(nèi)部以朝發(fā)光管2的管軸方向延伸的方式依序排列配置有朝長邊方向分離設(shè)有多個(gè)環(huán)狀支撐件12ar、12br的線圈狀燈絲12a、12b。在各燈絲12a、12b的兩端分別連結(jié)有供電用的內(nèi)部引線13a、13b、13c、13d。其中，內(nèi)部引線13b、13d被由例如石英玻璃所構(gòu)成的絕緣性細(xì)管8a、8b所被覆，以與燈絲12a、12b不導(dǎo)通。與上述各燈絲12a、12b相連接的內(nèi)部引線13a、13b、13c、13d分別向兩端的密封部3a、3b延伸，分別通過金屬箔lla、llb、llc、lld而與外部引線14a、14b、14c、14d電連接。艮口，在各燈絲12a、12b的一端側(cè)延伸的內(nèi)部引線13a、13b分別通過一端側(cè)密封部3a的金屬箔lla、lib而與一端側(cè)的外部引線14a、14b電連接。同樣，向另一端側(cè)延伸的內(nèi)部引線13c、13d分別通過另一端側(cè)密封部3b的金屬箔llc、lld而與端側(cè)的外部引線14c，14d電連接。(專利文獻(xiàn)l)日本特開2006-279008號(hào)公報(bào)如圖10所示，為了獨(dú)立供電給燈絲12a、12b，在發(fā)光管2的內(nèi)部平行配置燈絲12a、12b與內(nèi)部引線13b、13d。利用絕緣性細(xì)管8a、8b被覆內(nèi)部引線13b、13d，由此實(shí)現(xiàn)與燈絲12a、12b的絕緣。接著，如圖10(b)所示，燈絲12a通過環(huán)狀支撐件12ar與發(fā)光管2的內(nèi)壁相接，而在發(fā)光管2的內(nèi)部被定位。但是，用細(xì)管8a所被覆的內(nèi)部引線13b也可成為被形成平滑的發(fā)光管2的內(nèi)壁的突起物，因此會(huì)有環(huán)狀支撐件12ar將擴(kuò)展為更為寬廣的空間，而偏離至左右任一個(gè)的可能性。若環(huán)狀支撐件12ar偏離，連同燈絲12a的位置也會(huì)移動(dòng)，因此會(huì)發(fā)生工件中的配光分布改變的問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明監(jiān)于上述問題點(diǎn)，目的在提供一種在發(fā)光管的內(nèi)部將燈絲與內(nèi)部引線以與管軸方向呈平行地作配置，可在實(shí)現(xiàn)燈絲與內(nèi)部引線的絕緣的同時(shí)，防止燈絲位置移動(dòng)，而可維持配光分布的白熾燈。本申請第l發(fā)明為一種白熾燈，具備在兩端形成有密封部的發(fā)光管;在前述發(fā)光管的內(nèi)部沿管軸方向依序排列配設(shè)的多個(gè)燈絲；及被連結(jié)在各燈絲的兩端的內(nèi)部引線，其特征為在前述多個(gè)燈絲之中至少l個(gè)的周圍，配置有在前述發(fā)光管的管軸方向沿著內(nèi)壁配置的絕緣壁，與該燈絲平行地延伸的內(nèi)部引線被配設(shè)在前述發(fā)光管與前述絕緣壁之間。此外，本申請第2發(fā)明是在第1發(fā)明中，在前述發(fā)光管與前述絕緣壁之間設(shè)有沿著管軸從絕緣壁的一端延伸至另一端的路徑，在該路徑中配設(shè)有前述內(nèi)部引線。此外，本申請第3發(fā)明是在第1發(fā)明中，在周圍配置有前述絕緣壁的燈絲上，在長度方向分離設(shè)有多個(gè)環(huán)狀支撐件。此外，本申請第4發(fā)明是在第1或第2發(fā)明中，前述絕緣壁以相鄰的方式配置，在一方絕緣壁設(shè)有切口部，在另一方絕緣壁設(shè)有凸緣部，前述切口部與前述凸緣部相嵌合。發(fā)明的效果根據(jù)本申請第1發(fā)明，由于在絕緣壁的內(nèi)側(cè)配置有燈絲，因此可在絕緣壁的大致中心配置燈絲。此外，在絕緣壁的內(nèi)表面并沒有突起物形成為平滑的面，因此發(fā)出光的燈絲的位置不會(huì)改變，而可維持工件中的白熾燈所產(chǎn)生的配光分布。此外，與燈絲在管軸方向平行地配設(shè)的內(nèi)部引線被配置在發(fā)光管與絕緣壁之間，因此即使未利用細(xì)管來被覆內(nèi)部引線，也可實(shí)現(xiàn)燈絲與內(nèi)部引線的絕緣。根據(jù)本申請第2發(fā)明，在發(fā)光管與絕緣壁之間設(shè)有沿著管軸從絕緣壁的一端延伸至另一端的路徑，在該路徑中配設(shè)內(nèi)部引線，由此路徑進(jìn)行內(nèi)部引線的定位，因此不會(huì)有發(fā)光管內(nèi)部中的配置位置偏離的情況。因此，對(duì)于作為照射對(duì)象的工件，可避免伴隨亮燈、滅燈而使內(nèi)部引線的位置發(fā)生偏離而遮蔽由燈絲所放射的光的問題。根據(jù)本申請第3發(fā)明，由于在長度方向分離而設(shè)有多個(gè)環(huán)狀支撐件的燈絲配置有絕緣壁，因此可在絕緣壁的大致中心配置燈絲。此外，在絕緣壁的內(nèi)表面并沒有突起物而形成為平滑的面，因此也不會(huì)有環(huán)狀支撐件的位置偏離的情況。根據(jù)本申請第4發(fā)明，在絕緣壁的與絕緣壁的抵接面設(shè)置切口部，在絕緣壁的與絕緣壁的抵接面的對(duì)應(yīng)切口部的位置設(shè)置凸緣部，切口部與凸緣部相嵌合，由此可使絕緣壁與絕緣壁不會(huì)各自旋轉(zhuǎn)。圖1是表示本發(fā)明的白熾燈的立體圖。圖2是表示本發(fā)明的白熾燈的放大立體圖。圖3是表示本發(fā)明的白熾燈的局部剖面圖。圖4是表示本發(fā)明的白熾燈的立體圖。圖5是表示本發(fā)明的白熾燈的放大立體圖。圖6是表示本發(fā)明的白熾燈的局部剖面圖。圖7是表示本發(fā)明的白熾燈的立體圖。圖8是表示本發(fā)明的白熾燈的放大立體圖。圖9是表示本發(fā)明的白熾燈的絕緣壁的放大立體圖。圖IO是表示現(xiàn)有的白熾燈的立體圖。符號(hào)說明h白熾燈；2:發(fā)光管；3a、3b:密封部；4a、4b:玻璃橋；5a、5b、5c:絕緣壁；6:槽；8a、8b:細(xì)管；Ila、ilb、llc、lld:金屬箔；12a、12b:燈絲；12ar、12br:環(huán)狀支撐件；13a、13b、13c，13d:內(nèi)部引線；14a、14b、14c、14d:外部引線；21a、21b、22a、22b、23a、23b:金屬箔；24、25、26:燈絲；24a、24b、25a、25b、26a、26b:內(nèi)部引線；24r:環(huán)狀支撐件；27a、27b、28a、28b、29a、29b:外部引線。具體實(shí)施例方式圖1表示第1實(shí)施方式的白熾燈1的立體圖。白熾燈1具備有例如由石英玻璃等光透射性材料所構(gòu)成的發(fā)光管2。在發(fā)光管2的兩端通過埋設(shè)有金屬箔lla、llb、llc、lld的壓緊密封(pinchseal)而形成密封部3a、3b，發(fā)光管內(nèi)部被氣密式密封。在發(fā)光管2的內(nèi)部由例如鎢所構(gòu)成，在同一軸上沿著發(fā)光管2的軸而配設(shè)有在發(fā)光管2的軸方向被分割為2個(gè)的燈絲12a、12b。燈絲12a在一端側(cè)與連接于金屬箔lla的內(nèi)部引線13a電連接，在另一端側(cè)與連接于金屬箔Ud的內(nèi)部引線13d電連接。燈絲12b與燈絲12a同樣，在一端側(cè)與連接于金屬箔llc的內(nèi)部引線13c電連接，在另一端側(cè)與連接于金屬箔Ub的內(nèi)部引線13b電連接。內(nèi)部引線13b連接于燈絲12b的另一端側(cè)。這樣，在燈絲12a上以與管軸方向平行地配設(shè)有用于供電給燈絲12b的內(nèi)部引線13b，在燈絲12b上以與管軸方向平行地配設(shè)有用于供電給燈絲12a的內(nèi)部引線13d。將其中一方內(nèi)部引線13a、(13b)導(dǎo)出至其中一方密封部3a，將另一方內(nèi)部引線13d、(13c)導(dǎo)出至另一方密封部3b,即，將與燈絲12a、(12b)相連接的內(nèi)部引線12a、12d、(12b、12c)導(dǎo)出至不同的密封部3a、3b。這樣，由兩端的密封部3a、3b供電，而對(duì)各自的燈絲12a、(12b)獨(dú)立供電時(shí)，燈絲12a、(12b)與帶有不同電位的內(nèi)部引線13b、(13d)與管軸方向平行地配設(shè)。在被埋設(shè)在密封部3a側(cè)的金屬箔lla、llb上，分別電連接由密封部3a導(dǎo)出至外部的外部引線14a、14b，在密封部3b側(cè)的金屬箔llc、lld上也相同，分別電連接外部引線14c，14d。由此，燈絲12a與外部引線14a、14d電連接，燈絲12b與外部引線14b、14c電連接。在發(fā)光管2的內(nèi)部配置有由石英玻璃所構(gòu)成的2個(gè)絕緣壁5a、5b，在絕緣壁5a、5b的內(nèi)側(cè)配設(shè)有燈絲12a、12b。各個(gè)絕緣壁5a、5b的管軸方向的長度以與被獨(dú)立供電的燈絲12a、12b的全長相等或者比燈絲12a、12b的全長稍長的方式形成。但是，覆蓋燈絲12a的絕緣壁5a并不會(huì)形成長度長至與其它供電電路相連接的燈絲12b為止的情況。這是因?yàn)樵诮^緣壁5a與絕緣壁5b之間，使供電給燈絲12a、12b的內(nèi)部引線13d、13b圍繞的緣故。圖2是第1實(shí)施方式的白熾燈1中形成有絕緣壁5b的部分的放大立體圖。在大致圓筒狀的絕緣壁5b的內(nèi)側(cè)，配置在長邊方向分離設(shè)有多個(gè)環(huán)狀支撐件12br的燈絲12b,因此可將燈絲12b配置在絕緣壁5b的大致中心。此外，在絕緣壁5b的內(nèi)表面形成為沒有突起物的平滑的面，因此也不會(huì)有環(huán)狀支撐件12br的位置偏離的情況。由于環(huán)狀支撐件12br的位置不會(huì)偏離，因此燈絲12b也配置在絕緣壁5b的大致中心，而可停留在該位置。接著，由于發(fā)出光的燈絲12b的位置不會(huì)改變，因此可維持因工件中的白熾燈所造成的配光分布。此外，與燈絲12b在管軸方向平行地配設(shè)的內(nèi)部引線13d，被配置在發(fā)光管2與絕緣壁5b之間。燈絲12b被配置在絕緣壁5b的內(nèi)側(cè)，因此即使未以細(xì)管被覆內(nèi)部引線13d,也可實(shí)現(xiàn)燈絲12b與內(nèi)部引線13d的絕緣。圖3是第1實(shí)施方式的白熾燈1中形成有絕緣壁5b的部分的剖面圖。在絕緣壁5b的外周面沿著管軸形成有由該絕緣壁5b的一端延伸至另一端的槽6。通過在絕緣壁5b的外周面形成槽6，從而在與發(fā)光管2之間形成間隙，槽6的凹部形成為由絕緣壁5b的一端延伸至另一端的路徑。在該路徑配設(shè)有內(nèi)部引線13d。在絕緣壁5b的內(nèi)側(cè)配置有燈絲12b，因此若考慮到燈絲12b本身直徑的大小、或在絕緣壁5b接受由燈絲12b所發(fā)出的熱而形成為高溫，則必須使絕緣壁5b的直徑大至某一程度。但是，為了提供本發(fā)明的白熾燈作為在發(fā)光管2的內(nèi)部未配置有絕緣壁5b的公知類型的白熾燈的替代品，不能過于增大發(fā)光管2的外徑。在絕緣壁5b的外周面形成槽6，且在與發(fā)光管2之間形成沿著管軸延伸的間隙，以該間隙作為路徑而配設(shè)內(nèi)部引線13c、13d，由此可形成為具有大到將絕緣壁5b與發(fā)光管2相接的程度的直徑，即使未使發(fā)光管2的外徑形成為那樣大，也可在內(nèi)部配置絕緣壁5b。此外，由于燈絲12b與內(nèi)部引線13d平行地配置，因此通過來自燈絲12b的熱而使內(nèi)部引線13d易于被加熱，伴隨亮燈、滅燈而使內(nèi)部引線13d伸縮。若內(nèi)部引線13d形成時(shí)所發(fā)生的加工應(yīng)變存在于內(nèi)部時(shí)，則伴隨內(nèi)部引線13d的伸縮而向恢復(fù)加工應(yīng)變的方向作用力。但是，內(nèi)部引線13d在形成于絕緣壁5b的槽6與發(fā)光管2之間所形成的間隙成為路徑而將內(nèi)部引線13d定位，因此不會(huì)有發(fā)光管2的內(nèi)部中的配置位置偏離的情況。因此，可避免對(duì)于作為照射對(duì)象的工件，伴隨亮燈、滅燈使內(nèi)部引線13d的位置偏離而遮蔽由燈絲12b所放射的光的問題。其中，在第1實(shí)施方式的白熾燈1中，在絕緣壁5a、5b的外周面設(shè)置槽而形成有路徑，但是形成路徑的方法并非局限于此。例如，并非為絕緣壁5a、5b的外周面，而在發(fā)光管2的內(nèi)周面設(shè)置槽，在與發(fā)光管2之間形成沿著管軸延伸的間隙，也可將該間隙形成為路徑。接著，說明第l實(shí)施方式的白熾燈l的形成順序。首先，將內(nèi)部引線13a、13b、13c、13d以形成為預(yù)定形態(tài)的方式彎曲形成，在內(nèi)部引線13a、13b、13c、13d的前端連結(jié)燈絲12a、12b。接著，將絕緣壁5a、5b由內(nèi)部引線13a、13b、13c、13d的末端插入，在槽6的凹部配設(shè)有內(nèi)部引線13a、13b、13c、13d而進(jìn)行定位。此外，在內(nèi)部引線13a、13b、13c、13d的末端分別焊接金屬箔lla、llb、llc、lld，接著，在金屬箔lla、llb、llc、lld的另一端焊接外部引線14a、14b、14c、14d。將由這樣形成的內(nèi)部引線13a、13b、13c、13d、連結(jié)構(gòu)件15、保持構(gòu)件4a、保持構(gòu)件4b、燈絲12a、12b、金屬箔lla、llb、llc、lld、外部引線14a、14b、14c、14d所構(gòu)成的架座(mount)插入體插入至發(fā)光管2的內(nèi)部。關(guān)于架座插入體被配置在內(nèi)部的發(fā)光管2，在具有金屬箔lla、llb及金屬箔llc、lld的部位分別密封而形成密封部3a、3b。以下例示具體的數(shù)值。發(fā)光管<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>圖4表示第2實(shí)施方式的白熾燈1的立體圖。在發(fā)光管2內(nèi)在管軸方向排列配置有3個(gè)燈絲24、25、26。分別與被配置在最接近各密封部3a、3b的2個(gè)燈絲24、26的兩端相連結(jié)的內(nèi)部引線24a、24b、26a、26b，向燈絲24、26的最接近的同一密封部方向延伸，由該密封部3a、3b予以保持，并且與被配置在2個(gè)燈絲24、26之間的燈絲25的兩端相連結(jié)的內(nèi)部引線25a、25b向在發(fā)光管2的軸方向彼此不同的方向延伸而由兩端的各密封部3a、3b予以保持。詳而言之，最接近一端部的密封部3a的燈絲24的內(nèi)部引線24a、24b，由密封部3a延伸而分別與燈絲24的端部相連接。這些內(nèi)部引線24a、24b均被保持為在同一密封部3a中與金屬箔21a、21b相連接。另一方面，位于中央部的燈絲25的內(nèi)部引線25a、25b分別向兩端的密封部3a、3b方向延伸，被保持為由該密封部3a、3b與金屬箔22a、22b相連接。關(guān)于最接近另一端側(cè)的密封部3b的燈絲26,也與上述燈絲24相同，其內(nèi)部引線26a、26b被保持為由另一端部的密封部3b內(nèi)與金屬箔23a、23b相連接。在金屬箔21a、21b、22a、22b、23a、23b上分別連接有外部引線27a、27b、28a、28b、29a、29b。此外，在發(fā)光管2內(nèi)部的密封部3a、3b附近設(shè)有玻璃橋(glassbridge)4a、4b。該玻璃橋4a、4b由一對(duì)圓柱狀玻璃構(gòu)件所構(gòu)成，在其間分別夾持有內(nèi)部引線24a、24b、25a、內(nèi)部引線25b、26a、26b。通過形成為如上所述的構(gòu)成，在中央部的燈絲25附近不會(huì)有內(nèi)部引線延伸的情況，來自位于被處理體正上方的燈絲25的照射光不會(huì)被內(nèi)部引線遮蔽而實(shí)現(xiàn)均一照射。以覆蓋最接近一端部的密封部3a的燈絲24的方式配置絕緣壁5a，以覆蓋最接近另一端側(cè)的密封部3b的燈絲26的方式配置絕緣壁5b。另一方面，在中央部的燈絲25附近并未有內(nèi)部引線延伸，因此不必將燈絲25與其它采取絕緣，在燈絲25周圍并未配置有絕緣壁5a、5b。圖5表示第2實(shí)施方式的白熾燈1中的燈絲24附近的放大立體圖。在燈絲24的附近以與管軸方向平行地配設(shè)有用于供電給燈絲24的內(nèi)部引線24b;及用于供電給燈絲25的內(nèi)部引線25a。若未使燈絲24與內(nèi)部引線24b、25a絕緣，則無法獨(dú)立供電給各燈絲24、25、26。在發(fā)光管2的內(nèi)部配置有由石英玻璃所構(gòu)成的絕緣壁5a，在絕緣壁5a的內(nèi)側(cè)配設(shè)有燈絲24。以與燈絲24在管軸方向平行地配設(shè)的內(nèi)部引線24b、25a，被配置在發(fā)光管2與絕緣壁5a之間。因此，未利用細(xì)管來被覆內(nèi)部引線24b、25a，即可實(shí)現(xiàn)與燈絲24的絕緣。在燈絲24上沿長邊方向分離設(shè)置有多個(gè)環(huán)狀支撐件24r，因此可在大致圓筒狀的絕緣壁5a的中心配置燈絲24。在絕緣壁5a的內(nèi)表面并沒有突起物而形成為平滑的面，因此也不會(huì)有環(huán)狀支撐件24r的位置偏離的情況。由于發(fā)出光的燈絲12a、12b的位置不會(huì)改變，因此可維持工件中的白熾燈所產(chǎn)生的配光分布。在絕緣壁5a的外周面沿著管軸形成有由該絕緣壁5a的一端延伸至另一端槽6。通過在絕緣壁5a的外周面形成槽6，在與發(fā)光管2之間形成間隙，槽6的凹部形成為由絕緣壁5a的一端延伸至另一端的路徑。在該路徑配設(shè)有內(nèi)部引線24b、25a。由于路徑進(jìn)行內(nèi)部引線24b、25a的定位，因此可使內(nèi)部引線24b、25a在白熾燈1的亮燈中位置不偏離。因此，對(duì)于作為照射對(duì)象的工件，可避免伴隨亮燈、滅燈，內(nèi)部引線24b、25a的位置偏離而遮蔽由燈絲所放射的光的問題。與燈絲24的鄰接于燈絲25的一端相連結(jié)的內(nèi)部引線24b，由密封部3a與燈絲24呈平行地延伸，形成前端向徑方向彎曲、然后向軸方向彎曲的-字狀。在該內(nèi)部引線24b的-字狀部分抵接絕緣壁5a的一端。此外，在絕緣壁5a的另一端附近，配設(shè)具有大于該絕緣壁5a的內(nèi)徑的最大長度的玻璃橋4a。因此，絕緣壁5a并不會(huì)越過玻璃橋4a而向密封部3a側(cè)移動(dòng)。絕緣壁5a的一端抵接于-字狀的內(nèi)部引線24b，在另一端的附近配置玻璃橋4a而以不會(huì)脫落的方式構(gòu)成，因此可以不會(huì)向該絕緣壁5a的軸方向移動(dòng)的方式進(jìn)行定位。以下表示第2實(shí)施方式的白熾燈1的變形例。圖6是在白熾燈1的燈絲24附近與管軸方向垂直地剖切時(shí)的剖面圖。如圖6(a)所示，在絕緣壁5a的外周面未設(shè)置槽，與被配設(shè)在發(fā)光管2與絕緣壁5a之間的內(nèi)部引線24b、25a相對(duì)應(yīng)，在發(fā)光管2上設(shè)置波紋71a、71b而進(jìn)行內(nèi)部引線24b、25a的定位。該波紋71a、71b形成為由絕緣壁5a的一端延伸至另一端的路徑。波紋71a、71b并不需要跨內(nèi)部引線24b、25a的軸方向而設(shè)在整個(gè)區(qū)域，也可以在能進(jìn)行內(nèi)部引線24b、25a的定位的程度分散幾個(gè)部位而設(shè)置。此外，如圖6(b)、(c)所示，即使在絕緣壁5a的外面不設(shè)置槽，在發(fā)光管2也不設(shè)置波紋71a、71b，也可設(shè)置沿著管軸由絕緣壁的一端延伸至另一端的路徑。絕緣壁5a的外表面或發(fā)光管2的內(nèi)表面均以成為平滑的面的方式形成，如圖6(b)所示，在絕緣壁5a的外表面在各處配置石英玻璃的粒子72a、72b，可設(shè)置進(jìn)行內(nèi)部引線24b、25a定位的路徑。此外，如圖6(c)所示，在發(fā)光管2與絕緣壁5a之間也可配置半缺的石英玻璃73a、73b,在其間隙配置內(nèi)部引線24b、25a而設(shè)置路徑。石英玻璃的粒子72a、72b與半缺的石英玻璃73a、73b均與波紋71a、71b相同，并不需要跨內(nèi)部引線24b、25a的軸方向而設(shè)在整個(gè)區(qū)域，而可以在能進(jìn)行內(nèi)部引線24b、25a的定位的程度分散幾個(gè)部位而設(shè)置。圖7表示第3實(shí)施方式的白熾燈1的立體圖。第3實(shí)施方式的白熾燈1與第2實(shí)施方式的白熾燈1相同，分別與被配置在最接近各密封部3a、3b的2個(gè)燈絲31、34的兩端相連結(jié)的內(nèi)部引線31a、31b、34a、34b，在最接近燈絲31、34的同一密封部方向延伸而由該密封部3a、3b被保持。另一方面，與第2實(shí)施方式的白熾燈1不同，配置有獨(dú)立供電給中央部的2個(gè)燈絲32、燈絲33。與其中一方燈絲33相連接的內(nèi)部引線33a、33b被保持為在密封部3b內(nèi)與金屬箔相連接。與另一方燈絲32相連接的內(nèi)部引線32a、32b分別向兩端的密封部3a、3b方向延伸，被保持為在該密封部3a、3b與金屬箔相連接。以覆蓋最接近一端部的密封部3a的燈絲31的方式配置絕緣壁5a，以覆蓋最接近另一端側(cè)的密封部3b的燈絲34的方式配置絕緣壁5b。此外，以覆蓋被配置在中央的其中一方燈絲33的方式，與絕緣壁5b相鄰接地配置有絕緣壁5c。這樣，在被配置在最接近各密封部3a、3b的燈絲3K34以外，在也具有內(nèi)部引線在附近延伸的燈絲33時(shí)，也在該燈絲33的周圍配置絕緣壁5c。另一方面，在中央部的另一方燈絲32的附近并未有內(nèi)部引線延伸，因此不需要將該燈絲32與其它采取絕緣，在燈絲32的周圍并未配置絕緣壁5a、5b、5c。圖8表示第3實(shí)施方式的白熾燈1中的燈絲33與燈絲34的相鄰部分的放大立體圖。在絕緣壁5c的外表面形成有用于配置與燈絲33的一端相連接的內(nèi)部引線33b的槽6、及用于配置供電給燈絲32的內(nèi)部引線32b的槽6。在絕緣壁5b的外表面，除了用于配置內(nèi)部引線33b的槽6、及用于配置內(nèi)部引線32b的槽6以外，另外形成有用于配置與燈絲33的另一端相連接的內(nèi)部引線33a的槽6、及用于配置與燈絲34的其中一端相連接的內(nèi)部引線34b的槽6。在各絕緣壁5b、5c的外周面，與并行配置的內(nèi)部引線32b、33a、33b、34b的數(shù)量相對(duì)應(yīng)形成有分別沿著管軸由該絕緣壁5b、5c的其中一端延伸至另一端的槽6。通過在絕緣壁5b、5c的外周面形成槽6，在與發(fā)光管2的間形成間隙，槽6的凹部形成為由絕緣壁5b、5c的其中一端延伸至另一端的路徑。將被配設(shè)在絕緣壁5b與發(fā)光管之間的內(nèi)部引線34b與內(nèi)部引線33a，由絕緣壁5b與絕緣壁5c之間向徑方向彎曲，分別在絕緣壁5b、絕緣壁5c的內(nèi)側(cè)配線。表示第3實(shí)施方式的白熾燈1的變形例。圖9用于說明相鄰的2個(gè)絕緣壁5b、絕緣壁5c的連結(jié)方法的立體圖。如圖9(a)所示，在絕緣壁5b的與絕緣壁5c的抵接面設(shè)置切部51，在絕緣壁5c的與絕緣壁5b的抵接面的對(duì)應(yīng)切口部51的位置設(shè)置凸緣部52，通過切口部51與凸緣部52相嵌臺(tái)，可使絕緣壁5c與絕緣壁5b不會(huì)各自旋轉(zhuǎn)。如圖所示，當(dāng)具有跨絕緣壁5b與絕緣壁5c延伸的槽6時(shí)，優(yōu)選具有由切口部51與凸緣部52所構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)防止機(jī)構(gòu)。如圖9(b)所示，也可在形成于絕緣壁5b的外周面的槽6形成切口部51。形成在槽6的切口部51和形成在與切口部51相對(duì)應(yīng)的位置的凸緣部52相嵌合，絕緣壁5b與絕緣壁5c緊密連接配置。但是，形成在絕緣壁5c的凸緣部52并非為占據(jù)至形成于絕緣壁5b的切口部51的基端，以在凸緣部52與切口部51之間開有間隙的方式形成。被配設(shè)在絕緣壁5b的槽6的內(nèi)部引線，從該凸緣部52與切口部51之間的間隙，在絕緣壁5b、絕緣壁5c的內(nèi)側(cè)被配線，而可與燈絲相連接。其中，第1至第3實(shí)施方式所示的白熾燈全部是密封部3a、3b被壓縮密封(pinchseal)而成，但是對(duì)于取代壓縮密封而形成為收縮密封(shrinkseal)的白熾燈，也可適用本發(fā)明的構(gòu)成。若將密封部的形態(tài)形成為收縮密封，則具有可在使內(nèi)部引線沿著發(fā)光管2的內(nèi)表面導(dǎo)出的情況下插入至密封部3a、3b進(jìn)行密封的構(gòu)造上的優(yōu)點(diǎn)。權(quán)利要求1.一種白熾燈，具備在兩端形成有密封部的發(fā)光管；在前述發(fā)光管的內(nèi)部沿管軸方向依序排列配設(shè)的多個(gè)燈絲；及被連結(jié)在各燈絲的兩端的內(nèi)部引線，其特征為在前述多個(gè)燈絲之中至少1個(gè)的周圍，配置有在前述發(fā)光管的管軸方向沿著內(nèi)壁配置的絕緣壁，與該燈絲平行地延伸的內(nèi)部引線被配設(shè)在前述發(fā)光管與前述絕緣壁之間。2.如權(quán)利要求l所述的白熾燈，其特征為，在前述發(fā)光管與前述絕緣壁之間設(shè)有沿著管軸由絕緣壁的一端延伸至另一端的路徑，在該路徑中配設(shè)有前述內(nèi)部引線。3.如權(quán)利要求l所述的白熾燈，其特征為，在周圍配置有前述絕緣壁的燈絲上，沿長度方向分離設(shè)有多個(gè)環(huán)狀支撐件。4.如權(quán)利要求1或2所述的白熾燈，其特征為，前述絕緣壁以相鄰的方式配置，在一方絕緣壁設(shè)有切口部，在另一方絕緣壁設(shè)有凸緣部，前述切口部與前述凸緣部相嵌合。全文摘要本發(fā)明提供一種在實(shí)現(xiàn)燈絲與內(nèi)部引線的絕緣的同時(shí)，可防止燈絲位置移動(dòng)、維持配光分布的白熾燈。本發(fā)明的白熾燈(1)具備在兩端形成有密封部(3a、3b)的發(fā)光管(2)；在發(fā)光管(2)的內(nèi)部沿管軸方向依序排列配設(shè)的多個(gè)燈絲(12a、12b)；及被連結(jié)在各燈絲(12a、12b)的兩端的內(nèi)部引線(13a、13b、13c、13d)，其特征為在多個(gè)燈絲(12a，12b)之中至少1個(gè)的周圍，配置有沿著發(fā)光管(2)的管軸配置的絕緣壁(5a、5b)，與該燈絲(12a，12b)平行地延伸的內(nèi)部引線(13b、13d)被配設(shè)在發(fā)光管(2)與絕緣壁(5a、5b)之間。文檔編號(hào)H01K1/14GK101685760SQ20091017329公開日2010年3月31日申請日期2009年9月22日優(yōu)先權(quán)日2008年9月22日發(fā)明者中島明信,谷野賢二申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社