專利名稱：利用可運(yùn)動(dòng)的平坦的中間電極進(jìn)行霧化的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及分別按獨(dú)立權(quán)利要求前序部分所述的利用一種可運(yùn)動(dòng)的平坦的中間電極對(duì)材料進(jìn)行霧化的一種裝置和一種方法。
為了改善材料在真空室中借助于等離子放電進(jìn)行的霧化已知，將一個(gè)由待霧化的材料制成的中間電極的表面區(qū)域暴露在一個(gè)輔助磁場(chǎng)中。由于原理上的原因，磁場(chǎng)的使用使得在中間電極表面上等離子體的分布不均勻，并由此使中間電極表面材料剝蝕的不均勻。為了在基底上實(shí)現(xiàn)均勻地涂層，一般使這種基底相對(duì)于切換成陰極的中間電極進(jìn)行移動(dòng)。為了在磁場(chǎng)輔助霧化時(shí)充分利用中間電極，另外還已知使用一種運(yùn)動(dòng)的磁場(chǎng)，從而使材料在表面的不同位置上剝蝕。另外已知，為了提高中間電極的利用，使用旋轉(zhuǎn)的、圓柱形的或者旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的平坦的中間電極。
在DE 4405747 A1中已經(jīng)公開了一種緊湊的磁場(chǎng)輔助霧化裝置，其具有一個(gè)可運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的中間電極和一個(gè)靜止的磁體承載機(jī)構(gòu)。另外由JP 63-247366公開了一種可運(yùn)動(dòng)的環(huán)形中間電極，其中要對(duì)中間電極表面進(jìn)行統(tǒng)一的剝蝕。在US 4 356 073中已經(jīng)公開了一種管形噴鍍中間電極，借助于其更有效和更充分地利用中間電極材料，同時(shí)延長了使用壽命。在JP 59-215485中公開了一種平坦的磁控管-噴鍍裝置，其中磁通量密度可以通過中間電極的垂直運(yùn)動(dòng)來校準(zhǔn)。由JP 61044 174公開了一種磁控管-噴鍍裝置，其具有一個(gè)由封閉帶構(gòu)成的中間電極，其中該中間電極通過旋轉(zhuǎn)滾輪運(yùn)動(dòng)。
在磁體機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)，如在現(xiàn)有技術(shù)中所使用的，磁場(chǎng)在細(xì)長中間電極的情況下一般進(jìn)行沿著基底的運(yùn)動(dòng)方向或者逆著基底的運(yùn)動(dòng)方向的振蕩。如果例如基底運(yùn)動(dòng)的速度大致等于磁場(chǎng)的速度，那么基底與剝蝕區(qū)域的相對(duì)速度周期性地在0和2v之間變化，其中v是基底運(yùn)動(dòng)的速度。與此相應(yīng)，對(duì)剝蝕率以及由此對(duì)基底上的層厚均勻性進(jìn)行了調(diào)制。
在DE 102 34858 A1中公開了一種用于產(chǎn)生磁控管放電的裝置，其具有一個(gè)切換到陰極的平面的細(xì)長中間電極和一個(gè)產(chǎn)生磁場(chǎng)的機(jī)構(gòu)。該產(chǎn)生磁場(chǎng)的機(jī)構(gòu)這樣設(shè)計(jì)，使得其在外極的范圍內(nèi)具有規(guī)定的相對(duì)于外部中間電極界限位置固定的位置，并且在內(nèi)極的范圍內(nèi)配有電磁機(jī)構(gòu)，使得中極相對(duì)于中間電極的位置可以根據(jù)可以規(guī)定的時(shí)間程序進(jìn)行改變。
借助于已知的現(xiàn)有技術(shù)，雖然可以部分提高中間電極的利用，但是這些公知的方法限制在特殊的中間電極形狀上，例如圓柱體或者旋轉(zhuǎn)中間電極，或者要求在速度或待涂層的基底的運(yùn)動(dòng)形式方面有限制，這是由于層厚調(diào)制通過磁場(chǎng)的運(yùn)動(dòng)與基底的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行疊加引起。
本發(fā)明的任務(wù)是提供一種霧化裝置或者一種霧化方法，借助于該方法可以實(shí)現(xiàn)平坦的中間電極更高的利用率，同時(shí)避免層厚調(diào)制。
根據(jù)本發(fā)明，該任務(wù)通過獨(dú)立權(quán)利要求的特征得到解決。本發(fā)明優(yōu)選的改進(jìn)方案由從屬權(quán)利要求獲得。
按本發(fā)明用于在一個(gè)真空室中利用中間電極機(jī)構(gòu)進(jìn)行霧化的裝置具有至少一個(gè)非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的中間電極，其中該裝置包括至少一個(gè)可以在一個(gè)平面中運(yùn)動(dòng)的平坦的、可以切換為陰極的中間電極、一個(gè)靜止的中間電極環(huán)境、一個(gè)配設(shè)于該中間電極機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、一個(gè)具有至少一個(gè)配屬于中間電極的陽極的陽極機(jī)構(gòu)和一個(gè)靜止的用于產(chǎn)生磁場(chǎng)以輔助材料從中間電極的表面上剝蝕的磁體機(jī)構(gòu)。
利用按本發(fā)明的霧化裝置可以實(shí)現(xiàn)至少與具有可運(yùn)動(dòng)的磁場(chǎng)的系統(tǒng)同樣高的中間電極利用率。尤其可以在中間電極表面上制造規(guī)定的腐蝕斷面。因?yàn)樵O(shè)置了非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的中間電極，在按本發(fā)明的裝置中之前那些在一般的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的平坦的中間電極中對(duì)于待涂層的基底的參量限制消除了。按本發(fā)明的裝置可以優(yōu)選用于另一應(yīng)用領(lǐng)域，優(yōu)選在制造顯示器、建筑玻璃涂層以及帶涂層設(shè)備中使用。
尤其有利的是作為具有矩形構(gòu)造的中間電極的中間電極板，正如其優(yōu)選用于在線涂層方法中。
根據(jù)本發(fā)明的靜止磁體機(jī)構(gòu)保證了相對(duì)于不運(yùn)動(dòng)的基底靜態(tài)的剝蝕區(qū)域，并且避免了由于基底運(yùn)動(dòng)時(shí)剝蝕區(qū)域運(yùn)動(dòng)引起的疊加效應(yīng)。
尤其有利的是，至少一個(gè)陽極是具有至少一個(gè)靜止的分陽極和至少一個(gè)與中間電極耦合的可運(yùn)動(dòng)的分陽極的分裂式-陽極，因?yàn)檫@樣可以尤其簡(jiǎn)單和可靠地確定陽極和切換為陰極的中間電極之間的電關(guān)系。設(shè)計(jì)上尤其簡(jiǎn)單的是，將靜止的分陽極設(shè)置在中間電極環(huán)境上。
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以完全或者部分布置在真空室中。
在本發(fā)明的一種改進(jìn)方案中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，優(yōu)選是直線馬達(dá)，由此可以實(shí)現(xiàn)中間電極在平面中進(jìn)行可自由規(guī)定的運(yùn)動(dòng)。
在本發(fā)明的另一種改進(jìn)方案中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是曲柄傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，由此可以通過成本低廉的方式實(shí)現(xiàn)中間電極的振蕩線性運(yùn)動(dòng)。
在用于霧化的裝置中的相應(yīng)優(yōu)點(diǎn)也存在于按本發(fā)明用于霧化的方法。
本發(fā)明其它實(shí)施方式和優(yōu)點(diǎn)也可以不依賴于其在權(quán)利要求中的總結(jié)根據(jù)結(jié)合附圖所作的說明來展示，但并不限制普遍性。附圖示出

圖1是按本發(fā)明的具有直線馬達(dá)的霧化裝置的剖面圖。
圖1以非常簡(jiǎn)化的方式示出了一個(gè)按本發(fā)明的裝置100，其用于在真空室V中給基底進(jìn)行涂層。不言而喻，在圖1的視圖中為了簡(jiǎn)化，用于涂層的裝置的公知的機(jī)械、電氣和磁性組件沒有示出，這些組件對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說是熟知的。
按本發(fā)明的裝置100包括一個(gè)可運(yùn)動(dòng)的中間電極機(jī)構(gòu)，其包括至少一個(gè)平坦的、可以切換為陰極的中間電極。該中間電極并不是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。
在圖1的實(shí)施方式中，該中間電極是具有一個(gè)矩形的、優(yōu)選為細(xì)長基面的矩形中間電極板2，所述中間電極板設(shè)置在一個(gè)中間電極基板4上。該中間電極2可以由兩個(gè)或者多個(gè)部分中間電極構(gòu)成。作為中間電極2的材料可以使用所有在金屬或者反應(yīng)噴鍍工藝中普通的噴鍍材料。優(yōu)選的噴鍍材料是金屬和金屬合金例如Al、Nb、Hf、Ta、Ti、Zr、TiNb，以及半導(dǎo)體如Si以及Ito。該中間電極2優(yōu)選構(gòu)造用于大于0.5m的涂層寬度。
該裝置100另外還具有一個(gè)用于產(chǎn)生磁場(chǎng)的磁體機(jī)構(gòu)3，該磁場(chǎng)可以滲透該中間電極2，并且借助于該磁場(chǎng)有助于使材料從中間電極2的表面2a上剝蝕。該磁體機(jī)構(gòu)3產(chǎn)生一個(gè)滲透中間電極表面2a的磁場(chǎng)，通過該磁場(chǎng)在中間電極表面2a上限定了一個(gè)腐蝕區(qū)域，當(dāng)進(jìn)行霧化時(shí)，在該腐蝕區(qū)域中發(fā)生主要的材料剝蝕。中間電極表面上的腐蝕區(qū)域的面積選擇得比整個(gè)中間電極表面小，由此可以使腐蝕區(qū)域進(jìn)行移動(dòng)以保證材料盡可能均勻地剝蝕。正如眾所周知的，用于產(chǎn)生磁管(Magnetschlaeuchen)的固定磁體機(jī)構(gòu)3在中間電極1a的霧化表面2a的至少一個(gè)部分區(qū)域上構(gòu)成。在根據(jù)圖1的實(shí)施方式中，該磁體機(jī)構(gòu)具有多列磁體15，其優(yōu)選由結(jié)構(gòu)合適的永磁體構(gòu)成。這些磁體15設(shè)置在一塊金屬板15’上，并且朝相反的一側(cè)優(yōu)選具有處于一個(gè)平面中的端面。這些磁管分別具有一個(gè)縱軸線，其相互平行定向。中間電極2優(yōu)選沿一個(gè)垂直于縱軸線的定向的方向運(yùn)動(dòng)。但是不言而喻，本發(fā)明也包括中間電極在平面中的其它運(yùn)動(dòng)模式。
中間電極機(jī)構(gòu)1作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使用一種優(yōu)選由直線馬達(dá)構(gòu)成的直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其具有一個(gè)定子8和一個(gè)轉(zhuǎn)子9。直線馬達(dá)在真空室V的內(nèi)部借助于安裝法蘭11設(shè)置在真空室14上。在該裝置的一種作為替代方案的實(shí)施方式中，直線馬達(dá)的定子設(shè)置在真空室V的外部，并且直線馬達(dá)的轉(zhuǎn)子設(shè)置在真空室V的內(nèi)部。也可以考慮使用其它完全或者部分布置在真空室中的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如果驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)完全或者部分布置在真空室的外部，可以設(shè)置一個(gè)滑動(dòng)套管(Schiebedurchfuehrung)或者一個(gè)金屬風(fēng)箱(Metallbalg)用于進(jìn)行抽真空。在另一種實(shí)施方式中，金屬風(fēng)箱進(jìn)行橫向運(yùn)動(dòng)，其中風(fēng)箱優(yōu)選在一側(cè)擰緊在絕緣體13上，而在另一側(cè)擰緊在固定的托架上。
作為替代方案，還可以為中間電極機(jī)構(gòu)1配設(shè)一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是曲柄傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，具有一個(gè)曲柄臂和一個(gè)旋轉(zhuǎn)的球形支承的驅(qū)動(dòng)輥，該驅(qū)動(dòng)輥可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置在一個(gè)滑桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)中。曲柄臂通過一個(gè)旋轉(zhuǎn)套管與一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸頸相連接，對(duì)于該驅(qū)動(dòng)軸頸可以引入一個(gè)扭矩以使曲柄臂進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
裝置100在真空室V的內(nèi)部設(shè)置在真空室壁14的附近。優(yōu)選該裝置100在工作狀態(tài)下垂直放置，也就是說處于一個(gè)相對(duì)于圖1的視圖旋轉(zhuǎn)90度的位置上，并且中間電極板2垂直放置。
裝置100還包括一個(gè)陽極機(jī)構(gòu)，其具有至少一個(gè)配設(shè)于該中間電極的陽極。在圖1的實(shí)施方式中，該陽極是具有一個(gè)固定的分陽極6a和一個(gè)運(yùn)動(dòng)的分陽極6b的分裂式-陽極(Split-Anode)6，對(duì)此還將在下面進(jìn)行更詳細(xì)地闡述。不言而喻，本發(fā)明也包括具有一體式陽極的實(shí)施方式。
借助于在圖1中所示的眾所周知的構(gòu)件，在真空室V中在中間電極2的表面的區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生等離子體，其中為了輔助中間電極表面2a材料的剝蝕，使用由磁體機(jī)構(gòu)3產(chǎn)生的磁場(chǎng)。在按本發(fā)明的裝置中，可以使用所有已知的方法來產(chǎn)生等離子體，優(yōu)選直流(DC)等離子體、交流(AC)等離子體，尤其是高頻(HF)等離子體以及DC和AC等離子體的疊加。
下面詳細(xì)描述按本發(fā)明的裝置100。
中間電極機(jī)構(gòu)1包括一個(gè)中間電極殼體，該殼體具有一個(gè)前側(cè)面1b、一個(gè)后側(cè)面1d和窄側(cè)面1a，其中前側(cè)面和后側(cè)面基本上相互平行布置。窄側(cè)面1a將前側(cè)面和后側(cè)面連接在一起，并且同樣基本上相互平行布置。該中間電極殼體優(yōu)選是一種矩形殼體。該中間電極殼體具有一個(gè)內(nèi)部區(qū)域1c，在該內(nèi)部區(qū)域中設(shè)置了靜止的磁體機(jī)構(gòu)3。在矩形殼體的后側(cè)面1b上設(shè)置了一個(gè)絕緣體結(jié)構(gòu)13，該絕緣體結(jié)構(gòu)具有一個(gè)耦合器元件13a用于將中間電極殼體2耦合到驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)子9上。該耦合器元件13a優(yōu)選是承載式結(jié)構(gòu)。絕緣體結(jié)構(gòu)13、13a用于避免或者抑制中間電極殼體后側(cè)面1d區(qū)域內(nèi)的寄生等離子體。
中間電極殼體1可運(yùn)動(dòng)地安置在一個(gè)靜止的中間電極環(huán)境16(Targetumgebung)中。該中間電極環(huán)境16優(yōu)選這樣構(gòu)造，使得中間電極殼體1的外部形狀與中間電極環(huán)境16的內(nèi)部形狀相匹配。在圖1中所示的本發(fā)明實(shí)施方式中，該中間電極環(huán)境16具有一種與矩形殼體1的形狀相適配的矩形內(nèi)部區(qū)域16c。為中間電極殼體1的窄側(cè)面1a配設(shè)了中間電極環(huán)境16的窄側(cè)面16a。中間電極殼體1可以在中間電極環(huán)境16的內(nèi)部區(qū)域16c的內(nèi)部以升程L進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。磁體機(jī)構(gòu)3具有一種外部形狀，其與中間電極殼體的內(nèi)部形狀相匹配。中間電極殼體2可以關(guān)于磁體機(jī)構(gòu)3以一個(gè)升程進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，該升程類似地相應(yīng)于中間電極殼體1在中間電極環(huán)境16的內(nèi)部區(qū)域16c內(nèi)部進(jìn)行的運(yùn)動(dòng)的升程L。保持件和導(dǎo)向件允許中間電極殼體1、并由此允許中間電極2在中間電極環(huán)境16的區(qū)域內(nèi)的一個(gè)平面中進(jìn)行可以預(yù)定的運(yùn)動(dòng)。作為保持件和導(dǎo)向件例如設(shè)置公知的滾子軸承、軌道或者類似件。
中間電極殼體1、中間電極環(huán)境16、陽極機(jī)構(gòu)6和磁體機(jī)構(gòu)3具有相應(yīng)的并且相對(duì)運(yùn)動(dòng)的組件，其可以處于不同的電位。中間電極2以及中間電極機(jī)構(gòu)1的其它組件如中間電極基板4優(yōu)選處于一個(gè)相對(duì)于地電位在-40和-400V之間的電位上。為了精確地確定中間電極板的電位，在中間電極殼體的內(nèi)部設(shè)置了一個(gè)供電線路7。磁體機(jī)構(gòu)3優(yōu)選位于與中間電極機(jī)構(gòu)1的所述組件相同的電位上。陽極機(jī)構(gòu)6a優(yōu)選位于地電位或者一個(gè)正電位上。尤其有利的是，陽極機(jī)構(gòu)處于一個(gè)相對(duì)于地電位正的電位上。陰極環(huán)境16優(yōu)選位于一個(gè)正電位上。
根據(jù)本發(fā)明，中間電極2在中間電極環(huán)境16區(qū)域內(nèi)的一個(gè)平面內(nèi)可以進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，其中中間電極殼體1和中間電極環(huán)境16的相應(yīng)零件之間的距離大于表征法拉第暗區(qū)的長度。在這種距離下，可以在相關(guān)表面之間的區(qū)域內(nèi)引起寄生等離子體。由磁體機(jī)構(gòu)3也在陰極表面區(qū)域外部產(chǎn)生的磁場(chǎng)的存在有利于這種寄生等離子體的產(chǎn)生。為了避免或者抑制這種寄生等離子體，在中間電極殼體1的至少一個(gè)外側(cè)面上設(shè)置了一個(gè)暗區(qū)屏蔽。這種暗區(qū)屏蔽是眾所周知的，并且通過一個(gè)間隙與切換為陰極的組件相隔離，該間隙的尺寸使得所述組件和屏蔽之間不會(huì)引起等離子體，尤其在矩形殼體1窄側(cè)面表面的至少一個(gè)分區(qū)和/或前側(cè)面的表面的至少一個(gè)分區(qū)上設(shè)置一個(gè)暗區(qū)屏蔽。
暗區(qū)屏蔽可以處于負(fù)(flaotend)電位、地電位或者正電位。在本發(fā)明的一種改進(jìn)方案中，至少一個(gè)與陰極耦聯(lián)的暗區(qū)屏蔽也是可運(yùn)動(dòng)的陽極并且與一個(gè)靜止的分陽極電連接。
不言而喻，暗區(qū)屏蔽可以按照中間電極殼體1和中間電極環(huán)境16的幾何形狀進(jìn)行構(gòu)造。一個(gè)暗區(qū)屏蔽10設(shè)置在窄側(cè)面1a上。該暗區(qū)屏蔽也在中間電極殼體1前側(cè)面1b的表面的分區(qū)上延伸。優(yōu)選一種將中間電極殼體1的所有窄側(cè)面覆蓋住的暗區(qū)屏蔽。設(shè)置在中間電極殼體1b前側(cè)面上的暗區(qū)屏蔽10可以完全或者部分環(huán)繞中間電極板2地進(jìn)行構(gòu)造。
在圖1中所示的本發(fā)明實(shí)施方式中，暗區(qū)屏蔽10同時(shí)是分裂式-陽極6的分陽極6a，其中一個(gè)未示出的優(yōu)選柔性的電連接線設(shè)置在靜止的分陽極6a和運(yùn)動(dòng)的分陽極6b之間。在另一種實(shí)施方式中，沒有設(shè)置任何這種連接線。陽極機(jī)構(gòu)6或者分陽極6a、6b在中間電極運(yùn)動(dòng)的極限位置也與陰極表面2a搭接，尤其是為了在按本發(fā)明的裝置工作時(shí)保證陽極和陰極之間確定的電關(guān)系。
靜止的分陽極6a舌形伸入中間電極殼體前側(cè)面1b的區(qū)域內(nèi)。在此在前側(cè)面1b區(qū)域內(nèi)的中間電極殼體和靜止的分陽極6a之間構(gòu)成了一個(gè)搭接區(qū)域。也可以在中間電極表面2a和靜止的分陽極6a之間進(jìn)行搭接。為了避免不期望的等離子體，在此在中間電極表面2a和靜止的分陽極6a之間出現(xiàn)的間隙12a的尺寸要足夠小。
附圖標(biāo)記列表1 中間電極機(jī)構(gòu)1a側(cè)壁1b下側(cè)面1c內(nèi)部區(qū)域1d上側(cè)面2 中間電極2a中間電極的表面3 磁體機(jī)構(gòu)4 中間電極基板5 冷卻通道6a靜止的分陽極6b可運(yùn)動(dòng)的陽極6 陽極機(jī)構(gòu)7 陰極供電線路8 定子9 轉(zhuǎn)子10a 暗區(qū)屏蔽件11安裝法蘭12a 間隙12b 間隙12c 間隙12d 間隙12e 間隙13絕緣體元件14真空室壁15磁體線16中間電極環(huán)境16a 側(cè)壁16b 上壁17絕緣體元件
18 安裝法蘭L升程V真空室
權(quán)利要求
1.用于在一個(gè)真空室中借助于一種可運(yùn)動(dòng)的中間電極機(jī)構(gòu)將材料進(jìn)行霧化的裝置，該中間電極機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)可以在一個(gè)平面中進(jìn)行運(yùn)動(dòng)的平坦的、可切換為陰極的中間電極，該裝置具有一個(gè)靜止的中間電極環(huán)境、一個(gè)配設(shè)于該中間電極機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、一個(gè)具有至少一個(gè)配設(shè)于該中間電極的陽極的陽極機(jī)構(gòu)和一個(gè)靜止的用于產(chǎn)生磁場(chǎng)以輔助材料從中間電極的霧化表面上剝蝕的磁體機(jī)構(gòu)，其特征在于設(shè)置至少一個(gè)非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的、優(yōu)選由矩形中間電極板構(gòu)成的中間電極，其借助于中間電極機(jī)構(gòu)可以在一個(gè)平面中運(yùn)動(dòng)。
2.按權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述中間電極機(jī)構(gòu)包括一個(gè)具有一個(gè)內(nèi)部區(qū)域的中間電極殼體，所述靜止的磁體機(jī)構(gòu)設(shè)置在該中間電極殼體的內(nèi)部區(qū)域中，并且所述靜止的中間電極環(huán)境包括一個(gè)內(nèi)部區(qū)域，在該內(nèi)部區(qū)域中布置了所述中間電極殼體。
3.按權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于所述中間電極殼體是具有一個(gè)前側(cè)面、一個(gè)后側(cè)面和窄側(cè)面的矩形殼體，其中所述中間電極布置在前側(cè)面的區(qū)域內(nèi)。
4.按權(quán)利要求2或者3所述的裝置，其特征在于在所述中間電極殼體的至少一個(gè)外側(cè)面上布置了一個(gè)暗區(qū)屏蔽用于抑制寄生等離子體。
5.按權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于所述暗區(qū)屏蔽布置在矩形殼體窄側(cè)面表面的至少一個(gè)分區(qū)和/或前側(cè)面表面的至少一個(gè)分區(qū)中。
6.按權(quán)利要求2至5中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于在所述矩形殼體的后側(cè)面上布置了一個(gè)絕緣體結(jié)構(gòu)，該絕緣體結(jié)構(gòu)包括一個(gè)耦合器元件用于將所述中間電極殼體耦合在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上。
7.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于設(shè)置一個(gè)具有至少一個(gè)靜止的分陽極和至少一個(gè)與所述中間電極機(jī)構(gòu)耦合的可運(yùn)動(dòng)的陽極的分裂式-陽極。
8.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于所述靜止的用于產(chǎn)生磁管的磁體機(jī)構(gòu)在所述中間電極的霧化表面的至少一個(gè)分區(qū)上構(gòu)造。
9.按前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，優(yōu)選是直線馬達(dá)。
10.按權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于所述直線馬達(dá)具有一個(gè)布置在真空室內(nèi)部的定子。
11.按權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于所述直線馬達(dá)具有一個(gè)布置在真空室外部的定子。
12.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是曲柄傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，優(yōu)選具有一個(gè)曲柄臂、一個(gè)驅(qū)動(dòng)輥和一個(gè)滑桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。
13.按前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于所述磁體機(jī)構(gòu)是噴鍍磁控管。
14.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于設(shè)置一種金屬中間電極。
15.按權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于設(shè)置一種氧化物中間電極。
16.按前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于所述暗區(qū)屏蔽處于地電位或者負(fù)電位。
17.用于在一個(gè)真空室中借助于一種可運(yùn)動(dòng)的中間電極機(jī)構(gòu)進(jìn)行材料霧化的方法，該中間電極機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)可以在一個(gè)平面中進(jìn)行運(yùn)動(dòng)的平坦的、可以切換為陰極的中間電極，具有一個(gè)靜止的中間電極環(huán)境、一個(gè)配設(shè)于該中間電極機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、一個(gè)具有至少一個(gè)配設(shè)于該中間電極的陽極的陽極機(jī)構(gòu)和一個(gè)靜止的用于產(chǎn)生磁場(chǎng)以輔助材料從中間電極的霧化表面上剝蝕的磁體機(jī)構(gòu)，其特征在于設(shè)置至少一個(gè)非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的、優(yōu)選由矩形中間電極板構(gòu)成的中間電極，該中間電極借助于所述中間電極機(jī)構(gòu)在一個(gè)平面中運(yùn)動(dòng)。
全文摘要
在用于在一個(gè)真空室中借助于一種可運(yùn)動(dòng)的中間電極機(jī)構(gòu)(1)將材料進(jìn)行霧化的裝置，該中間電極機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)可以在一個(gè)平面中進(jìn)行運(yùn)動(dòng)的平坦的、可切換為陰極的中間電極(2)，該裝置具有一個(gè)靜止的中間電極環(huán)境(16)、一個(gè)配設(shè)于該中間電極機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8、9)、一個(gè)具有至少一個(gè)配設(shè)于該中間電極(2)的陽極(6a、6b)的陽極機(jī)構(gòu)(6)和一個(gè)靜止的用于產(chǎn)生磁場(chǎng)以輔助材料從中間電極(2)的霧化表面上剝蝕的磁體機(jī)構(gòu)(3)，其中設(shè)置至少一個(gè)非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的、優(yōu)選由矩形中間電極板構(gòu)成的中間電極(2)，其借助于中間電極機(jī)構(gòu)(1)可以在一個(gè)平面中運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明還包括一種用于材料霧化的方法。
文檔編號(hào)H01J37/34GK1977353SQ200580018760
公開日2007年6月6日 申請(qǐng)日期2005年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月9日
發(fā)明者U·威爾康門, R·侯斯沃德, W·富卡雷克 申請(qǐng)人:萊博德光學(xué)有限責(zé)任公司