專利名稱：：功能器件制造裝置和用該裝置制造的功能器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本申請主要涉及一種通過在基底上應(yīng)用電子功能材料來制造具有布線圖或電子器件的功能板的裝置和方法，以及用這種裝置制造的功能板。
背景技術(shù)：
：近年來，人們研究了使用微細顆粒/超細顆粒的光發(fā)射裝置/介質(zhì)和光處理裝置/介質(zhì)領(lǐng)域中的各種元件。為了將細顆粒應(yīng)用到不同元件上，通過在固體基底上沉積含有細顆粒材料的膜或?qū)拥玫降母呙芏燃墒顷P(guān)鍵因素。例如，曾報導(dǎo)過由高密集細顆粒形成的薄膜。具有理想取向的無機化合物薄膜可采用已知的方法形成，如分子束外延法(MBE)、簇離子束法、離子束照射真空淀積法、化學(xué)氣相淀積法(CVD)、物理氣相沉積法(PVD)、以及液相外延法(LPE)。有機化合物薄膜可以采用己知的方法形成，如朗繆爾(Langmuir)噴氣法(LB法)。通常，可以通過使用真空裝置使材料在高真空內(nèi)升華(如MBE法)從而在固體基底上以自組織方式形成粒子的方法得到點粒子。然而，上述方法在控制點粒子間距或點粒子的粒徑分布上存在困難，并且獲得預(yù)期的點粒子需要較高的成本。考慮到上述弊病，人們曾提出一種液體噴射法，即使用液體噴頭形成含有細顆粒的材料的膜的技術(shù)。例如，在一個相關(guān)技術(shù)中，使用噴涂技術(shù)將含有納米顆粒的懸乳液涂布在固體基底上，從而在固定基底上形成由超細粒子(納米顆粒)形成的薄膜。除液體噴射法外，一些傳統(tǒng)的用以制造電路板的已知方法描述如下(1)提出過一種形成銅布線圖的方法，其中銅布線圖形成于覆蓋有抗蝕劑的敷銅層壓板上，然后采用光刻使其暴露出來以形成電路圖，然后溶解掉未暴露的抗蝕劑，然后在其抗蝕劑被除去的部分上進行蝕刻。(2)此外，曾提出過一種形成導(dǎo)電圖的方法，其中采用絲網(wǎng)印刷術(shù)，用導(dǎo)電性膠在陶瓷基底上形成用以印刷所需要的電路圖形的導(dǎo)電圖，然后在非氧化氣氛中進行熱處理，使導(dǎo)電性膠中的金屬細顆粒燒結(jié)。(3)此外，曾提出過一種形成銅布線圖的方法，其中銅布線圖形成于覆蓋有抗蝕劑的絕緣基底上，通過沉積導(dǎo)電金屬形成一層薄的導(dǎo)電層，然后采用光刻使其暴露出來以形成電路圖，然后溶解掉未暴露的抗蝕劑，然后在其抗蝕劑被除去的部分上進行蝕刻。然而，上述傳統(tǒng)的已知方法并不適合于形成精細圖案。因此，有提議使用噴墨技術(shù)形成精細圖案的方法。在一個實例性的方法中，采用噴墨方法制造布線圖或電路板，其中電路圖通過使用金屬膠被直接繪制在基底上。這些方法可以簡化精細圖案的制造工藝，沒有處理廢液的必要，同時要求更少的制造成本。雖然上面提及了使用噴墨方法的各種方法，但采用噴墨技術(shù)形成各種裝置和基底圖案的方法仍有需要改進之處。
發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本申請的一個方面，提供了一種功能器件制造裝置，通過在紙或紙基材料的基底上沉積溶液的固相物質(zhì)，從而在基底上形成布線圖或電子器件。該功能器件制造裝置包括第一噴頭。第一噴頭將含有電子功能材料的溶液噴射到基底上作為點圖案。第一噴頭包括電子-機械能轉(zhuǎn)換元件，在施加電能時會變形，并且通過電子-機械能轉(zhuǎn)換元件的變形來分配來自第一噴頭的溶液液滴。當(dāng)液滴在撞擊基底表面前飛行時，液滴呈基本球形的第一形狀或具有球形部分和球形部分之后延伸出的柱狀部分的第二形狀，第二形狀的長度小于球形部分直徑的三倍。施加于第一噴頭的電子-機械能轉(zhuǎn)換元件上的驅(qū)動信號用來使第一噴頭噴射含有電子功能材料的溶液或等同溶液的液滴，使得噴出的液滴在撞擊基底表面之前具有第一形狀或第二形狀。根據(jù)本申請的另一方面，提供了一種包括第一噴頭的功能器件制造裝置，其中第一噴頭包括用來生熱的發(fā)熱元件，熱量使得溶液中產(chǎn)生氣泡，生成的氣泡用來從第一噴頭噴射溶液液滴。當(dāng)噴出的液滴在撞擊基底表面前飛行時，液滴呈現(xiàn)具有球形部分和球形部分之后延伸出的柱狀部分的形狀，該液滴的長度至少為球形部分直徑的五倍。施加于第一噴頭的發(fā)熱元件上的驅(qū)動信號用以使第一噴頭噴射這種形狀的液滴。根據(jù)本申請的又一方面，提供了一種包括基底和點圖案的功能板。該基底由紙或紙基材料制成，通過沉積含有電子功能材料的溶液的固相物質(zhì)，將該點圖案設(shè)置在基底的至少一個面上。結(jié)合附圖并通過下面的詳細說明，對本申請的主題及其諸多特點和優(yōu)點可以獲得更完整的了解，其中圖1A和1B顯示使用根據(jù)示范性實施方式的制造裝置形成的布線圖的例子；圖2顯示根據(jù)示范性實施方式的用以制造布線圖基底或器件基底的制造裝置；圖3顯示用以制造布線圖基底或器件基底的制造裝置另一例子;圖4A和4B是根據(jù)示范性實施方式的制造裝置所用噴頭的示意圖5顯示用作紙基材的纖維素纖維的示意圖6顯示采用根據(jù)示范性實施方式的方法制造的頂閘型有機晶體管元件的剖面示意圖7顯示采用根據(jù)示范性實施方式的方法制造的底閘型有機晶體管元件的剖面示意圖8顯示采用根據(jù)示范性實施方式的方法制造的有機電發(fā)光(EL)元件的剖面示意圖9A和9B顯示使用壓電元件的噴頭的噴射過程；圖IO顯示使用壓電元件的噴頭的示范性結(jié)構(gòu)；圖11顯示從圖10的噴頭分出的飛行液滴的示范性形狀；圖12顯示從圖10的噴頭分出的飛行液滴的另一示范性形狀；圖13A、13B和13C顯示熱動式噴頭的例子；圖14顯示從圖13A的噴頭分出的飛行液滴的示范性形狀；圖15顯示從噴嘴側(cè)面觀察的多噴嘴型噴頭；圖16顯示一個疊在另一個之上的多噴嘴型噴頭；圖17是圖16的多噴嘴型噴頭的透視圖圖18顯示由根據(jù)示范性實施方式的方法的液滴或溶液的點形成的布線圖的例子；圖19顯示由根據(jù)示范性實施方式的方法的液滴或溶液的點形成的器件的例子；圖20顯示布線圖的例子，其正在緩解圖18中的布線圖的角落部分處的非正常放電；圖21顯示器件的例子，其正在緩解圖19中的器件的角落部分處的非正常放電；圖22顯示布線圖的另一個例子，其正在緩解圖18中的布線圖的角落部分處的非正常放電；圖23顯示器件的另一個例子，其正在緩解圖19中的器件的角落部分處的非正常放電；圖24顯示布線圖的另一個例子，其正在緩解圖18中的布線圖的角落部分處的非正常放電；圖25顯示器件的另一個例子，其正在緩解圖19中的器件的角落部分處的非正常放電；圖26顯示布線圖的另一個例子，其正在緩解該布線圖的角落部分處的非正常放電；圖27顯示器件的另一個例子，其正在緩解該器件的角落部分處的非正常放電；圖28是圖IB中所示布線圖的角落部分的放大圖29顯示使用根據(jù)示范性實施方式的制造裝置制造的布線圖基底的示例性結(jié)構(gòu)；圖30顯示使用根據(jù)示范性實施方式的制造裝置制造的布線圖基底的另一個示例性結(jié)構(gòu)；圖31顯示使用根據(jù)示范性實施方式的制造裝置制造的器件基底的例子；圖32顯示使用根據(jù)示范性實施方式的制造裝置制造的器件基底的另一個示例性結(jié)構(gòu)；圖33顯示采用卡爾遜法的成像裝置的成像區(qū)，其中光導(dǎo)鼓設(shè)置成串接形式；圖34顯示具有采用圖33的卡爾遜法的成像區(qū)的成像裝置，其中該成像裝置被用作根據(jù)示范性實施方式的制造裝置；圖35顯示具有多個電子器件的電子器件板，該電子器件是使用根據(jù)示范性實施方式的制造裝置制造的；以及圖36和圖37顯示圖35所示的具有分隔線圖樣的電子器件。附圖是用來描述本發(fā)明的示范性實施方式，并不應(yīng)當(dāng)作是對其范圍的限制。除非明確標(biāo)明，附圖不應(yīng)認為是按比例繪制的，在多個視圖中，相同的或類似的引用號指向相同的或類似的組件。具體實施例方式下面結(jié)合本發(fā)明中的示范性實施方式進行說明。應(yīng)當(dāng)注意，雖然如第一、第二等的術(shù)語在此可用于說明各種元件、組分、區(qū)域、層和/或部分，但應(yīng)當(dāng)理解，這類元件、組分、區(qū)域、層和/或部分不受此限定，這是因為該術(shù)語是相對的，也就是說，僅用于使一個元件、組分、區(qū)域、層或部分區(qū)別于另一元件、區(qū)域、層或部分。于是，比如，如下所述的第一元件、組分、區(qū)域、層或部分可以被標(biāo)記為第二元件、組分、區(qū)域、層或部分，而沒有脫離本發(fā)明的主旨。此外，應(yīng)當(dāng)注意，在此使用的術(shù)語目的僅在于說明特定的實施方式，而不是用于限定本發(fā)明。于是，比如，在此使用的單數(shù)形式也可以用于包括復(fù)數(shù)形式，除非上下文己清楚表明的之外。此外，術(shù)語"包括"和"包含"在用于本說明書時是指存在所述特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、和/或組分，而不是排除一種或更多種其他特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、組分、和/或其組合的存在或附加。此外，雖然在說明如圖所示的示范性實施方式中，為了表達清楚而使用了特定的術(shù)語，但本發(fā)明的內(nèi)容并不受限于選取的特定的術(shù)語，應(yīng)當(dāng)理解，各個特定的要素包括所有以類似方式操作的等效技術(shù)。現(xiàn)在參照附圖，結(jié)合附圖對根據(jù)示范性實施方式的用于在紙質(zhì)或紙基材料制成的基底上形成圖案的裝置和方法進行說明。在本公開中，"噴墨方法(inkjetmethod)"、"噴射方法(jettingmethod)"等被類似地使用，"分配(dispense)"、"噴射(jet)"、"分配(dispensing)"、"噴射(jetting)"也被類似地使用。圖1A和IB所示為通過使用根據(jù)示范性實施方式的液體噴射方法在紙質(zhì)或紙基材料制成的基底IO上形成的圖案的例子。圖1A表示末端2和3形成于基底IO上的狀態(tài)，其中，虛線部分l'表明其中將形成布線圖的區(qū)域。圖1B所示為通過用液體噴射方法分配包含電子功能材料的溶液使布線圖1形成于基底IO上的狀態(tài)。在示范性實施方式中，該液體噴射方法可以是噴墨方法，該方法被用作用于將包含電子功能材料的溶液涂覆在基底上的方法。在下文中，可以認為液體噴射方法或噴墨方法是指噴墨方法。下面對該方法進行詳細說明。圖2所示為根據(jù)示范性實施方式的用于形成布線圖或電子器件的制造裝置。比如，制造裝置包括噴頭元件11、滑鞍12、基底座13、基底14、供給管15、信號電纜16、噴頭控制箱(包括溶解槽)17、X軸方向的掃描電動機18、Y方向的掃描電動機19、電腦20、控制箱21、以及基底定位/保持元件22(22X1、22Yl、22X2、22Y2)。比如，可以使用基底14作為用于在其上形成布線圖或電子器件的基底。使用供給管15將溶解槽中的包含電子功能材料的溶液供給到噴頭元件11中。使用信號電纜16將噴頭控制箱17中的信號傳遞到噴頭元件U中。使用X軸方向的掃描電動機18和Y方向的掃描電動機19使滑鞍12向內(nèi)移動。在該構(gòu)造中，在將包含電子功能材料的溶液噴射到設(shè)置在基底座13上的基底14上時，通過沿如圖2所示的X/Y方向掃描滑鞍12來移動噴頭元件11。圖3所示為根據(jù)示范性實施方式的另一制造裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該裝置用于在基底上制造使用噴墨方法的布線圖或電子器件。圖4所示為如圖3所示的噴頭的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3中的構(gòu)造不同于圖2中的構(gòu)造，其中在圖3中的構(gòu)造中，通過移動基底14使布線圖或電子器件形成于基底14上。比如，如圖3和4所述，另一制造裝置包括噴頭元件11、控制計算機35、圖像識別元件36、X/Y方向的掃描元件37、位置檢測元件38、位置修正控制元件39、以及噴頭驅(qū)動/控制元件40。此外，噴頭元件11包括噴頭校準控制元件3K光學(xué)探測元件32、噴頭33、以及噴頭校準元件34。噴頭元件11中的噴頭33(作為液滴涂覆器)可使用任何能分配給定量的液滴的裝置。例如，噴頭33可以優(yōu)選使用能分配0.1pl(皮升)幾百pl(皮升)的液滴的噴墨裝置。在噴墨方法中，將電信號施加到壓電振動器上，以將電信號轉(zhuǎn)變?yōu)閴弘娬駝悠鞯臋C械振動，從而導(dǎo)致來自噴嘴中的液滴被分配。通常將該方法稱為液滴控制方法。在另一方法中，使用連續(xù)振蕩生成技術(shù)制備具有控制量的靜電電荷的記錄液體的液滴。制得的記錄液體的液滴在施加了均勻電場的極化電極之間被分配，從而在記錄部件上復(fù)制圖像。通常將該技術(shù)稱為連續(xù)流動法、或電荷控制法。此外，在另一方法中，在液體中產(chǎn)生氣泡，于是氣泡作用于液體，從而導(dǎo)致來自噴嘴中的液滴被分配。通常將該技術(shù)稱為熱噴墨方法或氣泡噴射BubbleJet(注冊商標(biāo))方法。用戶可以根據(jù)需要選用液體控制方法、連續(xù)流動法、和熱噴墨方法中的任何一種。在示范性實施方式中，如圖2所示的制造裝置用于在基底上制造布線圖或電子器件，其中通過用基底定位/保持元件22調(diào)節(jié)并確定基底保持位置來將基底14保持并固定在給定位置處。如圖2所示，基底定位/保持元件22與基底14的各個側(cè)面接觸，從而沿如X/Y方向進行亞微米數(shù)量級的精調(diào)。此外，基底定位/保持元件22與噴頭控制箱17、計算機20、以及控制箱21相連，從而實現(xiàn)基底定位信息以及精調(diào)信息對基底、液滴定位信息、和分配計時的持續(xù)反饋。此外，除X/Y方向的位置調(diào)整方法之外，用于在基底上制造布線圖或電子器件的制造裝置具有旋轉(zhuǎn)的位置調(diào)整裝置，該裝置因位于基底14的下面而沒有在圖中顯示?，F(xiàn)在對用于在其上制造布線圖或電子器件的基底進行說明。在示范性實施方式中，在紙質(zhì)或紙基材料制成的基底上制造布線圖或電子器件。在下文中，可以將紙或紙基材料統(tǒng)稱為紙基底或紙基基底。如下文所述，將包含電子功能材料的溶液涂覆在紙基基底上以形成點圖案，從而在紙基基底上制造布線圖或電子器件。因為該紙基基底具有柔韌性，故形成于紙基基底上的布線圖或電子器件在保持其功能(比如電路功能)的同時可以具有一些柔韌性(比如彎曲)。此外，除上述柔韌性之外，紙基基底還具有輕質(zhì)和便攜性的優(yōu)點，因此，形成于紙基基底上的布線圖或電子器件也在具有柔韌性之外還具有輕質(zhì)和便攜性的優(yōu)點，這可以提高布線圖基底或電子器件基底的市場性。在示范性實施方式中，布線圖板、電子器件、以及電子器件板可以按如下所述定義。布線圖板是形成于紙基基底上的電路圖案。該電路圖案可以是如布線圖、或電子器件(比如晶體管、電阻、電容器)和用于連接電子器件的電線的組合。電子器件包括如晶體管、電阻、和電容器、以及顯示器。此外，電子器件包括如可以將電子器件集成在一個基底上的IC(集成電路)或LSI(大規(guī)模集成電路)。電子器件板是其上具有多個電子器件的板。電子器件板可以切割成用于批量生產(chǎn)電子器件的芯片。下面對用于制造根據(jù)示范性實施方式的布線圖板或電子器件板的基底進行說明。在示范性實施方式中，紙或紙基材料用作如上所述的基底。通常，可以將"紙"定義為通過分解植物比如草、木材、竹子等獲得的植物纖維的聚集物。例如，可以通過將植物纖維懸浮在水中，接著濾出水中的植物纖維，然后將植物纖維堆疊成平面形狀來制造紙。該植物纖維是作為原料通過使用造紙技術(shù)來制造紙(比如，外國紙、日本紙)的纖維素纖維。在外國紙中，該纖維素纖維可以是具有13mm的長度、2040nm的寬度、以及36pm的厚度的木纖維，并且該纖維素纖維可以一個疊在另一個之上以形成多層。例如，可以將10100個纖維素纖維一個疊在另一個之上以形成纖維素纖維的層。該紙具有更高程度的孔隙率、光滑度、和親合性。在日本紙中，該纖維素纖維可以是具有37mm的長度和520nm的寬度的韌皮纖維，其比上述木纖維更長，并且具有不同于木纖維的分子結(jié)構(gòu)。日本紙可以是手制的或機制的紙。圖5所示為紙的表面狀況的示意圖，其中各個線條代表纖維素纖維。紙由一個疊在另一個之上的纖維素纖維和纖維素纖維間形成的空間組成。這樣的僅具有纖維素纖維的紙被作為用于制備商品紙的基紙使用。例如，可以在基紙的纖維素纖維間的空間內(nèi)填充具有0.210)Lim的粒徑的填料離子，比如滑石、粘土、碳酸鈣、二氧化鈦等，以提高商品紙的不透明度、白度、光滑度、以及透氣率。此外，可以通過將涂液涂覆在紙上來制備涂布紙，其中該涂液可以通過將如粘結(jié)劑(比如乳液、淀粉)和具有0.51pm的粒徑的顆粒比如高嶺土(Al203/2Si02/2H20)、碳酸鈣(CaC03)、以及緞白(3CaO/Al203/3CaS04/3132H20)等分散在溶液中制得。此外，商品紙可以是比如用于報紙的巻紙、未涂布的打印紙、涂布的打印紙、辦公用紙、包裝紙、衛(wèi)生紙、用于紙板的瓦楞紙等，但并不限于此。優(yōu)選紙質(zhì)或紙基材料制成的基底需要具有給定標(biāo)準的機械強度。如上所述，根據(jù)示范性實施方式的電子器件板或布線圖板可以用比如如圖2所示的制造裝置制造。當(dāng)用如圖2所示的制造裝置制造電子器件板或布線圖板時，可以用基底座13支持基底，通過該支持，基底的形狀不會發(fā)生變形。因此，在用如圖2所示的制造裝置制造電子器件板或布線圖板時，即使使用具有更大尺寸的基底，電子器件板或布線圖板也不會發(fā)生變形。由該電子器件板或布線圖板制得的電子器件或布線圖元件(以后稱為"芯片器件")可以用在隨器件應(yīng)用領(lǐng)域而變化的各種環(huán)境中。如果芯片器件在特定領(lǐng)域的環(huán)境中發(fā)生變形，那么該變形會導(dǎo)致芯片器件的功能的降低。因此，芯片器件需要具有給定標(biāo)準的機械強度。例如，芯片器件需要具有給定的機械強度以保持其上沒有施加外力時的形狀。如果芯片器件在沒有外力的條件下發(fā)生變形，那么該芯片器件不具有實際用途。具體地說，不能支持其自身重量(即因自身重量而變形)的芯片器件不具有實際用途。換句話說，因自身重量效應(yīng)而不能保持其形狀的材料不優(yōu)選用于基底。例如，具有太小硬度的薄紙或布料(比如手帕)作為基底不具有實際用途。然而，如果芯片器件因自身重量的變形沒有導(dǎo)致芯片器件的功能的降低，那么該芯片器件具有實際用途。現(xiàn)在對芯片器件的可允許的變形程度進行說明。例如，應(yīng)變檢測傳感器，比如應(yīng)變儀或電阻應(yīng)變儀，可以用于確定芯片器件的可允許的變形程度。應(yīng)變檢測傳感器用于通過檢測物體的電阻變化來確定物體的應(yīng)變(或變形)程度。如果通過應(yīng)變檢測傳感器檢測到基底的應(yīng)變(或變形)，那么該基底不能用作基底，這是因為可以改變基底電阻的變形會導(dǎo)致芯片器件的功能(比如電學(xué)特性)的降低。此外，例如可基于紙的密度對基底可允許的變形程度(或硬度)進行評估。如表1所示，使用具有不同密度的紙制備具有10X10mm50X50mm尺寸的芯片器件，其中用各個具有不同密度的紙制備十個芯片器件試樣，接著評估該芯片器件試樣是否具有較好的功能。表l<formula>complextableseeoriginaldocumentpage</formula>如表1所示，試樣號8和9具有較弱的機械強度，因而容易變形。因此，試樣號8和9的紙沒有充足的強度，從而不能用作基底。其他的紙樣具有充足的強度，因而能用作基底。雖然試樣號7發(fā)生變形，但使用試樣號7的"芯片器件"具有較好的功能。根據(jù)如表1所示的結(jié)果可知，能用作基底的基底需要具有0.40g/ci^或更大的紙的密度以設(shè)定優(yōu)選標(biāo)準的強度。紙的密度是造紙商使用的密度，其中紙的密度通過用基本重量(即1m2紙的克重)除以紙的厚度計算獲得。根據(jù)該結(jié)果可確定，對具有10X10mm50X50mm尺寸的芯片器件，需要紙具有0.40g/cr^或更大的紙密度。雖然上述關(guān)于紙密度的結(jié)果不能自動應(yīng)用于其他具有更大尺寸比如1000X1000mm的紙上，但可以通過選擇紙的密度和尺寸、以及通過對芯片器件進行用于確定芯片器件的變形程度的電學(xué)測試來類似地確定具有更大尺寸的芯片器件的實用性?？梢酝ㄟ^使用如上所述的具有較好強度的紙或紙基材料獲得芯片器件所需的硬度。除該方法之外，在芯片器件上增加保護部件可以提高芯片器件的強度。例如，可以將該保護部件涂覆或涂布在芯片器件的正面或背面上。于是，通過使用強度增加了的基底(如紙或紙基材料)和涂覆或涂布在基底上的保護部件可以進一步提高芯片器件的硬度或強度，其中該保護部件可以用作芯片器件的保護部件和用作機械強度增強件。用作機械強度增強件的該保護部件可以是通過噴墨方法形成在芯片器件上的樹脂層。例如，通過噴墨方法將樹脂溶液涂覆在基底的正面或背面上。在對樹脂進行干燥并將其作為樹脂層固定在基底上時，該樹脂層可以提高基底的硬度。下面對該保護部件進行說明。此外，對示范性實施方式中的用作基底的紙或紙基材料進行說明。紙在其表面上具有微小的凹度和凸度。例如，凹度和凸度可以因一個疊在另一個之上的纖維素纖維間的空間以及添加到紙中的顆粒形成。紙表面上微小的凹度和凸度變得不利于形成具有較好質(zhì)量的布線圖或電子器件，這是因為包含電子功能材料的溶液在其表面上具有凹度和凸度的紙上被分配成點圖案。通過有效地使用涂料可以降低或抑制紙的凹度和凸度，下面將對此進行說明。在示范性實施方式中，通過將包含電子功能材料的溶液直接涂覆在基底上，在基底比如紙或紙基材料上形成布線圖或電子器件。當(dāng)將該布線圖基底或電子基底用于各種環(huán)境(比如，辦公室、工廠)中時，基底的背面(即沒有布線圖或電子器件的面)可因水分而變濕，并且水分能滲透到具有布線圖或電子器件的基底的正面中，從而導(dǎo)致布線圖或電子器件的損壞。考慮到濕氣效應(yīng)，在示范性實施方式中，可以按如下方法使基底免受水分影響，即使基底的背面被水分弄濕也是如此。例如，可以在基底的背面上層疊能阻止水分滲透的防水性材料，比如樹脂膜。該樹脂膜可以如下所述層疊在基底上。例如，可以將層疊有樹脂膜的基底用于制造布線圖板或電子器件板，或者可以在形成布線圖或電子器件后，在基底的背面層疊樹脂膜。例如，該樹脂膜可以由任何樹脂材料比如氯乙烯樹脂和聚丙烯樹脂制成。具體地說，已知聚烯烴比如聚丙烯樹脂是對環(huán)境無害的聚合物，因此優(yōu)選被用于形成該樹脂膜。此外，除了在基底的背面層疊樹脂膜以外，還可以制造具有一層樹脂膜的復(fù)合片作為制造布線圖板或電子器件板的基底。此外，可以通過用如噴墨方法或輥涂法將樹脂溶液分配在基底的背面從而在基底的背面涂布樹脂層。通過具有該構(gòu)造的基底，可以用紙或紙基材料制造具有防水性的布線圖板或電子器件板?，F(xiàn)在對用于形成布線圖板或電子器件板的基底的優(yōu)選形狀進行說明?？紤]到經(jīng)濟地制造基底和最終產(chǎn)品(比如布線圖基底或電子器件基底)的實用性，用于制造布線圖基底或電子器件基底的由紙質(zhì)或紙基材料制成的基底的形狀可以為矩形。矩形基底具有兩個彼此平行的垂直邊和兩個彼此平行的水平邊。垂直邊與水平邊彼此成直角相交。在示范性實施方式中，將一組電子器件以矩陣方式設(shè)置在該長方形基底上，使得該矩陣中的兩個相互正交的方向分別與長方形基底的垂直邊的方向和水平邊的方向平行。下面對進行該設(shè)置(即，使電子器件排列成矩陣并使基底的垂直邊和水平邊與矩陣的兩個正交方向平行)的原因進行說明。如圖2和3中所述，一旦確定了噴頭11相對于基底14的位置，就不能進行復(fù)雜的位置控制。換句話說，在形成電子器件時，噴頭元件ll分配溶液，同時沿X/Y方向相對于基底14移動并且同時與基底14保持給定的距離(或間隙)。X方向和Y方向是兩個互相正交的方向。因此，在使噴頭元件11位于基底之上時，通過將基底的垂直邊和水平邊設(shè)置成與X方向和Y方向平行，可使電子器件組在基底上精確地形成矩陣排列，這是因為電子器件的矩陣陣列的兩個方向被設(shè)置成與基底的邊平行。換句話說，通過使用矩形基底和使基底沿X方向和Y方向移動以及在將液滴分配在基底之前精確地定位基底，可以形成具有更高精度的電子器件的矩陣?，F(xiàn)在對較早提及的旋轉(zhuǎn)位置調(diào)整裝置進行說明。如上所述，在示范性實施方式中，通過在將液滴分配在基底14之前精確地定位基底14、以及在沒有進行額外的復(fù)雜的控制操作下通過沿X方向和Y方向相對地移動基底可形成高精度電子器件的矩陣陣列。在進行基底14的初次定位時，沿與X方向和Y方向確定的平面相垂直的Z軸的旋轉(zhuǎn)方向存在偏移(或位置偏移)。為補償基底14的旋轉(zhuǎn)偏移，在如圖2所示的制造裝置中設(shè)置旋轉(zhuǎn)位置調(diào)整裝置(因其位于基底14的下面而未顯示在圖中)。通過補償旋轉(zhuǎn)偏差以及通過在將液滴分配在基底4之前正確地定位基底14，可以簡單地通過沿X方向和Y方向相對地移動基底來獲得電子器件的高精度矩陣陣列。上述中的旋轉(zhuǎn)位置調(diào)整裝置(因為位于基底14的下面而不可見)被稱為圖2中的基底定位/保持元件22(22X1、22Y1、22X2、22Y2)中的分離裝置。然而，基底定位/保持元件22可以具有該旋轉(zhuǎn)位置調(diào)整裝置的功能。如上所述，基底定位/保持元件22與基底14的邊相接觸，從而能沿X方向和Y方向調(diào)整基底14的位置。在該情況中，通過形成用于旋轉(zhuǎn)基底定位/保持元件22的構(gòu)造(比如，螺釘校準方法)，可以用基底定位/保持元件22進行角度校正。將該旋轉(zhuǎn)位置信息與X方向和Y方向的位置信息以及用于精調(diào)基底的信息一起傳遞到噴頭控制箱17、計算機20、和控制箱2中。使用該設(shè)置，可以持續(xù)地反饋液滴定位信息和分配計時信息以用于在基底上制造布線圖或電子器件。接下來對另一用于定位基底的構(gòu)造進行說明。如上所述，基底定位/保持元件22與基底14的邊相接觸，于是，基底定位/保持元件22被用于沿X方向和Y方向調(diào)整基底14的位置。除了使用基底14的側(cè)邊的方法以外，還可以在基底14上形成沿兩個正交方向延伸的條形圖案從而沿X/Y方向調(diào)整基底14的位置。具體地說，使用已知的印刷技術(shù)在基底14上形成沿兩個正交方向延伸的條形圖案?？梢栽诨椎慕o定區(qū)域上形成該條形圖案，這不會影響基底的功能。此外，除了形成僅用于調(diào)整基底位置的條形圖案以外，還可以例如使用沿X方向和Y方向(見圖1B)延伸的布線圖或器件電極42(見圖3和4)作為用于調(diào)整基底位置的條形圖案?？梢酝ㄟ^具有CCD(電荷耦合器件)照相機和透鏡的光學(xué)探測元件32檢測條形圖案，接著反饋該檢測信息用于基底的位置調(diào)整。至于與X-Y面垂直的Z方向，一旦噴頭元件11和基底14之間的位置關(guān)系在進行溶液的分配操作之前確定，就不能進行沿Z方向的位置控制。具體地說，噴頭元件11在基底14上沿X/Y方向移動以分配包含電子功能材料的溶液，同時與基底14保持給定的距離(比如，1mm3mm)。如果在分配期間對噴頭元件11進行沿Z方向的位置控制，那么需要在制造裝置中設(shè)置用于該控制的裝置和控制系統(tǒng)，從而導(dǎo)致對該裝置的復(fù)雜的控制過程。此外，如果在溶液的分配操作期間進行沿Z方向的位置調(diào)整，那么用于在基底上形成電子器件所需的時間周期變長，從而導(dǎo)致生產(chǎn)率降低。雖然在溶液的分配操作期間不能進行沿Z方向的位置控制，但在液滴的分配操作期間對基底14和噴頭元件11之間的距離可進行如下控制。具體地說，基底14和基底支持物的平面被提高，于是可以精確地控制沿X/Y方向驅(qū)動基底14上的噴頭元件11的滑鞍裝置。使用該構(gòu)造，可以使噴頭元件11以更高的速度在基底14上沿X/Y方向移動而不用在分配操作期間進行沿Z方向的位置控制，由此可以提高布線圖板或電子器件板的生產(chǎn)率。例如，在基底14的尺寸為100x100mm4000x4000mm的情況中，可以在液滴分配操作期間將基底14和噴頭元件11之間的距離波動設(shè)置在2mm或更小的范圍內(nèi)。通常，沿水平方向?qū)⒂蒟/Y方向確定的平面固定在制造裝置中。然而，如果基底14具有更小的尺寸，比如500x500mm或以下，那么不需要沿水平方向?qū)⒂蒟/Y方向確定的平面固定在制造裝置中，但能沿適于形成布線圖板或電子器件板的給定方向(比如，傾斜方向)對其進行約束。現(xiàn)在結(jié)合圖4A和4B對噴頭元件11的構(gòu)造進行說明。如圖4A和4B所示，光學(xué)探測元件32讀取基底14上的圖像信息。該光學(xué)探測元件32緊鄰分配液滴43的噴頭33。在如圖4A和4B所示的構(gòu)造中，光軸41和光學(xué)探測元件32的焦點以及從噴頭33中噴出的液滴43的擊打點44沿一個方向?qū)R。如圖3所示的光學(xué)探測元件32和噴頭33之間的位置關(guān)系能用噴頭校準元件34和噴頭校準控制元件31精確地校準。此外，光學(xué)探測元件32包括如CCD(電荷耦合器件)照相機和透鏡。在如圖3所示的構(gòu)造中，圖像識別元件36識別通過光學(xué)探測元件32探測到的圖像信息。圖像識別元件36將像反差轉(zhuǎn)變成二進制數(shù)據(jù)，接著計算二元反差中特定部分的平衡中心。具體地說，可以使用Keyence公司制造的高分辨率圖象識別裝置VX-4210。位置檢測元件38用圖像識別裝置36獲得的圖像信息提供基底14上的位置信息。通過使用裝有X/Y方向的掃描元件37的測量裝置，比如線性編碼器，可以獲得該位置信息。根據(jù)位置檢測元件38檢測到的基底14的位置信息和光學(xué)探測元件32探測到的圖像信息，位置修正控制元件39通過校正X/Y方向的掃描元件37的移動對基底14進行位置修正。通過噴頭控制/驅(qū)動裝置40驅(qū)動噴頭33，借此將液滴涂覆在基底14上。通過控制計算機35控制上述各個控制過程。雖然為了清楚地顯示光學(xué)探測元件32和噴頭33而將圖4B中所示的液滴成對角線地噴射在基底的表面上，但在實際使用中，可從與基底的表面基本垂直的方向?qū)⒁旱螄娚涞交咨?。在示范性實施方式中，可以如圖3所示將噴頭元件11固定在給定位置處并使基底14在噴頭元件ll的下面隨X/Y方向的掃描元件37的運動而運動，或者可以如圖2所示將基底14固定在給定位置處并使噴頭元件11沿X/Y方向在基底14的上方移動。例如，在制造中等尺寸比如200x200mm的基底較大尺寸比如2000x2000mm或以上的基底時，優(yōu)選使用使基底14固定在給定位置處并使基底14上方的噴頭元件11沿兩個正交的X方向和Y方向移動的構(gòu)造，沿X/Y方向?qū)⑷芤旱囊旱畏峙湓诨?4上。如果基底的尺寸是200x200mm或更小，那么可以設(shè)計具有多個噴嘴和200mm的噴頭長的噴頭元件用于在該基底上分配液滴。因為該噴頭元件能覆蓋200mm的基底長度，故在將液滴分配到基底上時，噴頭元件能僅沿一個方向(比如，X方向)在基底上方移動而不是沿兩個正交方向(比如，X/Y方向)移動。于是，該方案可提高批量生產(chǎn)布線圖板或電子器件板的生產(chǎn)率。另一方面，如果基底的尺寸超過200x200mm，那么考慮到成本和技術(shù)難以制造具有多個能覆蓋基底的整個寬度的噴嘴的噴頭元件。在該情況中，優(yōu)選使用能沿兩個正交的X方向和Y方向移動的用于分配溶液的液滴的噴頭元件ll。通常，可以通過將其上形成有電子器件的較大尺寸比如400x400mm和2000x2000mm或更大的基底切割成小件來制造具有較小尺寸比如200x200mm的布線圖基底或電子器件基底。因此，優(yōu)選使用能沿兩個正交的X方向和Y方向移動的噴頭元件ll以將溶液液滴分配在基底上的預(yù)定位置上。可以通過將導(dǎo)電細顆粒分散在溶液中來制備包含電子功能材料的溶液，接著將該溶液分配成液滴43。例如，優(yōu)選使用包含金屬細顆粒比如Au、Pt、Ag、Cu、Ni、Cr、Rh、Pd、Zn、Co、Mo、Ru、W、Os、Ir、Fe、Mn、Ge、Sn、Ga禾卩/或In的溶液、或包括上述金屬的金屬氧化物的細顆粒的溶液。特別地，通過使用金屬細顆粒，比如Au、Ag、和Cu，能獲得具有更低電阻和更高耐蝕性的較好的電路圖案?？梢詫瑢?dǎo)電細顆粒的溶液制成水溶液和油溶液。例如，可以如下所述制備包括作為分散劑的水和分散在其內(nèi)的微小的導(dǎo)電細顆粒的水溶液。首先，將水溶性聚合物溶于金屬離子水溶液(比如氯化金、硝酸銀)中并添加烷醇胺比如二甲氨基乙醇，同時攪拌。對溶液進行幾十秒至幾分鐘的處理以還原金屬離子，于是具有0.5pm(500nm)或以下的平均直徑的金屬細顆粒被沉積。然后，通過超濾膜除去氯離子或硝酸根離子，接著進行濃縮/干燥以獲得包含濃縮的導(dǎo)電細顆粒的溶液?？梢杂盟?、醇溶液、或用于溶膠凝膠工藝中的粘結(jié)劑(比如，四乙氧基甲硅烷、三乙氧基甲硅烷)有效地溶解/混合該包含濃縮的導(dǎo)電細顆粒的溶液。此外，可以如下所述制備包括作為分散劑的油和分散在其內(nèi)的微小的導(dǎo)電細顆粒的油溶液。首先，將油溶性聚合物溶于水溶性有機溶劑(比如丙酮)中，接著與金屬離子水溶液混合。雖然該混合物是非均相體系，但在添加垸醇胺的同時攪拌混合物時，分散在聚合物內(nèi)的金屬細顆粒被萃取到油相中。通過濃縮/干燥混合物，可獲得包含濃縮的導(dǎo)電細顆粒的溶液。例如，可以用溶劑，比如芳香族化合物、酮類化合物、或酯類化合物、或樹脂比如聚酯樹脂、環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、或聚氨酯樹脂有效地溶解/混合包含濃縮的導(dǎo)電細顆粒的溶液。雖然該溶液中的導(dǎo)電細顆粒的密度最大可以為80wt%，但根據(jù)使用目的可適當(dāng)?shù)叵♂屧摪瑢?dǎo)電細顆粒的溶液。例如，在包含導(dǎo)電細顆粒的溶液中，其內(nèi)包含的導(dǎo)電細顆粒典型地為2wt%50wt%,其內(nèi)包含的表面活性劑和樹脂為0.3wt。/。30wt。/。，并且其粘度為330厘泊(centipoise)。在示范性實施方式中，通過使用上述材料中的任何一種，通過氣化(蒸發(fā))溶液中的揮發(fā)性組分，使固體成分在基底上沉積，從而形成使布線圖和電子器件。該固體成分可以變成基底上的布線圖或電子器件，并且溶劑(揮發(fā)性組分)被作為用噴墨方法分配上述溶液的載體使用。此外，分配成液滴43的溶液可以包括，比如，I-VII族半導(dǎo)體化合物比如CuCl、II-VI族半導(dǎo)體化合物比如CdS、CdSe等、m-V族半導(dǎo)體化合物比如InAs、IV族的半導(dǎo)體晶體、金屬氧化物比如Ti02、SiO、Si02等、無機化合物比如熒光材料、富勒烯、樹狀高分子等、和有機化合物比如酞菁、偶氮化合物中的任何一種，或包含上述材料的復(fù)合材料的納米顆粒的溶液。能用于示范性實施方式中的納米顆粒典型地具有0.0001pm0.2pm(0.1nm200nm)的粒徑，進一步優(yōu)選具有0.0001(im0.05pm(0.1nm50nm)的粒徑。例如，更特別地，通過考慮一些因素比如分散在制得的溶液中的細顆粒的穩(wěn)定性、在分配(或噴射)期間阻塞的可能性、以及基底的表面粗糙度來確定粒徑。應(yīng)當(dāng)注意，在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)，可以對該納米顆粒的表面進行化學(xué)或物理處理，或者還可以添加助劑，比如表面活性劑、分散穩(wěn)定劑、或抗氧化劑。例如，可以用膠體化學(xué)方法，比如反向膠粒方法或熱的THORP(熱氧化再處理培養(yǎng))方法合成納米顆粒。在示范性實施方式中，包含納米顆粒的溶液優(yōu)選是分散液體，其中納米顆粒分散在其連續(xù)相是液相并且其分散相是油相的乳液(0/W乳液)中。雖然該液相主要是水，但可以向水中添加水溶性有機溶劑。至于水溶性有機溶劑，可以是例如乙二醇、丙二醇、丁二醇、二甘醇、三甘醇、聚乙二醇(#200、#400)、甘油、上述二元醇的烷基醚、N-甲基吡咯垸酮、1，3-二甲基咪唑啉酮、硫代二甘醇、2-吡咯烷酮、環(huán)丁砜、二甲亞砜、二乙醇胺、三乙醇胺、乙醇、和異丙醇。在水分散介質(zhì)中使用的水溶性有機溶劑的含量優(yōu)選為30wt。/?；蛞韵?，并且進一步優(yōu)選為20wt%。雖然包含在分散液體中的納米顆粒的含量范圍依賴于將形成在基底上的膜或?qū)拥念愋?、?或預(yù)期膜(層)的厚度而變化，但其優(yōu)選為0.01wt%15wt%，并且進一步優(yōu)選為0.05wt%10wt%。如果納米顆粒的含量太小，那么布線圖基底或電子器件基底不具有足夠程度的功能性，并且如果納米顆粒的含量太大，那么在用噴墨方法分配或噴射液滴時不能獲得噴射穩(wěn)定性。此外，優(yōu)選包含納米顆粒的溶液的分散液體中包括用于分散納米顆粒的表面活性劑和溶劑。至于表面活性劑，可以使用比如陰離子表面活性劑(比如，十二烷基磺酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、月桂酸鈉、聚氧乙烯垸基醚硫酸的銨鹽)、和非離子表面活性劑(比如，聚氧乙烯垸基醚、聚氧乙烯垸基酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基苯基醚、聚氧乙烯烷基胺、聚氧乙烯烷基酰胺)。該試劑可以單獨使用，也可以兩種或更多種地混合使用。整個溶液中的表面活性劑的典型的量的范圍為0.1wt%30wt%，并且進一步優(yōu)選為5wt%20wt%。如果相對于該范圍表面活性劑的量太小，那么在含水的分散液體中可能發(fā)生水-油分離，于是當(dāng)液滴被分配時，圖案不能均勻地形成于或涂覆在基底上。另一方面，如果相對于該范圍表面活性劑的量太大，那么含水的分散液體中的粘度變得過高，從而降低液滴的分散性能。至于用于分散納米顆粒的溶劑，可以使用，例如，甲苯、正己烷、吡啶、氯仿的揮發(fā)性液體。用于分散納米顆粒的溶劑的量范圍近似為0.1wt%20wt%，并且進一步優(yōu)選為1wt%10wt%。如果相對于該范圍用于分散納米顆粒的溶劑的量太小，那么能包含于含水的分散液體中的超細度顆粒的量變得較小。另一方面，如果相對于該范圍用于分散納米顆粒的溶劑的量太大，那么在含水的分散液體中可能發(fā)生水-油分離。此外，可以將有fl化合物溶解于分散液體中。至于有機化合物，可以使用，例如，氧化三辛基磷(TOPO)、硫代苯酚、光致變色化合物(螺吡喃、俘精酸酐)、電荷轉(zhuǎn)移型復(fù)合物、以及受電子化合物，其中有機化合物優(yōu)選在室溫下為固體。在該情況中，分散液體中的有機化合物相對于納米顆粒的量為1/10000wt。/。或以上，并且進一步優(yōu)選為約1/1000wt%10倍wt%。應(yīng)當(dāng)注意，在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)，可以向懸浮液中添加助劑，比如表面活性劑、分散穩(wěn)定劑、或抗氧化劑、聚合物、或用涂布/干燥工藝膠凝的材料。用噴墨方法將上述包含納米顆粒的溶液噴射在基底上，接著進行干燥從而在基底上形成布線圖或電子器件。在示范性實施方式中，例如，通過在-2012(TC(進一步優(yōu)選為約080。C)的溫度下以及常壓下風(fēng)干1小時或以上(進一步優(yōu)選為3小時或以上)進行干燥，然后可以根據(jù)需要進行減壓干燥。減壓條件可以是1x10sPa或以下，并且進一步優(yōu)選為約lxl(^Pa或以下。此外，減壓干燥可以典型地在-20110'C的溫度下進行，并且進一步優(yōu)選在約070"C的溫度下進行。此外，用于減壓干燥的時間約為124小時。雖然通過上述方法獲得的納米顆粒的薄膜的厚度不受限于任何特定值，但該薄膜的厚度通常為納米顆粒的直徑到1mm，并且進一步優(yōu)選約為納米顆粒的直徑到100pm。此外，優(yōu)選納米顆粒薄膜中的納米顆粒以超過某一密度的方式分布。于是，納米顆粒聚集物中的納米顆粒間的典型的平均間隔(距離)為不超過納米顆粒的粒徑的10倍，并且進一步優(yōu)選為不超過納米顆粒的粒徑的2倍。如果顆粒間的平均間隔太大，那么納米顆粒不能發(fā)揮聚集作用。此外，分配成液滴43的溶液可以是包括有機半導(dǎo)體材料的溶液。例如，該有機半導(dǎo)體材料可以是7t共軛材料，該材料可以是聚吡咯，比如聚吡咯、聚(N-取代基吡咯)、聚(3-取代基吡咯)、聚(3，4-雙取代基吡咯)；聚噻吩，比如聚噻吩、聚G-取代基噻吩)、聚(3,4-雙取代基噻吩)、聚苯并噻吩；聚異硫茚，比如聚異硫茚；聚噻吩基乙烯，比如聚噻吩基二二^乙烯；聚(對亞苯基乙烯)，比如聚(對亞苯基乙烯)；聚苯胺，比如聚苯胺、聚(N-取代基苯胺)、聚(3-取代基苯胺)、聚(2，3-取代基苯胺)；聚乙炔比如聚乙炔;聚丁二炔，比如聚丁二炔；聚甘菊環(huán)，比如聚甘菊環(huán)；聚嵌二萘比如聚嵌二萘；聚咔唑，比如聚咔唑；聚(N-取代基咔唑)；聚硒苯，比如聚硒苯；聚呋喃，比如聚呋喃、聚苯并呋喃；聚(對苯二胺)，比如聚(對苯二胺)；聚吲哚，比如聚吲哚；聚噠嗪，比如聚噠嗪；多并苯，比如四并苯、五并苯、六并苯、七并苯、二苯并五并苯、四苯并五并苯、嵌二萘、二苯并嵌二萘、屈、二萘嵌苯、六苯并苯、并五苯、卵苯、四并五苯、循環(huán)蒽、多并苯的衍生物，比如三苯二惡嗪、三苯二噻嗪、六并苯6、用N、S、0、或官能團比如羰基取代多并苯的碳原子制備的15-苯醌；以及聚合物，比如聚乙烯基咔唑、聚亞苯基硫化物、聚亞乙烯基硫化物。此外，分配成液滴43的溶液可以由具有重復(fù)單元的低聚物制成。例如，可以使用由六個單體構(gòu)成的噻吩，比如a」性噻吩、a,co-十二烷基-a-性噻吩、a,co-雙(3-丁氧基丙基)-a-性噻吩、以及苯乙烯基苯的衍生物。此外，分配成液滴43的溶液可以由比如如下物質(zhì)制成金屬酞菁，比如銅酞菁、氟代銅酞菁；萘四羧酸二酰亞胺，比如萘1,4,5,8-四羧酸二酰亞胺、N，N'-二(4一三氟甲基苯甲基)萘1,4,5,8-四羧酸二酰亞胺；N，N'-二(m,lH-全氟辛基)、N,N'-二UH,lH-全氟丁基)、N,N'-二辛基萘1,4，5,8-四羧酸二酰亞胺的衍生物、萘2,3，6,7-四羧酸二酰亞胺、以及縮合環(huán)四羧酸二酰亞胺，比如包括并三苯2,3,6，7-四羧酸二酰亞胺的并三苯四羧酸二酰亞胺；富勒烯，比如C60、C70、C76、C78、C84;碳納米管，比如SWNT(單壁碳納米管)；和染料化合物，比如部花青染料、半花青染料。至于該兀共軛材料，優(yōu)選使用比如以下化合物具有噻吩、亞乙烯基、噻吩基乙烯、亞苯撐乙烯、對亞苯基、和其衍生的取代基中的至少兩種作為重復(fù)單元并具有410個這些化合物的重復(fù)單元的低聚物；具有20個或更多個這些化合物的重復(fù)單元的聚合物；具有縮聚的多個環(huán)的芳香族化合物；富勒烯；具有縮合環(huán)的四羧酸二酰亞胺；以及金屬酞菁。能用于液滴43的其他有機半導(dǎo)體材料可以是有機分子復(fù)合物，比如四硫富瓦烯(TTF)-四氰代二甲基苯醌(TCNQ)復(fù)合物、二乙烯四硫富瓦烯(BEDTTTF)-高氯酸復(fù)合物、BEDTTTF-碘復(fù)合物、以及TCNQ-碘復(fù)合物。此外，分配成液滴43的溶液可以是如cj共軛聚合物，比如聚硅烷、聚鍺垸。在示范性實施方式中優(yōu)選使用主要由具有如通式(1)所示的重復(fù)單元的聚合物構(gòu)成的有機半導(dǎo)體材料。下面對該有機半導(dǎo)體材料及其合成方法進行說明。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage25</formula>通式(l)例如，如通式(2)所示的羧基化合物與如通式(3)所示的磷類化合物發(fā)生反應(yīng)從而獲得具有包含碳-碳雙鍵的多個重復(fù)單元的如通式(4)所示的聚合物。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage25</formula>通式(2)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage25</formula>通式(3)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage25</formula>通式(4)在通式(2)中，八1和八2代表被取代或未被取代的單環(huán)或多環(huán)的丙炔基或異丙炔基；R1代表氫、被取代的或未被取代的垸基、以及被取代的或未被取代的芳基；V代表-0-、-S-、NR2-(R2代表被取代的或未被取代的單環(huán)或多環(huán)的丙炔基、或被取代的或未被取代的單環(huán)或多環(huán)的異丙炔基)，n代表大于零(&0)。在通式(3)中，八3和AA代表被取代或未被取代的單環(huán)或多環(huán)的丙炔基或異丙炔基；R3代氫、被取代的或未被取代的烷基、芳基、或異芳基；W代表-O-、-S-、-NR4-(R4代表被取代的或未被取代的單環(huán)或多環(huán)的丙炔基，或者被取代的或未被取代的單環(huán)或多環(huán)的異丙炔基)；m代表大于零(m20);X代表PO(OR5)2(R5代表較低級烷基)或P(R6)3+Y-(R6代表被取代的或未被取代的芳基、或者被取代的或未被取代的烷基)；以及Y代表鹵素原子。雖然能均勻地溶于非水溶劑中的基質(zhì)化合物能被用于制備有機半導(dǎo)體化合物，但考慮到堿性和形成碳酸膦酸酯，優(yōu)選使用該基質(zhì)化合物，比如金屬醇鹽、金屬氫化物、有機鋰化合物等。例如，可以使用叔丁醇鉀、叔丁醇鈉、叔丁醇鋰、2-甲基-2-丁醇鉀、2-甲基-丁醇鈉、甲醇鈉、乙醇鈉、乙醇鉀、甲醇鉀、氫化鈉、氫化鉀、甲基鋰、乙基鋰、丙基鋰、正丁基鋰、仲丁基鋰、叔丁基鋰、苯基鋰、氨基鋰、以及二異丙酰胺鋰。需要用于溶解基質(zhì)化合物的溶劑作為穩(wěn)態(tài)溶液以溶解基質(zhì)化合物，以及對基質(zhì)化合物具有較好的溶解度。此外，該溶劑需要具有不導(dǎo)致在其內(nèi)形成高分子化合物的反應(yīng)溶劑中的高分子化合物的溶解度降低的性能，并且該溶液需要能夠有效地溶解制得的高分子化合物。根據(jù)基質(zhì)化合物和高分子化合物的性能，該溶劑可以為乙醇、醚、胺、碳氫化物溶劑等。例如，具有基質(zhì)化合物和均勻地溶解基質(zhì)化合物的溶劑的溶液的例子有甲醇鈉/甲醇溶液、乙醇鈉/乙醇溶液、叔丁醇鉀/2-丙醇溶液、叔丁醇鉀/2-甲基-2-丙醇溶液、叔丁醇鉀/四氫呋喃溶液、叔丁醇鉀/二惡垸溶液、正丁基鋰/正己烷溶液、甲基鋰/醚溶液、叔丁醇鋰/四氫呋喃溶液、二異丙基酰胺鋰/環(huán)己烷溶液、二三甲硅烷基酰胺鉀/甲苯溶液等。該溶液中的一些是商品。考慮到溫和的反應(yīng)條件和易于操作，優(yōu)選使用金屬醇鹽溶液?？紤]到制得的聚合物的溶解度、易于操作、反應(yīng)速率的效率，進一步優(yōu)選使用叔丁醇金屬的醚溶液，并且更進一步優(yōu)選使用叔丁醇鉀的'四氫呋喃溶液?？梢詫⒕哂械攘康幕瘜W(xué)計量的磷類化合物和醛類化合物的溶液與具有兩倍或以上摩爾量的磷類化合物和醛類化合物的基質(zhì)化合物的基質(zhì)化合物溶液混合用于聚合反應(yīng)，于是可以優(yōu)選獲得具有更小的分子量分布范圍的高分子量聚合物。雖然基質(zhì)化合物的含量可以設(shè)置成與用于聚合反應(yīng)的磷類化合物的量相等，但可以使用過量的磷類化合物用于聚合反應(yīng)，這是因為過量的磷類化合物不會對反應(yīng)產(chǎn)生影響?？梢酝ㄟ^向磷類化合物和醛類化合物的溶液中添加基液、通過向基液中添加磷類化合物和醛類化合物的溶液、或通過向反應(yīng)體系中同時添加基液和磷類化合物和醛類化合物的溶液來進行該聚合反應(yīng)。因此，可以以任何順序添加該溶液。根據(jù)單體的反應(yīng)速率和制得的聚合物的預(yù)期分子量設(shè)置進行該聚合反應(yīng)的聚合反應(yīng)時間。例如，優(yōu)選設(shè)置0.230小時的聚合反應(yīng)時間。此外，可以在任何給定時間處，比如開始反應(yīng)之前、反應(yīng)期間、以及反應(yīng)后向反應(yīng)溶液中添加用于終止聚合反應(yīng)的終止劑。該聚合反應(yīng)可在不控制反應(yīng)溫度的條件下進行，但在室溫下能以較好的方式進行。然而，可以提高該反應(yīng)溫度以提高反應(yīng)效率，或者可以降低該反應(yīng)溫度以設(shè)置溫和的反應(yīng)條件。現(xiàn)在對優(yōu)選用于示范性實施方式中的有機半導(dǎo)體材料的聚合物的例子進行說明。然而，也可以使用本發(fā)明保護范圍內(nèi)的其他聚合物。對聚合物進行如下測定。用凝膠滲析色譜法(GPC)對數(shù)均分子量(Mn)、重均分子量(Mw)、和分子量分布(Mw/Mn)進行測定，并且基于使用單分散聚苯乙烯作為基準聚合物的UV(紫外)吸收率和差量折射率對制得的作為聚苯乙烯化合物的聚合物進行計算。示范性的有機半導(dǎo)體材料的聚合物如下所述進行制備。具體地說，將如化學(xué)式(5)所示的0.852g(2.70mmol)的二醛、和如化學(xué)式(6)所示的1.525g(2.70mmol)的二磷酸酯放入100ml的燒瓶中，接著用氮氣替換，然后將75ml的四氫呋喃加入燒瓶中。然后，將具有1.0mol的叔丁醇鉀的6.75ml(6.75mmol)的dm-3四氫呋喃溶液滴入燒瓶中，接著在室溫下將溶液攪拌20小時。然后，將苯基膦酸酯和苯甲醛添加到燒瓶中，接著將溶液攪拌2小時30分鐘。然后，將lml的乙酸添加到燒瓶中以結(jié)束反應(yīng)，接著用水沖洗溶液。在減壓除去溶劑后，將殘留物溶解于15ml的四氫呋喃和80ml的甲醇中，接著將其沉錠并提純以獲得1.07g如化學(xué)式(7)所示的聚合物。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage28</formula>化學(xué)式(5)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage28</formula>化學(xué)式(6)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage28</formula>化學(xué)式(7)用于分子量和分子量分布測定的制得的聚合物具有73%的產(chǎn)率、104000的重均分子量(Mw)、36000的數(shù)均分子量(Mn)、2.89的分子量分布(Mw/Mn)、以及63個聚合物的重復(fù)單元數(shù)。例如，用包括有機半導(dǎo)體材料的該溶液，可以形成如圖6和7所示的有機薄膜晶體管。該有機薄膜晶體管可以是如頂閘型或底閘型。在頂閘型中，有機薄膜晶體管包括形成于基底比如紙基材料上的有機半導(dǎo)體層上的源極和漏極，并且柵極經(jīng)柵絕緣層形成于源極、漏極、和有機半導(dǎo)體層上。在底閘型中，有機薄膜晶體管包括形成于基底上的柵極和柵絕緣層、以及形成于柵絕緣層上的有機半導(dǎo)體層、和形成于有機半導(dǎo)體層上的源極和漏極。圖6所示為頂閘型的有機薄膜晶體管的例子。如圖6所示，在基底10比如紙基材料上形成有機半導(dǎo)體層8，接著在有機半導(dǎo)體層8上形成電連接的源極4(作為第一電極)和漏極5(作為第二電極)。此外，在源極4、漏極5、以及有機半導(dǎo)體層8上形成柵絕緣層6，然后在柵絕緣層6上形成柵極7(作為第三電極)，其中柵極7位于源極4和漏極5之間。將電壓施加到源極4和漏極5上、并且將電壓施加到柵極7上用于控制晶體管。圖7所示為底閘型的有機薄膜晶體管的例子。如圖7所示，在基底10比如紙基材料上形成柵極7，接著在柵極7上依次形成柵絕緣層6和有機半導(dǎo)體層8。然后，在有機半導(dǎo)體層8上形成電連接的源極4和漏極5，接著在有機半導(dǎo)體層8上形成密封層9。將電壓施加到源極4和漏極5上、并且將電壓施加到柵極7上用于控制晶體管。此外，分配成液滴43的溶液可以包括如有機EL(電致發(fā)光)材料。該溶液可以由溶劑和用于RGB(紅色、綠色、藍色)的染料組成。例如，溶劑是十二烷基苯/二氯苯(1/1的體積比)，紅色染料是聚芴/二萘嵌苯染料(98/2的重量比)，綠色染料是聚芴/香豆素染料(98.5/1.5的重量比)，藍色染料是聚芴。此外，分配成液滴43的溶液可以是包括低分子量的有機EL材料、聚合物有機EL材料、和聚乙烯咔唑的溶液，該溶液可溶解于苯衍生物、聚亞苯基乙烯(聚對亞苯基乙烯衍生物)、以及聚亞苯基衍生物。例如，該有機EL材料可以是紅熒烯、二萘嵌苯、9,10-二苯并三苯、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖啶酮、和聚噻吩衍生物。在示范性實施方式中，優(yōu)選溶液包括溶劑，比如具有150t:或以上沸點的苯衍生物。例如，該溶劑可以是鄰二氯苯、間二氯苯、1,2，3-三氯苯、鄰氯甲苯、對氯甲苯、l-氯萘、溴苯、鄰二溴苯、和l-二溴萘。在選用溶劑時優(yōu)選考慮抑制溶劑的揮發(fā)或氣化。此外，在選用溶劑時優(yōu)選考慮芳香族化合物的更大溶解度。此外，優(yōu)選溶液包括十二垸基苯作為溶劑，其中十二垸基苯可以是如正十二垸基苯、或正十二烷基苯的異構(gòu)體的混合物。該溶劑優(yōu)選具有30(TC或以上的沸點、以及6厘泊或以上的粘度(在2(TC處)。溶液可以包括一種溶劑，但優(yōu)選包括另一溶劑以有效地抑制溶劑的揮發(fā)或氣化。此外，因為除十二烷基苯之外，上述溶劑具有相對較小的粘度，故優(yōu)選通過向溶液中添加另一溶劑來將上述溶劑的粘度調(diào)節(jié)到給定值。在示范性實施方式中，用如圖2或圖3所示的裝置將上述溶液分配成基底比如紙基材料上的液滴，然后通過在給定溫度下對基底進行處理而在基底上形成功能層(或薄膜)，該給定溫度被設(shè)置為高于在基底上分配液滴時的溫度。通常，優(yōu)選在室溫下將液滴分配在基底上，接著將基底加熱至更高的溫度。可以進行該加熱過程，這是因為通過溶劑的揮發(fā)或氣化或在分配溶液時降低的溫度而沉積的固相物可因加熱而重新熔化，于是在基底上能均勻地形成功能層或薄膜。此外，在基底上形成功能層或薄膜時，優(yōu)選在加壓條件下進行該加熱過程。通過設(shè)置該加壓條件，能進一步抑制溶劑在加熱過程中的揮發(fā)或氣化從而進一步促進固相物的重新熔化，于是在基底上能形成更均勻的功能層或薄膜。此外，在該加熱過程之后，可以立即將基底設(shè)置在減壓環(huán)境中以迅速除去溶劑。通過該減壓工藝，可以抑制在濃縮溶劑時存在的溶液中的成分的相分離。如上所述，通過氣化溶液中的揮發(fā)性材料使固相物沉積在基底上可以在基底上形成有機EL元件。于是，溶液中的固相物用作光發(fā)射材料，由揮發(fā)性材料制成的溶劑用作載體用于將固相物分配在基底上，其中通過噴墨方法進行該分配。圖8所示為使用示范性實施方式中的有機EL材料的顯示裝置的剖視圖。如圖8所示，電極23和分隔墻24形成于基底10比如紙基材料上。分隔墻24可以由有機感光材料制成。然后，通過分配包括上述有機EL材料的溶液，接著通過除去溶劑，以及通過沉積固體成分，在由分隔墻24圍繞的區(qū)域內(nèi)形成有機EL層25。此外，在有機EL層25上形成透明電極26，比如ITO(銦錫氧化物)，并在透明電極26上形成透明板27。該透明電極26和透明板27可以由在板的一側(cè)上具有ITO(銦錫氧化物)層的透明的PET(聚對苯二甲酸乙二酯)板制成。使用如圖8所示的構(gòu)造，顯示裝置可以沿箭頭29所示的方向發(fā)射由有機EL層25產(chǎn)生的光。此外，優(yōu)選該顯示裝置具有柔韌性和輕質(zhì)。此外，分配成液滴43的溶液可以由用作半導(dǎo)體的絕緣層的硅玻璃的母體物質(zhì)、或用于石英玻璃的材料制成。例如，該母體物質(zhì)可以是聚硅氨烷(例如，TonenGeneralSddyuK.K的產(chǎn)品)和有機SOG(在玻璃上自旋)材料。此外，電極可以由材料比如通過慘雜具有增強的電導(dǎo)率的導(dǎo)電聚合物制成。例如，該導(dǎo)電聚合物可以是導(dǎo)電的聚苯胺、導(dǎo)電的聚吡咯、導(dǎo)電的聚噻吩(例如聚乙烯二氧噻吩和聚苯乙烯磺酸的復(fù)合物)。此外，分散鉑、金、或銀的納米顆粒(具有l(wèi)nm50nm的尺寸)的溶液優(yōu)選用于形成布線圖和用于隨后說明的RFID(射頻識別)裝置的天線輻射圖。在示范性實施方式中，分配成液滴43的溶液可以包括任何用于制造布線圖或電子器件的電子功能材料。于是，該電子功能材料可以包括本公開內(nèi)容中所述的導(dǎo)電材料、和絕緣材料。接下來，結(jié)合圖9A、9B、和10對根據(jù)示范性實施方式的噴頭元件11進行說明。如圖9A和9B所示，液體噴頭11包括如壓電元件46和容器45、以及噴嘴48。壓電元件46產(chǎn)生振動能并將其施加到儲存溶液47的容器45上，從而從噴嘴48中噴出液滴43。具體地說，將脈沖信號施加到壓電元件46上以使如圖9A所示的壓電元件46變形，從而減小容器45的容積，于是在容器45中出現(xiàn)壓力波。該壓力波導(dǎo)致液滴43從噴嘴48中噴出。圖9B所示為壓電元件46恢復(fù)原形的狀態(tài)，容器45的容積因此而增加。在將液滴43從噴頭元件11中噴出時，液滴43具有如圖11或12所示的形狀，其中液滴43因壓電元件46通過將電能轉(zhuǎn)變成機械位移而產(chǎn)生的力噴出。具體地說，飛行液滴可以具有如圖ll所示的近圓形、或沿圖12中的箭頭F所示的飛行方向延伸的類柱形。如圖12所示的飛行液滴可以具有直徑為d的圓形部分，并且其總長為長度L，其中長度L不到直徑d的三倍。在用壓電元件通過將電能轉(zhuǎn)換為機械位置的效應(yīng)將液滴從噴頭的噴嘴中噴出時，可以根據(jù)從壓電元件中施加到溶液(比如，液體)上的壓力來確定液滴的形狀，其中該壓力可以隨時間變化而具有不同的數(shù)值。在使用壓電元件的噴頭用于在給定條件下(比如，驅(qū)動脈沖電壓)噴出液滴時，噴出液滴可以具有近圓形、或具有圓形部分的類柱形，其中噴出液滴的長度不超過如圖11和12所31示的圓形部分的直徑的三倍。在該狀況中，該噴出液滴可以不受干擾地穩(wěn)定飛行，其中液滴的飛行速度可以是例如5m/s12m/s。在示范性實施方式中，噴頭可用于將包括電子功能材料的溶液分配在基底上，并且在飛行液滴具有如圖11或12所示形狀的條件下形成布線圖或電子器件。如果噴頭的分配狀況偏離如圖U或12中所示的預(yù)期狀況，那么可以進行如下調(diào)節(jié)工藝。具體地說，從噴頭中噴出包含電子功能材料或等效液體(考慮粘度、表面張力)的溶液，接著用顯微鏡觀察噴出溶液(或飛行液滴)的形狀。然后，對施加到壓電元件上的驅(qū)動脈沖進行調(diào)節(jié)以將飛行液滴的形狀調(diào)整到如圖11或12所示的預(yù)期形狀。根據(jù)該調(diào)節(jié)工藝，為示范性實施方式中的制造裝置設(shè)定調(diào)節(jié)驅(qū)動脈沖信號，并將其施加到噴頭中的壓電元件上以噴出具有上述預(yù)期形狀的液滴，其中該調(diào)節(jié)驅(qū)動脈沖信號可以通過設(shè)置給定值的脈沖電壓、脈沖時間、和脈沖波形來確定。如圖10所述，溶液47經(jīng)過過濾器49被引入到容器45中，該過濾器49可以設(shè)置在噴頭元件11內(nèi)從而在接近噴嘴48的給定位置處起到過濾作用。過濾器49可俘獲比溶液中的導(dǎo)電細顆?；蚣{米顆粒更大的雜質(zhì)顆粒從而防止形成于基底上的布線圖或電子器件的功能劣化。過濾器49可以制造成具有緊密尺寸和簡單結(jié)構(gòu)，于是噴頭元件11可以在其內(nèi)嵌入如圖10所示的過濾器49，于是也可以將噴頭元件U制造成具有緊密尺寸。例如，優(yōu)選過濾器49可以由比如不銹鋼目網(wǎng)或樹脂材料比如聚四氟乙烯或Teflon(注冊商標(biāo))和聚丙烯的材料制成。換句話說，過濾器49應(yīng)由對于示范性實施方式中的溶液具有有效的耐腐蝕性的材料制成。此外，過濾器49具有的目徑(或孔徑)可以俘獲尺寸為溶液中的細顆粒的直徑的30倍或以上的雜質(zhì)(或雜質(zhì)顆粒)。具體地說，在示范性實施方式中，使用包含具有0.0001|_im0.2nm(0.1nm200nm)直徑的細顆粒(用作電子功能材料)的溶液，并且進一步優(yōu)選使用包含具有0.0001nm0.05pm(0.1nm50nm)直徑的細顆粒的溶液。因此，如果過濾器49具有能俘獲具有0.003pm0.6^m、進一步優(yōu)選為0.003pm1.5pm或以上的尺寸的雜質(zhì)的目徑(或孔徑)，那么過濾器49能有效地俘獲具有該尺寸的雜質(zhì)，于是噴嘴48不會被雜質(zhì)阻塞。通常，過濾器的過濾性能(或去除性能)可以用絕對去除率或平均去除率測定。在示范性實施方式中，過濾器49可以具有根據(jù)絕對去除率確定的目徑(即能被俘獲的雜質(zhì)的尺寸)。雖然圖10所示為過濾器49嵌入在噴頭元件11內(nèi)的構(gòu)造，但不要求過濾器49嵌入在噴頭元件U內(nèi)。此外，應(yīng)當(dāng)注意，可以視需要在制造裝置中設(shè)置多個過濾器。如果多個過濾器被設(shè)置，那么位于最接近噴嘴48的位置處的一個過濾器可以具有上述目徑以有效地過濾或除去溶液中的雜質(zhì)。除了上述使用將電能轉(zhuǎn)換為機械位移的壓電元件的噴頭之外，可以將過濾器49設(shè)置在使用熱動法或氣泡法的類似地其他噴頭上。接下來，結(jié)合圖13A13C對另一噴頭進行說明。圖13A13C所示為使用氣泡法的噴頭元件lla,其中通過在短時間(比如1ns10ps)內(nèi)將液體加熱到較高的溫度(比如，300'C50(TC)而在液體中即時生成氣泡，接著用氣泡效應(yīng)將液滴從噴嘴中噴出。例如，將從液體容器的端部噴出液滴的噴頭稱為邊緣射手型。例如，如圖13所示的噴頭元件lla具有四個噴嘴。通過連結(jié)熱敏元件裝置66和覆蓋裝置67能制造噴頭元件la。熱敏元件裝置66具有單獨電極69、共用電極70、和通過晶片加工形成于硅基底上的發(fā)熱元件71。如圖13C所示，覆蓋元件67具有如凹槽74、和凹處75。凹槽74變成用于引導(dǎo)包含功能材料的溶液的通道，凹處75裝有共用流體室用于保存將經(jīng)凹槽74引導(dǎo)的溶液。將覆蓋元件67與如圖13A所示的熱敏元件裝置66組合以形成上述通道和共用流體室。在熱敏元件裝置66與覆蓋元件67彼此連結(jié)時，將熱敏元件71設(shè)置在與通道相對應(yīng)的位置。在該構(gòu)造中，在通道的末端形成噴嘴65,溶液的液滴從此噴出。雖然噴嘴65的形狀為長方形，但噴嘴65的形狀可以為圓形。此外，在覆蓋元件67中形成溶液進口76以允許使用供給元件(圖中未顯示)將溶液供給到的溶液供給室內(nèi)?？紤]到液滴噴射過程的穩(wěn)定性，可以在噴嘴65上設(shè)置噴嘴板以設(shè)置預(yù)期的噴嘴直徑和預(yù)期的噴嘴形狀(比如，圓形)。該噴嘴板可以由材料比如Ni制成，并且通過如使用電鑄技術(shù)形成高精度?？蛇x地，可以通過在如樹脂膜(基底)上進行激光工藝形成具有噴嘴孔的噴嘴板。在將液滴43從如圖13所示的噴頭元件lla中噴出時，液滴43可以具有如圖14所示的形狀，其中液滴43因發(fā)熱元件的發(fā)熱效應(yīng)產(chǎn)生的氣泡的力而被噴出。具體地說，飛行液滴可以具有沿圖14中的箭頭F所示的飛行方向延伸的近柱形。該近柱形包括具有直徑為d的圓形部分，并且其總長為長度L,其中長度L可以是直徑d的五倍或以上。在通過氣泡法使用發(fā)熱元件的發(fā)熱效應(yīng)所產(chǎn)生的氣泡的力使液滴因發(fā)熱元件的生熱效應(yīng)而從噴頭的噴嘴中噴出時，可以根據(jù)通過氣泡施加到溶液(比如，液體)上的力來確定液滴的形狀。與使用用于噴出液滴的壓電元件的噴頭相比，使用氣泡法的噴頭能用高壓噴出液滴，于是液滴的飛行速度相對更大，比如8m/s18m/s。在使用發(fā)熱元件的噴頭用于噴出具有給定條件的液滴時，噴出液滴可以是具有圓形部分的類柱形，其中噴出液滴的長度是圓形部分的直徑的五倍或以上，并且具有如圖14所示的附屬液滴SD。由于附屬液滴SD也可以以較大的飛行速度飛行，故附屬液滴SD可以撞擊已被液滴的類柱形部分撞擊的基底上的位置，從而能在基底上準確地形成布線圖或電子器件。在示范性實施方式中，在飛行液滴具有如圖14所示形狀的條件下，噴頭可用于將包括電子功能材料的溶液分配在基底上形成布線圖或電子器件。如果噴頭的分配狀況偏離如圖14中所示的預(yù)期狀況，那么可以進行如下調(diào)節(jié)工藝。具體地說，從噴頭中噴出包含電子功能材料或等效液體(考慮粘度、表面張力)的溶液，接著用顯微鏡觀察噴出溶液(或飛行液滴)的形狀。然后，對施加到發(fā)熱元件上的驅(qū)動脈沖進行調(diào)節(jié)以將飛行液滴的形狀調(diào)整到如圖14所示的預(yù)期形狀。根據(jù)該調(diào)節(jié)工藝，為示范性實施方式中的制造裝置設(shè)定調(diào)節(jié)驅(qū)動脈沖信號，并將其施加到噴頭中的發(fā)熱元件上以噴射出具有上述預(yù)期形狀的液滴，其中該調(diào)節(jié)驅(qū)動脈沖信號可以通過設(shè)置給定值的脈沖電壓、脈沖時間、和脈沖波形來確定。例如，逐漸增加脈沖電壓或脈沖時間(或?qū)挾?以設(shè)置預(yù)期形狀的液滴。在示范性實施方式中，多個液滴擊打基底從而形成電子器件或布線圖。于是，如果使用具有多個噴嘴的噴頭，那么可以在基底上有效地(比如，更短的時間)形成電子器件或布線圖。雖然如圖13所示的噴頭元件lla包括四個噴嘴，但可以將噴嘴的數(shù)目調(diào)節(jié)至任何給定數(shù)以增強圖案的形成效率。然而，如果噴嘴數(shù)增加的過大，會增加不必要的噴頭元件的生產(chǎn)成本，并且噴嘴發(fā)生阻塞的概率更高。因此，基于若干因素比如裝置的生產(chǎn)成本、裝置的生產(chǎn)效率等的考慮，可以確定噴頭元件中的噴嘴數(shù)。圖15所示為從噴嘴65觀察的具有多個噴嘴的噴頭。如圖16和17所示，具有多個噴嘴陣列的噴頭可以形成噴頭組件，該噴頭組件可用于分配各種來自不同噴嘴陣列的溶液。此外，可以用制造裝置中的滑鞍支持該噴頭組件。具體地說，如圖16和17所示，噴頭組件包括如噴頭A、B、C、和D。A、B、C、和D各個噴頭包括噴嘴65。包括各種化合物(比如電子功能材料、導(dǎo)電細顆粒、納米顆粒)的溶液可以從各個噴頭A、B、C、和D中的噴嘴65中噴出。在示范性實施方式中，可通過將包含電子功能材料的溶液涂覆在基底上來制造電子器件等。該溶液可以是各種不同類型的溶液。例如，當(dāng)不同類型的溶液從如圖1517所示的噴頭中噴出時，通過在基底上一個接一個層疊使用相應(yīng)溶液的不同圖案可以較容易地制造如圖6和7所示的器件。在層疊不同圖案時，可以在干燥先前圖案之后在先前圖案上形成圖案。如果在干燥先前圖案之前在先前圖案上形成圖案，那么這兩個圖案較容易混合，于是不能在基底上精確地形成圖案，這是不優(yōu)選的。具體地說，如圖6和7所示的器件可以按如下步驟制造即通過由滑鞍支持的噴頭中噴出第一溶液而在基底上形成第一圖案，接著氣化揮發(fā)性材料并干燥第一圖案，然后通過由滑鞍支持的噴頭中噴出第二溶液來形成第二圖案，其中在噴出用于各個圖案的溶液之后使滑鞍運動到初始位置。在不移動支持噴頭的滑鞍而沿給定方向(比如，X方向、Y方向)移動基底的制造裝置中，如圖6和7所示的器件可按如下步驟制造通過由滑鞍支持的噴頭中噴出第一溶液來在基底上形成第一圖案，接著氣化揮發(fā)性材料并干燥第一圖案，然后通過由滑鞍支持的噴頭中噴出第二溶液而在第一圖案上形成第二圖案，其中在噴出用于各個圖案的溶液之后通過基底傳送器使基底移動到初始位置。雖然該基底傳送器未顯示在圖2中的制造裝置中，但可以在如制造裝置中設(shè)置基底傳送器，比如輥式傳送器或皮帶式傳送器。使用該構(gòu)造，可以在基底上形成更高精度的圖案，由此能制造具有更高品質(zhì)的布線圖或電子器件。此外，上述基底傳送器可用于在基底的背面上形成圖案。具體地說，在基底的第一表面上形成布線圖或電子器件之后，用基底傳送器使基底的表面翻轉(zhuǎn)，然后在基底的第二表面上形成布線圖或電子器件，由此能在基底的各個表面上形成布線圖或電子器件。例如，可以用已知的方法比如用于噴墨式打印機中的雙面打印方法使基底翻轉(zhuǎn)。如果按此在基底的兩個面上形成布線圖或電子器件，那么能制造具有增強的功能的電子元件。例如，可以制造具有多重功能的電子元件、具有更大容量的存儲器件、具有復(fù)合功能的電子元件等。此外，如果按此在基底的兩個面上形成布線圖或電子器件，那么能將基底的尺寸設(shè)置的更小。此外，如果在基底的兩個面上形成具有不同功能的布線圖或電子器件，那么能制造混合型的電子元件。例如，通過在基底的第一表面(或正面)上形成存儲器和在基底的第二表面(或背面)上形成通信電路和小型化天線可以制造具有存儲器、通信電路、和小型化電線的RFID(無線電頻率識別)器件?，F(xiàn)在對RFID器件進行說明，該器件優(yōu)選用根據(jù)示范性實施方式的方法制造。RFID器件可以包括存儲器、通信電路、和小型化天線，其中可以通過用根據(jù)示范性實施方式的方法噴出具有不同電子功能材料的溶液來在基底上形成各個元件。傳統(tǒng)上，RFID芯片包括通過半導(dǎo)體加工工藝制造的基底、和通過另一工藝制造的天線和電極圖案，其中需要集成該基底、天線、和電極圖案以制造RFID芯片。通常，該工藝需要復(fù)雜并耗時的工藝。與該常規(guī)方法相比，根據(jù)示范性實施方式的方法可以用相對簡單的工藝在基底比如紙上形成或印刷RFID器件所需的元件，于是使用該方法能降低RFID器件的生產(chǎn)成本。該噴射方法的應(yīng)用不限于在基底比如紙板上形成芯片器件，該噴射方法可以應(yīng)用于其他紙比如用于包裝板的瓦楞紙板上以在包裝板上形成"芯片器件"。例如，用該噴射方法可以在用于包裝板的紙板上形成或印刷RFID器件。該RFID器件可以儲存商品的歷史數(shù)據(jù)或可溯性信息。于是，具有RFID器件的包裝板可以在如工業(yè)使用比如產(chǎn)品管理體系和邏輯系統(tǒng)中具有增強的功能。通常，包裝板可以形成具有三維結(jié)構(gòu)的立方體或盒子。如果RFID器件將形成于該立方體上，那么可以優(yōu)選使用噴墨方法，這是因為在噴頭不與包裝板直接接觸的條件下，包含電子功能材料的溶液能被噴射到立方體的面上。另一方面，使用卡爾遜法的成像裝置難以在具有三維結(jié)構(gòu)的包裝上形成RFID器件。接下來，對根據(jù)示范性實施方式在基底上的形成圖案進行說明。圖18所示為通過使用根據(jù)示范性實施方式的方法形成于基底上的一個布線圖。如圖18所示，通過向預(yù)先形成于基底上的終端圖案(或電極圖案)91噴射包含細顆粒的溶液來在基底上形成布線圖92。終端圖案91可以具有如長方形。在圖中，為簡化繪制，以與另一對角位置的點相切的方式表示各個點。然而，以較高的密度設(shè)置點(以更多重疊的方式設(shè)置)使得用于實際產(chǎn)品的布線圖部分中沒有未涂布的區(qū)域。圖19所示為通過使用根據(jù)示范性實施方式的方法形成于基底上的一個器件。如圖19所示，通過在預(yù)先形成于長方形基底上的一對器件電極93之間噴射包含電子功能材料的溶液在基底上形成點圖案94來形成器件。然而，上述布線圖或器件可能具有非正常放電的缺陷，這在使用布線圖或器件期間，在終端圖案91或器件電極93處可能發(fā)生。下面結(jié)合圖18和19對該非正常放電進行說明。在示范性實施方式中，將由包含電子功能材料的溶液的點圖案形成的布線圖92設(shè)置在多個終端圖案91之間，類似地，將由包含電子功能材料的溶液的點圖案形成的點圖案94設(shè)置在器件電極93之間。典型地，終端圖案91或器件電極93成矩形圖案或矩形圖案的組合，這是因為矩形形狀對制造來說是經(jīng)濟合算的。然而，由于電極圖案91和器件電極93中的角落部分91C和93C具有銳邊，故電場在角落部分91C和93C處集中。因此，當(dāng)在電極之間施加電壓時，在角落部分91C和93C處會發(fā)生非正常放電，于是不能獲得預(yù)期標(biāo)準的器件功能或在角落部分91C和93C處發(fā)生損壞。考慮到該現(xiàn)象，在示范性實施方式中，電極圖案91和器件電極93中的角落部分形成如倒角形(見圖20和21)。通過在機械圖中規(guī)定度數(shù)c使該角落部分成倒角，或通過在機械圖中規(guī)定曲率半徑RXX來確定倒角。典型地，倒角部分的尺寸近似為點圖案的直徑的1/21/5。也就是說，如果在電極的角落部分處形成c2pmc5nm或r2(amr5nm的尺寸，那么在電極處不會發(fā)生電場集中。于是，通過除去電極中的銳邊部分從而抑制電場的集中，使非正常發(fā)電不會發(fā)生，于是布線圖或電子器件能在更長的時間內(nèi)較好地保持其功能。接下來，結(jié)合圖22和23對根據(jù)示范性實施方式在基底上的另一形成圖案進行說明。如圖22和23所示的布線圖或電子器件類似于如圖1821所示的布線圖或電子器件。在圖1821中，通過對預(yù)先形成于基底上的金屬薄膜(比如，Al、Au、Cu)進行光刻技術(shù)、蝕刻技術(shù)來使電極圖案91或器件電極93形成預(yù)期形狀。另一方面，在圖22和23中，通過用根據(jù)示范性實施方式的方法將溶液涂覆在基底上來形成電極圖案91和器件電極93。也就是說，用與形成布線圖和電子器件相同的方法，使用包含導(dǎo)電細顆粒材料(比如Ag)的溶液以形成作為點的組合的電極圖案91和器件電極93。該方法具有能使用如圖2和3所示的制造裝置的優(yōu)點，以及能抑制上述由銳邊部分引起的非正常放電的優(yōu)點。如圖22和23所示，通過噴射其內(nèi)分散有金屬細顆粒的溶液形成具有點圖案的電極圖案91和器件電極93可以使電極圖案91和器件電極93中的角落部分自動地形成倒角形，這是因為各個點形成沒有邊部的圓形。雖然在圖22和23中將用于形成電極圖案91和器件電極93的點直徑表示為大于布線圖92和點圖案94中的點直徑，但通過使用具有相同的噴嘴尺寸的相同的噴頭，可以在基底上形成與用于布線圖92和點圖案94的點尺寸相同的用于電極圖案91和器件電極93的點圖案。由點的組合形成的布線圖92(如圖18所示)可以形成沿縱向延伸的條形圖案，于是也可以用具有條形圖案的點圖案94形成器件(如圖19所示)。通過沿X/Y方向移動裝有噴頭元件11的滑鞍12、或通過沿X/Y方向移動基底14能形成沿與X/Y方向平行的方向延伸的條形圖案(見圖2和3)。在移動噴頭元件11或基底14期間，相對地改變在基底14上方的噴頭元件ll的位置。于是，因為噴頭元件11或基底14沿X/Y方向運動，故能用簡單方法控制基底上的圖案形成，從而能在基底上形成更高精確度的圖案同時降低用于形成該圖案的成本。該圖案的延伸方向可以設(shè)置成與矩形基底的各側(cè)邊平行或與待形成的器件的矩陣陣列平行，由此能以更高的精確度進行圖形的定位和/或形成。接下來，結(jié)合圖2427對用于抑制上述非正常放電的另一方法進行說明。如24和25圖所示，用覆蓋電極圖案91和器件電極93中的角落部分以防止暴露角落部分的方法形成布線圖92或點圖案94。雖然如圖24所示的布線圖92表示為四排點圖案，但布線圖92可以為如圖26所示的單排點圖案。類似地，如圖25所示的表示為四排點圖案的器件可以為如圖27所示的單排點圖案。總之，通過用點圖案覆蓋電極圖案91和器件電極93中的銳邊部分可抑制因銳邊部分處的電場集中而導(dǎo)致的非正常放電，于是布線圖或電子器件能在更長的時間內(nèi)較好地保持其功能。接下來，結(jié)合圖28和32對根據(jù)示范性實施方式在基底上的另一圖案形成進行說明。圖28是如圖1B所示的布線圖1中的角落部分的放大圖。如圖28所示，布線圖1可以具有角落部分lc，當(dāng)布線圖l在該角落部分lc處近似直角地彎曲時，該角落部分lc具有圓形以抑制上述電場集中。現(xiàn)在結(jié)合圖2932對布線圖中的該彎曲部分進行說明。圖29所示為通過使用根據(jù)示范性實施方式的噴墨方法形成于基底上的布線圖的例子。在該實施例中，用使布線圖92在中游成90'(直角)彎曲的方法組合點圖案。也就是說，布線圖92形成沿與兩個正交方向(如箭頭所示)平行的方向延伸的條形圖案，并根據(jù)布線圖92的設(shè)置狀況彎曲。在該情況中，如圖29中的部分A所示，布線圖92中的彎曲部分的外部區(qū)域成曲線。通過用該方法形成點圖案，布線圖92中的角落部分沒有形成銳邊，從而能抑制電場集中。圖30所示為用一種方法形成的具有以單排形成的點圖案的布線圖92的另一例子。在該情況中，布線圖92中的角落部分(圖30中的部分)也沒有形成銳邊，從而能抑制電場集中。圖31所示為通過使用根據(jù)示范性實施方式的噴墨方法形成于基底上的電子器件的例子。在該實施例中，通過在預(yù)先以矩形或矩形的組合形成在基底上的器件電極93之間噴射包含電子功能材料的溶液來形成器件。在該情況中，點圖案94(或器件圖案部分)也形成條形，并且該條形圖案在中游彎曲9(T以獲得預(yù)期的器件形狀。如圖31中的部分B所示，點圖案94中的角落部分沒有形成銳邊，從而能抑制電場集中。圖32所示為用一種方法形成的具有以單排形成的點圖案94的電子器件的另一例子。在該情況中，點圖案94中的角落部分(圖32中的部分B)也沒有形成銳邊部分。于是，能抑制電場集中。如圖18、20、24、26、29、和30所示，由點的組合形成的布線圖92形成沿縱向延伸的條形圖案，如圖19、21、25、31、和32所示，還用具有條形圖案的點圖案94形成電子器件。通過沿X/Y方向移動裝有噴頭元件11的滑鞍12、或通過沿X/Y方向移動基底14能形成沿與X/Y方向(見圖2和3)平行的方向延伸的條形圖案。在移動噴頭元件11或基底14期間，相對地改變在基底14上方的噴頭元件11的位置。于是，因為噴頭元件11或基底14沿X/Y方向運動，故能用簡單方法控制基底上的圖案形成，從而能在基底上形成更高精確度的圖案同時降低用于形成該圖案的成本。該圖案的延伸方向可以設(shè)置成與矩形基底的各側(cè)邊平行或與待形成的器件的矩陣陣列平行，由此能以更高的精確度進行圖案的定位和/或形成。如上所述，用包含電子功能材料的溶液涂覆使用紙或紙基材料的基底以形成示范性實施方式中的電子器件或布線圖。該基底可以具有表面性能，這可以歸因于構(gòu)成紙的纖維素纖維。例如，由于纖維素纖維的厚度變化和一個疊在另一個上的纖維素纖維間的間隔，使紙在其表面上具有凹度和凸度。該凹度和凸度不優(yōu)選用于制造具有更高品質(zhì)的布線圖板或電子器件板?？紤]到該狀況，在示范性實施方式中，對紙的表面性能和布線圖品質(zhì)的關(guān)系進行評估。如上所述，雖然纖維素纖維的厚度可以根據(jù)紙的種類而改變，單纖維素纖維可以具有5pm20pm的厚度。通常，造紙工藝包括通過打漿機用于擊打纖維素纖維以軟化纖維素纖維的打漿工藝。因此，可以用厚度小于5pm20pm的厚度的纖維素纖維制成紙制品。通常，可以用打漿工藝制造由比如具有4pm10pm厚度的纖維素纖維制成的紙制品。在示范性實施方式中，通過將具有電子功能材料的溶液中的固相物沉積成點圖案來在用該纖維素纖維制成的紙的表面上形成布線圖或電子器件。因此，紙的表面性能會影響點圖案的品質(zhì)，比如點的圓度標(biāo)準?？紤]到該狀況，在示范性實施方式中，對紙的表面粗糙度與布線圖或電子器件的品質(zhì)之間的關(guān)系進行如下評估。如上所述，紙具有可由纖維素纖維和涂料確定、會影響圖案形成狀況的表面性能，比如凹度和凸度。如下所述，通過調(diào)整纖維厚度、涂料的量來制備具有不同表面性能的紙，從而在各張紙上形成如圖26所示的布線圖。通過感官評估方法和布線圖的耐久性試驗對該布線圖進行評估。在該造紙工藝中，使用輥涂方法將涂料涂覆在紙上，其中紙的一個整面被涂料涂覆。雖然通過噴涂方法能將涂料涂覆在紙的一個整面上，但用輥涂方法將涂料均勻地涂覆在紙上。此外，雖然可以用噴墨方法將涂料涂覆在紙上，但用輥涂方法在更短的時間內(nèi)將涂料涂覆在紙上。通過使用具有如圖9和圖10所示的壓電元件和在其上設(shè)置噴嘴板的噴頭在紙上形成布線圖，其中噴嘴板用電成形技術(shù)由鎳(Ni)形成并具有20nm的厚度。此外，該噴頭設(shè)有256個噴嘴，噴嘴的密度設(shè)置為180dpi(每英寸點數(shù))，各個噴嘴具有20pm的直徑(或314pm2的面積)。用于示范性實施方式中的溶液制備成包含膠態(tài)銀的水溶液，其制備過程如下所述。首先，將23.3g的DISPERBYKl卯(BYK-ChemieGmbH，40mass。/。的固相含量比)和420.5g的離子交換水放入2升的Kolben中。將Kolben放入水浴器中，接著在50'C下攪拌直到DISPERBYK⑧被溶解。接著邊攪拌邊向上述溶液中添加已溶解于420.5g的離子交換水中的100g的硝酸銀，接著在7(TC下攪拌IO分鐘。然后，向上述溶液內(nèi)添加262g的二甲氨基乙醇。液體的顏色迅速變成黑色，并且液體的溫度升高到76'C。按原狀放置液體。當(dāng)液體的溫度下降到7(TC時，在該溫度下連續(xù)攪拌液體2小時。于是，獲得顯示暗黃色的膠態(tài)銀的水溶液。將制得的反應(yīng)液體轉(zhuǎn)移到1升的塑料瓶中，接著將該瓶在60'C的恒溫室中放置18小時。用超濾組件AHP1010(AsahiKasei公司的商品名，50000的截留分子量，400個過濾器)、磁泵、和在其下部具有與硅膠管彼此相連的管連接口的3升的不銹鋼杯構(gòu)造超濾體系。將已在60'C的恒溫室中放置18小時的反應(yīng)液體放入不銹鋼杯中，接著將2升的離子交換水添加到該液體中。然后，對泵進行操作以進行超濾工藝。在約40分鐘后，通過超濾組件的過濾液體達到2升。此時，將2升的乙醇放入不銹鋼杯中。之后，確認過濾液體的電導(dǎo)率是300pS/cm或以下，并進行濃縮工藝直到液體的量達到500ml。隨后，用500ml的不銹鋼杯、超濾組件("AHP0013"、AsahiKasei公司的商品名、50000的截留分子量，100個過濾器)、試管泵、和抽氣機構(gòu)造另一超濾體系。將先前制備的母液放入不銹鋼杯中，接著對其進行濃縮以增加固相含量。當(dāng)母液達到約100ml時，停止運行試管泵，于是在濃縮操作結(jié)束時，獲得了具有10%固體的銀膠體乙醇溶液。溶液中的膠態(tài)銀顆粒的平均粒徑為0.017(17nm)。通過儀器TG-DTA(Seiko儀器有限公司)的測定結(jié)果表明固體中的銀的含量是90mass。/。，其提供87mass。/。的電荷。用上述噴頭將具有膠態(tài)銀的該水溶液噴在具有不同表面性能的基底(比如，紙基材料)上以形成如圖26所示的布線圖，其中各個點用一個點尺寸的約三分之一(1/3)與相鄰點疊加。雖然點直徑可以根據(jù)基底的表面性能變化，但點直徑為約40pm50nm。通過預(yù)先濺射鋁(Al)形成于基底上的電極圖案91具有0.5pm的厚度。將具有12kHz的驅(qū)動頻率、用于驅(qū)動壓電元件的30V的驅(qū)動電壓施加到噴頭上。在基底上形成布線圖之后，將基底放入爐中以在IOO'C的溫度下將基底上的布線圖干燥IO分鐘，從而獲得具有約0.2pm的厚度和金屬光澤的干燥層。用通過LorestaFP(三菱化學(xué)公司)測定的表面電阻率對干燥層的電導(dǎo)率進行評估，有些表面電阻率是不能測定的(比如，108Q/sq或以上)。在通過低壓水銀燈用具有5J/ci^的光照射該干燥層之后，在100'C下加熱基底40分鐘以獲得金屬層。用通過LorestaFP(三菱化學(xué)公司)測定的表面電阻率對金屬層的電導(dǎo)率進行評估，測定的表面電阻率為3.76x100Q/sq。然后，以100ms的脈沖間隔在電極圖案91之間重復(fù)施加具有30V的脈沖電壓和50ms的脈寬的電能，持續(xù)60分鐘以評估布線圖上是否發(fā)生斷線作為耐久性試驗。表2和表3所示為該評估試驗的結(jié)果。通過用100倍率的顯微觀察的感官評估方法對各個試樣進行布線圖形狀的評估，"O"代表合格，"X"代表不合格。對各個試樣進行布線圖的耐久性試驗評估，"O"代表沒有斷線，"X"代表存在斷線。通過使用具有6nm15pm的纖維厚度的未搗碎的纖維、疊層纖維間的間距為4pm6pm的紙、和涂料進行評估試驗l，該涂料是其內(nèi)分散有l(wèi)^m粒徑的碳酸鈣的用淀粉作為粘結(jié)劑的溶液。表2<table>complextableseeoriginaldocumentpage43</column></row><table>通過使用具有5(am8pm的纖維厚度的搗碎纖維、疊層纖維間的間距為4pm5pm的紙、和涂料進行評估試驗2，該涂料是其內(nèi)分散有l(wèi)pm粒徑的碳酸鈣的用淀粉作為粘結(jié)劑的溶液。表3<table>complextableseeoriginaldocumentpage43</column></row><table>在上述評估試驗中，通過涂覆涂料(比如，碳酸鈣和淀粉)使用作基底的紙的表面性倉l比如凹度和凸度變光滑，其中紙的凹度和凸度由纖維素纖維的厚度和疊層纖維間的間隔確定。根據(jù)如表2和表3所示的結(jié)果，與表面處理前紙的凹度和凸度水平相比，當(dāng)紙經(jīng)表面處理后表面粗糙度被有效地抑制時，布線圖上不會發(fā)生斷線，于是能形成具有較好的形狀和耐久性的布線圖。此外，在示范性實施方式中，可以使用具有絕緣細顆粒的其他涂料。例如，可以優(yōu)選使用通過向酸酐和二異氰酸酯中添加胺催化劑制得的具有10"Q/sq或以上的表面電阻率的多孔聚酰亞胺細顆粒、通過向電弧等離子體中引入Al顆粒(20pm)制得的具有20nm30nm的AIN細顆粒、或通過氣相蒸發(fā)法制得的SiOx細顆粒。雖然通過形成如圖26所示的相對簡單的布線圖進行上述評估試驗，但如表2和3所示的結(jié)果也類似地適用于其他布線圖或電子器件，比如晶體管。于是，當(dāng)需要在基底上形成具有更高品質(zhì)的器件時，可以應(yīng)用上述方法以抑制紙罐的凹度和凸度。在上述說明中，噴墨方法主要用于通過向基底直接噴射電子功能材料來在使用紙或紙基材料的基底上形成布線圖或電子器件。然而，可以使用其他技術(shù)用于在基底上形成布線圖或電子器件。例如，使用所謂的靜電復(fù)印法或卡爾遜法的成像裝置可以優(yōu)選用于在基底上形成布線圖或電子器件?，F(xiàn)在對使用所謂的靜電復(fù)印法或卡爾遜法的成像裝置進行說明。圖33和圖34顯示了另一個用以在紙上形成圖像的成像裝置。圖33顯示了成像裝置的成像區(qū)，該成像裝置可采用電子照相術(shù)或卡爾遜法，圖34顯示了具有以串接方式設(shè)置的光導(dǎo)鼓(作為圖像載體)并使用雙組分顯影劑的成像裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖34所示，成像裝置1000包括例如成像區(qū)IOI、供紙元件102和掃描器103。如圖34所示，成像區(qū)101位于成像裝置1000的中心，供紙元件102位于成像區(qū)101的下方。供紙元件102可以包括多個紙托盤121。此外，掃描器103位于成像區(qū)101的上方，用以掃描文件紙張。此外，排紙托盤10位于成像區(qū)101的左側(cè)，其上疊放形成有圖像并從成像區(qū)101排出的紙張。如圖33所示，成像區(qū)10I包括中間轉(zhuǎn)印帶105和在中間轉(zhuǎn)印帶105上方的黃色(Y)、品紅色(M)、青色(C)和黑色(K)的多個成像單元106。中間轉(zhuǎn)印帶105可以是環(huán)形帶。光寫入單元107位于成像區(qū)101的上方。如圖33所示，成像單元106為每種黃色(Y)、品紅色(M)、青色(C)和黑色(K)配置有光導(dǎo)體161、充電器162、顯影單元163和清潔單元164。光導(dǎo)體161可以是鼓形，并被例如充電器16、顯影單元163和清潔單元164圍繞。充電器162使光導(dǎo)體161的表面充電。光寫入單元107發(fā)出激光束165到光導(dǎo)體161的表面上，從而形成基于掃描器103掃描所得的圖像信息的潛像。顯影單元163用色粉粒子使光導(dǎo)體161上的潛像顯影。在色粉粒子轉(zhuǎn)印到記錄紙上之后，清潔單元164除去留在光導(dǎo)體161上的色粉粒子并使其回到原處。在這樣的成像裝置1000中，在每個光導(dǎo)體161上形成的有色圖像分別疊合到中間轉(zhuǎn)印帶105上以形成單色圖像。例如，黃色(Y)色粉圖像經(jīng)由顯影單元163Y顯影，并在一次轉(zhuǎn)印單元166Y的影響下轉(zhuǎn)印到中間轉(zhuǎn)印帶105上。然后，品紅色(M)色粉圖像經(jīng)由顯影單元163M顯影，并在一次轉(zhuǎn)印單元166M的影響下轉(zhuǎn)印到中間轉(zhuǎn)印帶105上。然后，青色(C)色粉圖像經(jīng)由顯影單元163C顯影，并在一次轉(zhuǎn)印單元166C的影響下轉(zhuǎn)印到中間轉(zhuǎn)印帶105上。然后，黑色(K)色粉圖像經(jīng)由顯影單元163K顯影，并在一次轉(zhuǎn)印單元166K的影響下轉(zhuǎn)印到中間轉(zhuǎn)印帶105上。這樣四種顏色圖像在中間轉(zhuǎn)印帶105上疊加形成全色色粉圖像。然后該全色色粉圖像在二次轉(zhuǎn)印單元151的影響下被轉(zhuǎn)印到從供紙單元102傳送來的記錄紙120上。然后將記錄紙120傳送至熔合單元108處，以將四色圖像固定在記錄紙120上，然后將記錄紙120排出到排紙托盤104上或經(jīng)由排紙輥141傳送到紙張翻轉(zhuǎn)單元109上。為使圖像形成在記錄紙120的兩個面上，記錄紙120通過分支部件191被供應(yīng)至紙張翻轉(zhuǎn)單元109處，記錄紙120的兩面得以翻轉(zhuǎn)。這樣的翻面記錄紙120被傳送到校準輥123處，在校正紙:張偏斜之后，記錄紙120被供應(yīng)至成像區(qū)101處以在其背面形成圖像。在全色色粉圖像轉(zhuǎn)印到記錄紙120之后，帶清潔單元152將留在中間轉(zhuǎn)印帶105上的色粉清除掉。保存在紙張托盤121內(nèi)的記錄紙以向上的方向被推出，以使紙張托盤121中的最上面的紙張與拾取輥125接觸。具體地說，紙張托盤121內(nèi)的支承板124可以繞軸旋轉(zhuǎn)上升以推出紙張托盤121內(nèi)存放的記錄紙。隨著供紙輥126的旋轉(zhuǎn)，最上層紙張從紙張托盤121抽出，然后記錄紙120經(jīng)由垂直傳送線路127被運送至校準輥123。校準輥123暫時停止了記錄紙120的傳送，使色粉圖像在中間轉(zhuǎn)印帶105的形成時機和供給記錄紙120的時機同步，并將記錄紙120供給到成像區(qū)101。校準輥123也可對從手動送紙托盤184供給的記錄紙進行同樣的供紙?zhí)幚怼４送?，成像裝置可以包括分離爪181和卡紙托盤182，用以移除或排出被卡的紙。當(dāng)卡紙發(fā)生在垂直傳送線路127的下游時，分離爪181被激活以引導(dǎo)被卡的紙到卡紙托盤182處。掃描器103包括第一和第二滑鞍132和133,其相互移動以掃描放置在承片玻璃131上的紙張(未顯示)。第一和第二滑鞍132和133可以包括用以光學(xué)掃描文件的光源和反光鏡。由第一和第二滑鞍132和133掃描得到的圖像信息經(jīng)過紅(R)、綠(G)和藍(B)的三原色濾鏡過濾，通過透鏡134聚焦在CCD(電荷耦合器件)135上，從而將圖像信息轉(zhuǎn)換成圖像信號。然后將這樣的圖像信號數(shù)字化為彩色圖像數(shù)據(jù)用以圖像處理。掃描器103具有給定的掃描分辨率，如300dpi(每英寸點數(shù))，600dpi,1200dpi等。基于經(jīng)過圖像處理的圖像數(shù)據(jù)，光寫入單元107的激光二極管LD(未顯示)發(fā)出激光束到光導(dǎo)體161上以形成潛像。該激光束通過多角鏡和透鏡指向黃色(Y)、品紅色(M)、青色(C)和黑色(K)的光導(dǎo)體161上。如圖34所示，ADF(自動文件饋送機)136位于掃描器103上，用以自動將文件紙張送到承片玻璃131處。通常，采用卡爾遜法的成像裝置可使用色粉。然而，在示范性實施方式中，使用了含有電子功能材料的顆粒以替代通常使用的色粉。例如，使用卡爾遜法的成像裝置，將用以形成電極的導(dǎo)電材料、在施加電信號時會變色的材料、絕緣材料等施加在諸如紙張或紙基材料的基底上，從而形成布線圖或電子器件。例如，可以通過掃描器103將布線圖或電子器件的圖像數(shù)據(jù)輸入成像裝置1000，或者將計算機產(chǎn)生的圖像數(shù)據(jù)輸入成像裝置1000。通過在中間轉(zhuǎn)印帶105上疊加多個使用不同材料的圖案，并將該多個圖案轉(zhuǎn)印到紙張上，從而可以在紙張上形成這樣的布線圖或電子器件。此外，在紙張上形成這樣的布線圖或電子器件還可以通過重復(fù)每個材料的圖像形成，采用一個接一個的形成圖案層的方式。通常，卡爾遜法常用的色粉包含樹脂、著色劑、電荷控制劑、分離劑和添加劑。這樣的樹脂可以是l10um大小的苯乙烯(如丙烯酸苯乙烯)或聚酯。著色劑用來產(chǎn)生顏色。在示范性實施方式中，使用電子功能材料而不是著色劑來在基底上形成布線圖或電子器件。因此，用于上述噴墨方法的導(dǎo)電細顆粒、光發(fā)射材料、半導(dǎo)體材料、絕緣材料等被加入到樹脂中以制備用以形成布線圖或電子器件的電子功能材料的顆粒。采用噴墨方法的成像裝置可以具有用以分配溶液的噴嘴組件。如果噴嘴組件具有能與基底寬度相匹配的長度，那么可以在基底上以更高的速度形成圖案。如果這種噴嘴組件不具有與基底寬度相匹配的長度，那么在基底上形成圖案的速度較慢，這是因為噴嘴組件可能需要在基底上方來回移動。此外，如果噴嘴組件設(shè)計成在更大長度內(nèi)移動，則可以在更大尺寸的基底上形成圖案，如AO尺寸。另一方面，采用卡爾遜法的成像裝置能夠以更高的速度和數(shù)量在基底上形成圖案，如每分鐘100到200片的圖案形成。因此，可以聯(lián)合運用卡爾遜法和噴墨法實現(xiàn)更高速度和數(shù)量的用以形成器件的成像過程。例如，采用卡爾遜法的成像裝置可用于形成寬區(qū)域?qū)?，如基底整個面上的絕緣層和保護部件，采用噴墨法的成像裝置可用于在基底上形成電子功能材料的較小區(qū)域?qū)?。此外，采用卡爾遜法的成像裝置最好用于在紙張(用作基底)的整個面上施以涂料，以提高紙張的表面光滑性能(例如凹度和凸度)，因為釆用卡爾遜法的成像裝置能夠以更高的速度在基底上形成圖案。涂料可用來使基底的表面條件達到光滑表面的程度，這是通過抑制因纖維素纖維相互層疊而引起的凹度和凸度來實現(xiàn)的。此外，釆用卡爾遜法的成像裝置可以包括具有定影過程所用的加熱輥和壓緊輥的熔合單元108。除施以涂料外，由輥所施加的壓力可以進一步使基底表面的凹凸變得平滑。此外，上述布線圖或電子器件可以在其兩個面上涂上樹脂層(作為保護部件)以保護具有布線圖或電子器件的正面和使得背面免受環(huán)境效應(yīng)如濕氣的影響。除了用以連接布線圖或電子器件到其它外部電子元器件的電接頭之外，這種保護部件可以有選擇地涂在基底上。在這樣的選擇性涂布過程中，優(yōu)選使用噴墨法。例如，使用蠟材料在基底上形成保護部件?？梢圆捎闷渌挠≈品?、輥涂法等在基底上形成這種保護部件。此外，可以通過有選擇地使用作為光致抗蝕劑的光敏聚合物而在基底上形成這種保護部件。這種保護部件可以保護布線圖或電子器件免受例如水氣/濕氣、污染或物理沖擊。因此，示范性實施方式中的布線圖板或電子器件板在多個方面具有更高的可靠性，如抗水性、防震性、抗光能性、抗污染性和絕緣性能等?，F(xiàn)在描述根據(jù)示范性實施方式的電子器件200。圖35顯示了在紙質(zhì)或紙基的材料的基底10上具有多個電子器件200的電子器件板。雖然沒有顯示，但電子器件200可以是具有多個電路和晶體管的集成電路，這是通過在基底IO上涂覆含有電子功能材料或絕緣材料的不同溶液而形成的。如圖35所示，電子器件200以其間具有器件隔離區(qū)域201的方式設(shè)置在基底10上。此外，電子器件板可以在器件隔離區(qū)域201內(nèi)包括分隔線圖樣202,如圖36所示。分隔線圖樣202可形成在器件隔離區(qū)201內(nèi)以使器件隔離線能夠清楚地被識別。分隔線圖樣202還可以使用根據(jù)示范性實施方式的成像裝置形成在基底10(如紙或紙基材料)上。分隔線圖樣202可使用含有電子功能材料或著色劑的溶液形成，以便識別分隔線。分隔線圖樣202可以作為從基底10上切割電子器件200的標(biāo)記，通過它可以容易識別切割部分。分隔線圖樣202可進一步形成并延伸至基底IO的邊緣，如圖37所示。因此，每個電子器件200能以更高的的精確度從基底10上切下。除了在基底10上設(shè)置分隔線圖樣202之外，可以將基底10上對應(yīng)于分隔線圖樣202的區(qū)域的機械強度設(shè)置得比基底IO的其他區(qū)域低。例如，在基底10上電子器件200之間可以打多個成線形排列的孔，使得每個電子器件200可以用較小的力(如手腕力)切下。此外，可通過降低電子器件200之間的基底10的厚度來類似地設(shè)置該機械強度。如上所述，在示范性實施方式中，具有精細圖案如幾個pm到數(shù)十個pm(例如1pm50pm)的布線圖基底或電子器件基底可以使用卡爾遜法或噴墨法而不是傳統(tǒng)光刻法的成像裝置制造。采用噴墨法的成像裝置具有噴頭，噴頭具有小尺寸的噴嘴，用來將包含電子功能材料的溶液分配到基底上以在基底上形成布線圖或電子器件。對于采用卡爾遜法的成像裝置的情形，包含電子功能材料的粒子可用來在基底上形成布線圖或電子器件。因為這樣的成像裝置與半導(dǎo)體制造工藝所用的昂貴工藝設(shè)備相比具有更簡化的結(jié)構(gòu)，故能夠以更低成本和更可靠的方式在基底上形成布線圖或電子器件，因此是更可取的。此外，可采用其他印制方法在基底上形成布線圖或電子器件，如熱轉(zhuǎn)印法、膠版印刷、凸版印刷、平版印刷和絲網(wǎng)印刷。根據(jù)上述啟示，多種其他的改變和變型都是可能的。因此，在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，本發(fā)明的內(nèi)容應(yīng)理解為還能以除了這里具體描述的其他方式實現(xiàn)。本申請內(nèi)容要求了2006年11月21日和2007年8月17日向日本專利局分別提交的日本專利申請No.2006-314882和No.2007-213083的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容合并引入本申請以作參考。權(quán)利要求1.一種功能器件制造裝置，用于通過在采用紙或紙基材料的基底上沉積溶液的固相物從而在基底上形成布線圖或電子器件，所述裝置包括第一噴頭，用以將包含電子功能材料的溶液噴射到所述基底上作為點圖案，所述第一噴頭包括電子-機械能轉(zhuǎn)換元件，其在被施以電能時會變形，所述電子-機械能轉(zhuǎn)換元件的形變被用于分配來自所述第一噴頭的溶液液滴，其中，對所述第一噴頭的所述電子-機械能轉(zhuǎn)換元件施加驅(qū)動信號，使得分配的液滴在撞擊所述基底的表面之前呈現(xiàn)基本為球形的第一形狀或具有球形部分和球形部分之后延伸的柱狀部分的第二形狀，所述第二形狀的長度不到所述球形部分直徑的三倍。2.如權(quán)利要求1所述的功能器件制造裝置，其特征在于，所述裝置還包括第二噴頭，其中所述第一噴頭和所述第二噴頭噴射不同類型的溶液，以一個疊在另一個上的方式在所述基底上形成各自的圖案，從而在所述基底上形成布線圖或電子器件。3.如權(quán)利要求2所述的功能器件制造裝置，其特征在于，所述裝置進一步包括基底座，用以固定所述基底；和滑鞍，用來在所述基底上方承載和移動所述第一噴頭和所述第二噴頭，通過噴射第一圖案的第一溶液，使第一圖案干燥，然后在第一圖案上噴射第二圖案的第二溶液，從而使所述第一噴頭和所述第二噴頭在所述基底上形成各自的圖案。4.如權(quán)利要求2所述的功能器件制造裝置，其特征在于，所述裝置進一步包括基底傳送器，用以移動所述基底；和滑鞍，用以承載所述第一噴頭和所述第二噴頭，其中所述基底傳送器使所述基底相對于所述滑鞍移動，通過噴射第一圖案的第一溶液，由所述基底傳送器將所述基底退回至給定的參考位置，然后在第一圖案上噴射第二圖案的第二溶液，從而使所述第一噴頭和所述第二噴頭在所述基底上形成各自的圖案。5.如權(quán)利要求4所述的功能器件制造裝置，其特征在于，當(dāng)在所述基底的一個面上形成給定圖案時，所述基底傳送器移動所述基底，并且所述基底傳送器使所述基底翻轉(zhuǎn)從而在所述基底的另一面上形成給定的圖案。6.—種功能器件制造裝置，用于通過在采用紙或紙基材料的基底上沉積溶液的固相物從而在基底上形成布線圖或電子器件，所述裝置包括第一噴頭，用以將包含電子功能材料的溶液噴射到所述基底上作為點圖案，所述第一噴頭包括發(fā)熱元件，用以產(chǎn)生熱從而使溶液中生成氣泡，生成的氣泡用以從所述第一噴頭噴射溶液的液滴，其中，對所述第一噴頭的發(fā)熱元件施加驅(qū)動信號，使得分配的液滴在撞擊所述基底的表面之前呈現(xiàn)具有球形部分和球形部分之后延伸的柱狀部分的形狀，所述液滴形狀的長度至少為所述球形部分直徑的五倍。7.如權(quán)利要求6所述的功能器件制造裝置，其特征在于，所述裝置還包括第二噴頭，其中所述第一噴頭和所述第二噴頭噴射不同類型的溶液，以一個疊在另一個上的方式在所述基底上形成各自的圖案，從而在所述基底上形成布線圖或電子器件。8.如權(quán)利要求7所述的功能器件制造裝置，其特征在于，所述裝置進一步包括基底座，用以固定所述基底；和滑鞍，用來在所述基底上方承載和移動所述第一噴頭和所述第二噴頭，通過噴射第一圖案的第一溶液，使第一圖案干燥，然后在第一圖案上噴射第二圖案的第二溶液，從而使所述第一噴頭和所述第二噴頭在所述基底上形成不同圖案。9.如權(quán)利要求7所述的功能器件制造裝置，其特征在于，所述裝置進一步包括基底傳送器，用以移動所述基底；和滑鞍，用以承載所述第一噴頭和所述第二噴頭，其中所述基底傳送器使所述基底相對于所述滑鞍移動，通過噴射第一圖案的第一溶液，由所述基底傳送器將所述基底退回至給定的參考位置，然后在第一圖案上噴射第二圖案的第二溶液，從而使所述第一噴頭和所述第二噴頭在所述基底上形成不同圖案。10.如權(quán)利要求9所述的功能器件制造裝置，其特征在于，當(dāng)在所述基底的一個面上形成給定圖案時，所述基底傳送器移動所述基底，并且所述基底傳送器使所述基底翻轉(zhuǎn)從而在所述基底的另一面上形成給定的圖案。11.一種功能板，包括基底，其由紙或紙基材料制成；點圖案，其位于所述基底的至少一個面上，通過在所述基底上沉積含有電子功能材料的溶液中的固相物而形成。12.如權(quán)利要求ll所述的功能板，其特征在于，所述功能板至少形成一個布線圖或一個電子器件。13.如權(quán)利要求ll所述的功能板，其特征在于，所述基底的表面涂有涂料以抑制因紙纖維導(dǎo)致的所述基底的凹度和凸度，并且所述點圖案位于所述基底的涂有涂料的所述表面上。14.如權(quán)利要求ll所述的功能板，其特征在于，所述點圖案包括由成串的多個點組成的條帶圖案，所述點以兩個分別正交的方向排列，并且在所述條帶圖案向兩個分別的正交方向中任一個方向彎曲的地方，所述條帶圖案具有一個曲線形狀的角落部分。15.如權(quán)利要求12所述的功能板，其特征在于，所述布線圖位于所述功能板的一個面上或兩個面上。16.如權(quán)利要求12所述的功能板，其特征在于，所述電子器件位于所述功能板的一個面上或兩個面上。17.如權(quán)利要求12所述的功能板，其特征在于，所述布線圖位于所述功能板的一個面上而所述電子器件位于所述功能板的另一個面上。全文摘要提供了一種功能器件制造裝置，用于通過在采用紙或紙基材料的基底上沉積溶液的固相物從而在基底上形成布線圖或電子器件。該功能器件制造裝置包括噴頭。噴頭將含有電子功能材料的溶液噴射到基底上作為點圖案。噴頭包括用以由噴頭分配溶液液滴的器件。施加于該器件的驅(qū)動信號使從該器件噴射出的液滴在撞擊基底表面之前具備特定的形狀。文檔編號H01J9/02GK101197234SQ200710193419公開日2008年6月11日申請日期2007年11月21日優(yōu)先權(quán)日2006年11月21日發(fā)明者關(guān)谷卓郎申請人:株式會社理光