專利名稱：圖像顯示裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有板狀隔板的平面型圖像顯示裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
近年來，使用電子發(fā)射元件的圖像顯示裝置，由于薄型、節(jié)省空間且重量輕，作為使用現(xiàn)有的陰極射線管(布朗管)的圖像顯示裝置的替代產(chǎn)品，進(jìn)行了開發(fā)。
圖4是表示平面型圖像顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖中，1是背面板，2是側(cè)壁，3是表面板。在表面板3的與背面板1對(duì)置的面上形成熒光膜4、金屬背底5。由背面板1、側(cè)壁2、表面板3圍成的空間6，維持10-4Pa的真空。為此，設(shè)置隔板7，作為用于防止因外部和真空容器中的壓力差引起的背面板1和表面板3的變形的結(jié)構(gòu)支撐部件。
該隔板7，通過將在其兩端部固定的擋塊(隔板用支撐部件)9粘結(jié)固定在背面板1上，被固定在背面板1上，該附有隔板的背面板和表面板被對(duì)準(zhǔn)并固定。
上述圖像顯示裝置，在從配設(shè)在背面板1上的電子發(fā)射元件(未圖示)進(jìn)行電子發(fā)射的同時(shí)，在金屬背底5上施加數(shù)百到數(shù)千V的高壓，使電子加速，當(dāng)沖撞表面板3時(shí)，使構(gòu)成熒光膜4的熒光體激勵(lì)發(fā)光，顯示圖像。
然而，按照?qǐng)D4制造的現(xiàn)有圖像顯示裝置存在以下問題。
如前所述，隔板7的兩端通過擋塊(隔板用支撐部件)9粘結(jié)固定在背面板1上，但是隔板7的中央部?jī)H是與背面板1對(duì)接，未被固定。
因此，從隔板7和背面板1裝配完成一直到背面板1和表面板3裝配開始，如果由于運(yùn)送等來自外部的沖擊將加到附有隔板的背面板上，隔板中央部有時(shí)會(huì)偏離裝配當(dāng)初的位置。
當(dāng)隔板中央部偏離裝配當(dāng)初的位置時(shí)，由于隔板7與背面板1之間的摩擦阻力，隔板7恢復(fù)不到裝配當(dāng)初位置的可能性高，所以不能保證隔板7的裝配位置精度。
在隔板中央部偏離裝配當(dāng)初的位置的狀態(tài)下，進(jìn)行背面板1和表面板3的裝配時(shí)，則有可能對(duì)顯示圖像產(chǎn)生惡劣影響，不能穩(wěn)定地生產(chǎn)高質(zhì)量的圖像顯示裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的正是為了解決具有板狀隔板的平面型圖像顯示裝置的上述問題，即使隔板的中央部偏離了裝配當(dāng)初的位置，也可以容易地修正到裝配當(dāng)初的位置，能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)高質(zhì)量的圖像顯示裝置。
實(shí)現(xiàn)了上述目的的本發(fā)明的構(gòu)成如下。
即，本發(fā)明的圖像顯示裝置的制造方法，具有在第一襯底的表面上配置板狀隔板，使該板狀隔板的縱方向與該第一襯底的表面平行，并將該板狀隔板的縱方向的端部固定在該第一襯底上的工序；在固定有板狀隔板的第一襯底上對(duì)置地配置第二襯底，夾著該板狀隔板密封該第一襯底和該第二襯底的工序，其特征是在在第一襯底上固定板狀隔板的上述工序、與密封第一襯底和第二襯底的上述工序之間，還具有在板狀隔板和第一襯底表面之間形成空隙的工序。
優(yōu)選地，上述形成空隙的工序是通過上述第一襯底的變形進(jìn)行的。
優(yōu)選地，上述形成空隙的工序是通過設(shè)置在上述板狀隔板端部的彈性部件進(jìn)行的。而且，優(yōu)選地，上述彈性部件由形狀記憶合金構(gòu)成。
優(yōu)選地，在第一襯底上固定板狀隔板的上述工序中，在板狀隔板上預(yù)先施加負(fù)荷使得在該板狀隔板的縱方向上具有張力。
按照上述本發(fā)明的圖像顯示裝置的制造方法，由于在密封第一襯底和第二襯底之前，在板狀隔板和第一襯底表面之間形成空隙，即使隔板的中央部偏離了裝配當(dāng)初的位置，也可以再次修正到裝配當(dāng)初的設(shè)計(jì)位置。
本發(fā)明的另一圖像顯示裝置的制造方法，具有在第一襯底的表面上配置板狀隔板，使該板狀隔板的縱方向與該第一襯底的表面平行，在該板狀隔板的中央部與該第一襯底之間形成空隙的狀態(tài)下，將該板狀隔板的縱方向的端部固定在該第一襯底上的工序；在固定有板狀隔板的第一襯底上對(duì)置地配置第二襯底，夾著該板狀隔板密封該第一襯底和該第二襯底的工序，其特征是在在第一襯底上固定有板狀隔板的上述工序、與密封第一襯底和第二襯底的上述工序之間，還有運(yùn)送固定有板狀隔板的第一襯底的工序。
優(yōu)選地，將板狀隔板的縱方向的端部固定在第一襯底上的上述工序，是通過將設(shè)置在隔板端部的支撐部件粘結(jié)在上述第一襯底上來進(jìn)行的。優(yōu)選地，上述支撐部件是彈性部件。
優(yōu)選地，在將板狀隔板縱方向的端部固定在第一襯底的上述工序中，在板狀隔板上預(yù)先施加負(fù)荷使得在該板狀隔板的縱方向上具有張力。
按照上述本發(fā)明的圖像顯示裝置的制造方法，在第一襯底上固定板狀隔板后，運(yùn)送該第一襯底后再進(jìn)行密封工序，在運(yùn)送時(shí)由于板狀隔板在該板狀隔板的中央部和第一襯底之間形成空隙的狀態(tài)下得到支撐，所以不會(huì)在隔板中央部偏離裝配當(dāng)初的位置的情況下原樣密封。


圖1A和1B是說明本發(fā)明第1實(shí)施例的隔板位置修正情況的示意圖。
圖2A和2B是說明本發(fā)明第1實(shí)施例的隔板位置修正情況的示意圖。
圖3A和3B是說明本發(fā)明第1實(shí)施例的隔板位置修正精況的示意圖。
圖4是表示具有隔板的圖像顯示裝置概略結(jié)構(gòu)的部面圖。
圖5是表示隔板的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。
圖6是表示在隔板與襯底的固定中使用的擋決的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。
圖7是表示在隔板和擋塊的粘結(jié)、固定中使用的裝置的結(jié)構(gòu)的斜視圖。
圖8A～8C是表示隔板和擋塊的粘結(jié)、固定順序的斜視圖。
圖9是表示隔板和背面板的裝配裝置的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。
圖10A和10B是表示圖9的裝配裝置的隔板把持部概略結(jié)構(gòu)以及把持動(dòng)作的斜視圖。
圖11A和11B是利用隔板厚度測(cè)定的對(duì)準(zhǔn)位置修正方法的說明圖。
圖12是背面板的結(jié)構(gòu)以及存在于背面板上的隔板對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)的說明圖。
圖13是根據(jù)噴墨標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)設(shè)定方法的說明圖。
圖14A～14C是背面板和隔板的粘結(jié)、固定的順序圖。
圖15是背面板和隔板的粘結(jié)、固定的順序圖。
圖16是表示本發(fā)明第2實(shí)施例的隔板支撐部件的示意圖。
圖17是表示在本發(fā)明第2實(shí)施例的隔板上粘結(jié)支撐部件的狀態(tài)圖。
圖18A和18B是本發(fā)明第2實(shí)施例的面板密封工序的說明圖。
圖19是在本發(fā)明第3實(shí)施例的隔板上粘結(jié)結(jié)構(gòu)部件的狀態(tài)圖。
圖20是在本發(fā)明第3實(shí)施例的隔板上粘結(jié)結(jié)構(gòu)部件和支撐部件的狀態(tài)圖。
圖21是在本發(fā)明第3實(shí)施例的背面板上固定隔板的狀態(tài)圖。
圖22A和22B是本發(fā)明第3實(shí)施例的面板密封工序的說明圖。
圖23是在本發(fā)明第4實(shí)施例的隔板上粘結(jié)支撐部件的狀態(tài)圖。
圖24是在本發(fā)明第4實(shí)施例的背面板上固定隔板的狀態(tài)圖。
圖25A和25B是本發(fā)明第4實(shí)施例的面板密封工序的說明圖。
圖26是在本發(fā)明第5實(shí)施例的隔板上粘結(jié)第1支撐部件的狀態(tài)圖。
圖27是本發(fā)明第5實(shí)施例的第2支撐部件的表面圖。
圖28A～28C是在本發(fā)明第5實(shí)施例的背面板上固定隔板的工序說明圖。
圖29是表示具有隔板的圖像顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。
圖30是表示圖29的圖像顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的斷面圖。
具體實(shí)施例方式
以下，說明本發(fā)明的實(shí)施方式。首先，說明向第一襯底上安裝板狀隔板的方法。
(向第一襯底上安裝板狀隔板的方法)首先，結(jié)合

圖4所示的板狀隔板7對(duì)第一襯底(這里是背面板)的高精度對(duì)準(zhǔn)、裝配方法。
圖5是表示板狀隔板7的一個(gè)構(gòu)成例的斜視圖，在該隔板7的上下面的規(guī)定位置上形成標(biāo)記31。
圖6是表示用于固定板狀隔板的檔塊(隔板用支撐部件)9的一個(gè)構(gòu)成例的斜視圖，在該擋塊9上，沿其中心線形成一端開放的用于插入上述隔板7的狹縫10，并且形成與狹縫10的最深部連通的貫通孔11。
圖7表示在隔板7和擋塊9的粘結(jié)中使用的裝置的概略結(jié)構(gòu)。該裝置的結(jié)構(gòu)是，在隔板7的全長上設(shè)置有用于進(jìn)行大致定位的隔板導(dǎo)軌12，而且在隔板導(dǎo)軌12的各端，設(shè)有載置擋塊9的載物臺(tái)13、用于進(jìn)行定位的擋塊導(dǎo)座14以及噴熱管20。
以下，用圖8說明隔板7與擋塊9的粘結(jié)工序。
首先，將擋塊9載置到載物臺(tái)13上，由擋塊導(dǎo)軌14定位后，通過負(fù)壓吸附等將其固定在擋塊載物臺(tái)13上(圖8A)。
然后，在由隔板導(dǎo)軌12進(jìn)行大概定位后，將隔板7嵌入到擋塊9的狹縫10中(圖8B)。這里，調(diào)整隔板7、擋塊載物臺(tái)13的相對(duì)位置關(guān)系，使得隔板7各端部與擋塊9的貫通孔11的距離、擋塊9的載物臺(tái)對(duì)接面與隔板7的夾具對(duì)接面的距離，分別為規(guī)定值。
接著，沿狹縫10涂敷粘結(jié)劑15(圖8C)。這時(shí)，粘結(jié)劑15必須不從隔板7的與上述背面板1和表面板3的對(duì)接面溢出，也不能從上述對(duì)接面上突出。此后，使用噴熱管20，用熱風(fēng)加熱粘結(jié)劑15，使其硬化，在維持了規(guī)定位置關(guān)系的狀態(tài)下粘結(jié)固定隔板7和擋塊9。
這里使用的粘結(jié)劑15，由于隔板7和擋塊9最終用于真空容器中，希望是脫氣少的無機(jī)系列粘結(jié)劑。
粘結(jié)劑15的硬化，利用了加熱使粘結(jié)劑固化的作用。這里，通過將加熱位置限制在所要求的固定區(qū)域及其周圍，可減少由于加熱時(shí)熱膨脹引起的部件間位置移動(dòng)，以及縮短加熱、冷卻工序的時(shí)間，所以以下，包含本工序的粘結(jié)劑硬化工序都通過局部加熱實(shí)施。
加熱工序的過程為二階段。開始時(shí)，將噴熱管20的溫度設(shè)定為約90℃，按規(guī)定時(shí)間干燥(假干燥)后，上升到200℃進(jìn)行真干燥。分為二階段的理由是防止由于粘結(jié)劑中所含水分或揮溶劑成分的崩沸而向粘結(jié)劑周圍飛濺。
在每個(gè)固定位置反復(fù)進(jìn)行上述作業(yè)，制作圖像顯示裝置裝配中必要數(shù)量的隔板。反復(fù)工序適用于匯總的批處理，可實(shí)現(xiàn)工序時(shí)間縮短。
下面，使用圖9說明隔板7在背面板1上的裝配工序。
圖9表示隔板裝配裝置的概略結(jié)構(gòu)。該裝置將測(cè)定隔板7的厚度和在隔板7的端面形成的標(biāo)記31的位置的測(cè)定部32、以及載置并固定背面板1的載物臺(tái)16配置在直線上，而且在測(cè)定部32和背面板載物臺(tái)16的上方，按圖中箭頭a方向可移動(dòng)地配置隔板運(yùn)送立柱17。
在隔板運(yùn)送立柱17上，配置隔板把持部18、粘結(jié)劑涂敷用分配器19、熱風(fēng)干燥用噴熱管20、以及配線路線位置和隔板端面標(biāo)記位置識(shí)別用攝象機(jī)(未圖示)。
隔板把持部18配置在隔板運(yùn)送立柱17兩端，共計(jì)2個(gè)，其結(jié)構(gòu)如圖10所示，由基準(zhǔn)爪21和可動(dòng)爪22構(gòu)成，隔板7的把持使可動(dòng)爪22按圖中箭頭b的方向移動(dòng)，使基準(zhǔn)爪21和可動(dòng)爪22之間的空間開閉。2個(gè)隔板把持部18中，一個(gè)固定，另一個(gè)按圖中箭頭c方向可動(dòng)，在閉合基準(zhǔn)爪21和可動(dòng)爪22之間的空間并把持隔板7后，按圖中箭頭c方向(即隔板的縱方向)移動(dòng)可動(dòng)側(cè)的隔板把持部18，拉伸隔板7，產(chǎn)生張力。
下面，進(jìn)行隔板7的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)的設(shè)定。
隔板7被隔板運(yùn)送立柱17的隔板把持部18把持，并向測(cè)定部32運(yùn)送后，載置在測(cè)定部32的載物臺(tái)上。在這里，進(jìn)行隔板7的厚度和在隔板端面形成的標(biāo)記31的位置計(jì)測(cè)。
首先，標(biāo)記31中，利用標(biāo)記形成、非形成區(qū)域的反射率的差別，對(duì)表面板側(cè)且外周側(cè)的邊界位置進(jìn)行光學(xué)測(cè)定，將其作為隔板7的X方向的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)(Ax)。
然后，作為隔板7的Y方向?qū)?zhǔn)基準(zhǔn)(Ay)，由于采用隔板7的厚度方向的中心線，則對(duì)隔板7的厚度進(jìn)行機(jī)械或光學(xué)測(cè)定，實(shí)施對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)的修正。用圖11如下說明進(jìn)行該修正的理由。圖11A是表示隔板把持部18把持隔板7的側(cè)面圖，圖11B是圖11A中A部的擴(kuò)大圖。
由于隔板運(yùn)送立柱17的隔板把持部18的爪結(jié)構(gòu)為一個(gè)固定、另一個(gè)可動(dòng)，所以根據(jù)隔板7的厚度，隔板7厚度方向的中心線相對(duì)于裝置原點(diǎn)移動(dòng)。具體地說，如圖11B所示，厚度變化只有Δt時(shí)，隔板7厚度方向的中心線僅向可動(dòng)爪22側(cè)移動(dòng)Δt/2。因此，當(dāng)向上述背面板1對(duì)準(zhǔn)隔板7時(shí)，必須預(yù)先測(cè)定隔板7的厚度，算出修正量，對(duì)每個(gè)隔板進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)修正。
這樣，通過成為測(cè)定隔板厚度的構(gòu)成，對(duì)于厚度之差，可以對(duì)應(yīng)于只進(jìn)行數(shù)值的修正。這也可以用于厚度不同的隔板7的整體裝配(不僅是制造上的公差，也包含使多個(gè)厚度不同的隔板7在同一工序中流通的情況)。
下面，用圖12說明背面板1的隔板裝載面。
在背面板1上的有效區(qū)域(A.A.)23內(nèi)，分別平行地形成多個(gè)配線路線24。作為密封背面板和表面板時(shí)的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)，配置密封標(biāo)記26。
以下，使用圖13說明背面板1上的隔板7的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)的設(shè)定。
首先，使用攝象機(jī)識(shí)別配線路線24和密封標(biāo)記26的位置，將密封標(biāo)記26的位置設(shè)定為圖中X方向的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)(Bx)。另外，導(dǎo)出通過配線路線24中央的線，將其設(shè)定為圖中Y方向的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)(By)。
這樣，對(duì)于隔板7，X方向基準(zhǔn)(Ax)在隔板端面上形成的標(biāo)記31的位置，Y方向基準(zhǔn)(Ay)固定爪21的位置+修正量(隔板厚度/2)，另外，對(duì)于背面板1，X方向基準(zhǔn)(Bx)密封標(biāo)記26的位置，Y方向基準(zhǔn)(By)將通過配線路線24中央的線的位置設(shè)定為對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)。
下面，使用圖14、圖15說明隔板7向背面板1的對(duì)準(zhǔn)和固定。
已由測(cè)定部32進(jìn)行了預(yù)定計(jì)測(cè)的隔板7，被隔板把持部18把持，從測(cè)定部32的載物臺(tái)上向背面板1運(yùn)送(圖14A)。
然后，以對(duì)于Y方向，隔板7、背面板1的各對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)為一致，對(duì)于X方向，形成規(guī)定間隔的方式，完成隔板運(yùn)送立柱17和背面板1的對(duì)準(zhǔn)后，使隔板把持部18下降，將隔板7按壓在背面板1上(圖14B)。這時(shí)，若按壓力大，可壓彎隔板7，則按壓力設(shè)定為盡可能小。并且，這時(shí)使可動(dòng)側(cè)的隔板把持部18按照?qǐng)D中箭頭C方向移動(dòng)規(guī)定量，在隔板7上具有沿隔板縱向的張力，是優(yōu)選的。這樣，如后所述，即使隔板的中央部偏離了裝配當(dāng)初的位置，也能夠容易且可靠地修正到裝配當(dāng)初的設(shè)計(jì)位置。
接著，使用分配器19，在擋塊9的貫通孔11中適當(dāng)涂敷粘結(jié)劑28后，用噴熱管20，用熱風(fēng)將粘結(jié)劑28加熱、硬化，維持規(guī)定的位置關(guān)系后粘結(jié)固定隔板7和背面板1(圖15)。
在粘結(jié)劑28的硬化完成后，解除隔板運(yùn)送立柱17的按壓，將隔板把持部18的可動(dòng)爪22移動(dòng)到開放方向，從隔板把持部18釋放固定在背面板1的隔板7(圖14C)。
以后，反復(fù)進(jìn)行上述操作，在背面板1上按規(guī)定間隔，粘結(jié)固定隔板7。
如上所述，安裝在背面板1上的隔板7，兩端部通過擋塊9粘結(jié)固定在背面板1上，隔板7的中央部?jī)H與背面板1對(duì)接，并未固定。因此，從隔板7與背面板1裝配完成，到背面板1與表面板3裝配開始，如果因運(yùn)送等將來自外部的沖擊加到附有隔板的背面板上，隔板中央部有時(shí)會(huì)偏離裝配當(dāng)初的位置。
因此，在本發(fā)明的一實(shí)施例中，在密封該附有隔板的背面板和表面板(第二襯底)之前，設(shè)置了在板狀隔板與背面板(第一襯底)的表面之間形成空隙的工序。下面，說明形成該空隙的工序的概要。
(在板狀隔板與第一襯底的表面之間形成空隙的工序)在本發(fā)明的板狀隔板與第一襯底的表面之間形成空隙的工序，大致可舉出為①利用第一襯底變形的方法，②使用彈性部件作為上述擋塊9，利用該彈性部件變形的方法。以下，簡(jiǎn)單說明具有代表性的兩種方法。
①利用第一襯底(在此是背面板)的變形的方法當(dāng)利用背面板的變形時(shí)，在將隔板7固定在背面板1的上述工序中，希望預(yù)先在隔板7上負(fù)荷著沿其縱向作用的張力。這時(shí)，例如由圖2A所示的背面板1變形產(chǎn)生的隔板兩端固定間距離的收縮量，設(shè)定為小于由張力負(fù)荷產(chǎn)生的隔板7的延伸量，在背面板1變形后，在隔板7上依然負(fù)荷著張力，如圖所示，隔板7的中央部將可靠地背離背面板1。
通過使隔板7背離背面板1，在隔板7與背面板1之間不產(chǎn)生摩擦，并且，如前所述，在上述隔板7上依然負(fù)荷著張力，隔板7將再次表現(xiàn)出裝配當(dāng)初的足夠的平直度。而且，只要借助于隔板本身的彈性力就可以恢復(fù)裝配當(dāng)初的足夠的平直度，就不必預(yù)先在隔板的縱方向上負(fù)荷張力。
以不在背面板1上施加動(dòng)負(fù)荷的方式漸漸除去背面板1的變形，由此初墊7恢復(fù)到裝配當(dāng)初的位置。
因此，通過在背面板1和表面板3裝配前(密封前)進(jìn)行本動(dòng)作，可以與背面板1和表面板3裝配前的背面板1的處理方法無關(guān)地，保證隔板7對(duì)背面板1的裝配位置精度，也避免發(fā)生電子束偏離等。
②利用彈性部件的變形的方法用例如因熱而變形的彈性部件，例如形狀記憶合金等構(gòu)成設(shè)置在隔板兩端部的上述擋塊9或設(shè)置在隔板與背面板的對(duì)接面?zhèn)鹊钠渌考?。通過在高溫下使上述彈性部件變形為規(guī)定形狀，可在隔板與背面板之間形成間隙，按照與上述①的方法同樣的作用，修正隔板的位置，實(shí)現(xiàn)正確的配置關(guān)系。
在解決上述隔板中央部的位置偏離問題的本發(fā)明的其他實(shí)施例中，在將板狀隔板固定在第一襯底上以后，運(yùn)送該第一襯底后再進(jìn)行密封工序的情況下，在板狀隔板中央部與第一襯底間形成空隙的狀態(tài)下，進(jìn)行將該板狀隔板縱方向的端部固定在該第一襯底上的工序。這時(shí)，在附有隔板的背面板運(yùn)送時(shí)，板狀隔板在該板狀隔板中央部與第一襯底之間形成空隙的狀態(tài)下被支撐，而在隔板中央部仍偏離狀態(tài)下的密封工序并不運(yùn)送，可保證隔板對(duì)于背面板1的裝配位置精度，避免發(fā)生電子束偏離等。
經(jīng)過以上工序后，可使背面板1和表面板3得到充分的位置配合，再通過框架(側(cè)壁2)密封兩襯底，形成圖4例示的平面型圖像顯示裝置。以下，說明本發(fā)明的圖像顯示裝置的概要。
(圖像顯示裝置的概要)圖29是構(gòu)成圖像顯示裝置的顯示面板的斜視圖，為了表示內(nèi)部結(jié)構(gòu)，切開面板的一部分進(jìn)行表示。
圖中，1015是背面板，1016是側(cè)壁，1017是表面板，由1015～1017形成維持顯示面板內(nèi)部真空的氣密容器。裝配氣密容器時(shí)，在各部件的接合部必須進(jìn)行能保持足夠強(qiáng)度和氣密性的密封，例如，可在接合部涂敷熔結(jié)玻璃，在大氣中或氮?dú)鈿夥罩型ㄟ^在400～500℃燒制10分鐘以上進(jìn)行密封。后面將說明把氣密容器內(nèi)部抽成真空的方法。由于上述氣密容器內(nèi)部保持為10-4Pa左右的真空，為了防止因大氣壓和意外沖擊引起氣密容器破壞，作為耐大氣壓結(jié)構(gòu)體，設(shè)置了隔板1020。
在背面板1015上固定電子源襯底1011，在該電子源襯底上形成n×m個(gè)冷陰極元件1012(n、m是2以上的正整數(shù)，根據(jù)作為目的的顯示象素?cái)?shù)適當(dāng)設(shè)定。例如，對(duì)于以高質(zhì)量電視顯示為目的的顯示裝置，最好設(shè)定n＝3000，m＝1000以上的數(shù)。)。n×m個(gè)冷陰極元件，由m條行方向配線1013和n條列方向配線1014形成簡(jiǎn)單矩陣配線。將由上述1011～1014構(gòu)成的部分稱為多電子束源。
用于本發(fā)明的圖像顯示裝置的多電子束源只要是對(duì)冷陰極元件進(jìn)行簡(jiǎn)單矩陣配線或梯形配置的電子源，就對(duì)冷陰極元件的材料和形狀或制法沒有限制。因此，可以使用例如表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件和FE型或MIM型等冷陰極元件。
在表面板1017的下表面上形成熒光膜1018。該熒光膜1018，在彩色顯示裝置的情況下，涂敷用于CRT領(lǐng)域的紅、綠、蘭3原色熒光體。
圖30是圖29的面板邊緣部的剖面示意圖，各部分的號(hào)碼與圖29對(duì)應(yīng)。
隔板1020，由在絕緣部件1表面形成用來防止帶電的高電阻膜1021、且在面對(duì)表面板1017的內(nèi)側(cè)(金屬背底1019等)和襯底1011的表面(行方向配線1013或列方向配線1014)的隔板的對(duì)接面1023及相接的側(cè)面部1024上形成低電阻膜(導(dǎo)電性膜)1022的部件構(gòu)成，為了達(dá)到上述目的配置必要數(shù)量的隔板并且有必要的間隔，用接合材料1041固定在表面板內(nèi)側(cè)和襯底1011表面。
高電阻膜1021至少在隔板1020表面中的露出在氣密容器內(nèi)真空中的面上成膜，并通過隔板1020上的低電阻膜1022和接合材料1041，與表面板1017的內(nèi)側(cè)(金屬背底1019等)和襯底1011的表面(行方向配線1013或列方向配線1014)電連接。
在此說明的方案中，隔板1020的形狀為薄板狀，與行方向配線1013平行地配置，并與行方向配線1013電連接。
隔板1020必須具有耐受外施加到襯底1011上的行方向配線1013和列方向配線1014與表面板1017內(nèi)面的金屬背底1019之間的高電壓的絕緣性，而且必須具有防止隔板1020表面帶電的程度的導(dǎo)電性。
在構(gòu)成隔板1020的高電阻膜1021上流過的電流是用作為防止帶電膜的高電阻膜1021的電阻值Rs除施加到高電位側(cè)的表面板1017(金屬背底1019等)的加速電壓Va而得到的電流。因此，該電阻值Rs從防止帶電和消耗電力的觀點(diǎn)考慮，應(yīng)設(shè)定在所要求的范圍。從防止帶電的觀點(diǎn)來看，希望表面電阻R/□是1014Ω以下。為了得到足夠的防止帶電效果，更希望是1013Ω以下。表面電阻的下限由隔板1020的形狀和施加到隔板間的電壓決定，最好是107Ω以上。
高電阻膜1021的厚度t優(yōu)選在10nm～1μm的范圍，特別優(yōu)選是50～500nm的范圍。雖然隨材料的表面能量以及與襯底的密封性和襯底溫度而不同，但一般來說，10nm以下的薄膜形成島狀，電阻不穩(wěn)定，缺乏再現(xiàn)性。另一方面，膜厚t是1μm以上時(shí)，膜應(yīng)力變大，膜老化的危險(xiǎn)性高，而且成膜時(shí)間長，不利于生產(chǎn)率。
表面電阻R/□是ρ/t，按照上述R/□和t的希望范圍，希望高電阻膜1021的比電阻ρ是10Ωcm到1010Ωcm。為了實(shí)現(xiàn)表面電阻和膜厚更優(yōu)選的范圍，ρ可以是104到108Ωcm。
隔板1020，如上所述，由于電流流過在其上形成的防止帶電膜(高電阻膜1021)，或者由于顯示器整體工作中發(fā)熱，其溫度將上升。當(dāng)防止帶電膜的電阻溫度系數(shù)是大的負(fù)值時(shí)，溫度上升電阻值減少，流過隔板1020的電流增加，使溫度進(jìn)一步上升。電流繼續(xù)不斷增加，直到超過電源的臨界值。這種電流擊穿發(fā)生的條件，具有由以下一般式(ζ)說明的電阻值的溫度系數(shù)TCR(Temperature Coefficient of Resistance)值的特征。但是，ΔT、ΔR是相對(duì)于室溫的實(shí)際驅(qū)動(dòng)狀態(tài)的隔板1020的溫度T和電阻值R的增加部分。
TCR＝ΔR/ΔT/R×100 [％/℃]……一般式(ζ)電流擊穿發(fā)生的條件是TCR按經(jīng)驗(yàn)為-1％/℃以下。也就是，防止帶電膜的電阻溫度系數(shù)最好大于-1％/℃。
作為具有防止帶電特性的高電阻膜1021的材料，可以使用例如金屬氧化物。金屬氧化物中，鉻、鎳、銅的氧化物是理想的材料。其理由是這些氧化物的二次電子發(fā)射效率比較小，當(dāng)從冷陰極元件1012發(fā)射的電子碰到隔板1020時(shí)，難于使其帶電。除金屬氧化物之外，碳也是二次電子發(fā)射效率小的理想材料。特別是由于非晶體碳是高電阻，易于將隔板電阻控制在所希望值內(nèi)。
作為具有防止帶電特性的高電阻膜1021的其他材料，鍺和過渡族金屬合金的氮化物、鋁和過渡族金屬合金的氮化物，通過調(diào)整過渡族金屬的組成，是能在從良傳導(dǎo)體到絕緣體的寬廣范圍內(nèi)控制電阻值的適合材料。并且在后述的顯示裝置的制作工序中，是電阻值變化少的穩(wěn)定材料。而且其電阻溫度系數(shù)大于-1％/℃，是實(shí)用中易于使用的材料。上述過渡族金屬元素是W、Ti、Cr、Ta等?？梢栽诮^緣性部件上利用濺射、氮?dú)鈿夥罩械姆磻?yīng)性濺射、電子束蒸鍍、離子鍍敷、離子促進(jìn)蒸鍍法等薄膜形成方法，形成合金氮化膜。也可以用同樣的薄膜形成法制作金屬氧化膜，但這時(shí)使用氧氣代替氮?dú)?。還可以用CVD法、烷氧基涂敷法形成金屬氧化膜。碳膜可以用蒸鍍法、濺射法、CVD法、等離子CVD法制作，特別是制作非晶體碳時(shí)，為了在成膜氣氛中要含有氫，在成膜氣體中使用碳化氫氣體。
Dx1～Dxm和Dy1～Dyn和Hv是用于使該顯示面板和未圖示的電路進(jìn)行電連接而設(shè)置的氣密結(jié)構(gòu)的電連接用端子。
Dx1～Dxm與多電子束源的行方向配線1013電連接，Dy1～Dyn與多電子束源的列方向配線1014電連接，Hv與表面板的金屬背底1019電連接。
為了將氣密容器內(nèi)部排氣為真空，在裝配氣密容器后，把未圖示的排氣管與真空泵連接起來，將氣密容器內(nèi)排氣到10-5Pa左右的真空度。此后，密封排氣管，為了維持氣密容器內(nèi)的真空度，在密封前或密封后，在氣密容器內(nèi)的規(guī)定位置形成吸氣膜(未圖示)。所謂吸氣膜，是利用加熱器或高頻加熱，將以Ba為主要成分的吸氣材料進(jìn)行加熱蒸鍍形成的膜，通過該吸氣膜的吸附作用，使氣密容器內(nèi)維持在10-3Pa至10-5Pa的真空度。
采用以上說明過的顯示面板的圖像顯示裝置，通過容器外端子Dx1至Dxm、Dy1至Dyn將電壓加到各冷陰極元件1012上時(shí)，從各冷陰極元件1012發(fā)射電子。與此同時(shí)，通過容器外端子Hv將數(shù)百V至數(shù)千V的高壓加到金屬背底1019上，加速上述發(fā)射出的電子，沖撞表面板1017的內(nèi)面。這樣，構(gòu)成熒光膜1018的各色熒光體被激勵(lì)發(fā)光，顯示圖像。
當(dāng)作為冷陰極元件1012采用表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件時(shí)，對(duì)該冷陰極元件1012的施加電壓為12～16V左右，金屬背底1019與冷陰極元件1012的距離d為0.1mm到8mm，金屬背底1019與冷陰極元件1012之間的電壓為0.1kV到10kV左右。
以上，說明了本發(fā)明的圖像顯示裝置的概要。
以下，說明本發(fā)明的實(shí)施例，但本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施例。
本實(shí)施例中，通過使安裝了隔板的第一襯底(背面板)變形，可以在隔板與背面板表面之間形成空隙，利用該空隙，修正隔板的位置，實(shí)現(xiàn)了正確的配置關(guān)系。
圖1至圖3是用來說明在本實(shí)施例的隔板7與背面板1的表面之間形成空隙的工序的示意圖。以下，用圖1至圖3說明本實(shí)施例。
首先，按照在本發(fā)明的實(shí)施方式部分說明的順序，將多個(gè)隔板7在其縱方向負(fù)荷有張力的狀態(tài)下，按預(yù)定間隔粘結(jié)固定在背面板1上。
如前所述，從隔板7與背面板1的裝配完成到背面板1與表面板3的裝配開始，當(dāng)因運(yùn)送等來自外部的沖擊加到附有隔板的背面板時(shí)，由于隔板7的中央部?jī)H與背面板1對(duì)接而未固定，則隔板7中央部如圖1B所示，有時(shí)會(huì)偏離裝配當(dāng)初的位置。
為此，首先將附有隔板的背面板29載置到背面板載物臺(tái)16上(圖1A)。
在該背面板載物臺(tái)16上，支撐部件30相對(duì)于附有隔板的背面板29的周圍四邊中的與隔板7的縱方向正交的二邊大致平行，而且配置在分別距上述二邊為規(guī)定距離d的位置。
支撐部件30由與背面板1的下面對(duì)接的壓頭30a、和使壓頭30a升降并使其在規(guī)定位置停止的驅(qū)動(dòng)部件(未圖示)構(gòu)成，通常，壓頭30a的背面板對(duì)接面位于與背面板載物臺(tái)16的上表面相同的面，或者被收納在背面板載物臺(tái)16形成的凹部33內(nèi)，成為比背面板載物臺(tái)16的上表面較低的位置。
然后，如圖2A所示，使支撐部件30上升，使壓頭30a與背面板1的下表面對(duì)接，抬起背面板1，在背面板1完全離開背面板載物臺(tái)16的位置，停止支撐部件30。
這時(shí)，背面板1彎曲和變形，使上側(cè)(隔板固定面?zhèn)?成為凹狀，但本實(shí)施例中，在由于該變形產(chǎn)生的隔板7縱方向的收縮小于因預(yù)先在隔板7上負(fù)荷的張力(圖中箭頭f)產(chǎn)生的伸長的位置上，設(shè)定背面板支撐位置(即支撐部件30的位置)。
因此，背面板1彎曲和變形后，由于隔板7依然是在縱方向上負(fù)荷有張力的狀態(tài)，則隔板7的中央部背離背面板1，如圖2B所示，再顯現(xiàn)裝配當(dāng)初的足夠的平直度。
接著，如圖3A所示，下降支撐部件30，使得不再給予背面板1動(dòng)負(fù)荷，將背面板1再次載置到背面板載物臺(tái)16上。
以在背面板1上不給予動(dòng)負(fù)荷的方式使支撐部件30下降的驅(qū)動(dòng)方法中，為了排除因支撐部件30下降時(shí)的急劇加減速產(chǎn)生的對(duì)背面板1和隔板7的慣性力，必須考慮低加速度而且用低速度運(yùn)行，以及使用減震器等緩和沖擊加速度。
如以上所述，在修正了隔板的位置后，進(jìn)行背面板和表面板的密封，制造圖4所示的氣密容器(顯示面板)。
如以上所述，密封前，通過在隔板與襯底之間形成空隙，修正隔板的設(shè)置位置，可以防止由于隔板設(shè)置位置造成的偏差對(duì)圖像顯示裝置的不好影響，形成良好的圖像顯示。
本實(shí)施例中，由因熱而變形的部件構(gòu)成設(shè)置在隔板兩端部的支撐部件，高溫下，可以在隔板與背面板之間形成間隙，利用該空隙，修正隔板的位置，實(shí)現(xiàn)正確的配置關(guān)系。
以下，詳述制造具有圖29和圖30所示結(jié)構(gòu)的圖像顯示裝置的本實(shí)施例的特征部分。
(板狀隔板)板狀隔板1020(參照?qǐng)D30)使用由鈉石灰玻璃構(gòu)成的絕緣性部件(300mm×2mm×0.2mm)制成。
然后在隔板表面中的在氣密容器的圖像形成區(qū)域內(nèi)露出的4個(gè)面(300mm×2mm，300mm×0.2mm的各表背面，換言之，暴露在真空中的面)上，形成后述的高電阻膜1021，在與表面板1017、背面板1015的圖像形成區(qū)域時(shí)接的2個(gè)面1023上形成低電阻膜1022。
作為上述高電阻膜1021，可以采用同時(shí)用高頻電源噴濺Cr和Al的靶形成的Cr-Al合金氮化膜(200nm厚，約109Ω/□)。
設(shè)置在圖像形成區(qū)域上的低電阻膜1022，除了用于確保在隔板1020上形成的高電阻膜1021與表面板1017、高電阻膜1021與背面板1015(還有，本實(shí)施例中，在背面板上粘結(jié)固定的電子源襯底1011的行方向配線1013)的電連接以外，還可抑制隔板1020周圍的電場(chǎng)，進(jìn)行來自電子發(fā)射元件的電子束的軌道控制。
(隔板用支撐部件)固定在隔板1020的兩端的隔板用支撐部件1030的材料，使用形狀記憶合金或雙金屬。如圖16所示，5mm×5mm×0.5mm(高)，在中央部形成長2mm的可容納隔板1020的溝1031(寬0.25mm)。
隔板用支撐部件1030，通過置于高溫下而變形，使隔板用支撐部件1030和包含與背面板1015的隔板設(shè)置相面對(duì)置的面的平面1030a，移動(dòng)到平面1030b的位置上。
隔板用支撐部件1030，并不限于本實(shí)施例的材料，例如可以使用不銹鋼或以Ni及Fe為主體的合金等。作為支撐部件1030所要求的性能，可舉出例如其熱膨脹系數(shù)接近構(gòu)成隔板1020和襯底的部件。
(隔板和隔板用支撐部件的裝配)如圖17所示，在隔板1020的兩端部，插上設(shè)置在隔板用支撐部件1030中央部的溝(寬0.25mm，長2mm)，用第1接合部件1052固定。
(向背面板上安裝隔板)隔板1020，利用隔板裝配裝置，進(jìn)行位置配合，使得在背面板1015的電子束發(fā)射區(qū)域內(nèi)的行方向配線1013的中央，該隔板1020垂直于背面板的平面，用第2接合部件1053，將在兩端部預(yù)先接合的支撐部件1030固定在背面板上。本實(shí)施例中，按照本發(fā)明的實(shí)施方式部分中說明的順序，在其縱方向上負(fù)荷有張力的狀態(tài)下，將多個(gè)隔板1020固定在背面板上。
(背面板和表面板的密封)此后，在背面板1015上通過熔合玻璃(未圖示)設(shè)置側(cè)壁1016，在側(cè)壁1016的應(yīng)與表面板1017連接處也涂敷熔合玻璃。在表面板1017的內(nèi)面上，設(shè)置由在Y方向上延續(xù)的帶狀的各色熒光體構(gòu)成的熒光膜1018和金屬背底1019。
然后，將表面板1017和背面板1015分別加熱到400℃至500℃。這時(shí)，如圖18A所示，隔板1020和隔板用支撐部件1030的固定部，向背面板的厚度方向即圖中箭頭E方向移動(dòng)，隔板1020隔著空間被配置在背面板上。由此，隔板1020被對(duì)準(zhǔn)在正規(guī)的位置上。
接著，使背面板1015的電子源的配置面在上、表面板1017的金屬背底面在下而對(duì)置，維持兩平面的水平而接近，將隔著空間配置在背面板上的隔板用表面板的金屬背底面壓緊，由背面板1015和表面板1017夾持隔板1020(圖18B)。
利用真空泵通過排氣管，使如上所述地完成的氣密容器內(nèi)排氣，達(dá)到足夠的真空度后，通過容器外端子Dx1～Dxm和Dy1～Dyn，由行方向配線1013和列方向配線1014對(duì)各元件供電，進(jìn)行作為表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的制造工序的一般通電形成處理和通電激活處理。
在10-4Pa左右的真空度下，用煤氣噴燈加熱焊接未圖示的排氣管，進(jìn)行外圍器(氣密容器)的密封。最后，為了維持密封后的真空度，進(jìn)行吸氣處理。
在如上所述地完成的圖像形成裝置中，在各冷陰極元件(表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件)1012上，通過容器外端子Dx1～Dxm和Dy1～Dyn，由未圖示的信號(hào)發(fā)生部件分別施加掃描信號(hào)和調(diào)制信號(hào)，發(fā)射出電子，在金屬背底1019上通過高壓端子Hv施加高電壓，對(duì)發(fā)射電子束加速，使電子沖撞熒光膜1018，將各色熒光體激勵(lì)并發(fā)光，由此顯示圖像。另外高壓端子Hv上的施加電壓Va為3kV至10kV，各配線1013、1014間的施加電壓Vf為14V。
本實(shí)施例中也是，密封前，通過在隔板與襯底之間形成空隙，修正隔板的設(shè)置位置，可以防止因隔板設(shè)置位置偏差造成的對(duì)圖像顯示裝置的不良影響，得到良好的圖像顯示。
本實(shí)施例中，由于設(shè)置在隔板下側(cè)的結(jié)構(gòu)部件用因熱而變形的部件構(gòu)成，高溫下，可以在隔板與背面板之間形成間隙，利用該空隙，修正隔板位置，實(shí)現(xiàn)正確的配置關(guān)系。
以下，詳述制造具有圖29和圖30所示結(jié)構(gòu)的圖像顯示裝置的本實(shí)施例的特征部分。
(結(jié)構(gòu)部件)圖19表示將結(jié)構(gòu)部件1032安裝到隔板1020上的狀態(tài)。作為該結(jié)構(gòu)部件1032的材料，使用形狀記憶合金或雙金屬，在隔板的背面板設(shè)置面上嵌合或使用無機(jī)粘結(jié)劑粘結(jié)來配置。結(jié)構(gòu)部件1032，通過置于高溫下而在圖中箭頭的方向上尺寸較小。
(隔板用支撐部件)固定在隔板1020兩端的隔板用支撐部件1030的尺寸為5mm×5mm×0.5mm(高)，在中央部形成長2mm的可容納隔板1020的溝1031(寬0.25mm)。
(隔板和隔板用支撐部件的裝配)如圖20所示，在隔板1020的兩端部，插上設(shè)置在隔板用支撐部件1030中央部的溝(寬0.25mm，長2mm)，用第1接合部件1052固定。
(向背面板上安裝隔板)隔板1020，利用隔板裝配裝置進(jìn)行位置配合，使得在背面板1015的電子束發(fā)射區(qū)域內(nèi)的行方向配線1013的中央上，該隔板1020垂直于背面板的平面，用第2隔板用接合部件1053，將在兩端部預(yù)先接合的支撐部件1030固定在背面板上。這時(shí)，隔板1020縱方向的中間部，如圖21所示，使配置在隔板的結(jié)構(gòu)部件1032與背面板1015對(duì)接配置。本實(shí)施例中也是，按照在本發(fā)明的實(shí)施方式部分中說明的順序，在其縱方向上負(fù)荷有張力的狀態(tài)下，將多個(gè)隔板1020固定在背面板上。
(背面板與表面板的密封)此后，在背面板1015上通過熔合玻璃(未圖示)設(shè)置側(cè)壁1016，在側(cè)壁1016的應(yīng)與表面板1017連接的地方涂敷熔合玻璃。在表面板1017的內(nèi)面上，設(shè)置由在Y方向上延伸的帶狀各色熒光體構(gòu)成的熒光膜1018和金屬背底1019。
然后，將表面板1017和背面板1015加熱到400℃至500℃。這時(shí)，如圖22A所示，配置在隔板1020縱方向中間部的結(jié)構(gòu)部件1032，由于置于高溫下，在與背面板的上述隔板設(shè)置面相垂直的方向即圖中箭頭F方向上尺寸較小，在背面板與隔板之間產(chǎn)生空間。由此，隔板1020被對(duì)準(zhǔn)在正規(guī)的位置上。
接著，使背面板1015的電子源的配置面在上、表面板1017的金屬背底面在下而對(duì)置，維持兩平面的水平而接近并進(jìn)行密封。此后，隨著襯底溫度返回到常溫，配置在隔板1020的縱方向中間部的結(jié)構(gòu)部件1032返回到原來形狀，不與背面板對(duì)接，隔著空間配置的結(jié)構(gòu)部件1032與背面板對(duì)接，由背面板1015和表面板1017夾持隔板1020(圖22B)。
以下，與實(shí)施例2同樣地制成圖像顯示裝置。
本實(shí)施例中也是，由于密封前在隔板與襯底之間形成空隙，可以將隔板修正到正規(guī)位置，能夠防止因隔板的配置偏差對(duì)圖像的不良影響，得到良好的圖像顯示。
本實(shí)施例中，粘結(jié)固定設(shè)置在隔板兩端部的支撐部件和襯底，一直到密封工序之前隔板主體都不與襯底對(duì)接(在隔板與襯底之間保持空隙)，由此消除了在運(yùn)送工序時(shí)產(chǎn)生的隔板與襯底的相對(duì)位置的偏離。
以下，詳述制造具有圖29和圖30所示結(jié)構(gòu)的圖像顯示裝置的本實(shí)施例的特征部分。
(隔板用支撐部件)固定在隔板1020(與實(shí)施例2使用的隔板是同樣的構(gòu)成)兩端的隔板用支撐部件1030的材料，使用與背面板熱膨脹系數(shù)極相近的例如以Ni和Fe為主成分的合金。隔板用支撐部件1030的形狀，如圖23所示，將板厚0.1mm、寬5mm、長7mm的合金形成S字形狀，在寬方向的中央部形成1.5mm長的容納隔板1020的溝(寬0.25mm)。
(隔板與隔板用支撐部件的裝配)如圖23所示，在隔板1020的兩端部，插上設(shè)置在隔板用支撐部件1030中央部的溝(寬0.25mm，長1.5mm)，用第1接合部件1052固定。這時(shí)，隔板1020的與背面板1015對(duì)置的面1020a和隔板用支撐部件1030的與背面板1015對(duì)置的面1030a，大致平行地配置，而且以平面1020a比平面1030a配置在更靠近表面板側(cè)的方式，接合隔板與支撐部件。
(隔板向背面板上的安裝)隔板1020，利用隔板裝配裝置進(jìn)行位置配合，使得在背面板1015的電子束發(fā)射區(qū)域內(nèi)的行方向配線1013的中央上，該隔板1020垂直于背面板的平面，用第2接合部件1053，將在兩端部預(yù)先接合的隔板用支撐部件1030固定在背面板上。這樣，如圖24所示，隔板1020不與背面板1015對(duì)接而是隔著空間配置。此后，為了背面板與表面板的密封，運(yùn)送已設(shè)置了隔板的背面板。運(yùn)送中，產(chǎn)生對(duì)背面板的沖擊、振動(dòng)，隔板相對(duì)于背面板的位置變化，然而由于隔板與背面板隔著空間，在運(yùn)送結(jié)束時(shí)，隔板的位置返回到行方向配線的中央上。
(背面板與表面板的密封)此后，在背面板1015上通過熔合玻璃(未圖示)設(shè)置側(cè)壁1016，在側(cè)壁1016的應(yīng)與表面板1017連接的地方涂敷熔合玻璃。在表面板1017的內(nèi)面，設(shè)置由在Y方向上延伸的帶狀各色熒光體構(gòu)成的熒光膜1018和金屬背底1019。
然后，將表面板1017和背面板1015加熱到400℃至500℃以后，如圖25A所示，使背面板1015的電子源的配置面在上、表面板1017的金屬背底面在下而對(duì)置，維持兩平面的水平而接近，將隔著空間配置在背面板上的隔板用表面板的金屬背底面壓緊，用背面板1015和表面板1017夾持隔板1020。這時(shí)，隔板用支撐部件1030，由于彈性變形而在背面板厚度方向上變小，隔板1020在背面板1015的電子束發(fā)射區(qū)域內(nèi)的行方向配線1013上對(duì)接(圖25B)。
以下，與實(shí)施例2同樣地，制成圖像顯示裝置。
本實(shí)施例中也是，包含由從在接近隔板1020的位置上的冷陰極元件1012發(fā)射的電子產(chǎn)生的發(fā)光光點(diǎn)，形成二維的等間隔發(fā)光光點(diǎn)列，可形成顏色鮮明再現(xiàn)性良好的彩色圖像顯示。
本實(shí)施例中，使用設(shè)置在隔板兩端部的第一隔板用支撐部件和設(shè)置在襯底側(cè)的第二隔板用支撐部件，一直到密封工序之前，隔板主體都不與襯底對(duì)接(在隔板與襯底間保持空隙)，由此可以消除在運(yùn)送工序時(shí)產(chǎn)生的隔板與襯底的相對(duì)位置的偏離。
以下，詳述制造具有圖29和圖30所示結(jié)構(gòu)的圖像顯示裝置的本實(shí)施例的特征部分。
(第1隔板用支撐部件)作為第1隔板用支撐部件，使用不銹鋼材料或以Ni和Fe為主體的金屬制線材等。本實(shí)施例中，第1隔板用支撐部件采用0.1mm、長20mm的線材，如圖26所示，將2個(gè)線材1035的兩端粘結(jié)固定在隔板兩端部的上和下。
(第2隔板用支撐部件)第2隔板用支撐部件是固定在背面板的配件。其材料采用例如不銹鋼材料或以Ni和Fe為主體的合金。作為第2隔板用支撐部件材料所要求的性能，可舉出例如其熱膨脹系數(shù)接近構(gòu)成隔板1020和襯底的部件。
本實(shí)施例中，如圖27所示，作為第2隔板用支撐部件1036，使用在1mm、高1.8mm的立柱上設(shè)置背面板安裝用固定部的部件。
(接合部件)對(duì)于隔板與第1隔板用支撐部件的接合、第2隔板用支撐部件與背面板的接合，使用以氧化鋁為母材的無機(jī)粘結(jié)劑。
(背面板與第2支撐部件的裝配)在背面板1015的電子束發(fā)射區(qū)域(有效區(qū)域)內(nèi)與隔板1020相接觸的行方向配線1013的中心線延長線上的電子束發(fā)射區(qū)域以外，對(duì)第2隔板支撐部件1036的支柱中心進(jìn)行了良好精度的位置配合后，用上述接合部件進(jìn)行接合。
(向背面板上安裝隔板)用圖28說明隔板與背面板的裝配。
利用隔板裝配裝置，在隔板縱方向上負(fù)荷有張力的狀態(tài)下，使與金屬制線材1035接合的隔板1020位置配合使得在背面板1015的電子束發(fā)射區(qū)域內(nèi)的行方向配線1013的大致中央(圖28A)，將配置在隔板兩端部的線材1035的輪狀部，卡在離開預(yù)先配置在背面板上的第2隔板支撐部件1036的支柱的背面板的位置上(圖28B)。最后，使隔板裝配裝置的隔板把持部18放開，從隔板組裝裝置上取出隔板(圖28C)。
由此，隔板在負(fù)荷有張力的狀態(tài)下，通過第1、2支撐部件僅將隔板的兩端部固定在背面板上，在隔板中央部與背面板之間產(chǎn)生空間。
以下，與上述實(shí)施例同樣地，制成圖像顯示裝置。
本實(shí)施例中也是，包含由此在接近隔板的位置上的冷陰極元件發(fā)射的電子產(chǎn)生的發(fā)光光點(diǎn)，形成二維的等間隔發(fā)光光點(diǎn)列，可形成顏色鮮明、再現(xiàn)性良好的彩色圖像顯示。
按照本發(fā)明，在密封第一襯底和第二襯底之前，通過在板狀隔板與第一襯底表面之間形成空隙，則即使隔板中央部偏離裝配當(dāng)初的位置時(shí)，也可再修正到裝配當(dāng)初的設(shè)計(jì)位置。
按照本發(fā)明，在將板狀隔板固定在第一襯底上之后，雖然運(yùn)送該第一襯底后再進(jìn)行密封工序，但由于在運(yùn)送時(shí)以該板狀隔板中央部與第一襯底之間形成空隙的狀態(tài)支撐板狀隔板，隔板中央部偏離裝配當(dāng)初位置時(shí)并未密封。
由此，在密封第一襯底和第二襯底之前，與上述第一襯底的處理方法無關(guān)，可以保證隔板的裝配位置精度，避免發(fā)生電子束偏離，能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)高質(zhì)量的圖像顯示裝置。
權(quán)利要求
1.一種圖像顯示裝置的制造方法，具有在第一襯底的表面上配置板狀隔板，使該板狀隔板的縱方向與該第一襯底的該表面平行，并將該板狀隔板的縱方向的端部固定在該第一襯底上的工序；在固定有板狀隔板的第一襯底上對(duì)置地配置第二襯底，夾著該板狀隔板密封該第一襯底和該第二襯底的工序；其特征是在在第一襯底上固定板狀隔板的上述工序、與密封第一襯底和第二襯底的上述工序之間，還具有在板狀隔板和第一襯底的表面之間形成空隙的工序。
2.如權(quán)利要求1記載的圖像顯示裝置的制造方法，其特征是上述形成空隙的工序是利用上述第一襯底的變形進(jìn)行的。
3.如權(quán)利要求1記載的圖像顯示裝置的制造方法，其特征是上述形成空隙的工序是利用設(shè)置在上述板狀隔板的端部的彈性部件進(jìn)行的。
4.如權(quán)利要求3記載的圖像顯示裝置的制造方法，其特征是上述彈性部件由形狀記憶合金構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求1記載的圖像顯示裝置的制造方法，其特征是在第一襯底上固定板狀隔板的上述工序中，在該板狀隔板上預(yù)先施加負(fù)荷使得在該板狀隔板的縱方向上具有張力。
6.一種圖像顯示裝置的制造方法，具有在第一襯底的表面配置上板狀隔板，使該板狀隔板的縱方向與該第一襯底的該表面平行，在該板狀隔板的中央部與該第一襯底之間形成空隙的狀態(tài)下，將該板狀隔板的縱方向的端部固定在該第一襯底上的工序；在固定有板狀隔板的第一襯底上對(duì)置地配置第二襯底，夾著該板狀隔板密封該第一襯底和該第二襯底的工序；其特征是在在第一襯底上固定板狀隔板的上述工序、與密封第一襯底和第二襯底的上述工序之間，還具有運(yùn)送固定有板狀隔板的第一襯底的工序。
7.如權(quán)利要求6記載的圖像顯示裝置的制造方法，其特征是將板狀隔板的縱方向的端部固定在第一襯底上的上述工序，是通過將設(shè)置在隔板端部的支撐部件粘結(jié)在上述第一襯底上來進(jìn)行的。
8.如權(quán)利要求7記載的圖像顯示裝置的制造方法，其特征是上述支撐部件是彈性部件。
9.如權(quán)利要求6記載的圖像顯示裝置的制造方法，其特征是在將板狀隔板的縱方向的端部固定在第一襯底的上述工序中，在該板狀隔板上預(yù)先施加負(fù)荷使得在該板狀隔板的縱方向上具有張力。
全文摘要
提供一種圖像顯示裝置的制造方法，即使隔板的中央部偏離裝配當(dāng)初的位置，也能夠容易地修正到裝配當(dāng)初的設(shè)計(jì)位置，穩(wěn)定地生產(chǎn)高質(zhì)量的圖像顯示裝置。其中，在在第一襯底(1)上固定板狀隔板(7)的工序、與密封第一襯底(1)與第二襯底(3)的工序之間，還具有在板狀隔板(7)與第一襯底(1)的表面之間形成空隙的工序。
文檔編號(hào)H01J29/87GK1551284SQ20031012497
公開日2004年12月1日 申請(qǐng)日期2003年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月10日
發(fā)明者鹽谷泰史, 二, 新堀憲二, 之, 高橋宣之 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社