專利名稱：粘結(jié)卡盤(pán)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種粘結(jié)卡盤(pán)(チヤツク)裝置，該裝置用于包含基板貼合機(jī)的基板組裝裝置、輸送基板的基板搬運(yùn)裝置等中，所述基板貼合機(jī)在例如液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)等的平板顯示器的制造過(guò)程中，粘結(jié)保持并貼合CF玻璃、TFT玻璃等的玻璃基板或合成樹(shù)脂制的基板。
具體的，涉及相對(duì)于保持板，通過(guò)粘結(jié)裝卸自由地保持基板的粘結(jié)卡盤(pán)裝置。
背景技術(shù)：
以往，在使兩片基板重合的基板貼合機(jī)中，通過(guò)靜電卡盤(pán)保持基板，但隨著近年來(lái)基板的大型化，制造大尺寸的靜電卡盤(pán)變得困難，而且即使可以制造成本也非常高。
因此，為了解決這些問(wèn)題，已有在基板的保持中使用粘結(jié)部件的粘結(jié)卡盤(pán)裝置。
作為這樣的粘結(jié)卡盤(pán)裝置的一個(gè)例子，在相對(duì)于卷取自如地張緊在一對(duì)滾筒上的粘結(jié)片，將上基板粘貼保持后，進(jìn)行上基板和下基板的貼合，然后，通過(guò)多個(gè)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)，使心軸回轉(zhuǎn)并卷取粘結(jié)片，同時(shí)，通過(guò)以與該繞取速度同步的速度向該卷取方向上水平移動(dòng)該心軸及一方的滾筒，以次將粘結(jié)片從上基板的上面緩緩地剝離。(例如，參照專利文獻(xiàn)1)另外，代替上述的通過(guò)心軸卷取粘結(jié)片，可以在能夠貼合兩基板并形成一個(gè)元件后，通過(guò)多個(gè)促動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)，使刀具臺(tái)及刀具座通過(guò)多個(gè)促動(dòng)器上升到切刀刃的下端位置，然后通過(guò)使切刀向粘結(jié)片的橫向移動(dòng)，切斷粘貼有上基板的粘結(jié)片，在帶有該粘結(jié)片的狀態(tài)下取出元件，并在適宜的時(shí)候從元件上剝離粘結(jié)片。
作為其它的例子，在上方的加壓板上開(kāi)設(shè)多個(gè)孔，在這些開(kāi)孔內(nèi)分別設(shè)置促動(dòng)器，在從各促動(dòng)器朝向下方伸出的軸的前端粘貼有粘結(jié)部件，通過(guò)上述促動(dòng)器的動(dòng)作在開(kāi)孔內(nèi)使粘結(jié)部件下降，若粘結(jié)部件的下面接觸到上基板，則通過(guò)其粘結(jié)作用以固定到加壓板的下面的形狀保持，另外，在完成基板的貼合后在從上基板剝離粘結(jié)部件時(shí)，若通過(guò)促動(dòng)器使粘結(jié)部件在開(kāi)孔內(nèi)上升，則開(kāi)孔的周緣部阻止上基板的移動(dòng)將上基板從粘結(jié)部件拉開(kāi)。(例如，參照專利文獻(xiàn)2)又，在上方的加壓板上開(kāi)設(shè)多個(gè)開(kāi)口，在這些開(kāi)口內(nèi)分別設(shè)置回轉(zhuǎn)用促動(dòng)器和上下驅(qū)動(dòng)用促動(dòng)器，在從每個(gè)回轉(zhuǎn)用促動(dòng)器向下方伸出的回轉(zhuǎn)軸的前端安裝有粘結(jié)部件，通過(guò)上下驅(qū)動(dòng)用促動(dòng)器的動(dòng)作在開(kāi)口內(nèi)使各粘結(jié)部件下降，并通過(guò)這些粘結(jié)部件及吸引吸附作用保持上基板，進(jìn)行定位，同時(shí)進(jìn)行貼合，在使粘結(jié)部件退回到加壓板時(shí)，相對(duì)于基板面通過(guò)回轉(zhuǎn)用促動(dòng)器扭轉(zhuǎn)粘結(jié)部件，或者扭轉(zhuǎn)后通過(guò)上下驅(qū)動(dòng)用促動(dòng)器使其退回，以此將粘結(jié)部件從上基板剝離。(例如，參照專利文獻(xiàn)3)專利文獻(xiàn)1特開(kāi)2001-133745號(hào)公報(bào)(第3～5頁(yè)、圖1～圖7)專利文獻(xiàn)2特開(kāi)2003-241160號(hào)公報(bào)(第5頁(yè)，圖7)專利文獻(xiàn)3特開(kāi)2003-273508號(hào)公報(bào)(第5頁(yè)，圖1～5)發(fā)明內(nèi)容但是，在這樣的以往的粘結(jié)卡盤(pán)裝置中，在專利文獻(xiàn)1的情況下，存在如下問(wèn)題，即，為了剝離粘結(jié)部件和基板，在卷取粘結(jié)片的同時(shí)要以與卷取速度同步的速度使其向卷取方向水平移動(dòng)，或者必須使刀具臺(tái)和刀具座上升并通過(guò)刀具來(lái)切斷粘結(jié)片，為完成各個(gè)動(dòng)作需要多個(gè)電機(jī)、促動(dòng)器等的驅(qū)動(dòng)源，導(dǎo)致構(gòu)造復(fù)雜。
在專利文獻(xiàn)2的情況下，為了在加壓板的開(kāi)孔內(nèi)使粘結(jié)部件上升，在每個(gè)粘結(jié)部件上都分別需要多個(gè)促動(dòng)器，另外，在專利文獻(xiàn)3的情況下，由于每個(gè)粘結(jié)部件都分別需要用于扭轉(zhuǎn)并退回粘結(jié)部件的回轉(zhuǎn)用促動(dòng)器及上下驅(qū)動(dòng)用促動(dòng)器，因此導(dǎo)致構(gòu)造復(fù)雜化。
因此，專利文獻(xiàn)1～3，，特別是由于剝離結(jié)構(gòu)復(fù)雜，因此不僅故障發(fā)生率高，而且還存在如下問(wèn)題，即，在配置于包含基板貼合機(jī)的基板組裝裝置、基板輸送裝置上的情況下，難以將原有的靜電卡盤(pán)等的基板保持機(jī)構(gòu)置換成本發(fā)明的粘結(jié)卡盤(pán)裝置。
本發(fā)明的技術(shù)方案1所述的發(fā)明，以通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)切實(shí)地裝卸基板為目的。
技術(shù)方案2所述的發(fā)明，在技術(shù)方案1所述的發(fā)明目的的基礎(chǔ)上，以能夠簡(jiǎn)單地制造基板粘結(jié)機(jī)構(gòu)為目的。
技術(shù)方案3所述的發(fā)明，在技術(shù)方案1或2所述的發(fā)明目的的基礎(chǔ)上，以使整體結(jié)構(gòu)進(jìn)一步簡(jiǎn)單化為目的。
技術(shù)方案4所述的發(fā)明，在技術(shù)方案2或3所述的發(fā)明目的的基礎(chǔ)上，以能夠容易實(shí)現(xiàn)吸引用配管系統(tǒng)、吸引控制且能夠切實(shí)地保持基板為目的。
為了達(dá)到前述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案1所述的發(fā)明的特征在于，在保持板的基板側(cè)，設(shè)有粘結(jié)部件和變形膜，該粘結(jié)部件與基板的反面相對(duì)地粘結(jié)保持，該變形膜可向與該基板側(cè)面交叉的方向出入變形，通過(guò)該變形膜的出入變形使基板與粘結(jié)部件的粘結(jié)表面抵接地進(jìn)行粘結(jié)，同時(shí)強(qiáng)制地拉開(kāi)并剝離兩者。
技術(shù)方案2所述的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案1所述的發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，增加了將所述粘結(jié)部件與變形膜一體形成的結(jié)構(gòu)。
技術(shù)方案3所述的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案1或2所述的發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，增加了在所述變形膜的一部分上設(shè)置粘結(jié)部件的粘結(jié)表面的結(jié)構(gòu)。
技術(shù)方案4所述的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案2或3所述的發(fā)明的的結(jié)構(gòu)中，增加了在所述板狀體的一部分上開(kāi)設(shè)通氣孔，并從該通氣孔吸引、吸附基板的反面的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明中的技術(shù)方案1的所述發(fā)明，在保持板的基板側(cè)，設(shè)有粘結(jié)部件和變形膜，該粘結(jié)部件與基板的反面相對(duì)地粘結(jié)保持，該變形膜可向與該基板側(cè)面交叉的方向出入變形，通過(guò)該變形膜的出入變形使基板與粘結(jié)部件的粘結(jié)表面抵接地進(jìn)行粘結(jié)，同時(shí)強(qiáng)制地拉開(kāi)兩者，以此不費(fèi)力地將基板從粘結(jié)部件的粘結(jié)表面剝離。
因此，可以通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)切實(shí)地裝卸基板。
其結(jié)果，與為了剝離粘結(jié)部件和基板，需要多個(gè)電機(jī)、促動(dòng)器等的驅(qū)動(dòng)源的以往的技術(shù)相比，由于剝離機(jī)構(gòu)特別簡(jiǎn)單，所以可以顯著降低故障的發(fā)生率，特別是在配備于包含有基板貼合機(jī)的基板組裝裝置、基板輸送裝置等上面的情況下，能夠容易地將已有的靜電卡盤(pán)等的基板保持機(jī)構(gòu)與本發(fā)明的粘結(jié)卡盤(pán)裝置進(jìn)行置換，能夠大幅降低制造成本。
又，由于不通過(guò)靜電吸附保持基板，所以具有不會(huì)自發(fā)地產(chǎn)生靜電的優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)方案2的發(fā)明，在技術(shù)方案1的發(fā)明效果的基礎(chǔ)上，由于粘結(jié)部件和變形膜是一體形成的，所以只通過(guò)在保持板的基板側(cè)上進(jìn)行配設(shè)，就可以同時(shí)配置粘結(jié)部件和變形膜。
因此，可以簡(jiǎn)單地制造基板粘結(jié)機(jī)構(gòu)。
技術(shù)方案3的發(fā)明，在技術(shù)方案1或2的發(fā)明效果的基礎(chǔ)上，由于在變形膜的一部分上配設(shè)粘結(jié)部件的粘結(jié)表面，所以只通過(guò)由變形膜覆蓋保持板的基板側(cè)就可以同時(shí)配置粘結(jié)部件的粘結(jié)表面。
因此，可以使整體構(gòu)造更加簡(jiǎn)化。
其結(jié)果，由于不必分開(kāi)地將粘結(jié)部件切開(kāi)并與變形膜粘貼，所以可以以低成本在短時(shí)間內(nèi)制造，能夠面向大量生產(chǎn)。
而且，在將粘結(jié)部件的粘結(jié)表面與變形膜的表面一體形成為同一面狀的情況，由于在這些粘結(jié)表面與變形膜的表面之間不產(chǎn)生垂直臺(tái)階差，因此在用于基板貼合機(jī)并貼合一對(duì)基板時(shí)，不但能夠無(wú)彎曲變形地均勻地將這些基板彼此壓接，而且可以將其它的不良影響抑制到最小。
技術(shù)方案4的發(fā)明，在技術(shù)方案2或3的發(fā)明的效果的基礎(chǔ)上，在板狀體的一部分上開(kāi)設(shè)通氣孔，通過(guò)從該通氣孔吸引、吸附基板的反面，能夠同時(shí)利用基于粘結(jié)部件的粘結(jié)保持和基于真空吸附的保持。
因此，能夠容易實(shí)現(xiàn)吸引用的配管系統(tǒng)和吸引控制，而且可以切實(shí)地保持基板。


圖1是表示本發(fā)明的粘結(jié)卡盤(pán)裝置的實(shí)施例1的局部縱向剖面正視圖，(a)～(c)表示其工作工序。
圖2是沿圖1的(2)-(2)線的局部橫向剖面仰視圖。
圖3是表示本發(fā)明的粘結(jié)卡盤(pán)裝置的實(shí)施例2的局部縱向剖面正視圖，(a)～(c)表示其工作工序。
圖4是沿圖3的(4)-(4)線的局部的橫向剖面仰視圖。
圖5是表示本發(fā)明的粘結(jié)卡盤(pán)裝置的實(shí)施例3的局部縱向剖面正視圖，(a)～(c)表示其工作工序。
圖6是沿著圖5的(6)-(6)線的局部橫向剖面仰視圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的粘結(jié)卡盤(pán)裝置，表示配置于粘結(jié)保持并貼合有液晶顯示器(LCD)平板等的玻璃基板的基板貼合機(jī)中的情況。
該基板貼合機(jī)，如圖1～圖6所示，在配置于上下的保持板1、2的平行相對(duì)的保持面1a、2a上分別保持有兩片玻璃基板A、B，在它們的周圍劃分形成的密閉空間S內(nèi)達(dá)到規(guī)定的真空度后，將上下保持板1、2向XYθ方向相對(duì)地調(diào)整移動(dòng)，進(jìn)行基板A、B彼此的定位，然后，將上基板A從上保持板1的保持面1a強(qiáng)制剝離并在瞬間壓接到下基板B上的環(huán)狀粘結(jié)劑(密封材料)C上，由此，將兩者間密封并重合，然后，通過(guò)在兩基板A、B的內(nèi)外產(chǎn)生的氣壓差將兩基板A、B之間加壓到規(guī)定的間隙。
若詳細(xì)地說(shuō)明，就是將上下保持板1、2通過(guò)升降裝置(圖中未示出)向Z方向可相對(duì)移動(dòng)地進(jìn)行支承，在使這些上下保持板1、2向上下方向離開(kāi)的狀態(tài)下，在各自的保持面1a、2a上設(shè)置基板A、B，然后，通過(guò)該升降裝置的動(dòng)作使上下保持板1、2接近，從而劃分形成封閉空間S。
然后，在通過(guò)抽氣裝置(圖中未示出)的動(dòng)作，從該密閉空間S中抽取空氣并達(dá)到規(guī)定的真空度的時(shí)候，通過(guò)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖中未示出)的動(dòng)作，將上下保持板1、2的任意一方相對(duì)于另一方向XYθ方向調(diào)整移動(dòng)，以此順次進(jìn)行保持在保持板上的基板A、B彼此的定位(alignment)，即，粗定位和精定位。
完成這些定位，使上下基板A、B重合后，向密閉空間S內(nèi)供給空氣或氮?dú)猓ㄟ^(guò)使該密閉空間S內(nèi)的空氣返回大氣壓，由兩基板A、B的內(nèi)外產(chǎn)生的氣壓差均勻地加壓，在封入液晶的狀態(tài)下擠壓規(guī)定的間隔從而完成產(chǎn)品。
而且，在前述保持板1、2的基板側(cè)，具有本發(fā)明的粘結(jié)卡盤(pán)裝置。
詳細(xì)地說(shuō)，如圖1、圖3及圖5所示，在作為上下保持板1、2的基板側(cè)的保持面1a、2a的任何一方或兩方上，設(shè)置有粘結(jié)部件3、3′和變形膜4，前述粘結(jié)部件3、3′與基板A、B的反面A1、B1相對(duì)地粘結(jié)保持，前述變形膜4能夠向與該基板側(cè)的保持面1a、2a交叉的方向出入變形，通過(guò)該變形膜4的出入(凹凸)變形將基板A、B與粘結(jié)部件3、3′的粘結(jié)表面3a、3a′接觸并粘結(jié)，并且，將兩者強(qiáng)制分離，由此，將基板A、B從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a、3a′不費(fèi)力地剝離。
下面，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
實(shí)施方式1該實(shí)施例1，如圖1～圖2所示，表示如下情況，即，上下保持板1、2是由例如金屬、陶瓷等的剛體形成為沒(méi)有彎曲(撓曲)變形的厚度的平板狀平臺(tái)，僅將這些中的上保持板1的基板側(cè)，通過(guò)由多個(gè)粘結(jié)部件3和多個(gè)變形膜(加壓膜)4構(gòu)成的板狀體4′進(jìn)行覆蓋，通過(guò)利用加壓使這些變形膜4從該上保持板1的基板側(cè)突出(凸?fàn)?變形，由此，將上基板A從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a強(qiáng)制拉開(kāi)、進(jìn)行剝離。
在上保持板1的保持面1a上凹陷設(shè)有多個(gè)或單個(gè)凹部1b，這些凹部1b與例如真空泵、壓縮機(jī)等的吸氣源(圖中未示出)通過(guò)通氣路1c相連，通過(guò)該吸氣源的動(dòng)作將凹部1b內(nèi)的氣體向外部排放，在上述凹部1b的周圍可自由裝卸地固定有粘結(jié)部件3，同時(shí)，凹部1b的開(kāi)口由變形膜4覆蓋。
在圖示例中，如圖2所示，在上保持板1的保持面1a上，通過(guò)大致等間隔地設(shè)置的隔壁1d設(shè)有多個(gè)圓形的凹部1b，所有的凹部1b的開(kāi)口由一片變形膜4分別覆蓋成密封狀，通過(guò)該變形膜4在與上述隔壁1d的前端面相對(duì)應(yīng)的位置上，與該變形膜4的表面重合地固定有圓環(huán)狀的粘結(jié)部件3。
該粘結(jié)部件3是由例如硅類、丙烯酸系、氟類等的粘結(jié)材料構(gòu)成的粘結(jié)片，最好使其粘結(jié)表面3a與后述的變形膜4盡可能接近地進(jìn)行配置，而且，該粘結(jié)表面3a的面積在具有可以吊持上基板A的粘結(jié)力的范圍內(nèi)最好較小地設(shè)定，同時(shí)最好簡(jiǎn)單地可以替換地安裝粘結(jié)部件3。
在圖示例子的情況下，將與前述玻璃制的基板A接觸的粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a的粘結(jié)力設(shè)定為比與變形膜4接觸的固定反面3b的粘結(jié)力小，所述變形膜4配置于上保持板1的保持面1a側(cè)，在與基板A粘結(jié)時(shí)通過(guò)其重量，粘結(jié)部件3不會(huì)從保持面1a側(cè)剝離，但是根據(jù)需要隨時(shí)可以將粘結(jié)部件3從變形膜4的表面剝離。
前述板狀體4′及變形膜4是可以彈性變形的隔膜，該隔膜由例如不銹鋼等的金屬制的薄板或橡膠、工程塑料等的合成樹(shù)脂或其它的彈性材料成型而成的薄片構(gòu)成，相對(duì)于隔壁1d的前端面通過(guò)例如電子束焊接等的熔敷或接合部件等進(jìn)行接合，通過(guò)經(jīng)由前述通氣路1c從各凹部1b內(nèi)向外部排出氣體，使該變形膜4產(chǎn)生撓曲變形、向各凹部1b內(nèi)凹陷；與此相反通過(guò)從外部向各凹部1b內(nèi)供給氣體，使該變形膜4以從各凹部1b的開(kāi)口突出的方式進(jìn)行彎曲變形。
而且，前述板狀體4′的安裝方法，并不限于上述的通過(guò)焊接或者粘接件的接合方式，通過(guò)相對(duì)于例如各凹部1b間的隔壁1d以螺釘?shù)鹊墓潭ㄑb置安裝壓板(未圖示)，也可以在這些隔壁1d的前端面與壓板間裝卸自如地夾持該板狀體4′。
另外，根據(jù)需要，在前述變形膜4上如圖2所示，也可以在與各凹部1b的大致中心相對(duì)應(yīng)的位置上，分別貫通穿設(shè)小孔4a。
下面，對(duì)該基板貼合機(jī)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
首先，如圖1(a)所示，在上下保持板1、2向上下方向離開(kāi)的狀態(tài)下，在各個(gè)的保持面1a、2a上設(shè)置上下基板A、B，此時(shí)，通過(guò)將在上保持板1的保持面1a上形成的凹部1b內(nèi)抽成真空并減壓，使變形膜4彎曲成凹狀。
在該狀態(tài)下，通過(guò)基板輸送用機(jī)械手(圖中未示出)輸送上基板A，將其反面A1向上保持板1的保持面1a移動(dòng)，若以規(guī)定的壓力與粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a相接觸，則可通過(guò)該粘結(jié)表面3a的粘結(jié)力保持上基板A。
另外，如圖2所示，在與各凹部1b相對(duì)應(yīng)地在變形膜4上穿設(shè)小孔4a的情況下，若從這些小孔4a抽成真空，則能夠更強(qiáng)地吸附保持上基板A。
然后，如圖1(b)所示，在上下保持板1、2接近、密閉空間S內(nèi)達(dá)到規(guī)定的真空度以后，將上下保持板1、2的任意一方相對(duì)于另一方向XYθ方向調(diào)整移動(dòng)，進(jìn)行保持于其上的基板A、B彼此的定位。
完成定位以后，如圖1(c)所示，向形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b內(nèi)導(dǎo)入氣體，并從其背面?zhèn)葘?duì)變形膜4加壓、使之彎曲成凸?fàn)睿⑹蛊淝岸藦恼辰Y(jié)部件3的粘結(jié)表面3a突出。
由此，將粘結(jié)保持在粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a上的上基板A強(qiáng)制地拉開(kāi)，在將上基板A從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a不費(fèi)力地剝離的同時(shí)，通過(guò)這些變形膜4的突出壓力將該上基板A按壓到下基板B上的環(huán)狀粘合劑C上并使之重合。
此時(shí)，在變形膜4上開(kāi)小孔4a的情況下，通過(guò)從這些小孔4a向上基板A的反面A1噴出例如氮?dú)獾鹊臍怏w，將上基板A從該粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a強(qiáng)制地剝離并向下基板B上的環(huán)狀粘合劑C瞬間地壓接，使兩者之間密封。
因此，可以將玻璃制的上下基板A、B在真空中沒(méi)有變形地均一地壓接，所加的壓力也可以容易地改變。
而且，由于上保持板1的基板側(cè)被由多個(gè)粘結(jié)部件3和多個(gè)變形膜4構(gòu)成的板狀體4′覆蓋，所以上基板A的多個(gè)位置被同時(shí)粘結(jié)保持，同時(shí)能夠進(jìn)行剝離，即使上基板A是大型的也可以切實(shí)地保持和剝離。
而且，由于將上述粘結(jié)部件3和變形膜4盡可能接近地進(jìn)行配置，所以在通過(guò)變形膜4的突出壓力將玻璃制的上基板A從粘結(jié)表面3a剝離時(shí)，上基板A的一部分不會(huì)較大地彎曲，由此，在完成定位的上下基板A、B上不會(huì)發(fā)生位置偏移、封閉液晶的環(huán)狀粘合劑C斷開(kāi)的問(wèn)題。
又，由于粘結(jié)部件3的面積設(shè)定得較小，所以在將玻璃制的上基板A從粘結(jié)表面3a剝離時(shí)，不需要很大的力，可以防止玻璃的破裂等的事故，同時(shí)，由于粘結(jié)部件可以簡(jiǎn)單地替換安裝，所以雖然擔(dān)心由于反復(fù)進(jìn)行上基板A的粘結(jié)接觸與分離會(huì)導(dǎo)致的異物的粘附和粘結(jié)力的降低，但是此時(shí)可以通過(guò)更換粘結(jié)部件3來(lái)解決。
實(shí)施方式2該實(shí)施例2如圖3～圖4所示，從在前述保持板1的保持面1a上形成的隔壁1d遍及粘結(jié)部件3及變形膜4，貫通狀地開(kāi)設(shè)有多個(gè)通氣孔1e，將連通這些通氣孔1e和例如真空泵、壓縮機(jī)等的吸氣源(圖中未示出)的通氣路1f與前述凹部1b的通氣路1c以不同系統(tǒng)的方式形成，該結(jié)構(gòu)與前述圖1～圖2所示的實(shí)施例1不同，其它的結(jié)構(gòu)與圖1～圖2所示的實(shí)施例1相同。
根據(jù)上述構(gòu)成，如圖3(a)所示，通過(guò)在上保持板1的保持面1a上設(shè)置上基板A時(shí)從通氣孔1e抽氣，可以以更強(qiáng)的力吸附保持上基板A。另外如圖3(c)所示，在進(jìn)行基板A、B彼此的定位后的剝離時(shí)，由于從通氣孔1e噴出例如壓縮空氣或氮?dú)獾鹊臍怏w，能夠以更大的力將上基板A從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a強(qiáng)制地剝離并在瞬間向下基板B上的環(huán)狀粘合劑C上壓接。
所以，圖3～圖4所示的實(shí)施例2，可以得到與上述圖1～圖2所示的實(shí)施例1相同的作用效果，而且由于在通過(guò)實(shí)施例1的粘結(jié)部件3粘結(jié)保持上基板A的基礎(chǔ)上，增加了通過(guò)來(lái)自通氣孔1e的吸引對(duì)上基板進(jìn)行真空吸附保持，所以具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，能夠容易實(shí)現(xiàn)吸引用配管系等的結(jié)構(gòu)、吸引控制，而且可以更切實(shí)地保持上基板A，同時(shí)，能夠完全防止由于變形膜4的突出壓力不穩(wěn)而導(dǎo)致的上基板A的位置偏移。
實(shí)施方式3該實(shí)施例3，如圖5～圖6所示，以下的結(jié)構(gòu)與前述圖1～圖2所示的實(shí)施例1及圖3～圖4所示的實(shí)施例2不同，除此以外的其它結(jié)構(gòu)與圖1～圖2所示的實(shí)施例1及圖3～圖4所示的實(shí)施例2相同，所述的不同的結(jié)構(gòu)是代替上述環(huán)狀的粘結(jié)部件3，在前述變形膜4的一部分上設(shè)置粘結(jié)部件3′，以此構(gòu)成由多個(gè)變形膜4和粘結(jié)部件3′構(gòu)成的板狀體4″，通過(guò)該板狀體4″覆蓋上保持板1的基板側(cè)，同時(shí)，在使變形膜4平坦的狀態(tài)下，使該粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′與上基板A抵接、進(jìn)行粘結(jié)保持，另一方面，通過(guò)使變形膜4在該上保持板1的基板側(cè)的減壓作用下進(jìn)行沒(méi)入(凹狀)變形，以此將粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′從上基板A強(qiáng)制分開(kāi)并剝離。
作為在上述變形膜4的一部分上配設(shè)粘結(jié)部件3′的方法，通過(guò)對(duì)由彈性材料構(gòu)成的變形膜4進(jìn)行表面處理或?qū)ζ溥M(jìn)行類似的加工，僅在其表面的所期望的位置上使粘結(jié)表面3a′與該變形膜4的表面一體形成為同一面狀或設(shè)置成一體，作為板狀體4″。
該板狀體4″的形狀不僅僅限于圖示的平坦的板狀，也可以是使變形膜4朝向形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b內(nèi)局部地凹進(jìn)等的非完全的平板狀。
在圖示的情況下，在前述變形膜4的大致中心位置上局部地一體形成圓狀的粘結(jié)表面3a′，但只要可以切實(shí)地保持上基板A的反面A1，除此以外的其它形狀也可以。
另外，在圖示例子中，上述小孔4a沒(méi)有穿設(shè)在變形膜4上，但是根據(jù)需要，也可以與前述實(shí)施例1的圖2、實(shí)施例2的圖4所示的裝置相同地，在粘結(jié)部件3′的大致中心位置上分別貫通穿設(shè)小孔4a。
通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，如圖5(a)及圖5(b)所示，將氣體導(dǎo)入到形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b內(nèi)，通過(guò)從其反面?zhèn)葘?duì)變形膜4進(jìn)行加壓使其彎曲成凸?fàn)?，若使粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′與上基板A接觸，則可通過(guò)該粘結(jié)力保持上基板A。
在上下基板A、B重合后，從使密閉空間S內(nèi)的環(huán)境返回到大氣壓開(kāi)始，如圖5(c)所示，通過(guò)將凹部1b內(nèi)抽成真空并進(jìn)行使其減壓等的減壓驅(qū)動(dòng)，若使變形膜4凹狀彎曲并使粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′沒(méi)入到凹部1b內(nèi)，則可將把粘結(jié)表面3a′從上基板A上強(qiáng)制拉開(kāi)。
與此同時(shí)，若從通氣孔1e噴出例如壓縮空氣或氮?dú)獾鹊臍怏w，則可以以更大的力將上基板A從粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′上強(qiáng)制剝離。其結(jié)果，如圖5～圖6所示的實(shí)施例3，可以得到與上述圖1～圖2所示的實(shí)施例1、圖3～圖4所示的實(shí)施例2同樣的作用效果，而且更具有如下優(yōu)點(diǎn)由于在變形膜4的一部分上配置粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′，所以僅通過(guò)以板狀體4′覆蓋作為上保持板1的基板側(cè)的保持面1a及凹部1b全體，便可同時(shí)配置粘結(jié)部件3′的粘結(jié)部件3′，由此能夠使粘結(jié)卡盤(pán)裝置的整體結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)化，由于不必像實(shí)施例1和實(shí)施例2那樣將粘結(jié)部件3與變形膜4分開(kāi)貼合，所以可以以低成本在短時(shí)間內(nèi)制造。
又，在通過(guò)表面處理等將粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′與變形膜4的表面一體形成為同一面狀的情況下，由于在這些粘結(jié)表面3a′與變形膜4的表面之間不產(chǎn)生臺(tái)階差，所以在上下基板A、B的貼合時(shí)，不僅能夠沒(méi)有變形且均勻地壓接基板A、B彼此，而且還具有能夠把其它的不良影響抑制到最小的優(yōu)點(diǎn)。
另外，雖然示出了將本發(fā)明的粘結(jié)卡盤(pán)裝置配備在貼合機(jī)中的情況，該貼合機(jī)粘結(jié)保持并貼合液晶顯示器(LCD)平板等的玻璃基板，但本發(fā)明并不僅限于此，也可以配置在該基板貼合機(jī)以外的基板組裝裝置、輸送基板的基板搬運(yùn)裝置中，用來(lái)粘結(jié)、保持LCD平板用玻璃基板以外的基板。
另外，雖然說(shuō)明了在真空中貼合基板A、B的基板貼合機(jī)，但是不僅限于此，也可以是在空氣中貼合基板A、B的基板貼合機(jī)，即使在該情況下，也可以得到與上述真空貼合機(jī)相同的作用效果。
又，在前面所示的實(shí)施例中，僅在作為上保持板1的基板側(cè)的保持面1a上配置粘結(jié)部件3和變形膜4，但不僅限于此，同樣也可以在作為下保持板2的基板側(cè)的保持面2a上，固定與下基板B的反面B1相對(duì)地粘結(jié)保持的粘結(jié)部件3，同時(shí)，可以設(shè)置能夠向上下方向彈性變形的變形膜4。
而且，在上保持板1的保持面1a上凹設(shè)有多個(gè)圓形的凹部1b，所有這些凹部1b的開(kāi)口由一片板狀體4′、4″覆蓋，但并不僅限于此，也可以將凹部1b的形狀換成圓形以外的形狀，將各凹部1b由多片變形膜4分別覆蓋。
權(quán)利要求
1.一種粘結(jié)卡盤(pán)裝置，其相對(duì)于保持板通過(guò)粘結(jié)裝卸自如地保持基板，其特征在于，在所述保持板的基板側(cè)，設(shè)有粘結(jié)部件和變形膜，該粘結(jié)部件與基板的反面相對(duì)地粘結(jié)保持，該變形膜可向與該基板側(cè)面交叉的方向出入變形，通過(guò)該變形膜的出入變形使基板與粘結(jié)部件的粘結(jié)表面抵接地進(jìn)行粘結(jié)，同時(shí)強(qiáng)制地拉開(kāi)并剝離兩者。
2.如權(quán)利要求1所述的粘結(jié)卡盤(pán)裝置，其特征在于，所述粘結(jié)部件與變形膜一體形成。
3.如權(quán)利要求1或2所述的粘結(jié)卡盤(pán)裝置，其特征在于，在所述變形膜的一部分上設(shè)置粘結(jié)部件的粘結(jié)表面。
4.如權(quán)利要求2或3所述的粘結(jié)卡盤(pán)裝置，其特征在于，在所述板狀體的一部分上開(kāi)設(shè)通氣孔，從該通氣孔吸引、吸附基板的反面。
全文摘要
一種粘結(jié)卡盤(pán)裝置，以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)切實(shí)地裝卸基板，在保持板(1)的基板側(cè)，設(shè)有粘結(jié)部件(3)和變形膜(4)，該粘結(jié)部件(3)與基板(A)的反面(A1)相對(duì)地粘結(jié)保持，該變形膜(4)可向與該基板側(cè)面(1a)交叉的方向出入變形，通過(guò)該變形膜(4)的出入變形使基板(A)與粘結(jié)部件(3)的粘結(jié)表面(3a)抵接地進(jìn)行粘結(jié)，同時(shí)通過(guò)強(qiáng)制地拉開(kāi)兩者，能夠不費(fèi)力地將基板(A)從粘結(jié)部件(3)的粘結(jié)表面(3a)剝離。
文檔編號(hào)H01J11/20GK1777832SQ20058000015
公開(kāi)日2006年5月24日 申請(qǐng)日期2005年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月9日
發(fā)明者大谷義和, 橫田道也 申請(qǐng)人:信越工程株式會(huì)社