專利名稱：準分子光照射器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種準分子光照射器，使用于對如液晶面板基板、半 導體晶片、磁盤基板、光盤基板等玻璃、半導體、樹脂、陶瓷、金屬 等、及將這些合成的基板表面照射紫外光，進行清潔、刻蝕等時的基 板處理。
背景技術：
在半導體或液晶基板等的制造工序中，紫外光廣泛利用于清潔等
基板處理。作為這種技術，例如公知有日本專利公開2003-275576號公 報等。在該公報中，記載了搭載有準分子光照射器的基板處理裝置， 將從該準分子光照射器放射的200nm以下、100nm以上的范圍的紫外 光，在氧存在的氛圍下照射在被處理物的表面，通過產生的活性氧與 透過的紫外光的作用效果，使被處理物表面的有機物等分解飛散，從 而進行清潔。
圖5表示具有現(xiàn)有的準分子光照射器的基板清潔裝置的概略構造 圖。該圖5是在與大致棒狀的準分子燈504的燈管軸正交的面切斷的 裝置的概略剖視圖。該基板清潔裝置501由準分子光照射器502、和基 板傳送機構503構成。該準分子光照射器502由并排配置多根的大致 棒狀的準分子燈504、具備該準分子燈504的燈箱505、與該燈箱505 相鄰并向該準分子燈504供給電力的電裝部506、以及照射從該準分子 燈504放射的準分子光的窗部507構成。此外，基板傳送機構503由 處理室510、傳送作為被照射物的基板508的傳送輥環(huán)509、以及檢測 出該基板508傳送到及傳出處理室510的位置傳感器511,512構成。在 該基板清潔裝置501中，基板508從基板傳送方向的上游側被傳送到 下游側(圖中箭頭方向)。之后，通過從該準分子光照射器502的該
準分子燈504放射的準分子光，氛圍中的氧被活化，并且照射直接到
達該基板508的準分子光，從而進行有機物等的分解清潔。
在這種基板清潔裝置中，根據基板傳送速度、處理基板的種類、 及污染狀態(tài)等，所需要的處理能力不同，根據需要選擇搭載的準分子 光照射器的處理能力。
由于構成燈的玻璃材料的劣化、來自玻璃材料等的放出氣體微量 存在于放電氣體中等，來自該準分子燈的光輸出隨點亮時間的延長而 衰減。為了實現(xiàn)即使光輸出衰減，處理能力也不會不足， 一般，以燈 壽命末期的光輸出為基準來決定被配置于該準分子光照射器的該準分 子燈的燈數(shù)。在此，該準分子燈的壽命是指，以額定功率點亮的該準
分子燈的光輸出相對于初期衰減到一定輸出(例如初期的70%)，或 該準分子燈由于放電管的破壞等無法點亮的情形，壽命末期的光輸出 是指，例如從衰減到初期的70%的光輸出的該準分子燈放射的光輸出 的情形。
此外，在這種基板清潔裝置中，配置于準分子光照射器中的該準 分子燈通過以下幾種控制方法點亮。
(1) 作為第l控制方法，始終以額定輸入點亮準分子燈。
(2) 作為第2控制方法，初期例如以額定輸入的80%左右的低輸 入點亮，隨著光輸出的降低，每次調整燈點亮電力，從而輸出一定以 上的光輸出。
(3) 作為第3控制方法，檢測光輸出，對點亮電源進行反饋控制， 從而將光輸出保持在一定。
在任何使用方法的情況下，當燈達到壽命時，處理能力均不足， 需要更換燈， 一般在燈泡每次達到壽命時實施燈的更換。
一般，燈具有固有的特性偏差，在準分子光照射器上安裝的多個燈同時到達壽命的情況非常罕見。以往，在安裝了多個的準分子燈的 一根到達壽命時，大多停止基板處理裝置，更換所有燈。但是，近年 來，為了追求運轉成本的經濟性，逐根更換達到壽命的燈。
在更換燈時，必須停止基板處理裝置，由于更換不定期到達壽命 的燈導致的基板處理裝置的停止，成為導致降低生產工廠整體的運轉 率的原因之一，而成為很大的問題。尤其是，近年來的液晶產業(yè)界價 格競爭非常激烈，為了提高生產效率與生產能力，強烈要求提高裝置
運轉率。
專利文獻l:日本專利公開2003-275576號

發(fā)明內容
本發(fā)明是為應對相關需求而提出，提供一種準分子光照射器，檢 測出基板處理裝置搭載的準分子光照射器上配置的準分子燈中壽命到 期的該準分子燈，補充不足的光輸出，從而實質上不必停止基板處理 裝置，并且可有助于提高制造裝置的運轉率。
本發(fā)明的一種準分子光照射器，搭載在具有傳送基板的傳送機構，
并照射準分子光，對基板進行處理的基板處理裝置上，其特征在于
該準分子光照射器，相對基板傳送方向成大致直角地并排配置多根大 致棒狀的準分子燈，具有可獨立調整各準分子燈的輸出的供給電源， 具有檢測各該準分子燈的光輸出的檢測功能，具有光輸出補充功能， 在來自至少一根該準分子燈的光輸出未達到規(guī)定的輸出時，補充與不 足的光輸出相當?shù)墓廨敵觥?br> 除了上述發(fā)明之外，其特征在于上述光輸出補充功能，通過對 于滿足規(guī)定的處理能力的準分子燈的燈數(shù)至少搭載有一個備用燈，并 點亮該備用燈，從而補充光輸出。
此外，其特征在于上述光輸出補充功能，通過由多根備用燈構 成，并使與未達到規(guī)定的輸出的燈的燈數(shù)相當?shù)膫溆脽酎c亮，從而補 充光輸出。
進而，其特征在于上述備用燈被配置于基板傳送方向的下游側， 在該備用燈中被配置于最上游側的該備用燈，與和該備用燈相鄰的、 為了滿足規(guī)定的處理能力而配置的常用的準分子燈和/或其他備用燈之 間設有間隙，將該間隙設為p (mm)，將基板傳送速度設為V (mm/ 秒)，將準分子燈從點亮開始到光輸出穩(wěn)定為止的時間設為c(秒)時， 將該準分子燈配置為p/V〉c。
此外，其特征在于本發(fā)明的準分子燈的上述光輸出補充功能在
至少一個該準分子燈未點亮時，調整對剩余各該準分子燈的供給電力， 控制來自剩余該準分子燈的光輸出，以使照射在被處理基板面上的準 分子光的累計光量恒定。
根據本發(fā)明的技術方案1所述的準分子光照射器，相對基板傳送 方向成大致直角地并排配置多個大致棒狀的準分子燈，具有光輸出補 充功能，來自至少一根該準分子燈的光輸出未達到規(guī)定的輸出時，補 充與不足的光輸出相當?shù)墓廨敵?，因此可實現(xiàn)始終穩(wěn)定的光照射，避 免由于不定期的燈更換等導致基板處理裝置的停止，可有助于提高制 造裝置的運轉率。
例如，在液晶制造工廠，定期地例如每月一次左右，停止裝置， 實施維護。在準分子光照射器的燈到達壽命，需要更換燈的情況下， 若在定期維護時更換，則可消除平常使用時裝置的停止時間。
根據本發(fā)明的技術方案2，搭載有備用燈，因此即使該準分子光
照射器上搭載的多個準分子燈中突然產生無法供給規(guī)定的光輸出的準 分子燈，通過點亮該備用燈，也可實現(xiàn)穩(wěn)定的光照射。根據本發(fā)明的技術方案3，搭載有多根備用燈，使與未達到規(guī)定 的輸出的燈數(shù)相當?shù)膫溆脽酎c亮，因此不會施加由于提高其他準分子 燈的輸入電力等引起的負荷，該準分子光照射器整體的壽命得到確保， 不需要不定期地對燈進行更換。此外，通過使該備用燈點亮，可確保 始終穩(wěn)定的光照射。
根據本發(fā)明的技術方案4，該備用燈被配置于基板傳送方向的下 游側，被配置于最上游側的該備用燈與和該備用燈相鄰的常用的準分 子燈和/或其他備用燈的間隙P、基板傳送速度V、及準分子燈從點亮 開始到光輸出穩(wěn)定為止的時間C (秒)的關系，滿足公式p/V〉C，因此 即使在最下游的常用燈無法提供規(guī)定的光輸出時，被處理物上的累計 光量也不會過少，可提供穩(wěn)定的處理。
根據本發(fā)明的技術方案5，即使該準分子光照射器上搭載的常用
的該準分子燈中的一根燈未點亮，由于調整對剩余準分子燈的供給電 力，控制來自剩余準分子燈的光輸出，從而補充光量的不足量，因此 該準分子光照射器上搭載的該準分子燈的根數(shù)可以是規(guī)定的處理所需 要最小限的根數(shù)，因此可提供小型的裝置。


圖1是表示具備本發(fā)明的準分子光照射器的基板處理裝置的概略 結構的說明圖。
圖2是表示具備本發(fā)明的準分子光照射器的基板處理裝置的其他
實施例的圖。
圖3是表示本發(fā)明的準分子光照射器的備用燈的光輸出補充功能 的動作的時序圖。
圖4是表示在本發(fā)明的準分子光照射器上配置的常用燈的光輸出 補充功能的動作的時序圖。
圖5是表示具備現(xiàn)有的準分子光照射器的基板處理裝置的概略結
構的說明圖。
具體實施例方式
本發(fā)明的準分子光照射器具有光輸出補充功能，在搭載的該準分 子燈中，光輸出未達到規(guī)定的輸出時，補充與不足的光輸出相當?shù)墓?輸出，從而可實現(xiàn)始終穩(wěn)定的光照射，避免由于不定期的燈的更換等 引起停止基板處理裝置，實現(xiàn)提高制造裝置的運轉率。
實施例1
第1實施例將把本發(fā)明適用于液晶基板清潔裝置中的例子作為搭 載有準分子光照射器的基板處理裝置表示于圖1。對圖1進行說明。該 圖1表示被處理基板13的光照射面朝向紙面上方的方向的圖，及與該
準分子燈2的管軸方向正交的方向的概略剖視圖(下圖)。l是準分子 光照射器主體，該準分子光照射器主體1由準分子燈2及備用燈3、安 裝有該燈的燈箱4、對該燈進行點亮控制的電氣安裝部(電裝部)5、 以及顯示各點亮條件、點亮狀態(tài)、異常狀態(tài)的顯示器6構成。此外， 基板傳送裝置7由傳送基板的傳送輥環(huán)8、照射處理準分子光的處理室 9、進行傳送的動力源10、以及控制該動作的控制器11構成。另外， 雖然未作圖示，但在該準分子光照射器主體1的電氣安裝部5上，連 接有可獨立調整該準分子燈2的輸出的供給電源。例如，通過改變從 該供給電源供給到該分子燈2等的電壓或頻率，可控制該準分子燈2 等的光輸出。
在本實施例中，準分子光照射器1被設置于基板傳送裝置7的上 部，被處理基板13在基板傳送裝置7的上方例如以10m/min傳送，當 到達準分子光照射器主體1的照射區(qū)域時，由位置傳感器A識別，配 置于準分子光照射器主體1的該準分子燈2點亮，由位置傳感器B識 別出被處理基板13移出照射區(qū)域的情況，配置于準分子光照射器1的 準分子燈2熄滅。如此地，通過點亮一根或多根所配置的一根或多根 準分子燈2,將準分子光照射在被處理基板13的表面來清潔該被處理
基板13。另外，在實施例中，表示了該被處理基板13移動的情形，該 被處理基板13可相對準分子光照射器進行相對移動即可，也可以是準 分子光照射器偵IJ移動的情形。
實施例2
圖2表示將具備多個備用燈的該準分子光照射器作為本發(fā)明的其 他實施例進行表示。圖2-a)是與燈管軸正交的面的剖視圖為方形的準分 子燈22與相同方形的備用燈23被并排配置于燈箱21內的圖。該圖2-a) 是從該準分子光照射器的上方觀察的概略配置圖、及與該準分子燈22 的管軸正交的面的剖視圖。在本實施例中，準分子燈22被配置成一部 分在被處理基板的寬度方向上重疊，由2根準分子燈22進行整個寬度 方向的照射。該準分子燈22的組被并排配置3組，作為為了滿足規(guī)定 的處理能力而配置的通常使用的準分子燈22來確保規(guī)定的光輸出。此 外，在寬度方向上被同樣地設定的備用燈23為2組，并排配置于被處 理基板的傳送方向的下游側。常用的該準分子燈22中，任意該準分子 燈的光輸出未達到規(guī)定的輸出時，該備用燈23點亮，補充不足的光輸 出。此外，該準分子燈22與該備用燈23的間隔p，在將基板傳送速度 設為V(mm/秒)，該備用燈23從點亮開始到光輸出穩(wěn)定為止的時間 設為c (秒)時，被設定成為p/V〉c。由此，即使在該準分子燈22的 最下游的一根例如未點亮時，由于來自該備用燈23的光放射穩(wěn)定，該 被處理基板被傳送到該備用燈的正下方，也可以對該被處理基板進行 光量穩(wěn)定的處理。
圖2-b)是圓筒形狀的準分子燈26與相同圓筒形狀的備用燈27被 并排配置于燈箱25內的圖。該圖2-b)與圖2-a)時同樣地，是從該準分 子光照射器的上方觀察的概略配置圖、及與該準分子燈22管軸正交的 面的剖視圖。在本實施例中，該準分子燈26被設置成可貫穿該被處理 基板的整個寬度方向進行光照射的長度。在此，作為為了滿足規(guī)定的 處理能力而配置的常用準分子燈，配置有3根該準分子燈26，作為該 備用燈27，在該被處理基板的傳送方向的下游側并排配置有3根。常
用的該準分子燈26中，任意該準分子燈26有多根的光輸出未達到規(guī) 定的輸出時，該備用燈27點亮與光輸出不足的根數(shù)對應的根數(shù)的該備 用燈27，補充不足的光輸出。此外，該準分子燈26與該備用燈27的 間隔p，在將基板傳送速度設為V (mm/秒)，該備用燈27從點亮開 始到光輸出穩(wěn)定為止的時間設為c (秒)時，被設定成為p/V〉c。由此， 即使在該準分子燈26的最下游的一根例如未點亮時，由于來自該備用 燈27的光放射穩(wěn)定，該被處理基板被傳送到該備用燈的正下方，也可 以對該被處理基板進行光量穩(wěn)定的處理。此外，優(yōu)選該備用燈27之間 的間隔p也同樣被設定為p/V〉c。由此，即使在該備用燈27存在不良 時也不會影響到該被照射物的處理狀態(tài)。
實施例3
圖3表示本發(fā)明的準分子燈和備用燈的點亮時序的時序圖。圖3-a) 是4根準分子燈26作為常用的準分子燈被并排配置于燈箱25，在該被 處理基板的傳送方向的下游側配置有一根該備用燈27時的準分子光照 射器25的概略圖。此外，圖3-b)是與a)所示的配置圖對應的點亮時序 的時序圖。在圖3-b)中，a)所示的配置圖中將該準分子燈26的左側設 為上游，從左端開始將各準分子燈26設為第一燈、第二燈、第三燈、 第四燈。圖3-b)的橫軸為時間軸。若輸入第一燈至第四燈為止的點亮信 號，則第一燈至第四燈為止的準分子燈點亮。在此，若第四燈未點亮， 則檢測出該第四燈未點亮，產生備用燈點亮信號。之后，該備用燈27 從點亮開始到光輸出穩(wěn)定為止的時間c (秒)后，備用燈被穩(wěn)定點亮。 該備用燈27與該準分子燈26的第四燈之間的間隔為p (mm)，將該 被處理基板的傳送速度設為V (mm/秒)，將該備用燈27從點亮開始 到光輸出穩(wěn)定為止的時間設為c (秒)時，被設定為p/V〉c。由此，即 使在該準分子燈26的第四燈未點亮時，由于來自該備用燈27的光放 射穩(wěn)定，被處理基板被傳送到該備用燈的正下方，也可以對該被處理 基板進行光量穩(wěn)定的處理。
實施例4作為本發(fā)明的其他實施例，圖4表示作為在對該準分子燈26的光
輸出補充方法，增強常用的各準分子燈26的供電電力時的點亮時序的 時序圖。圖4-a)是4根準分子燈26作為常用的準分子燈并排配置于燈 箱25的準分子光照射器的概略圖。此外，圖4-b)是與a)所示的配置圖 對應的點亮時序的時序圖。在圖4-b)中，a)所示的配置圖中將該準分子 燈26的左側設為上游，從左端開始將各準分子燈26設為第一燈、第 二燈、第三燈、第四燈。圖4-b)的橫軸為時間軸。若輸入第一燈至第四 燈為止的點亮信號，則第一燈至第四燈為止的準分子燈點亮。在此， 若第四燈未點亮，則檢測出該第四燈未點亮，產生輔助供電開始信號。 之后，對其他所配置的第一燈、第二燈、第三燈的供電電力增加。該 增加量被控制為，第四燈的光輸出Y與增加量X1、 X2、 X3的和相等
(Y=X1+X2+X3)。由此，即使在該準分子燈26中的一根未點亮時， 該準分子光照射器提供的累計光量也不改變，可對該被處理基板進行 光量穩(wěn)定的處理。
權利要求
1.一種準分子光照射器，搭載在具有傳送基板的傳送機構，并照射準分子光，對基板進行處理的基板處理裝置上，其特征在于該準分子光照射器，相對基板傳送方向成大致直角地并排配置多根大致棒狀的準分子燈，具有可獨立調整各準分子燈的輸出的供給電源，具有檢測各該準分子燈的光輸出的檢測功能，具有光輸出補充功能，在來自至少一根該準分子燈的光輸出未達到規(guī)定的輸出時，補充與不足的光輸出相當?shù)墓廨敵觥?br> 2. 根據權利要求l所述的準分子光照射器，其特征在于 上述光輸出補充功能，通過對于滿足規(guī)定的處理能力的準分子燈的燈數(shù)至少搭載有一個備用燈，并點亮該備用燈，從而補充光輸出。
3. 根據權利要求2所述的準分子光照射器，其特征在于 上述光輸出補充功能，通過由多根備用燈構成，并使與未達到規(guī)定輸出的燈的燈數(shù)相當?shù)膫溆脽酎c亮，從而補充光輸出。
4. 根據權利要求2或3所述的準分子光照射器，其特征在于 上述備用燈配置于基板傳送方向的下游側，在該備用燈中被配置于最上游側的該備用燈與和該備用燈相鄰的、為了滿足規(guī)定的處理能 力而配置的常用的準分子燈和/或其他備用燈之間設有間隙，將該間隙 設為p (mm)，將基板傳送速度設為V (mm/秒)，將準分子燈從點 亮開始到光輸出穩(wěn)定為止的時間設為c (秒)時，將該準分子燈配置為 p/V〉c。
5. 根據權利要求1所述的準分子光照射器，其特征在于-上述光輸出補充功能在至少一個該準分子燈未點亮時，調整對剩 余各該準分子燈的供給電力，控制來自剩余該準分子燈的光輸出，以 使照射在被處理基板面上的準分子光的累計光量恒定。
全文摘要
本發(fā)明提供一種準分子光照射器，檢測出準分子光照射器上配置的準分子燈中壽命到期的該準分子燈，補充不足的光輸出，從而實質上不必停止基板處理裝置。該準分子光照射器搭載在具有傳送基板的傳送機構，并照射準分子光，對基板進行處理的基板處理裝置上，其特征在于該準分子光照射器，相對基板傳送方向成大致直角地并排配置多根大致棒狀的準分子燈，具有可獨立調整各準分子燈的輸出的供給電源，具有檢測各該準分子燈的光輸出的檢測功能，具有光輸出補充功能，在來自至少一根該準分子燈的光輸出未達到規(guī)定的輸出時，補充與不足的光輸出相當?shù)墓廨敵觥?br> 文檔編號F21V21/34GK101187459SQ200710193210
公開日2008年5月28日 申請日期2007年11月20日 優(yōu)先權日2006年11月21日
發(fā)明者中村雅規(guī), 菱沼宣是 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社