專利名稱：電子倍增管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及配備有將倍增管電極疊層成多級(jí)形成的電子倍增部的電子倍增管和光電倍增管。所謂光電倍增管是一種配備有受光面板，光電面，電子倍增部及陽(yáng)極部的真空管，用于檢測(cè)入射到受光面板上的光。電子倍增管基本上由光電倍增管的電子倍增部及陽(yáng)極部構(gòu)成，使離子、電子等入射到電子倍增部的初級(jí)進(jìn)行檢測(cè)。
背景技術(shù)：
作為這種電子倍增管及光電倍增管，例如，已知有在特公昭56-1741號(hào)公報(bào)所公開的產(chǎn)品。特公昭56-1741號(hào)公報(bào)所公開的光電倍增管具有多個(gè)其上配置有將入射的電子倍增的多個(gè)電子倍增孔的金屬板(倍增管電極)。在該金屬板的輸出側(cè)或者輸入側(cè)的整個(gè)面上形成玻璃層，金屬板中間經(jīng)過(guò)所形成的玻璃層疊層。
但是，在上述結(jié)構(gòu)的光電倍增管中，由于在金屬板(倍增管電極)的輸出側(cè)或輸入側(cè)的整個(gè)面上形成玻璃層，所以，由于金屬板與玻璃層的熱膨脹系數(shù)不同，存在著在金屬板上發(fā)生彎曲疊層比較困難的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而提出的，其目的是提供一種能夠容易地疊層倍增管電極的電子倍增管和光電倍增管。
本發(fā)明的電子倍增管，包括由多個(gè)倍增管電極疊層而成的電子倍增部，每個(gè)所述倍增管電極上配置有把入射的電子倍增的多個(gè)電子倍增孔，每個(gè)所述的電子倍增孔具有一個(gè)形狀；多個(gè)玻璃支承部，所述多個(gè)玻璃支承部形成在所述多個(gè)倍增管電極中兩相鄰倍增管電極中一個(gè)倍增管電極的表面上；以及多個(gè)玻璃部，每個(gè)所述玻璃部具有結(jié)合到所述多個(gè)玻璃支承部之一上的基部，其中，所述多個(gè)倍增管電極被層疊在一起，玻璃部放置在相鄰倍增管電極之間，其中每個(gè)玻璃部具有保持相鄰倍增管電極之間的空隙的一個(gè)高度以便抑制其間可能發(fā)生的放電。
此外，優(yōu)選地，所述多個(gè)玻璃支承部中的每一個(gè)具有一個(gè)輪廓限定的形狀，其中該輪廓的一部分也限定每個(gè)電子倍增孔的形狀。
此外，優(yōu)選地，所述多個(gè)電子倍增孔中的每一個(gè)是細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀，該形狀具有沿第一方向延伸的相對(duì)長(zhǎng)邊和沿與第一方向垂直的第二方向延伸的相對(duì)短邊，其中所述多個(gè)玻璃支承部的每一個(gè)具有由沿所述第一方向延伸的第一長(zhǎng)度和沿所述第二方向延伸的第二長(zhǎng)度限定的形狀，其中所述第二長(zhǎng)度長(zhǎng)于所述細(xì)長(zhǎng)矩形形狀的短邊。
此外，優(yōu)選地，多個(gè)玻璃支承部的每一個(gè)具有圓形形狀。
此外，優(yōu)選地，所述多個(gè)倍增管電極的每一個(gè)具有邊緣部分，在此邊緣部分處形成有外框，所述外框具有比所述第一長(zhǎng)度小的寬度。
此外，優(yōu)選地，所述多個(gè)倍增管電極的每一個(gè)是一個(gè)具有對(duì)角線的矩形，所述多個(gè)玻璃支承部的一部分沿每個(gè)對(duì)角線設(shè)置。
本發(fā)明的光電倍增管，包括光電面；以及電子倍增管，包括由多個(gè)倍增管電極疊層而成的電子倍增部，每個(gè)所述倍增管電極上配置有把入射的電子倍增的多個(gè)電子倍增孔，每個(gè)所述的電子倍增孔具有一個(gè)形狀；多個(gè)玻璃支承部，所述多個(gè)玻璃支承部形成在所述多個(gè)倍增管電極中兩相鄰倍增管電極中一個(gè)倍增管電極的表面上；以及多個(gè)玻璃部，每個(gè)所述玻璃部具有結(jié)合到所述多個(gè)玻璃支承部之一上的基部，其中，所述多個(gè)倍增管電極被層疊在一起，玻璃部放置在相鄰倍增管電極之間，其中每個(gè)玻璃部具有保持相鄰倍增管電極之間的空隙的一個(gè)高度以便抑制其間可能發(fā)生的放電。
此外，優(yōu)選地，所述多個(gè)玻璃支承部中的每一個(gè)具有一個(gè)輪廓限定的形狀，其中該輪廓的一部分也限定每個(gè)電子倍增孔的形狀。
此外，優(yōu)選地，所述多個(gè)電子倍增孔中的每一個(gè)是細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀，該形狀具有沿第一方向延伸的相對(duì)長(zhǎng)邊和沿與第一方向垂直的第二方向延伸的相對(duì)短邊，其中所述多個(gè)玻璃支承部的每一個(gè)具有由沿所述第一方向延伸的第一長(zhǎng)度和沿所述第二方向延伸的第二長(zhǎng)度限定的形狀，其中所述第二長(zhǎng)度長(zhǎng)于所述細(xì)長(zhǎng)矩形形狀的短邊。
此外，優(yōu)選地，多個(gè)玻璃支承部的每一個(gè)具有圓形形狀。
此外，優(yōu)選地，所述多個(gè)倍增管電極的每一個(gè)具有邊緣部分，在此邊緣部分處形成有外框，所述外框具有比所述第一長(zhǎng)度小的寬度。
此外，優(yōu)選地，所述多個(gè)倍增管電極的每一個(gè)是一個(gè)具有對(duì)角線的矩形，所述多個(gè)玻璃支承部的一部分沿每個(gè)對(duì)角線設(shè)置。
根據(jù)本發(fā)明的電子倍增管，由于在相鄰的兩個(gè)倍增管電極的一個(gè)倍增管電極的第一個(gè)面上接合有多個(gè)玻璃部，處于與玻璃部大致點(diǎn)接觸狀態(tài)的相鄰的兩個(gè)倍增管電極中的另一個(gè)倍增管電極被疊層，所以倍增管電極與玻璃部的接合面積小。從而，可以抑制倍增管電極產(chǎn)生彎曲，可以很容易地將倍增管電極疊層。
此外，本發(fā)明的電子倍增管為一種配備有把倍增管電極疊層成多級(jí)形成的電子倍增部的電子倍增管，所述倍增管電極配置有把入射的電子倍增的多個(gè)倍增孔，其特征為，在多級(jí)的倍增管電極中相鄰的兩個(gè)倍增管電極的一個(gè)倍增管電極的第一個(gè)面上接合有多個(gè)玻璃部，相鄰的兩個(gè)倍增管電極中的另一個(gè)倍增管電極與多個(gè)玻璃部中的每一個(gè)大致為線接觸。
根據(jù)本發(fā)明的電子倍增管，由于在相鄰的兩個(gè)倍增管電極的一個(gè)倍增管電極的第一個(gè)面上接合有多個(gè)玻璃部，在與玻璃部大致為線接觸的狀態(tài)下相鄰的兩個(gè)倍增管電極中的另一個(gè)倍增管電極被疊層，所以倍增管電極與玻璃部的接合面積小。從而，可以抑制倍增管電極發(fā)生彎曲，可以容易進(jìn)行倍增管電極的疊層。
根據(jù)本發(fā)明的光電倍增管的特征為，在權(quán)利要求1～權(quán)利要求9中任一個(gè)所述的電子倍增管中，還配備有光電面。
根據(jù)本發(fā)明的光電倍增管，倍增管電極與玻璃部的接合面積小，可以抑制倍增管電極發(fā)生彎曲，能夠容易地將倍增管電極疊層。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施形式的光電倍增管的透視圖。
圖2是沿圖1的II-II線的剖面圖。
圖3是表示包含在根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施形式的光電倍增管中的倍增管電極的俯視圖。
圖4是圖3的主要部分的放大俯視圖。
圖5是圖4的V-V線的剖面圖。
圖6是表示倍增管電極的其他實(shí)施形式的剖面圖。
圖7是表示倍增管電極的另外一個(gè)實(shí)施形式的俯視圖。
圖8是表示倍增管電極的另外一個(gè)實(shí)施形式的俯視圖。
圖9是表示倍增管電極的另外一個(gè)實(shí)施形式的俯視圖。
圖10是表示倍增管電極的另外一個(gè)實(shí)施形式的俯視圖。
圖11是圖10的主要部分的放大俯視圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的電子倍增管及光電倍增管的優(yōu)選實(shí)施形式。此外，在各個(gè)附圖中，相同的部件賦予相同的標(biāo)號(hào)并省略對(duì)它們的重復(fù)說(shuō)明。本實(shí)施形式表示把本發(fā)明應(yīng)用于放射線檢測(cè)裝置等中使用的光電倍增管上的例子。
圖1是表示根據(jù)第一種實(shí)施形式的光電倍增管的透視圖，圖2是沿圖1的II-II線的剖視圖。示于這些附圖中的光電倍增管1具有大致為正四邊筒狀的金屬制(例如科瓦鐵鎳鈷合金制或不銹鋼制)的側(cè)管2，在該側(cè)管2的一側(cè)的開口端A上熔融固定有玻璃制(例如科瓦鐵鎳鈷合金玻璃制及石英玻璃制)的受光面板3。在該受光面板3的內(nèi)表面上形成把光變換成電子的光電面3a，該光電面3a通過(guò)使堿金屬與預(yù)先蒸鍍?cè)谑芄饷姘?上的銻反應(yīng)而形成。此外，在側(cè)管2的開口端B上熔融固定有金屬制(例如科瓦鐵鎳鈷合金金屬制及不銹鋼制)的芯柱板4。這樣，由側(cè)管2和受光面板3及芯柱4構(gòu)成密封容器5，該密封容器5為高度10mm左右的極薄型的容器。此外，受光面板3的形狀并不局限于正方形，可以是長(zhǎng)方形及六邊形等多邊形。
此外，金屬制排氣管6固定在芯柱板4的中央。在光電倍增管1組裝結(jié)束后，利用該排氣管6借助真空泵(圖未示出)將密封容器5的內(nèi)部排氣抽成真空狀態(tài)，并且也利用該排氣管6作為在成形光電面3a時(shí)將堿金屬蒸氣導(dǎo)入密封容器5內(nèi)的管。
在密封容器5內(nèi)以塊狀設(shè)置疊層型的電子倍增部9，該電子倍增部9是通過(guò)將10塊(10級(jí))板狀的倍增管電極8疊層構(gòu)成的。電子倍增部9由貫穿芯柱4的方式設(shè)置的科瓦鐵鎳鈷合金金屬制的芯柱銷10支承在密封容器5內(nèi)，各芯柱銷10的前端與各個(gè)倍增管電極8電連接。此外，在芯柱板4上，形成使各芯柱銷10貫穿用的銷孔4a，在各銷孔4a內(nèi)填充科瓦鐵鎳鈷合金玻璃制的作為氣密性封接用的料片11。各芯柱銷10中間經(jīng)由料片11固定在芯柱板4上。此外，各芯柱銷10有的用于倍增管電極，有的用于陽(yáng)極。
在電子倍增部9上，位于其下方位置上并列地設(shè)置固定到芯柱銷10的上端的陽(yáng)極12。此外，在電子倍增部9的最上一級(jí)，于光電面3a與電子倍增部9之間配置平板狀的聚焦電極板13。在該聚焦電極板13上形成多個(gè)狹縫狀開口部13a，各開口部13a全部沿同一方向延伸配置。同樣地，在電子倍增部9的各倍增管電極8上形成配置多個(gè)使電子倍增用的狹縫狀電子倍增孔14。
同時(shí)，通過(guò)使沿著級(jí)的方向分別配置各個(gè)倍增管電極8的各個(gè)電子倍增孔14構(gòu)成的各個(gè)電子倍增路徑L與聚焦電極13的各個(gè)開口部13a一一對(duì)應(yīng)，在電子倍增部9上形成多個(gè)隧道。此外，并列設(shè)置在電子倍增部9上的各陽(yáng)極12，以對(duì)應(yīng)于每一規(guī)定數(shù)目的隧道的方式設(shè)置8×8個(gè)，通過(guò)把各個(gè)陽(yáng)極12連接到個(gè)芯柱銷10上，經(jīng)由各個(gè)芯柱銷10將各自的輸出提取到外部。
這樣，電子倍增部9具有多個(gè)線性隧道。并且，利用連接到圖中未示出的分壓電路上的規(guī)定芯柱銷10向電子倍增部9及倍增管電極12供應(yīng)規(guī)定的電壓，光電面3a與聚焦電極板13被設(shè)定為相同的電位，各倍增管電極8及陽(yáng)極12從上級(jí)開始依次設(shè)定為高電位。從而，入射到受光面板3上的光在光電面3a上變換成電子，該電子借助由聚焦電極板13與疊層在電子倍增部9的最上一級(jí)的第一級(jí)倍增管電極8形成的電子透鏡效應(yīng)，入射到規(guī)定的隧道內(nèi)。同時(shí)，在電子入射的隧道內(nèi)，電子一面通過(guò)倍增管電極8的電子倍增路徑L，一面被各個(gè)倍增管電極8多級(jí)倍增，入射到陽(yáng)極12，對(duì)于每一規(guī)定的隧道，每一個(gè)的輸出被從陽(yáng)極12送出。
下面，根據(jù)圖3～圖5詳細(xì)說(shuō)明上述倍增管電極8的結(jié)構(gòu)。圖3是表示倍增管電極8的俯視圖，圖4是圖3的主要部分的放大俯視圖，圖5是沿圖4的V-V線的剖面圖。
在各個(gè)倍增管電極8上形成8列隧道15，各個(gè)隧道15由倍增管電極8的外框16和隔離部17形成。在各隧道15上，設(shè)置與聚焦電極13的開口部13a同樣條數(shù)的電子倍增孔14，各個(gè)電子倍增孔14全部向同一方向延伸，沿與紙面垂直的方向配置多列。此外，電子倍增孔14相互之間用線狀的倍增孔交界部分18隔離。隔離部17的寬度與陽(yáng)極12彼此之間的間隔對(duì)應(yīng)地決定，同時(shí)，大于倍增孔交界部分18的寬度。
與外框16及隔離部17相比以較寬的寬度形成的玻璃支承部21與倍增管電極8成一整體地設(shè)置在各倍增管電極8的外框16及隔離部17的規(guī)定位置上。相對(duì)于一個(gè)外框16或隔離部17設(shè)置9個(gè)玻璃支承部21，共計(jì)設(shè)置81個(gè)。玻璃部22接合到全部這些玻璃支承部21上。玻璃部22通過(guò)涂布玻璃并使之硬化接合到玻璃支承部21上，呈向上凸出的大致為半球狀的圓頂形。各個(gè)倍增管電極8在形成圓頂狀的玻璃部接合到玻璃支承部21上之后被疊層。借此，電子倍增部9通過(guò)將倍增管電極8中間經(jīng)由玻璃部22疊層而構(gòu)成。
這樣，由于在各個(gè)倍增管電極8的外框16及隔離部17的規(guī)定位置設(shè)置玻璃支承部21，形成圓頂狀的玻璃部22被接合到該玻璃支承部21上，倍增管電極8經(jīng)由該玻璃部22被疊層，所以，通過(guò)玻璃部22被接合到倍增管電極8的一部分上，減少倍增管電極8與玻璃部22的接合面積。結(jié)果是，可以抑制倍增管電極8發(fā)生彎曲，可以容易進(jìn)行倍增管電極8的疊層。
光電面3a及倍增管電極8的制造(激活)，必須將堿金屬(蒸氣)導(dǎo)入到密封容器5內(nèi)，通過(guò)升溫使銻和堿金屬發(fā)生反應(yīng)。當(dāng)在倍增管電極8的一個(gè)面的整個(gè)面上緊密地接合玻璃時(shí)，玻璃與堿金屬反應(yīng)，玻璃表面的電阻下降，在倍增管電極8中間，以及倍增管電極8與陽(yáng)極12之間流過(guò)較大的漏電流。光電面3a及倍增管電極8的激活，通過(guò)控制光電倍增管1的輸出電流，導(dǎo)入堿金屬(蒸氣)，一直到規(guī)定的靈敏度為止，但當(dāng)如上所述，發(fā)生漏電流時(shí)，輸出電流的控制成為不可能。從而，通過(guò)減少倍增管電極8與玻璃部22的接合面積，并且使疊層的倍增管電極8與玻璃部22基本上為點(diǎn)接觸，可抑制上述漏電流的發(fā)生，可以控制輸出電流，可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行光電面3a及倍增管電極8的激活。
此外，在設(shè)置接合有玻璃部22的玻璃支承部21的情況下，配置電子倍增孔14的部分(隧道15)的面積減少，但如上面所述，通過(guò)在外框16和隔離部17的一部分上設(shè)置形成比該外框16及隔離部17寬度寬的玻璃支承部21，可以極大地抑制配置電子倍增孔14的部分(隧道15)的面積的減少，即，抑制在電子倍增部9(光電倍增管1)上有感受光面積的減少。
進(jìn)而，通過(guò)形成寬度大的玻璃支承部21，可以設(shè)定較高的接合該玻璃支承部21上的玻璃部22的高度，在可以確保疊層的倍增管電極8的間隙的同時(shí)，也可以很容易地進(jìn)行向玻璃部22的玻璃支承部上的涂布等作業(yè)。
玻璃部22的表面利用氫氟酸溶解被制成粗糙的狀態(tài)。通過(guò)從玻璃支承部21(倍增管電極9)和玻璃部22與密封容器5內(nèi)的真空空間的交界部分(三接點(diǎn))開始的放電在玻璃部22的表面?zhèn)鞑サ竭_(dá)上方的疊層的倍增管8，發(fā)生在玻璃部22處的沿面放電。從而，通過(guò)如上面所述將玻璃部22的表面粗化，將玻璃部22的表面上的沿面放電距離加長(zhǎng)，抑制經(jīng)由玻璃部22的倍增管電極8之間放電的發(fā)生，可以降低因這種放電造成的噪音。
此外，在利用氫氟酸等溶解玻璃部22時(shí)，由于呈銳角的玻璃部22的外周端部比其它部分更容易溶解，所以，玻璃部22的截面形狀如圖5所示，呈蘑菇狀，玻璃部22與玻璃支承部21(倍增管電極8)的接合面積比玻璃部22的平面外形面積小。這樣，通過(guò)使玻璃部22與玻璃支承部21(倍增管電極8)的接合面積小于玻璃部22的平面外形面積，降低倍增管電極8之間，特別是在玻璃支承部21(倍增管電極8)、玻璃部22與密封容器5內(nèi)的狀況空間的交界部分(三接點(diǎn))附近的電場(chǎng)強(qiáng)度，提高放電開始電壓，進(jìn)一步抑制經(jīng)由玻璃部22的倍增管電極8之間產(chǎn)生放電，能可靠地降低因這種放電造成的噪音。
為了使玻璃部22與玻璃支承部21(倍增管電極8)的接合面積小于玻璃部22的平面外形面積，除上述溶解玻璃部22的方法之外，也可以采用溶解倍增管電極8的方法。在采用溶解倍增管電極8的表面的情況下，如圖6所示，在玻璃部22接合的玻璃支承部21(倍增管電極8)上形成階梯部21a，玻璃部22與玻璃支承部21(倍增管電極8)的階梯部21a的接合面積小于玻璃部22的平面外形的面積。
這里，如圖7所示，作為倍增管電極8所另外的一個(gè)例子，可以采用將玻璃部22接合到玻璃支承部21中的一部分上的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，設(shè)置25個(gè)玻璃部22。這樣，由于玻璃部22被接合到玻璃支承部21中的一部分上，所以，可以進(jìn)一步減少倍增管電極8與玻璃部22的接合面積，能夠可靠地抑制倍增管電極8發(fā)生彎曲。此外，進(jìn)一步抑制發(fā)生上述漏電流，能夠控制輸出電流，可以更恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行光電面3a及倍增管電極8的激活。
此外，并不一定必須把玻璃支承部21設(shè)置在外框16及隔離部17上，也可以如圖8所示，把形成圓頂狀的玻璃部31接合設(shè)定到外框16及隔離部17的規(guī)定位置上。在這種情況下，玻璃部31相對(duì)于一個(gè)外框16或隔離部17設(shè)置9個(gè)，共計(jì)81個(gè)。此外，玻璃部31的形狀呈大致半圓柱形的圓頂狀。在這種情況下，疊層的倍增管電極8與玻璃部22大致為線接觸。這樣，通過(guò)在外框16及隔離部17的規(guī)定位置上設(shè)置形成圓頂狀的玻璃部31，在可以抑制電子倍增孔14的配置部分(隧道15)的面積減少、即抑制電子倍增部9(光電倍增管1)處的有感受光面積的減少的情況下，將玻璃部31接合到倍增管電極8上。
圖8所示的玻璃部31的底面為長(zhǎng)方形，其寬度方向的尺寸大致與外框16及隔離部17的寬度相等，但也可以如圖9所示，使玻璃部31的底面寬度方向的尺寸稍大于外框16及隔離部17的寬度。在這種情況下，在外框16和隔離部17上形成寬度大的玻璃支承部21。
此外，可以把本發(fā)明應(yīng)用于具有沒(méi)有隔離部17的類型的倍增管電極的電子倍增部(光電倍增管)上。如圖10及圖11所示，倍增管電極8具有外框16，并且，通過(guò)形成與開口部13a數(shù)目相同的多個(gè)狹縫狀電子倍增孔14進(jìn)行配置。各個(gè)電子倍增孔14全部在對(duì)向的外框16之間沿同一方向延伸。在各倍增管電極8的配置外框16及電子倍增孔14的部分的規(guī)定位置上，與倍增管電極8成一整體地設(shè)置形成寬度大于外框16的玻璃支承部41。在這種情況下，玻璃支承部41設(shè)置25個(gè)。玻璃部22接合到所有這些玻璃支承部41上。
在設(shè)置接合有玻璃部22的玻璃支承部41的情況下，配置有電子倍增孔14的部分的面積減少，但如上面所述，通過(guò)在配置有外框16及電子倍增孔14的部分的一部分上設(shè)置玻璃支承部41，可以進(jìn)一步抑制配置有電子倍增孔14的部分的面積減少，即，可以抑制電子倍增管部9(光電倍增管1)處的有感受光面積的減少。
本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施形式。例如，玻璃部22，31的形狀為大致的半球形或半圓柱形的圓頂形，但只要是疊層的倍增管電極部與玻璃部大致為點(diǎn)接觸或大致為線接觸的圓頂形即可。圓頂形的外形輪廓不必是絕對(duì)的圓弧形，也可以其頂部形成平坦的形狀。此外，其結(jié)構(gòu)為在外框16上設(shè)置玻璃支承部21，41，但并不一定必須把玻璃支承部21，41設(shè)置在外框16上。
此外，本實(shí)施形式表示的是用于配備有光電面3a的光電倍增管1的例子，但是，不言而喻，本發(fā)明也適用于電子倍增管。
如上面所詳細(xì)描述的，根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種抑制倍增管電極發(fā)生彎曲、可容易將倍增管電極疊層的電子倍增管及光電倍增管。
工業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明的電子倍增管及光電倍增管，廣泛用于低照度領(lǐng)域的攝像裝置，例如放射線檢測(cè)器等。
權(quán)利要求
1.一種電子倍增管，包括由多個(gè)倍增管電極(8)疊層而成的電子倍增部(9)，每個(gè)所述倍增管電極(8)上配置有把入射的電子倍增的多個(gè)電子倍增孔(14)，每個(gè)所述的電子倍增孔(14)具有一個(gè)形狀；多個(gè)玻璃支承部(21)，所述多個(gè)玻璃支承部(21)形成在所述多個(gè)倍增管電極(8)中兩相鄰倍增管電極(8)中一個(gè)倍增管電極的表面上；以及多個(gè)玻璃部(22)，每個(gè)所述玻璃部(22)具有結(jié)合到所述多個(gè)玻璃支承部(21)之一上的基部，其中，所述多個(gè)倍增管電極(8)被層疊在一起，玻璃部(22)放置在相鄰倍增管電極(8)之間，其中每個(gè)玻璃部(22)具有保持相鄰倍增管電極(8)之間的空隙的一個(gè)高度以便抑制其間可能發(fā)生的放電。
2.如權(quán)利要求1所述的電子倍增管，其特征在于，所述多個(gè)玻璃支承部(21)中的每一個(gè)具有一個(gè)輪廓限定的形狀，其中該輪廓的一部分也限定每個(gè)電子倍增孔(14)的形狀。
3.如權(quán)利要求1或2所述的電子倍增管，其特征在于，所述多個(gè)電子倍增孔(14)中的每一個(gè)是細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀，該形狀具有沿第一方向延伸的相對(duì)長(zhǎng)邊和沿與第一方向垂直的第二方向延伸的相對(duì)短邊，其中所述多個(gè)玻璃支承部(21)的每一個(gè)具有由沿所述第一方向延伸的第一長(zhǎng)度和沿所述第二方向延伸的第二長(zhǎng)度限定的形狀，其中所述第二長(zhǎng)度長(zhǎng)于所述細(xì)長(zhǎng)矩形形狀的短邊。
4.如權(quán)利要求3所述的電子倍增管，其特征在于，多個(gè)玻璃支承部(21)的每一個(gè)具有圓形形狀。
5.如權(quán)利要求3所述的電子倍增管，其特征在于，所述多個(gè)倍增管電極(8)的每一個(gè)具有邊緣部分，在此邊緣部分處形成有外框(16)，所述外框(16)具有比所述第一長(zhǎng)度小的寬度。
6.如權(quán)利要求3所述的電子倍增管，其特征在于，所述多個(gè)倍增管電極(8)的每一個(gè)是一個(gè)具有對(duì)角線的矩形，所述多個(gè)玻璃支承部(21)的一部分沿每個(gè)對(duì)角線設(shè)置。
7.一種光電倍增管，包括光電面(3a)；以及電子倍增管，包括由多個(gè)倍增管電極(8)疊層而成的電子倍增部(9)，每個(gè)所述倍增管電極(8)上配置有把入射的電子倍增的多個(gè)電子倍增孔(14)，每個(gè)所述的電子倍增孔(14)具有一個(gè)形狀；多個(gè)玻璃支承部(21)，所述多個(gè)玻璃支承部(21)形成在所述多個(gè)倍增管電極(8)中兩相鄰倍增管電極(8)中一個(gè)倍增管電極的表面上；以及多個(gè)玻璃部(22)，每個(gè)所述玻璃部(22)具有結(jié)合到所述多個(gè)玻璃支承部(21)之一上的基部，其中，所述多個(gè)倍增管電極(8)被層疊在一起，玻璃部(22)放置在相鄰倍增管電極(8)之間，其中每個(gè)玻璃部(22)具有保持相鄰倍增管電極(8)之間的空隙的一個(gè)高度以便抑制其間可能發(fā)生的放電。
8.如權(quán)利要求7所述的電子倍增管，其特征在于，所述多個(gè)玻璃支承部(21)中的每一個(gè)具有一個(gè)輪廓限定的形狀，其中該輪廓的一部分也限定每個(gè)電子倍增孔(14)的形狀。
9.如權(quán)利要求7或8所述的電子倍增管，其特征在于，所述多個(gè)電子倍增孔(14)中的每一個(gè)是細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀，該形狀具有沿第一方向延伸的相對(duì)長(zhǎng)邊和沿與第一方向垂直的第二方向延伸的相對(duì)短邊，其中所述多個(gè)玻璃支承部(21)的每一個(gè)具有由沿所述第一方向延伸的第一長(zhǎng)度和沿所述第二方向延伸的第二長(zhǎng)度限定的形狀，其中所述第二長(zhǎng)度長(zhǎng)于所述細(xì)長(zhǎng)矩形形狀的短邊。
10.如權(quán)利要求9所述的電子倍增管，其特征在于，多個(gè)玻璃支承部(21)的每一個(gè)具有圓形形狀。
11.如權(quán)利要求9所述的電子倍增管，其特征在于，所述多個(gè)倍增管電極(8)的每一個(gè)具有邊緣部分，在此邊緣部分處形成有外框(16)，所述外框(16)具有比所述第一長(zhǎng)度小的寬度。
12.如權(quán)利要求9所述的電子倍增管，其特征在于，所述多個(gè)倍增管電極(8)的每一個(gè)是一個(gè)具有對(duì)角線的矩形，所述多個(gè)玻璃支承部(21)的一部分沿每個(gè)對(duì)角線設(shè)置。
全文摘要
本發(fā)明的電子倍增管包括由多個(gè)倍增管電極(8)疊層而成的電子倍增部(9)，其上配置有把入射的電子倍增的多個(gè)電子倍增孔(14)；多個(gè)玻璃支承部(21)，形成在多個(gè)倍增管電極(8)中兩相鄰倍增管電極(8)中一個(gè)倍增管電極的表面上；多個(gè)玻璃部(22)，具有結(jié)合到所述多個(gè)玻璃支承部(21)之一上的基部，多個(gè)倍增管電極(8)被層疊在一起，玻璃部(22)放置在相鄰倍增管電極(8)之間，每個(gè)玻璃部(22)具有保持相鄰倍增管電極(8)之間的空隙的一個(gè)高度以便抑制其間可能發(fā)生的放電。
文檔編號(hào)H01J43/10GK1941265SQ200610142099
公開日2007年4月4日 申請(qǐng)日期2001年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2000年4月3日
發(fā)明者久嵨浩之, 渥美明, 下井英樹 申請(qǐng)人:濱松光子學(xué)株式會(huì)社