放電燈、連接用線纜、光源裝置及曝光裝置的制作方法

文檔序號：2946155閱讀：132來源：國知局

專利名稱：放電燈、連接用線纜、光源裝置及曝光裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及放電燈、連接放電燈與電源之時使用的連接用線纜、具備放電燈的光源裝置以及具備該光源裝置的曝光裝置。
背景技術：
在用于制造各種設備(微型設備、電子設備等)的光刻工序中，為了將形成于母版(或光^^才莫等)上的圖案向涂布有抗蝕劑的晶片(或玻璃平板等)上轉印，使用步進機等一次性曝光型(靜止曝光型)的投影曝光裝置以及掃描步進裝置等掃描曝光型的投影曝光裝置等曝光裝置。在這些曝光裝置中，使用將水銀燈等放電燈與聚光鏡組合而成的曝光用的光源裝置，其放電燈被經(jīng)由給定的安裝^保持。
在具有放電燈的以往光源裝置當中，存在一種為了減輕發(fā)熱的影響而
設置有冷卻機構的類型。以往的冷卻機構的一個例子是下述機構，即從放電燈的一方的燈頭的外面經(jīng)由燈泡部的外面向另一方的燈頭的外面供應已,皮冷卻的空氣的才幾構(例如參照專利文獻1 )。作為以往的冷卻才幾構的其他的例子，還已知有下述的機構，即在放電燈的燈頭上設置環(huán)狀的槽部，經(jīng)由該槽部及給定的送風管向燈泡部供應冷卻了的空氣(例如參照專利文獻2)。
專利文獻l:日本特開平9 - 213129號>^才艮專利文獻2:日本特開平11 - 283898號公報
以往的光源裝置的放電燈的冷卻才幾構，因為主要向放電燈的燈泡部吹送冷風，所以存在對燈頭的冷卻作用小的問題。
另外，放電燈中有固定側的燈頭和自由端側的燈頭，在使用以往的冷卻機構對自由端側的燈頭冷卻時，需要在燈頭的周圍也設置送風用的配管，因而會有來自放電燈的光被遮擋很多的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明鑒于此種情況，其目的在于提供一種光源裝置，其對放電燈的燈頭的冷卻作用大，并且在將自由端側的燈頭冷卻之時對從放電燈中產(chǎn)生的光的遮光量少。
另外，本發(fā)明的目的還在于，提供能夠應用于此種光源裝置中的放電燈及連接用線纜以及使用此種光源裝置的曝光技術。
本發(fā)明的放電燈是在玻璃構件的內部收納有用于放電的電極的放
電燈，并且具備連結于該玻璃構件的燈頭構件；安裝于該燈頭構件而由導電性材料形成的中繼構件；固定于該中繼構件而能夠借助該中繼構件向該燈頭構件供應用于放電的電力的第一線纜；設于該中繼構件而用于向該燈頭構件供應冷卻用介質的流路；固定于該中繼構件而能夠經(jīng)由該流路向該燈頭構件供應冷卻用介質的第二線纜。
另外，本發(fā)明的連接用線纜是用于將使用冷卻用介質及電力的裝置與該冷卻用介質的供應源及電源連結的連接用線纜，并且具備中繼構件，其由導電性材料形成，能夠在使用該冷卻用介質及電力的裝置上拆裝；管狀構件，其一端固定于該中繼構件，并且由柔性材料形成，具有該冷卻用介質的流路；導電構件，其與該管狀構件分開地設置，一端固定于該中繼構件，并且由具有導電性的柔性材料形成。
另外，本發(fā)明的光源裝置是與電源和冷卻用介質的供應源連接的光源裝置，并且具備放電燈，其具有收納有用于放電的電極的玻璃構件和與該玻璃構件連結的燈頭構件；本發(fā)明的連接用線纜，該連接用線纜的中繼構件安裝于該放電燈的燈頭構件，在該中繼構件中形成有該冷卻用介質的流路，經(jīng)由該連接用線纜的導電構件及該中繼構件從該電源向該燈頭構件供應電力，經(jīng)由該連接用線纜的管狀構件及該中繼構件從該供應源向該燈頭構件供應該冷卻用介質。
另外，本發(fā)明的曝光裝置是利用從光源裝置中產(chǎn)生的曝光光在感光基板上將圖案曝光的曝光裝置，該光源裝置使用本發(fā)明的光源裝置。
根據(jù)本發(fā)明的放電燈，用于放電的電力經(jīng)由連結構件的導電性構件；中繼構件及燈頭構件向用于放電的電極供應。另外，冷卻用介質經(jīng)由連結構件及設于中繼構件中的流路向燈頭構件供應。
根據(jù)本發(fā)明的連接用線纜，來自電源的電力經(jīng)由具有柔性的導電構件及中繼構件向裝置側供應，來自供應源的冷卻用介質經(jīng)由具有柔性的管狀構件及中繼構件向裝置側供應。
根據(jù)本發(fā)明的光源裝置及曝光裝置，來自電源的電力經(jīng)由連接用線纜及燈頭構件向用于放電的電極供應。另夕卜，來自供應源的冷卻用介質穿過連接用線纜的管狀構件及中繼構件內的流路向燈頭構件供應。因此，對該燈頭構件的冷卻作用大。另外，冷卻用介質在燈頭構件的附近通過設于中繼構件中的流路。因此，在該燈頭構件處于自由端側的情況下，由冷卻用介質供應用的配管等造成的對從放電燈中產(chǎn)生的光的遮光量變少，光的利用效率高，并且光源裝置的溫度上升也很少。

圖l是表示實施方式的一例的投影曝光裝置的概略構成的圖。
圖2(A)是將表示圖1中的放電燈l的一部分切開的圖，圖2(B) 是沿著圖2 (A)的BB線的剖面圖。
圖3 (A)是表示圖2(A)的燈頭部28側的流路折曲構件71的俯視圖，圖3 (B)是表示圖2 (A)的燈頭部28附近的構成的剖面圖，圖3 (C)是圖3 (B)的要部的側視圖。
圖4 (A)是將表示實施方式的一例的連結線纜72的一部分切開的圖，圖4 (B)是表示圖4 (A)中的連結機構73A的側視圖。
圖5是將表示在圖3(B)的放電燈l上借助圖4的連結線纜72連結電源32及送風裝置34的狀態(tài)的一部分切開的圖。
圖6是將表示實施方式的變形例的燈頭部附近的構成的一部分切開的圖。
附圖標記說明1…放電燈，2…橢圓鏡，25…玻璃管，25a…燈泡部，25c…棒狀部，26…燈頭部，28…燈頭部，28b…槽部，30…曝光光源，31…安裝構件，32…電源，33D…電力線纜，34…送風裝置，35D…送風用配管，50…外罩構件，71…流路折曲構件，71c…送風路，72… 連結線纜，73A、 73B…連結機構，74A、 74B…環(huán)狀構件，75A、 75B… 控制桿，76A、 76B…送風用端子。
具體實施例方式
下面，參照圖1~圖5對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的一例進行說明。
圖1表示具備本例的曝光光源30的投影曝光裝置(曝光裝置)，在該圖1中，由弧放電型的水銀燈構成的放電燈1經(jīng)由安裝裝置31固定于由絕緣物制成的固定板29。另外，分別從電源32經(jīng)由具有柔性的電力線纜33D及33B向放電燈1內的陽極側及陰極側的電極供應電力。另外，經(jīng)由具有柔性的送風用配管35D及35B從送風裝置34穿過防塵過濾器向放電燈l的兩個燈頭供應已被冷卻的空氣(以下稱作冷風。)。送風裝置34能夠使用以給定的風量供應通過取入外部氣體而進行除塵及冷卻所得到的空氣(或者也可以是從氮氣瓶中取入的氮氣等)的機構。送風裝置34除此以外，還可以使用在工廠內用于向氣缸等供應壓縮空氣的壓縮空氣供應部。該冷風也可以是室溫左右，但也可以不是一定要冷卻到室溫以下。
另外，未圖示的支架上固定有橢圓鏡2 (聚光鏡)，并且包圍放電燈 1的燈泡部。放電燈1的燈泡部內的發(fā)光部作為一例配置于橢圓鏡2的第一焦點P1的附近。曝光光源30構成包括放電燈l、橢圓鏡2、安裝構件31、電力線纜33D、 33B、送風用配管35D、 35B、電源32以及送風裝置34 (詳情后述)。
從放電燈1射出的光束，被橢圓鏡2會聚在第二焦點P2附近后，穿過打開狀態(tài)的快門3的附近而成為發(fā)散光，射入光路折曲用的反射鏡 4。快門3利用快門驅動裝置3a進行開閉，作為一個例子，后述的載臺控制系統(tǒng)15根據(jù)統(tǒng)一控制裝置整體的動作的主控制系統(tǒng)14的指令來控制快門驅動裝置3a。
由反射鏡4反射的光束射入干涉濾光器5，利用干涉濾光器5僅選擇給定的亮線(例如波長365nm的i線)的曝光光IL。這里，作為曝光光IL除了 i線以外，也可以使用g線、h線或它們的混合光等或者水銀燈以外的燈的亮線等。該被選擇的曝光光IL射入復眼透鏡6 (光學積分器)，在配置在復眼透鏡6的射出面上的可變孔徑光闌7上形成多個二次光源。穿過可變孔徑光闌7的曝光光IL經(jīng)過第一中繼透鏡8射入母版遮簾(可變視場光闌)9。母版遮簾9的配置面實質上與母版R 的圖案面共軛，通過經(jīng)由驅動裝置9a設定母版遮簾9的開口形狀，來規(guī)定母版R上的照明區(qū)域。另外，也可以如下構成，即載臺控制系統(tǒng) 15能夠借助驅動裝置9a將母版遮簾9開閉，從而在晶片W的步進時等情況下不會將不需要的曝光光向晶片W上照射。
穿過母版遮簾9的曝光光IL,經(jīng)由第二中繼透鏡10、反射曝光光 IL的二向色鏡11及聚光透鏡12將母版R的圖案面的圖案區(qū)域落射照明。照明光學系統(tǒng)13構成包括快門3、反射鏡4、干涉濾光器5、復眼透鏡6、可變孔徑光闌7、中繼透鏡8、 10、母版遮簾9、二向色鏡ll 及聚光透鏡12。來自曝光光源30的光束經(jīng)過照明光學系統(tǒng)13作為曝光光IL將母版R (掩模)照明，母版R的圖案區(qū)域內的圖案，經(jīng)由投影光學系統(tǒng)PL在涂布有光刻膠的晶片W(感光基板)的一個拍攝區(qū)域上以投影倍率P ( p例如為1/4、 1/5等)曝光。下面，與投影光學系統(tǒng) PL的光軸AX平行地取Z軸，在垂直于Z軸的平面內與圖1的紙面平行地取X軸，與圖1的紙面垂直地取Y軸進行說明。
此時，母版R被保持在能夠在母版基座(未圖示)上沿X方向、Y 方向及繞Z軸的旋轉方向輕微移動的母版載臺RST上。母版載臺RST 的位置由向固定于其上的移動鏡17R照射計測用激光束的激光干涉儀 18R高精度地計測，該計測值被提供應載臺控制系統(tǒng)15及主控制系統(tǒng) 14。根據(jù)該計測值及來自主控制系統(tǒng)14的控制信息，載臺控制系統(tǒng)15 經(jīng)由包括線性電機等的驅動系統(tǒng)19R控制母版載臺RST的位置。
另一方面，晶片W經(jīng)由未圖示的晶片夾具保持在晶片載臺WST上，晶片載臺WST被能夠在晶片基座(未圖示)上沿X方向及Y方向自由移動地放置。晶片載臺WST的位置由向固定于其上的移動鏡17W照射計測用激光束的激光干涉儀18W高精度地計測，該計測值被提供應載臺控制系統(tǒng)15及主控制系統(tǒng)14。才艮據(jù)該計測值及來自主控制系統(tǒng)14 的控制信息，載臺控制系統(tǒng)15經(jīng)由包括線性電機等的驅動系統(tǒng)19W控制晶片載臺WST (晶片W)的位置。在晶片W的曝光時，以分步重復方式(step - and - repeat)反復進行下述動作，即利用晶片載臺WST將晶片W的各拍攝區(qū)域向投影光學系統(tǒng)PL的曝光區(qū)內移動的動作；將來自曝光光源30的光束經(jīng)由照明光學系統(tǒng)13向母版R照射，將母版R的圖案經(jīng)由投影光學系統(tǒng)PL 在晶片W上的該拍攝區(qū)域中曝光的動作。這樣，母版R的圖案的像就被轉印到晶片W上的各拍攝區(qū)域。這里，為了在該曝光之時預先進行對準，在母版R的上方，設有用于檢測形成在母版R上的對準標記的位置的母版對準系統(tǒng)20,在投影光學系統(tǒng)PL的側面，設有用于檢測附設在晶片W上的各拍攝區(qū)域中的對準標記的位置的對準傳感器21。另外，在晶片載臺WST上的晶片W 的附近設有形成了用于對準傳感器21等的多個基準標記的基準標記構件22。母版對準系統(tǒng)20及對準傳感器21的檢測信號被供應給對準信號處理系統(tǒng)16,對準信號處理系統(tǒng)16例如利用這些檢測信號的圖像處理求出受檢標記的排列坐標，將該排列坐標的信息供應主給控制系統(tǒng)14。主控制系統(tǒng)14根據(jù)該排列坐標的信息進行母版R及晶片W的對準。下面，對包括本例的投影曝光裝置的放電燈1的曝光光源30的基本的構成進行說明。圖2 (A)是將表示圖1的曝光光源30中的放電燈1及其安裝機構的一部分切開的閨，該圖2 (A)中放電燈1具備由燈泡部25a及將其夾著而固定的大致對稱且圓筒狀的2個棒狀部25b、 25c構成的玻璃管25;陰極側的與一方的固定側的棒狀部25b的端部連結的燈頭部26;陽極側的與朝向另一方的外側直徑階段性地變小的自由端側的棒狀部25c的端部連結的燈頭部28。在該燈泡部25a內相面對地固定有用于形成發(fā)光部的陽極 EL1及陰極EL2，陰極EL2及陽極EL1分別與燈頭部26及28連接，燈頭部26及28由電導率及熱導率良好的金屬制成。燈頭部26、玻璃管25 及燈頭部28配置于將玻璃管25的棒狀部25b、25c的中心軸連結而穿it^L 光部的中心的一條直線上。與連結該棒狀部25b、 25c的中心軸的直線平行的方向是放電燈1的長度方向L。燈頭部26及28基本上作為用于從電源32經(jīng)由電力線纜33B及33D (參照圖1 )向陰極EL2及陽極EL1供應電力的電力接收端子使用。此外，燈頭部26還作為用于保持玻璃管25 (放電燈1)的被保持部使用，燈頭部26及28都具備流過用于將從玻璃管25傳導過來的熱冷卻的氣體的M。即，在與陰極EL2連接的燈頭部26中，從棒狀部25b起向外側依次形成凸緣部26a、圓柱狀的軸部26b、圓柱狀的凹部26f、與軸部26b相比外徑略小的圃柱狀的固定部26h,凹部26f與固定部26h的交界部形成有由與長度方向L大致垂直的面構成的被推壓面26g。在固定放電燈1時，將放電燈1的軸部26b嵌合在以雙點劃線表示的安裝構件31的開口部31b中，將凸緣部26a放置在安裝構件31的上面31a 上。如圖2 (B)所示，在凸緣部26a上形成有圓形的開口 27A、 27B,通過向這些開口 27A、 27B中插穿固定于圖2 (A)的上面31a的圓柱狀的突部(未圖示)，從而對放電燈l進行旋轉方向的定位。另外，在軸部26b的外面，繞著平行于長度方向L的軸以螺旋狀形成有槽部26d。從送風裝置34經(jīng)由具有柔性的送風用配管35B及形成于安裝構件31上的送風路31c向槽部26d供應冷風。另夕卜，在導電性良好的金屬制的安裝構件31上利用螺栓39固定有端子38，端子38利用電力線纜33B 與電源32連接。利用該構成從電源32經(jīng)由電力線纜33B、端子38、安裝構件31及燈頭部26的凸緣部26a向放電燈1的陰極EL2供應電力。另外，在安裝構件31的下方的3個部位，能夠自由旋轉地并且被拉伸螺旋彈簧37A、 37B、 37C向下方推靠地固定有推靠構件36A、 36B、 36C。通過用推靠構件36A ~ 36C的頭端部將燈頭部26的被推壓面26g向下方推靠，能夠將燈頭部26(乃至放電燈1)穩(wěn)定地保持在安裝構件31上。另夕卜，通過利用未圖示的控制桿機構將推靠構件36A 36C向上方提拉，能夠將放電燈1很容易地從安裝構件31上卸下。接著，在圖2 (A)中，放電燈l的陽極側(本例中也是自由端側)的燈頭部28的概略結構是在近似圓柱狀的軸部28a的表面繞著平行于長度方向L的軸以螺旋狀形成槽部28b的結構。另外，固定有導電性良好的金屬 (例如銅、黃銅、鋁等。以下相同)制的近似圓筒狀的外罩構件50，以便從外側覆蓋燈頭部28。外罩構件50上固定有導電性良好的金屬制的流路折曲構件71。圖3 (B)是表示圖2(A)的放電燈l的陽極側的燈頭部28附近的構成的放大剖面圖，圖3 (A)是圖3 (B)的俯視圖，圖3(C)是圖3(B) 的要部的側視圖。圖3 (B)中，在形成有燈頭部28的槽部28b的軸部28a的上端，隔著環(huán)狀的缺口部28d形成圓板狀的裝載部28c,從裝載部28c 的中心部朝向外側地形成通氣用的槽部28e。另外，外罩構件50具有放置于裝載部28c的上面的環(huán)形的平板部 50a;覆蓋燈頭部28的側面的圓筒部50c，圓筒部50c的頭端部50ca比燈頭部28更向玻璃管25的棒狀部25c側延伸。這里，圖3(B)中，雖然描繪成在軸部28a與圓筒部50c之間具有間隙，然而該間隙實際上也可以極小。在固定于外罩構件50上的流^54斤曲構件71的平板部71a的底面形成圃筒狀的突部71d,圓筒狀的突部71d向外罩構件50的平板部50a的中央的開口 50b突出，平板部71a的上面形成有圓柱狀的嵌合部71b。此外，從流膝折曲構件71的突部71d的中央部朝向嵌合部71b的大致中間的高度的位置，并在此處與嵌合部71b的側面的開口 71e (參照圖3 (C))連通地形成折曲的送風路71c,從開口 71e向送風路71c供應用于冷卻燈頭部28的冷風。如圖3(A)所示，在流路折曲構件71的上面的4個部位形成锪孔部71f，利用锪孔部71f內的螺栓53，如圖3(B)所示，將流5M斤曲構件71及外罩構件50 (設有螺栓53用的開口 ) 一體化地固定于燈頭部 28。圖3 (B)中，經(jīng)由圖1的電力線纜33D向流5I4斤曲構件71供應的電力，經(jīng)過外罩構件50及燈頭部28向玻璃管25內的陽極供應。另夕卜，經(jīng)由圖1的送風用配管35D向流漆纖曲構件71的開口 71e供應的冷風，穿過送風路71c、外罩構件50的開口 50b、槽部28e;^缺口部28d向燈頭部28 的槽部28b供應，流過槽部28b的空氣被從棒狀部25c與外罩構件50的頭端部50ca之間向圖2 (A)的玻璃管25的燈泡部25a側吹送。這樣，能夠有效地冷卻燈頭部28及玻璃管25。此外，圖4 (A)是將包括圖1的電力線纜33D及送風用配管35D的本例的表示連結線纜72的一部分切開的圖，連結線纜72是將第一連結機構73A、電力線纜33D及送風用配管35D、第二連結機構73B連結而構成的。另外，圖4 (B)是表示圖4 (A)中的第一連結機構73A的側視圖。圖4 (A)中，第一連結機構73A具備形成有柔和地嵌合在圖3(B) 的流膝纖曲構件71的嵌合部71b中的貫穿孔74Aa的環(huán)狀構件74A;在頭端形成有螺玟部的控制桿75A;止動螺釘79A。環(huán)狀構件74A由導電性良好的金屬制成。沿著包含貫穿孔74Aa的中心軸的平面橫切貫穿孔74Aa 地形成狹縫部74Ab，橫切狹縫部74Ab地形成貫穿孔及螺紋部74Ae (參照圖4 (B))?？刂茥U75A穿過該貫穿孔而將其頭端的螺紋部而與螺紋部 74Ae螺合地安裝于環(huán)狀構件74A。利用該構成，如圖4(B)所示，通過在環(huán)狀構件74A的貫穿孔74Aa中嵌合了流路折曲構件71的嵌合部71b 的狀態(tài)下，利用控制桿75A將狹縫部74Ab緊固，能夠迅速并且容易地將環(huán)狀構件74A穩(wěn)定地安裝于流路折曲構件71。環(huán)狀構件74A的上面及底面(放置于流i M斤曲構件71的平板部71a 上的面)被加工為平面，在其上面的狹縫部74Ab的附近，如圖4(B)所示形成有螺紋部74Ag。另夕卜，在環(huán)狀構件74A的大致中間的高度的位置，形成具有與貫穿孔74Aa連通的第一敞開端的T字形的送風路74Ac，在送風路74Ac的第二敞開端形成螺玟部74Ad，送風路74Ac的第三敞開端被止動螺釘79A封堵。在環(huán)狀構件74A內必需的送風路是將內側的貫穿孔 74Aa及側面的一處連通的送風路，然而由于難以加工僅具有2個敞開端的送風路，因此在形成了容易加工的T字形的送風路74Ac后，將不需要的第三敞開端用止動螺釘79A封堵。這樣，連結機構73A的制造就會變得容易。另外，如圖4 (B)所示，與環(huán)狀構件74A的貫穿孔74Aa連通的送風路74Ac的第一敞開端的距離底面的高度，與設于流路折曲構件71的嵌合部71b中的開口 71e (與圖3 (B)的送風路71c連通)的距離平板部71a 的高度相同。在本例中，在環(huán)狀構件74A的貫穿孔74Aa中嵌合了流^4斤曲構件71的嵌合部71b的狀態(tài)下，調整環(huán)狀構件74A相對于流膝肝曲構件71的相對的旋轉角，使得送風路74Ac的第一敞開端與流路纖曲構件71 的開口71e相面對。這樣，能夠將從環(huán)狀構件74A的送風路74Ac的螺紋部74Ad側供應的冷風經(jīng)由流5M斤曲構件71的送風路71c向圖3 (B)的燈頭部28側供應。另夕卜，形成于環(huán)狀構件74A的上面74Af中的螺紋部74Ag和與送風路 74Ac連通的螺紋部74Ad，如圖4(A)所示，以將狹縫部74Ab夾入的配置形成。利用該構成，能夠與側面方向大致平行地向環(huán)狀構件74A上連接電力線纜33D及送風用配管35D。另外，第二連結機構73B與第一連結機構73A相同，并且具備具有貫穿孔74Ba的導電性良好的金屬制的環(huán)狀構件74B;與之連結而將狹縫部74Bb緊固的控制桿75B;用于將環(huán)狀構件74B內的T字形的送風路74Bc 的第三敞開端封堵的止動螺釘79B。
另外，本例的電力線纜33D是將細長的多條導線編成圓筒的網(wǎng)眼狀的具有柔性的構件。電力線纜33D的兩端分別固定有具有形成了開口的平板部的導電性的第一及第二端子77A、 77B。另外，送風用配管35D由軟性的合成樹脂(例如軟質聚氯乙烯、低密度聚乙烯等，以下相同)或合成橡膠等制成，并且是具有柔性的細長的圓筒狀的構件，在其內部吹過冷風。在送風用配管35D的兩端，分別以氣密狀態(tài)固定有圓筒狀且在內部形成有送風路76Aa等的第一及第二送風用端子76A、 76B。在第一送風用端子 76A的頭端部，形成有與環(huán)狀構件74A的螺紋部74Ad螺合的螺紋部76Ab，在第二送風用端子76B的頭端部也形成有與環(huán)狀構件74B的iHX路74Bc 的敞開端的螺紋部螺合的螺紋部。
另外，通過在第一連結機構73A的環(huán)狀構件74A的上面74Af上放置了第一端子77A的平板部的狀態(tài)下，將螺栓78A穿過該平板部的開口與螺紋部74Ag螺合，從而將第一端子77A固定于環(huán)狀構件74A上。同樣，通過利用螺栓78B將第二端子77B固定于環(huán)狀構件74B上，將第一連結^ 73A的環(huán)狀構件74A與第二連結機構73B的環(huán)狀構件74B以借助電力線纜33D電導通的狀態(tài)連結。
另外，第一送風用端子76A的螺紋部76Ab #皮與環(huán)狀構件74A的螺紋部74Ad螺合狀連結，第二送風用端子76B的螺紋部被與環(huán)狀構件74B的未圖示的螺紋部螺合狀連結。其結果是，第一連結機構73A的環(huán)狀構件74A 的貫穿孔74Aa與第二連結機構73B的環(huán)狀構件74B的貫穿孔74Ba經(jīng)由送風用配管35D連通。
在圖4 (A)的連結線纜72中，從圖1的電源32向第二連結機構73B 的環(huán)狀構件74B供應的電力，經(jīng)由電力線纜33D及第一連結機構73A的環(huán)狀構件74A,向圖3 (B)的流5M斤曲構件71供應。另外，從圖1的送風裝置34A向圖4 (A)的第二連結機構73B的環(huán)狀構件74B內的送風路 74Bc供應的冷風，經(jīng)由送風用配管35D及第一連結機構73A的環(huán)狀構件 74A內的送風路74Ac向圖3( B )的流^M斤曲構件71的送風路71c內吹送。
這里，圖4 (A)中，將連結機構73A、 73B看作連結線纜72的一部分，然而通過將連結機構73A安裝于圖3(A)的放電燈1的流i M斤曲構件71上，也可以將連結機構73A看作放電燈1的一個構成構件。
另外，也可以從圖4(A)的連結線纜72中省略第二連結機構73B。在該情況下，也可以將電力線纜33D的第二端子77B與圖1的電源32的端子等直接連接，將送風用配管35D的第二送風用端子76B與圖1的送風裝置34的送風用的配管直接連接。
接著，圖5表示將圖3(B)的放電燈1的流5M斤曲構件71與圖1的電源32及送風裝置34用圖4 (A)的連結線纜72連結(連接)的狀態(tài)，該圖5中，在導電性良好的金屬制的安裝構件40上，借助利用螺栓44固定了的端子及電力線纜46連接有電源32。另外，在安裝構件40上，利用螺栓(未圖示)固定有與圖3(B)的流漆纖曲構件71大致相同結構的導電性良好的金屬制的流膝纖曲構件47。
流路折曲構件47具有固定于安裝構件40上的平板部47a;從平板部47a中向外側突出的圓柱狀的嵌合部47b,從平板部47a的底面延伸到嵌合部47b的中間左右的高度的位置后與嵌合部47b的側面的開口連通地形成送風路47c。從送風裝置34經(jīng)由配置于安裝構件40的凹部40a及送風路中的配管45向送風路47c供應冷風。
圖5中，為了在放電燈1的流路折曲構件71上連接連結線纜72，向流路折曲構件71的嵌合部71b中嵌合第一連結機構73A的環(huán)狀構件74A 的貫穿孔74Aa，在將圖4 (A)的送風路74Ac的第一敞開端與圖3 (B) 的流漆纖曲構件71的開口 71e相面對的狀態(tài)下，將圖4(A)的控制桿75A 緊固。
同樣，為了在圖5的電源側的流路忻曲構件47上連接連結線纜72，向流路折曲構件47的嵌合部47b中嵌合第二連結機構73B的環(huán)狀構件74B 的貫穿孔74Ba,在將圖4(A)的送風路74Bc的第一敞開端與圖5的與流路折曲構件47的送風路47c連通的開口相面對的狀態(tài)下，將圖4 (A)的控制桿75B緊固。這樣通過使用連結線纜72,能夠極為容易并且迅速地將電源32及送風裝置34與放電燈1連接。
圖5中，從電源32經(jīng)由電力線纜46、安裝構件40向流路折曲構件47 供應的電力經(jīng)由連結線纜72的第二連結機構73B的環(huán)狀構件74B、第二端子77B、電力線纜33D、第一端子77A及第一連結機構73A的環(huán)狀構件 74A向放電燈1的流5M斤曲構件71供應。向流路針曲構件71供應的電力經(jīng)由外罩構件50及燈頭部28向玻璃管25內的陽極供應。
另一方面，從圖5的送風裝置34經(jīng)由配管45向流漆忻曲構件47內的送風路47c供應的冷風，如箭頭A1、 A2、 A3、 A4所示，經(jīng)由第二連結機構73B的環(huán)狀構件74B內的送風路74Bc、第二送風用端子76B、送風用配管35D、第一送風用端子76A及第一連結機構73A的環(huán)狀構件74A內的送風路74Ac，向流^M斤曲構件71內的送風路71c吹送。此后，向送風路71c供應的冷風，如箭頭A5、 A6、 A7所示，穿過外罩構件50的開口 50b、槽部28e、缺口部28d、燈頭部28的槽部28b及棒狀部25c與外罩構件50的圃筒部50c的頭端部之間的空間，向玻璃管25的燈泡部25a(參照圖2(A))側吹送。這樣，能夠有效地冷卻燈頭部28及玻璃管25。
另外，圖5中，例如在為了進行放電燈l的維護，將連結線纜72與放電燈l分離的情況下，只要松開圖4 (A)的控制桿75A，將第一連結機構 73A的環(huán)狀構件74A從流路折曲構件71的嵌合部71b中卸下即可。同樣，為了將連結線纜72與圖5的電源32及iHX裝置34分離，只要木>開圖4( A) 的控制桿75B而將第二連結機構73B的環(huán)狀構件74B從流路折曲構件47 的嵌合部47b中卸下即可。這樣通過使用連結線纜72，能夠極為容易并且迅速地將電源32及iHX裝置34與放電燈1分離。
本實施方式的曝光光源30及曝光裝置的作用效果如下所示。
(1) 在圖3 (B)的放電燈l的流i M斤曲構件71上連結了圖4 (A) 的第一連結機構73A (環(huán)狀構件74A)的狀態(tài)的燈具備連結于玻璃管25 的燈頭部28;(借助流路折曲構件71)安裝于該燈頭部28而由導電性材料形成的環(huán)狀構件74A;固定于環(huán)狀構件74A而可以經(jīng)由環(huán)狀構件74A向燈頭部28供應用于放電的電力的電力線纜33D; i更于環(huán)狀構件74A而用于向燈頭部28供應冷風的送風路74Ac;固定于環(huán)狀構件74A而可以經(jīng)由送風路74Ac向燈頭部28供應冷風的送風用配管35D。
因此，用于放電的電力經(jīng)由電力線纜33D、環(huán)狀構件74A及燈頭部28 向用于放電的電極供應，冷風經(jīng)由送風用配管35D及環(huán)狀構件74A內的送風路74Ac向燈頭部28供應。這樣，能夠有效地冷卻燈頭部28。
(2) 另夕卜，圖4 (A)的環(huán)狀構件74A具有連接電力線纜33D的上面74Af (第一端子部)；連接送風用配管35D并且形成有與送風路74Ac 連通的開口的螺紋部74Ad (第二端子部)。因此，能夠很容易地連接電力線纜33D及送風用配管35D。(3) 另外，如圖5所示，燈頭部28與玻璃管25的長度方向L側連結，環(huán)狀構件74A的螺紋部74Ad (參照圖4 (B))被朝向與長度方向L 正交的方向(也可以是交叉的方向)而安裝于環(huán)狀構件74A。因此，由于能夠將圖4 (A)的送風用配管35D沿與該長度方向L正交的方向連結在該環(huán)狀構件74A (第一連結機構73A)上，因此能夠將送風用配管35D遠離圖1的橢圓鏡2的第二焦點P2地配置。因此，由于能夠減少由送風用配管35D (連結線纜72)造成的對來自放電燈l的光的遮光量，因此光的利用效率提高，并且曝光光源30的發(fā)熱量變少。另外，在本例中，由于電力線纜33D與送風用配管35D大致平行地與環(huán)狀構件74A連結，因此也能夠將電力線纜33D遠離橢圓鏡2的第二焦點 P2地配置。所以，能夠進一步減少來自放電燈l的光的遮光量。(4) 另外，圖4 (A)的環(huán)狀構件74A的螺紋部74Ad與送風用配管 35D的第一送風用端子76A的螺紋部76Ab卡合。因此，能夠將ilLX用配管35D利用螺紋的螺合迅速并且穩(wěn)定地連結于環(huán)狀構件74A。(5) 另外，環(huán)狀構件74A的上面74Af是形成了用于將電力線纜33D 的第一端子77A螺旋緊固的螺紋部74Ag的平坦部。因此，能夠將電力線纜33D迅速并且穩(wěn)定地連結于環(huán)狀構件74A。(6) 另外，在本例中，在圖3 (A)的燈頭部28上經(jīng)由外罩構件50 設有具有嵌合部71b的流路折曲構件71，圖4 (A)的環(huán)狀構件74A具有與嵌合部71b嵌合(卡合)的貫穿孔74Aa;橫切該貫穿孔74Aa地設置的狹縫部74Ab，具備在將貫穿孔74Aa嵌合在嵌合部71b中的狀態(tài)下將狹縫部74Ab緊固的控制桿75A。因此，通過將控制桿75A緊固或;^開，能夠很容易地并且在短時間內進行環(huán)狀構件74A相對于流路折曲構件71的拆裝。(7) 另外，環(huán)狀構件74A的送風路74Ac在外罩構件50和燈頭部28 之間連通。因此，能夠有效地冷卻燈頭部28。(8) 另外，在本例中，經(jīng)由圖3 (B)的外罩構件50與燈頭部28之間向玻璃管25側供應冷風。這樣通過將冷卻了燈頭部28的空氣向玻璃管 25側供應，能夠將玻璃管25也冷卻。就此而言，通過將外罩構件50的圓筒部50c的頭端部50ca延伸得比燈頭部28還長，能夠提高對玻璃管25的冷卻效果。但是，例如在送風量很多之類的情況下，不一定需要將頭端部
50ca延伸得比燈頭部28還長。
而且，也可以取代冷風(或其他的氣體)而使用已被冷卻的液體(純水、氟系惰性液體等)。在該情況下，也可以^L置用于將流過燈頭部28的表面的液體回收而再次冷卻以^使向送風用配管35D (該情況下為液體供應用的配管)供應的回ijti洛。
(9) 另外，在圖3 (B)的外罩構件50與燈頭部28之間的、燈頭部 28的軸部28a的表面以螺旋狀形成有作為送風路的槽部28b。這樣通過以螺旋狀向燈頭部28的表面送風，能夠提高燈頭部28的冷卻效率。
這里，也可以不是l象這樣在燈頭部28的軸部28a側:&置槽部28b,而是在外罩構件50的圓筒部50c的與軸部28a相面對的區(qū)域形成螺旋狀的槽部。利用該構成也可以提高燈頭部28的冷卻效率。
(10) 另外，在圖3 (B)的燈頭部28的上端設有裝載部28c，螺旋狀的槽部28b與設于裝載部28c的側面的槽部28e連通。因此，能夠在該裝載部28c上設置外罩構件50及流5M斤曲構件71、環(huán)狀構件74A等，并且能夠將來自環(huán)狀構件74A的送風路74Ac及流路忻曲構件71的送風路 71c的冷風經(jīng)由外罩構件50的開口 50b及該槽部28e導向燈頭部28的側面的槽部28b。
(11) 另外，圖4 (A)的連結線纜72是用于將使用冷風及電力的放電燈1與送風裝置34及電源32連結的連接用線纜，并且具備環(huán)狀構件 74A,其由導電性材料制成，能夠在放電燈1 (流路折曲構件71)上拆裝；送風用配管35D,其一端固定于環(huán)狀構件74A，并且由柔性材料制成，具有該冷風的送風路；電力線纜33D,其與送風用配管35D分開地設置，一端固定于環(huán)狀構件74A，并且由具有導電性的柔性材料制成。
利用該連結線纜72 ，能夠將來自電源32的電力經(jīng)由電力線纜33D及環(huán)狀構件74A向放電燈1側供應，將來自送風裝置34的冷風經(jīng)由送風用配管35D及環(huán)狀構件74A (送風路74Ac)向放電燈1供應。因此，能夠經(jīng)由一個環(huán)狀構件74A將電力和冷風很容易地向放電燈1供應。
(12) 另外，由于電力線纜33D是將多條導線以網(wǎng)眼狀編成的構件，因此能夠4艮容易地同時實現(xiàn)柔性和導電性兩方面。
而且，也可以將電力線纜33D的外側用具有柔性的絕緣材料覆蓋。另外，作為電力線纜33D,也可以使用由通常的絕緣材料覆蓋了的引線等。(13 )另外，環(huán)狀構件74A具有連接電力線纜33D的上面74Af; 連接送風用配管35D并且在內部形成有冷風的送風路74Ac的螺紋部 74Ad。因此，能夠將電力線纜33D及送風用配管35D很容易地連接于環(huán) 狀構件74A。(14) 另外，環(huán)狀構件74A是在中央部形成了貫穿孔74Aa的圓板狀構件，在該圓板狀構件的側面形成有送風用配管35D所連結的螺紋部 74Ad。因此，由于在將環(huán)狀構件74A安裝于放電燈1上的情況下，能夠沿與放電燈1的長度方向L (參照圖2 (A))正交的方向，即沿著遠離圖1 的橢圓鏡2的第二焦點P2的方向連結送風用配管35D,因此能夠減少由送風用配管35D造成的對來自放電燈1的光的遮光量。(15) 另外，送風用配管35D的一端固定有形成了螺紋部76A的空心的第一送風用端子76A,環(huán)狀構件74A的螺紋部74Ad與第一送風用端子 76A的螺玟部76Ab螺合。因此，能夠經(jīng)由第一送風用端子76A將送風用配管35D ^艮容易地連結于環(huán)狀構件74A。(16) 另外，電力線纜33D的一端固定有包含形成了開口的平板部的第一端子77A，環(huán)狀構件74A的上面74Af是形成用于將該第一端子77A 的平板部螺旋緊固的螺紋部74Ag的平坦部。因此，能夠經(jīng)由該平板部將電力線纜33D 4艮容易并且穩(wěn)定地固定于該上面74Af。(17) 另外，本例的膝光光源30是與圖5的電源32和送風裝置34連接的裝置，如圖5所示，具備放電燈l,其具有收納了用于放電的電極的玻璃管25、與玻璃管25連結的燈頭部28;和連結線纜72,連結線纜72 的環(huán)狀構件74A安裝于放電燈1的燈頭部28，并且在環(huán)狀構件74A上形成有冷風用的送風路74Ac，經(jīng)由連結線纜72的電力線纜33D及環(huán)狀構件 74A，從電源32向燈頭部28供應電力，經(jīng)由連結線纜72的送風用配管35D 及環(huán)狀構件74A從送風裝置34向燈頭部28供應冷風。因此，來自電源32的電力朝L從該燈頭部28向玻璃管25內的用于放電的電極供應，來自送風裝置34的冷風被向燈頭部28供應。因此，對燈頭部28的冷卻作用4艮大。另外，冷風在燈頭部28的附近穿過i殳于環(huán)狀構件 74A上的送風路74Ac。因此，在1象本例那樣燈頭部28處于自由端側的情況下，由冷風供應用的配管等造成的對M電燈1中產(chǎn)生的光的遮光量變少，光的利用效率高，并且曝光光源30的溫度上升也^^少。
(18)另外，本例的曝光裝置是利用從放電燈l中產(chǎn)生的曝光光在晶片W (感光基板)上將母版R的圖案曝光的曝光裝置，作為曝光光源使用本例的曝光裝置30。因此，來自放電燈l的光的遮光量變少，能夠提高曝光光的照度而提高曝光工序的生產(chǎn)率。另外，由于可以將放電燈l有效地冷卻，減少熱變形，因此能夠提高成像特性等。
另外，在上述的實施方式中，如圖3(B)所示，在燈頭部28與外罩構件50之間形成有螺旋狀的槽部28b。但是也可以如圖6所示使用在圓筒狀的軸部28e中未形成槽部等的燈頭部28A。圖6的構成中，流路折曲構件71的送風路71c內的空氣，經(jīng)由設于燈頭部28A的裝載部 28c的一部分的槽部28e向軸部28a與外罩構件50的圓筒部50c之間的空間供應，原樣不動地經(jīng)過軸部28a的表面流向棒狀部25c側。
另外，上述的實施方式的投影曝光裝置(曝光裝置)，能夠通過將由曝光光源、多個透鏡等構成的照明光學系統(tǒng)及投影光學系統(tǒng)裝入曝光裝置主體而進行光學調整，將由多個機械部件構成的母版載臺或晶片載臺安裝在曝光裝置主體上而連接配線或配管，繼而進行綜合調整(電氣調整、動作確認等)來制造。這里，該投影曝光裝置的制造最好在控制了溫度及潔凈度等的無塵室中進行。
另外，半導體設備等微型設備可以經(jīng)過進行微型設備的功能、性能設計的步驟；制作基于該設計步驟的掩模(母版)的步驟；制造作為設備的基材的基板的步驟；基板處理步驟，其包括利用所述的實施方式的投影曝光裝置將母版的圖案在基板(晶片等)上曝光的工序、將曝光了的基板顯影的工序、顯影了的基板的加熱(老化)及蝕刻工序等；設備組裝步驟(包括切片工序、接合工序、封裝工序)；以及檢查步驟等而制造。
這里，本發(fā)明的光源裝置除了上述的分步重復方式的投影曝光裝置(步進機等)以外，還可以適用于分步掃描方式的掃描曝光型的投影膝光裝置 (掃描步進裝置等)的曝光光源中。另外，本發(fā)明的光源裝置還可以適用于國際公開第99/49504號小冊子、國際公開第2004/019128號小冊子等中所公開的液浸型曝光裝置的曝光光源中。另外，本發(fā)明的光源裝置還可以適用于不使用投影光學系統(tǒng)的近接(proximity)方式或接觸方式的曝光裝置的光源裝置或曝光裝置以外的機器的光源中。這里，在上述的實施方式中，雖然使用了形成有轉印用的圖案的母版 (掩模)，然而也可以取代該母版，例如像美國專利第6， 778， 257號說明書中所公開的那樣，使用基于應當曝光圖案的電子數(shù)據(jù)形成透過圖案或反射圖案的電子掩模。另外，本發(fā)明并不限于半導體設備制造用的曝光裝置，還可以適用于在包括液晶顯示元件或等離子體顯示器等顯示器的制造中所用的將設備圖案向玻璃平板上轉印的曝光裝置；將薄膜磁頭的制造中所用的設備圖案向陶瓷晶片上轉印的曝光裝置；以及在拍攝元件(CCD等)、有機EL、微型機器、MEMS (Microelectromechanical Systems)及DNA芯片等的制造中所用的曝光裝置等中。另外，不僅是半導體元件等微型設備，為了制造在光曝光裝置及EUV曝光裝置等中使用的掩模，也可以將本發(fā)明應用于向玻璃基板或硅晶片等轉印電路圖案的曝光裝置中。另外，上述的實施方式的圖4 (A)的連結線纜72也可以用于將曝光裝置以外的使用電力及冷風的機器與圖5的電源32及送風裝置34連結的情況中。如此所述，本發(fā)明并不限定于上述的實施方式，可以在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍中采取各種的構成。另外，包拾沈明書、技術方案的范圍、附圖及摘要在內的2007年4月12日提出的美國臨時申請第60/卯7， 654 號的所有的公開內容全都^Uf、樣地引用而加入本申請中。
權利要求
1. 一種放電燈，其在玻璃構件的內部收納有用于放電的電極，其特征在于，所述放電燈具備連結于所述玻璃構件的燈頭構件；安裝于所述燈頭構件而由導電性材料形成的中繼構件；固定于所述中繼構件而能夠經(jīng)由所述中繼構件向所述燈頭構件供應用于放電的電力的第一線纜；設于所述中繼構件而用于向所述燈頭構件供應冷卻用介質的流路；固定于所述中繼構件而能夠經(jīng)由所述流路向所述燈頭構件供應冷卻用介質的第二線纜。
2. 根據(jù)權利要求l所述的放電燈，其特征在于，所述中繼構件具有連接所述第一線纜的第一端子部；連接所述第二線纜并且形成與所述流路連通的開口的第二端子部。
3. 根據(jù)權利要求l所述的放電燈，其特征在于，所述燈頭構件在所述玻璃構件的第一方向側連結，所述第二端子部被朝向與所述第一方向交叉的方向而安裝在所述中繼構件上。
4. 根據(jù)權利要求2或3所述的放電燈，其特征在于，在所述第二端子部形成與所述第二線纜的端部卡合的螺紋部。
5. 根據(jù)權利要求2至4中任意一項所述的放電燈，其特征在于，所述中繼構件的所述第一端子部是形成用于將所述第一線纜的端部螺旋緊固的螺紋部的平坦部。
6. 根據(jù)權利要求2至5中任意一項所述的放電燈，其特征在于，所述燈頭構件具有突部，所述中繼構件具有與所述突部卡合的開口部、狹縫部，所述放電燈還具備控制桿構件，其在將所述中繼構件的開口部與所述燈頭構件的所述突部嵌合的狀態(tài)下，將所述狹縫部緊固。
7. 根據(jù)權利要求1至6中任意一項所述的放電燈，其特征在于，所述中繼構件具有將所述燈頭構件的至少一部分覆蓋的圓筒部，所述流路在所述圓筒部和所述燈頭構件之間連通。
8. 根據(jù)權利要求7所述的放電燈，其特征在于，所述冷卻用介質是已被冷卻的氣體，經(jīng)由所述圓筒部與所述燈頭構件之間向所述玻璃構件側供應所述已被冷卻的氣體。
9. 根據(jù)權利要求7或8所述的放電燈，其特征在于，在所述中繼構件所具有的所述圓筒部與所述燈頭構件之間，以螺旋狀形成所述流路。
10. 根據(jù)權利要求9所述的放電燈，其特征在于，在所述燈頭構件的表面形成所述螺旋狀的槽部。
11. 根據(jù)權利要求10所述的放電燈，其特征在于，所述螺旋狀的槽部與設于所述燈頭構件的所述突部的側面的缺口部連通。
12. —種連接用線纜，其用于將使用冷卻用介質及電力的裝置與所述冷卻用介質的供應源及電源連結，其特征在于，所述連接用線纜具備中繼構件，其由導電性材料形成，并且能夠在使用所述冷卻用介質及電力的裝置上拆裝；管狀構件，其一端固定于所述中繼構件，并且由柔性材料形成，具有所述冷卻用介質的流路；導電構件，其與所述管狀構件分開設置，一端固定于所述中繼構件并且由具有導電性的柔性材料形成。
13. 根據(jù)權利要求12所述的連接用線纜，其特征在于，所述導電構件是將多條導線以網(wǎng)眼狀編成的構件。
14. 根據(jù)權利要求12或13所述的連接用線纜，其特征在于，所述中繼構件具有連接所述導電構件的第一端子部；連接所述管狀構件并且在內部形成所述冷卻用介質的流路的第二端子部。
15. 根據(jù)權利要求14所述的連接用線纜，其特征在于，所述中繼構件是在中央部形成開口的圓板狀構件，在所述圓板狀構件的側面形成所述第二端子部。
16. 根據(jù)權利要求14或15所述的連接用線纜，其特征在于，在所述管狀構件的一端固定形成有螺紋部的空心的端子構件，在所述第二端子部形成與所述端子構件卡合的螺紋部。
17. 根據(jù)權利要求14至16中任意一項所述的連接用線纜，其特征在于，在所述導電材料的一端固定包含形成有開口的平板部的端子部，所述中繼構件的所述第一端子部是形成有用于將所述平板部螺旋緊固的螺紋部的平坦部。
18. 根據(jù)權利要求15所述的連接用線纜，其特征在于，所述中繼構件還具備設于所述開口的一部分中的狹縫部；調整所述狹縫部的緊固力的控制桿構件。
19. 一種光源裝置，其與電源和冷卻用介質的供應源連接，其特征在于，所述光源裝置具備放電燈，其具有收納有用于放電的電極的玻璃構件；連結于所述玻璃構件的燈頭構件；權利要求12至18中任意一項所述的連接用線纜，所述連接用線纜的所述中繼構件安裝于所述放電燈的燈頭構件，并且在所述中繼構件中形成有所述冷卻用介質的流路，經(jīng)由所述連接用線纜的所述導電構件及所述中繼構件從所述電源向所述燈頭構件供應電力，源向所述燈頭構件供應所述冷卻用介質。
20. —種曝光裝置，其利用從光源裝置中產(chǎn)生的i 上將圖案曝光，其特征在于，所述光源裝置使用權利要求19所述的光源裝置。.光光在感光基板
全文摘要
本發(fā)明提供一種對放電燈的燈頭構件的冷卻作用大的光源裝置。其具備放電燈，其具有收納有用于放電的電極的玻璃管(25)和連結于玻璃管(25)的燈頭部(28)；連結線纜(72)，連結線纜(72)的環(huán)狀構件(74A)安裝于放電燈的燈頭部(28)，并且在環(huán)狀構件(74A)中形成冷風用的送風路(74Ac)，經(jīng)由連結線纜(72)的電力線纜(33D)及環(huán)狀構件(74A)從電源(32)向燈頭部(28)供應電力，經(jīng)由連結線纜(72)的送風用配管(35D)及環(huán)狀構件(74A)從送風裝置(34)向燈頭部(28)供應冷風。
文檔編號F21V29/00GK101548133SQ200880000918
公開日2009年9月30日申請日期2008年4月3日優(yōu)先權日2007年4月12日
發(fā)明者菊池孝幸申請人:株式會社尼康

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